単結晶粒（真空蒸着材／錠剤）

PRLiF粒など、各種結晶粒（真空蒸着材）取り揃えております。KBrヘキカ…

当社は、光学結晶メーカーならではの豊富な品揃えとスピーディーな対応で、 多種・少量の研究・試作用製品から量産品まで、ご要望にお応えします。 真空蒸着材 単結晶粒のサイズは2-5mm。記載されたサイズ以外も対応可能です。 また「KBrヘキカイカット品」は、"KB4SQ-1"(4x4x1 mm)や"KB7SQ-1-2"(7x7x1-2 mm)を ラインアップしております。 【真空蒸着材　ラインア...

メーカー・取り扱い企業： ピアーオプティックス株式会社

ドライポンプ（ドライ真空ポンプ）　SST/SSXシリーズ

PR独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポン…

◆独自設計のスクリューロータにより、従来ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。 ●メンテナンス性の追求【省コスト】 設置場所にて、容易に洗浄作業や分解作業ができ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

【エッチング装置/アッシング装置部品の保護膜に】Y5O4 F7膜

Y5O4 F7膜は表面フッ素量変化が小さいのでエッチング装置のエージン…

半導体製造工程の一つであるドライエッチングプロセスにおいてウェハ処理を行うと、プロセスガス自体からの生成物やエッチング時の副生成物がチャンバ内壁やチャンバ内のパーツ表面に付着するといった現象が発生すします。これら堆積物の付着によってプロセスの初期と処理後のチャンバ内表面状態が変化することにより、プロセス条件の変動が発生します。このようなプロセス条件の変動を緩和するため、従来技術では製品処理前に類似...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー

半導体用真空ターボポンプの世界市場シェア2023

『無料サンプル』を入手可能！ 関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…

YH Research株式会社（本社：東京都中央区）は調査レポート「グローバル真空ターボポンプのトップ会社の市場シェアおよびランキング 2023」を10月23日に発行しました。本レポートでは、真空ターボポンプ市場の製品定義、分類、用途、企業、産業チェーン構造に関する情報を提供しま...

メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社

真空ガス四重極分析計

遠隔インターネット管理を実現、真空ガス分析管理装置

装置の真空の質（正常／異常）を判別するＲＧＡ装置です。 これまで、シリアルケーブルやLAN（イーサネット）で行っていた距離制限のあるRGA管理制御が、ネット環境のある所であれば、世界中からアクセスでき、距離...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社

【多目的真空蒸着装置】スパッタリングソース

多目的真空蒸着装置HEXシステム用RF&DCスパッタリングソース

多目的真空蒸着装置HEX／HEX-L用のスパッタリングソースです。 ターゲットが導体の場合はDCモードで、絶縁体の場合はRFモードで使用することができます。ガスフードが標準装備されているため、ターゲット表面...

メーカー・取り扱い企業： テガサイエンス株式会社

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UTVW-R2800H』

【～300mmウエハ用】旋回軸にダイレクトドライブモータを採用！ 高…

■Z軸が標準搭載されているダブルアームタイプの真空用ウエハ搬送ロボット ■θ軸にダイレクトドライブモータを採用し、ウエハを低振動で搬送することで スループット向上に貢献 ■CVD装置、アニール装置など、高温プロセス装置に対応 ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

光学薄膜用蒸着装置 「SGC-S1700シリーズ」

樹脂レンズへの成膜に最適！大量生産を高次元で実現する光学薄膜用蒸着装置…

光学薄膜用蒸着装置 「SGC-S1700シリーズ」は、Sapio 1300 のテクノロジーを盛り込みつつコストパフォーマンスに磨きをかけたAR コート専用 スタンダードマシンです。 ＲＦイオンソース、光学モニター、反転パレットなど多彩な仕様選択が可能です。 【特徴】 ○量産性能と作業効率を高次元で融合 ○設置スペースは1300クラスのたった２割増 ○製品の取数は2倍以上 詳しく...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

真空蒸着加工サービス

気化した金属をプラスチック製品の表面に付着（メッキ）させる成膜技術です

美光九州株式会社では、プラズマ重合蒸着機により従来のアンダー塗装・ トップ塗装を省いたダイレクト蒸着が可能で、高生産性・高品質・ 低コストを実現する『真空蒸着加工』を承っております。 関連会社の美光メック工業作製の蒸着材料を使用し、 安定した蒸着膜を実現。 また、各種成形材への技術を持ち、ABS・PP・PC・PC-HT・PBT-PET・...

メーカー・取り扱い企業： 美光九州株式会社

スパッタリングの基礎知識

【技術資料を無料進呈】緻密で硬質な成膜が可能！自動車のミラーなどの生産…

などがありますが、金属やセラミックで構成されるナノレベルの 薄膜を精度高く形成するために使われるのが「スパッタリング」という技術です。 実際のスパッタリングにおいて「石」の役割を果たすのが、真空の容器 （真空チャンバー）内に充填されたアルゴン（Ar）などの不活性ガスです。 スパッタリングでは真空中にアルゴンガスを導入し、ターゲット材料にマイナスの 電圧を印加することで、蛍光灯でも...

メーカー・取り扱い企業： デクセリアルズ株式会社

超高真空マルチチャンバー連結システム

φ4インチ基盤対応のエネルギー半導体デバイス研究開発システムなどをご紹…

当社が取り扱う『超高真空マルチチャンバー連結システム』を ご紹介します。 超高真空搬送用チャンバーに複数の成膜・分析装置を連結した UHV一貫システムは、ALD、ECRプラズマ処理、スパッタ装置と XPS分析装...

メーカー・取り扱い企業： ケニックス株式会社

塗布貼り合せ装置（真空方式）

スリット塗布後に真空貼り合せまでを一連で行う装置

１．大型パネル向けに適した装置 ２．真空中で気泡混入なく貼り合わせる装置 ３．試作用単体機から量産用装置までラインナップ ４．材料供給は独自のスリットコーター ５．CCDカメラを用いたオートアライメント機能で、高い貼り合わせ精度を実...

メーカー・取り扱い企業： プレマテック株式会社

真空ガス置換電気炉

真空・不活性ガス雰囲気下で研究・実験できる卓上型電気炉です。 サンプル…

特長 ●温度制御範囲は室温～1100℃（常用1000℃） ●炉内真空に対応 ●不活性ガスの封入が可能 ●サンプルステージは操作性に優れた昇降式 ●プログラム運転による温度制御...

メーカー・取り扱い企業： ハイソル株式会社

真空続き手・製品多様-アダプタシリーズ

製品多様真空部品-アダッブタシリーズ

真空配管や真空装置などによく使用される真空継手の一種です。 それらの製品は変換フランジアダッブタ、ストレス変換フランジアダッブタ、VCRメス、オスアダッブタ、Swagelog接続のメス、オスアダッブタを含めています。規格品を提供可能以外に客先のニーズを応じて特製品を提供できます。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 日揚科技股份有限公司

LEMO■半導体製造装置用コネクタ

「過酷な環境下の使用」にも耐えるLEMOコネクタ。その信頼と実績により…

す。 ■下記のような環境下でも使用出来るコネクタをお探しの際は是非お問合せ下さい。 ・高密度 ・小型同軸 ・非磁性 ・高電圧シールドコネクタ：最大50kVDC対応 ・信頼性の高い真空気密レセプタクルと真空フィールドスルーカプラ 　真空(気密) 　He漏れ率：1x10＾-7 mbar.ℓ/s (1x10＾-8 Pa. ㎥ /s). 以下まで対応可能 ・耐高温/耐熱性 　(...

メーカー・取り扱い企業： 丸紅エレネクスト株式会社

親水・洗浄・密着強化『回転式真空プラズマ装置』

乾式で『粉体や固体全面』の『表面改質(親水・洗浄・密着強化)』を一括処…

『粉体や固体全面』など様々な材料の『親水化』『洗浄』『密着強化』などプラズマの持つ高い反応性を利用し、多岐にわたる表面処理用途にご活用頂ける回転式真空プラズマ装置！ 通常のプラズマ装置はサンプルとプラズマが触れていない底面などの接触部分は処理できず裏返す工程が必要となっていました。 本製品はチャンバーが回転する事によりサンプル全面に均一なプラ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

グローブボックス内収納型真空蒸着装置

グローブボックス内でベルジャーを着脱し、基板や蒸着材料を交換・補充可能…

当社が取り扱う『グローブボックス内収納型真空蒸着装置』をご紹介します。 50×50基板を蒸着可能な小型蒸着ベルジャーを、グローブボックス内に収納。 グローブボックス内でベルジャーを着脱し、基板や蒸着材料を 交換・補充することがで...

メーカー・取り扱い企業： ケニックス株式会社

真空薄膜蒸着装置の世界市場シェア2023

世界の真空薄膜蒸着装置市場2023年：企業・地域・種類・用途別分析

■レポ－トの種類：グロ－バル市場調査レポ－ト ■日本語タイトル：世界の真空薄膜蒸着装置市場2023年：企業・地域・種類・用途別分析 ■英語タイトル：Global Vacuum Thin Film Deposition Equipment Market Growth 20...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社Lpinformationdata 路亿策略

真空蒸着システム　総合カタログ

様々なニーズに対応

パーカー熱処理工業社が取扱う、真空蒸着システムの総合カタログです ...

メーカー・取り扱い企業： パーカー熱処理工業株式会社 川崎事業所

SUS316L 半導体　真空装置　プレート

半導体製造装置向けヒーター関連部品

半導体製造装置向けヒーター関連部品 キズなどに厳しい製品です...【材質】SU316L 【サイズ】8×100×700 【納期目安】約1ヶ月 【公差レベル】±0.02 【ロット】10ヶ/ロット 【価格】1万円以上10万円未満 【業界】半導体製造装置 ◎三次元形状の加工をしてほしい ◎図面がない ◎納期が無い、大特急 ◎溶接、鋳物、表面処理もまとめてほしい ◎加工工数を短縮...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社今橋製作所

金属、光学多層膜などの真空蒸着

真空蒸着でお困りのことはございますか？蒸着のことならなんでもお気軽にお…

物理的に蒸着可能なあらゆる金属を真空蒸着できます。 Al Au Pt Cｒ Cu Ti Si Pd Ni Mo など また、光学関連の蒸着も得意です。 ...

メーカー・取り扱い企業： ニ光光学株式会社

液晶ガラスの手動搬送に吸着ツール

液晶ガラスの手動搬送に吸着ツール

◎ 液晶ガラスの手動搬送に最適です。 ◎ 外部配線、配管なしで作業性がよいです。 ◎ 真空源（真空ポンプ、エジェクタ）が不要です。 液晶メーカ様からの御要望でこの吸着ツールを開発しました。人による液晶製造装置への液晶ガラスの搬送に多数採用されています。この吸着ツールは、真空源（真空...

メーカー・取り扱い企業： 大谷技研株式会社

スパッタカソード『ONYXシリーズ』販売・修理/メンテも対応可能

高機能・高品質なマグネトロンスパッタカソード！

能で、コスト減 ■安定した成膜とコストダウンの両立: エロージョンによるスパッタ状態の変化が少なく、ターゲット交換のコストを低減 ■既存各社のスパッタ装置での使用可能: 他社の装置にも適応可能 ■高真空対応: 幅広い用途に対応する高真空環境で使用可能 ■φ1インチからφ12インチ迄の対応: ターゲットサイズの柔軟な選択可能 ■豊富なオプション機構: シャッターやチルトアングルなど、多彩なオプション...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

半導体部品の欠陥検出　「遠心定加速度試験装置」

高加速度試験（最大34,000rpm、100,000G）。槽内温度コン…

やスライドドアを採用 回転体のアンバランス検地に非接触の渦流センサーを採用 モーターの回転数が設定値より20%を超えると停止する過回転保護機構を採用 本体の異常振動検知に振動スイッチを採用 真空度のチェックに真空監視機構を採用 その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： エア・ブラウン株式会社 電子機器部

化合物半導体用蒸着装置（ＡＡＭＦ－Ｃ１６５０ＳＰＢ型）

先端光デバイスに最適な専用蒸着装置。低温・低ダメージ成膜で平滑な膜表面…

従来型よりコンパクトなチャンバに大口径クライオポンプを採用、チャンバ各機構部に超高真空対応を採用し、クリーンな高真空環境を可能にしました。 蒸発源には水冷式反射電子トラップ付きの電子銃を使用しており、基板への電子の乳を防いだ低ダメージ成膜を実現しています。 実績豊富な６連式電子銃...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

真空ガス置換オーブン

Class 1のクリーンな環境で複数枚のウェハを加熱処理 最大450…

真空環境、不活性ガス雰囲気下(N2, Ar etc)に対応した 卓上型のチャンバー式加熱オーブンです。 装置前面のタッチパネルディスプレイで容易に温度制御レシピを設定できます。 また、クラス1のクリーンな環境で、温度安定性の高い加熱処理を実現しました。 1×10-5 Torrの高真空に対応したモデルもあります。 (450PB-HV) 【特長】 ・Class 1のクリーンな環境で加熱処理 ...

メーカー・取り扱い企業： ハイソル株式会社

表面処理に最適！真空・大気圧プラズマ製品総合カタログプレゼント！

接着強化・濡れ性向上・洗浄効果有り、薄膜形成や各種接合・塗装・メッキの…

国産プラズマ装置メーカー『魁半導体』。プラズマは、薄膜形成や各種接合・塗装・メッキの前処理などの表面処理、その他、バイオ、医療分野に最適です。PEN型大気圧プラズマ、大気圧プラズマシリーズ、卓上真空プラズマ装置、粉体プラズマなどをラインナップしております。株式会社魁半導体は国内でも少ない国産プラズマ装置メーカーで、”ニーズの発掘によって、シーズを提供する”を理念に日夜努力しております。難しい注...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

2,000℃を超えるカーボン加熱炉の開発・設計・試作支援

光ファイバの線引炉やガラス化炉で30年の実績がある加熱炉・加熱システム…

漏れが数か月で水漏れが発生しました。加熱炉の電源をオフにしても炉内は煌々と光っており、現場にいた私は生きた心地がしませんでした。 そこで加熱炉の設計を自分で行いました。耐圧・気密・リーク試験仕様は真空成膜装置を開発した時の知見を導入し、溶接構造はメーカと相談して見直しました。その他にシステムもみい直しを行い仕様書に盛り込みました。 当時は忙しく体系的な資料に纏める時間がありませんでした。そこで...

メーカー・取り扱い企業： プロセスD&Tラボ 千葉

【HTシリーズ基板加熱ヒーターMax1900℃】Φ1〜8inch

プレート最高温度Max1900℃。HV, UHVほか過酷なプロセス環境…

*旧製品名「セラミック・トップ・ヒーター」 窒化アルミプレート表面温度Max 1600℃ 対応可能サイズ Φ1〜8inch用、及び最大150mm角まで 超高温・超高真空対応フルカスタムメイド基板加熱ステージ ◉ヒーターエレメント： ・C/Cコンポジット Max1700℃ ・SiC3（炭化珪素）コーティンググラファイト Max1300℃ ・TiC3（チタン・...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

製品多様な真空配管部品-フィッティングシリーズ

配管部品は各種の真空装置や半導体製造装置に応用された部材です。

日揚科技(Htc Vacuum)の「フィッティングシリーズ」 は製品多様に揃えています。真空フィッティングはエルボ、ティー、クロス、レジューサ、センターリング、金属のベローズを含めています。規格品を提供可能以外に客先のニーズを応じて特製品を提供できます。製品はいつも真空装置などの配管工程に...

メーカー・取り扱い企業： 日揚科技股份有限公司

【真空加圧装置シリーズ】様々なシーンで活躍中

積層・貼付、接着・接合、含浸など様々な用途に！カスタマイズ可能な加圧装…

当社が取り扱う『ミカド真空加圧装置シリーズ』は、独自の均圧システムを 用いることにより、高精度な2D加圧（平板加圧）が実現しました。 体積を小さくすることにより、素早い真空引きが可能。また、放熱ポスト構造 （国際特...

メーカー・取り扱い企業： ミカドテクノス株式会社

インライン式周波数調整装置 「SFE-X2012」

コンパクト設計・高精度・低価格・高安定・高再現性

インライン式周波数調整装置 「SFE-X2012」は、処理室と取出室を別にし、イオンソースもＨ／Ｌを各々搭載したことで、アイドルタイムの少ない効率的な動作が可能になりました。 ＳＦＥ‐Ｂ０３に搭載したＩＧＦ－２０１型 １００ｍｍビームのイオンソースを２基搭載しています。 イオンソース１台あたり最大２４個、計４８個同時処理が可能です。 ＳＦＥ－Ｂ０３で実績のある高精度・高安定・高再現性の搬送機...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空