cvd | イプロスものづくり

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

PVD(FUPC) ,CVD - フジタ技研コーティング

極めて密着性に優れたPVD(FUPC)は、CVD処理特有の熱歪みによる…

フジタ技研のコーティング技術についてご紹介いたします。「CVD」は、素材表面にコーティングした数ミクロンのチタン膜により、耐摩耗性能を格段に向上させることが可能。「FUPC」は、CVD処理特有の熱歪みによる寸法変化を解消し、強力な密着性を重視した独自開発のコーティング技術です。また当社では、潤滑性・滑り性・疲労強度に特化した当社独自の「DM(下地処理)」も行って...

メーカー・取り扱い企業：フジタ技研株式会社

CVD処理特有の熱歪みによる寸法変化を解消するPVDコーティング

CVD処理特有の寸法変化を極力抑制！PVD処理では困難の強力な密着性を…

フジタ技研のコーティング技術についてご紹介いたします。「CVD」は、素材表面にコーティングした数ミクロンのチタン膜により、耐摩耗性能を格段に向上させることが可能。「FUPC」は、CVD処理特有の熱歪みによる寸法変化を解消し、強力な密着性を重視した独自開発のコーティング技術です。また当社では、潤滑性・滑り性・疲労強度に特化した当社独自の「DM(下地処理)」も行っております。【F...

メーカー・取り扱い企業：フジタ技研株式会社

受託サービス（CVD、スパッタリング、パターニング、エッチング）

ウェハー上への微細加工、確かな技術で幅広い受託サービスを提供します。

少量試作・開発・量産まで、成膜加工（CVD、スパッタリング）・パターニング（フォトリソ）・エッチング加工に関する受託加工サービスを提供いたします。成膜は、ウエハー上に数百ナノの絶縁膜、金属膜を形成。パターニング（フォトリソ）は、マスクに描かれた数百ナノのパターンをウエハー上のレジスト膜に転写。エッチングは、形成された膜、またはシリコン等を化学反応で削り、数百ナノのパターンを形成しま...

メーカー・取り扱い企業：株式会社九州セミコンダクターKAW 山香工場

PVD CVD コーティング膜の特性と選定方法【凝着トラブル編】

金型に適したコーティング（PVD , CVD)を選定できてますか？本資…

本資料は、金型に用いるコーティング膜の特性・選定に関する情報を実際の損傷例をまじえ、分かりやすく解説した資料です。第2弾となる今回は、早期摩耗や欠け・剥離といった問題を引き起こす “凝着”に焦点をあて、発生原因や対策ポイントを紹介しています。【掲載内容】 ■凝着はなぜ起こるのか ■硬質膜に要求される特性とは ■硬質膜の膜種と特性の違い ※詳しくは「PDFダウンロー...

メーカー・取り扱い企業：フジタ技研株式会社

受託加工『CVD-SiCコーティング』

高硬度、耐熱、半導体特性、化学蒸着法炭化ケイ素 CVD-SiC

『CVD-SiCコーティング』は、高硬度、耐熱性、耐磨耗性に優れた半導体特性を持つ薄膜です。当社独自のCVD法により半導体装置部品等にも適応可能なグレードを保ち、高純度のSiC膜を最大2mm以上析出してバルクのSiCを作成しております。【特長】 ■高硬度 ■優れた耐熱性 ■優れた耐磨耗性 ■半導体特性を有する ■半導体装置部品等にも適応可能 ※詳しくはカタロ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社インターフェイス

ミストCVD　Mistic（ミスティック）

燃料電池向け金属セパレータに最適な高耐食性・高導電性酸化膜

<特長> 大気中で成膜できるシンプルで高機能な CVD被膜...従来のCVD法 ⇒ 真空中で成膜・装置が高コスト　　　　・真空引きに時間を要するミストCVD法　→　大気中で成膜燃料電池セパレータに求められる耐食性と導電性をもつ高性能な金属酸化膜高速な成膜による低コスト化基材との良好な密着性、高被覆...

メーカー・取り扱い企業：アイテック株式会社

CZウェーハ　成膜加工

2インチから12インチウェーハへの成膜が可能です。

株式会社エナテックのCZウェーハ成膜加工は、膜種により2インチから450ｍｍウェーハへの成膜が可能です。酸化膜系：熱酸化、RTO、LP-TEOS、HDP-USG、P-TEOS、PSG、BPSG、BSG、LP-CVD、PE-CVD 窒化膜系： HCD-SiN、DCS-SiN、P-SiN、LP-SiN 、LP-CVD、PE-CVD 金属膜系： TaN、Ta、Cu、Al、AlN、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エナテック東京本社

表面処理サービス

食品関連・工業用途など幅広い分野に対応します！

当社では、コーティング・ライニング・ハードコ－ティングなどの表面処理を行っております。フッ素樹脂や無機系、プラズマCVDなど様々な処理に対応が可能です。まずはお気軽にお問い合わせください。【処理の種類】 ■コーティング（フッ素樹脂,無機系,プラズマCVD,低温PVD） ■ライニング（フッ素樹脂/回転成形,フッ素シート/貼付け,ゴム系等） ■ハードコーティング（...

メーカー・取り扱い企業：日信テクニクス株式会社

スパッタリング・成膜・エッチング・受託加工

約120種類のターゲット在庫早見表付き！スパッタリング、蒸着、CVDと…

薄膜の成膜技術は、半導体や太陽電池を始め、金型の離型膜など幅広い用途に用いられています。少量試作から量産まで、豊富なノウハウと充実したサービス体制により、お客様の御要望に応じた薄膜加工・成膜が可能です。カタログよりターゲット在庫早見表をごらんいただけます。...【特徴】 ○豊富なターゲット在庫（約120種類）や成膜（スパッタリング、蒸着、CVD）、エッチング（ドライ、ウェット）加工ノウハウを...

メーカー・取り扱い企業：株式会社協同インターナショナル

真空蒸着

蒸着加工を中心とした各種様々な工法により薄膜の製作が可能です（スパッタ加工・メッキ加工・メタライズ加工・PVD.CVD法等も取り扱っております）またフォトエッチング加工・リフトオフ・マスク加工あるいは精密スクリーン印刷法等の手法を用いて　複雑・微細なパターンの製作も致します。ガラス、金属、樹脂フィルム（ペット、アクリル、ポリミドその他）など多品種の基板に対応可能です。 ...蒸着加工を...

メーカー・取り扱い企業：伸和商工株式会社

乾電池関連金型

乾電池用などの深絞り金型に！ぜひ"超硬製品"をお使いください

冷間鍛造金型の中でも乾電池用などの深絞り金型はとくに高精度と耐摩耗性を兼ね備えることが求められます。瑞穂工業株式会社の「超硬製品」は、耐食性や高温での耐摩耗性も高く、変形しにくいため高精度の加工が容易。高精度が維持されるので様々な条件での使用に耐えます。この分野に長い経験を有する当社の「超硬製品」をぜひお使いください。【製品例】 ■乾電池用金型（DLCコート）...

メーカー・取り扱い企業：瑞穂工業株式会社

プラズマＣＶＤ成膜

ガスを化学反応させることで緻密な薄膜を形成！低温加工も可能です。

プラズマＣＶＤ法は、膜としたい元素を含むガスを、プラズマにより励起や分解をさせて、基板表面で吸着、反応等を経て膜を形成する方法です。プラズマを用いるため熱ＣＶＤに比べて低温での製膜が可能です。また、イオンプレーティング法、真空蒸着法、スパッタリング法と比べて凹凸への付きまわりがよいのも特徴です。弊社では、イオンプレーティング法、真空蒸着法に加え、プラズマＣＶＤ法によるコ...

メーカー・取り扱い企業：東邦化研株式会社

MEMS受託加工サービスとミニマルファブについて

WF加工、テストWF作成、貫通配線基板加工など！EB露光、DRIE、 …

当社は、半導体加工で培った豊富な知識と経験を基に、EB露光、DRIE、陽極接合をはじめとした各種MEMS（Micro Electro Mechanical Systems〈微小電気機械システム〉）加工受託サービスをご提供しております。開発品加工、要素技術加工、Si深堀エッチング、各種成膜など幅広く対応いたします。また、弊社ではミニマルファブについても取り組んでおります。 TSV形成におけ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社M.T.C

イオンプレーティング（コーティング）技術資料【加工実績付き】

【技術資料進呈中！】密着性の強い膜を作るのに最適なイオンプレーティング…

イオンプレーティング法とは、蒸発粒子をプラズマ中を通過させることで、プラスの電荷を帯びさせ、基板にマイナスの電荷を印加して蒸発粒子を引き付けて堆積させ膜を作成します。これにより蒸着法に比べより密着性の強い膜を作ることが出来ます。【イオンプレーティングの特長】 ■密着力は真空蒸着より強い ■低温でも密着が得られる（極一部の膜種除く） ■成膜条件の多様性が得られる ■反応膜が可能 ■...

メーカー・取り扱い企業：東邦化研株式会社

協力会社による複雑な加工

複雑な工程の製品であっても対応可能！社外ネットワークでの加工サービス

日本ツクリダスでは対応が不可能な物についても「出来ません」と答えるのではなく、豊富な協力工場に依頼する事で、お客様のニーズにお応え致します。ご希望の品を「完成品」としてお納めできるように精一杯努力致します。小ロットで、複雑な工程の製品であっても対応可能ですので、まずはお気軽にご相談ください。【サービス内容】 ○研磨加工 ○黒染め処理(四三酸化鉄皮膜)/パーカライジング(リン酸皮...

メーカー・取り扱い企業：日本ツクリダス株式会社