電流導入端子

PR高真空、超高真空へ の電流導入端子です！

米国MPFプロダクト社の電流導入端子のご紹介です。 ■MIL丸型、C-Sub型のマルチピン、熱電対、高電流・高電圧タイプ、同軸タイプ等各種電流導入端子を取り扱っております。 ■電流導入端子と併せて使用するコネクタ、ケーブル等もお取り扱いがございます。 ■標準品のカスタマイズ（フランジの変更、ピン長さの変更等）にも対応しております。まずはお問い合わせ下さいませ。 ※詳しくはカタログを...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社テクサム

『PTFEライナーフレキシブルホース』

PR優れた耐薬品性で医薬品や工業用など幅広い分野で活躍。豊富なシリーズから…

Aflexブランドの『PTFEライナーフレキシブルホース』は、 流体接触面を化学反応が少ないPTFE樹脂でライニングした製品です。 優れた耐薬品性を備え、高圧および最大260℃の高温に耐性を発揮。 滑らかな内面構造により、液体の流速を確保できます。 CIP/SIPに対応したシリーズもあり、高い衛生性が求められる分野でも活躍。 ホースに接着剤を使用しないため、剥離によるコンタミリス...

メーカー・取り扱い企業： Watson-Marlow（ワトソンマーロー）株式会社 東京本社、大阪支社

超高純度フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ　DRPシリーズ

スラリーや酸に対する性能が向上したフルオロポリマー製ダイヤフラム・バル…

DRPシリーズは、独自の半球形のバルブ流路デザインとダイヤフラム形状により、バルブ内部における流体の溜り部分を削減させ、接液・接ガス表面を素早く洗浄することができます。特に、スラリーを使用するCMPプロセスにおいては、スラリーの突発的な変化の可能性を低減させるために、流体のせん断の発生を最小限に抑えています。次世代PTFE製ダイヤフラムは、その独自の形状で、作動時の応力を最小化し、耐久性、シ...

メーカー・取り扱い企業： スウェージロック・ジャパン

用途例『マイクロエレクトロニクスにおけるスラリーシステム』

CMPスラリーに最適なバルブのご提案

CMPスラリーのアプリケーションには極めて厳しい仕様要求があります。GEMÜのコンポーネントはその要求を満たしながら,流量を最大化する構造を持ち,研磨性スラリーを安全に運びます。 このアプリケーションには,GEMÜよりPFA製のダイアフラムバルブ,グローブバルブ,計測器,フィッティングチューブをご提案できます。...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

【電動フッ素樹脂製コントロールバルブ】『GEMU C53』

半導体ウェットプロセスの流量/背圧制御に好適！電動モーター搭載のオール…

たフッ素樹脂製電動コントロールバルブです。 DC24C(供給電源) + 4-20mA(アナログ信号)でバルブの開度を自在にコントロールして、流量制御/背圧制御が可能です。流路がスムーズである為、CMPスラリーなどの複雑な組成の流体にも好適です。 1l/min未満の小流量制御にも対応しています。 ...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

半導体・インク向け『ろ過用フィルター　総合カタログ』進呈中！

低価格で流量・寿命改善、歩留まり向上。高粘度、ケミカル用途、カスタム対…

■高粘度流体の流量改善に効果を発揮 ■少量の実験に使用できるカプセルフィルターの提供が可能 ■フィルターの年間コストを低減 ■フィルターのセットに使うハウジングのコストが安い ■半導体のCMPスラリー・ケミカルでの実績あり...

メーカー・取り扱い企業： 千代田交易株式会社

画期的デプスフィルタ『プロファイルII』

確実なろ過ができ、メディアの剥離もない画期的デプスフィルタのご紹介です…

イルII』は、ろ過寿命が長いため、ランニングコストの削減が 可能な画期的デプスフィルタです。 カートリッジの内側部分が、変化のない均一な孔径を持ち、この部分で正確な ろ過が可能。 CMPスラリー、写真化学薬品、メッキ液、酸、アルカリ溶剤、純水、ペイント、 レジストのろ過に対応します。 【特長】 ■定格ろ過精度を持つ ■メディアの移行・剥離がない ■低い圧力損失 ■...

メーカー・取り扱い企業： TSK株式会社

高流量の手動式／空圧式バルブ『インテグラ プラス WS』

最大Cv値25.8を実現したオールフッ素樹脂製ダイアフラムバルブ

アクチュエータを選べます。 【アプリケーション】 ■アルカリ性溶液/ガスへの暴露があるアルカリ薬液アプリケーション ■半導体製造施設内の薬液供給(BCD)ライン ■化学的機械的平坦化(CMP)におけるスラリー供給 ■洗浄・剥離(WEC)における高純度薬液のハンドリング ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 ★12月11日から開催される「SEMIC...

メーカー・取り扱い企業： 日本インテグリス合同会社

半導体製造用の耐摩耗部品・耐摩耗配管

半導体用のCMPスラリー製造工程の耐摩耗対策には東京ハードフェイシング…

『CIPクラッドパイプ』は、真空溶解・ガスアトマイズ法により 製造された高品質の粉末を熱間押出して製造されています。 HIP、遠心鋳造、溶射、肉盛溶接に比べ、微細な炭化物が均一に分散されており、 より硬く耐磨耗性に優れています。 また、HIP、遠心鋳造、溶射、肉盛技術では、製造不可能な長尺細径管の 製造も可能です。 【特長】 ■耐磨耗性が極めて高く、恒久対策に好適 ■錆...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東京ハードフェイシング

【ピラースーパージョイント】クリーン＆長寿命な回転継手！

日本ピラー工業のロータリージョイント（回転継手）は、メカニカルシールで…

能】 　・シール流体圧力：F.V.～1MPaG 　・回転速度：0～1,000rpm 　　　　　　　（特殊設計で最大3,000rpmまで対応できます） 　・適用流体：加圧空気，真空，超純水，CMPスラリ液 など ※ピラースーパージョイント(R)とPILLAR SUPER JOINT(R)は、 　日本ピラー工業の登録商標です。...

メーカー・取り扱い企業： 日本ピラー工業株式会社

フッ素樹脂継手『60シリーズ』

フレアーシール方式を採用！液置換特性が大幅アップします

『60シリーズ』は、CMPスラリーの凝集対策や、フォトレジストの発泡・ ゲル対策、エッチング・剥離液などの涙漏れ対策に適したフッ素樹脂 継手です。 ボディ、ナット形状のどちらもが独特の構造（U.S. PAT.）に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フロウエル