ウエハ | イプロスものづくり

PR半導体チップや精密デバイスなどを振動から守り安全に保管・搬送！シロキ…

ゲルベースは半導体チップや精密デバイスなど細かな部品の工場内、工程内搬送、海外搬送用として使用できます。搬送時は振動から精密部品を守り、また半導体等部品のデバイス固定用としても大活躍。粘着材不使用・シロキサンフリーで安心してご使用いただけます。真空装置で真空引きすることで簡単にピックアップできます。【特長】 ■精密部品を搬送時の振動などから守り、破損を防止やわらかなゲル素...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エクシール本社

〈ホワイトペーパー進呈〉『メモリICの種類と使い方』

PR【新入社員の方必見】組み込みシステム向けのメモリICにの基礎知識に関す…

ウィンボンド・エレクトロニクスは、台湾に本社を構えるメモリメーカーです。ただいま、当社技術者が監修した、約70ページにわたるメモリICに関するホワイトペーパーを配布しています。【掲載概要】第1部メモリの基礎知識　「用途や種類…メモリICの世界へようこそ」第2部 DRAM 　「基礎知識」、「外部インターフェース」、「DDR-SDRAMの種類」、　「低消費電...

メーカー・取り扱い企業：ウィンボンド・エレクトロニクス（Winbond Electronics Corp. Japan)　株式会社

微小ウエハチップ非接触チャック

1.0mmx1.0mm角ウエハチップを非接触にて掴むベルヌーイチャック

□1.0mm〜１５ｍｍ□微小ウエハチップを非接触にて把み搬送する微小チップ非接触移載装置「フロートチャックSA-□1.0型」を開発しました。この装置は、気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と圧力式エアク...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

段積みされた太陽電池ウエハを１枚ずつ取り出し、供給する「太陽電池ウエハ枚葉供給装置」

段積みされた太陽電池ウエハを１枚ずつ取り出し、供給する「太陽電池ウエハ…

段積みされている太陽電池ウエハを１枚ずつ、高速にて損傷させることなく送り出し、供給します。　積層された太陽電池の上部に設けられた当社開発の非接触搬送装置「フロートチャックSK型」（特許）より空気を噴出させることにより最上部...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

プロトスキャリア用　ウエハ非接触ピンセット

プロトスキャリア用のウエハを傷を付けずに移載する非接触ピンセット

『プロトスキャリア用　ウエハ非接触ピンセットは、薄ウエハ、反りのあるウエハを非接触にてプロストキャリアから取り出しまたは収納します。...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

高温ウエハ用非接触ピンセット

高温のサセプターからウエハを非接触にて取り出す耐熱仕様のピンセット

ＣＶＤ装置による半導体ウエハのエピタキシャル成膜後のサセプター上の高温ウエハを、気体を噴出することにより非接触によりウエハを懸垂保持し搬送する「フロートチャック」に手動バルブの付いた取っ手を装着し、ピンセットのようにハンドル...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

『半導体サブシステムソリューション』

半導体製造装置向けのコンポーネントからサブシステムまで、トータルでご提…

械要素部品からメカトロ製品まで幅広く開発・製造を手掛けています。半導体産業・FPD産業に適した、ステンレス製リニアガイドウェイ「MGシリーズ」やボールねじ「Super Sシリーズ」のほか、ウエハ搬送ロボット、 EFEM、ウエハアライナー、ナノレベルの超精密ステージなどもラインアップ。コンポーネントからサブシステムまで、ワンストップでご提供し、調達にかかわるコストや工数の大幅...

メーカー・取り扱い企業：ハイウィン株式会社

排気回収機構を設けた「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」

クリーンルームにて使用可能「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」

排気回収機構を具え、クリーンルームへの排気の排出を減少させ、クリーンルーム内での使用を可能にした「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」 ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

粉粒体用ウエハ型バタフライバルブ

●粉粒体用ウエハ型バタフライバルブの本格派 ●コンパクトな複動エアシリンダによって大トルクが得られます。手動ハンドルも取り付け可能です。 ●レバーハンドル式、ウォームギア式、モータ式もあります。 ...

メーカー・取り扱い企業：フルード工業株式会社

千代田交易取り扱い製品『樹脂継手、PFAチューブ、Oリング』

短納期・高品質・高精度の樹脂製品を幅広くラインアップ

当社は他にも、下記の様々な製品を取り扱っております。お気軽にお問い合わせください。 ◎フィルター ◎ベアリング ◎真空機器関連 ◎各種修理サービス ◎セラミック・ウエハ ◎サイレントチェーン ◎耐熱・耐摩耗繊維 ◎製ビン関連商品 ◎金属・樹脂・カーボン加工 ◎表面処理 ◎接着接合機器...

メーカー・取り扱い企業：千代田交易株式会社

真空ウエハ接合R&D装置『WI-1000』

加熱・加圧機能に付加して表面活性化機能や陽極接合機能を追加可能です！

『WI-1000』は、真空中でサブミクロンのアライメント精度を達成した真空ウエハ接合R&D装置です。加熱・加圧機能に付加して表面活性化機能(ライン式ビーム照射、Siスパッタ、べーパーアシスト)や陽極接合機能を追加可能。オプションでCTCオートハンドリング化...

メーカー・取り扱い企業：ボンドテック株式会社

ウエハキャリア

薄型ウエハ対応の特注キャリア（ウエハカセット）を小数ロットから承ります…

金属加工により、樹脂成形で不可能な形状も対応可能です。 ウエハサイズを教えて頂ければ、設計～製作まで、全ての工程を自社で承ります。御客様のニーズにより、小ロット対応も可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業：システムセイコー株式会社

キャリアー用非接触ロボットハンド

ウエハをキャリアーへ非接触にて挿入・取り出しをするロボットハンド

非接触にてウエハを搬送可能。ハンドが薄いためキャリアーへのウエハの出し入れが可能。クリーンルーム内で使用可能。アライメントが可能。...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

非接触エンドエフェクター

ウエハカセットローダ・アンローダ非接触ロボットハンド

　「非接触エンドエフェクター」は、気体を噴出することによりベルヌーイ効果により負圧を発生し、ウエハを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持します。　このハンドは薄く製作されていますので、キャリアーへのウエハの　ローダ・アンローダに最適です。　このハンドには排気回収装置(特許）が装着...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

特殊炭素製品「半導体製造用　CZ装置」

各種熱処理用パーツの加工などに対応！先端産業向けに広く貢献しております…

半導体製造用「CZ装置」は、ウエハの熱処理用サセプター、ダミーウエハ、各種熱処理用パーツの加工の他、表面処理、純化処理等にも対応し、先端産業向けに広く貢献しております。シリコン単結晶の引上げ用ルツボ、加熱用ヒーターと...

メーカー・取り扱い企業：穴織カーボン株式会社

超ファインピッチに対応する検査用プローブ！『MEMSプローブ』

≪超ファインピッチに対応する検査用プローブ≫微細加工から検査までの自動…

『MEMSプローブ』は、マイクロプロセッサや、アプリケーションプロセッサ等の、半導体ウエハ検査に最適なMEMSプローブです。本製品は、独自構造により低抵抗・低インダクタンスを実現します。また、当社では高精度で安定した品質のプローブを製造し、微細なMEMS スプリングプロー...

メーカー・取り扱い企業：ニデックアドバンステクノロジー株式会社

ガラス基板非接触搬送システム

ガラス基板を非接触にて搬送システム

2000mm)の非接触搬送用に採用が検討されている。また排出気体が減少するためクリーンルームでの使用も可能である。、保持安定性に優れ、衝撃に強く、ガラス基板にストレスをかけることがない。薄い半導体ウエハの非接触搬送にも多く採用されている。...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

アモルファス太陽電池搬送装置

中に浮遊した非接触状態にて懸垂する非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）にて構成される保持装置と「非接触支持走行装置」にて構成しております。アモルファス太陽電池・　偏光板、フィルム、シート、ウエハ、ガラス、紙等のシートを非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）により積層したシートを１枚ずつ送り出し、精度良く積層する装置である。本装置のフィルムと対処する箇所では非接触搬送装置「フロートチャ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

クリーンルーム対応「ベルヌーイチャックWAS型」

ごみをまき散らさないクリーンルーム対応ベルヌーイチャック

クリーンルーム対応「ベルヌーイチャックWAS型」は、ノズルより噴出した排気を吸引捕捉する排気回収機構が設けられていますので排気のクリーンルームへの流出を防げます。　そのためクリーンルーム内でのウエハ、ガラス基板他の非接触搬送に用いることが可能です。...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

非接触ロボットハンド

ション効果による正圧発生により、ワークを空中に浮遊した無接触・非接触状態にて懸垂保持し、搬送、反転、傾斜する。ベルヌーイチャックともいう。排気回収機構により超クリーンルーム内での使用も可能。半導体ウエハ、ＬＣＤ・ＰＤＰガラス基板、プリント基板、セラミック基板、フィルム、紙、不織布、極薄ワーク、通気性ワーク等に対応...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

高圧ポンプユニット　KPWシリーズ（組込用）

エア圧調整器、エア圧力計、吐出圧力計などが一体となった設計で装置組み込…

うに整えたユニットです。エア駆動式プランジャーポンプ内蔵の高圧水発生ユニットでエア圧調整器､エア圧力計､吐出圧力計などが一体となった設計で装置組み込みに適しており、高圧ジェット洗浄用としてウエハのIPA洗浄や溶剤による剥離等に用います。【特長】 ■小型な組込用ポンプユニット（W194×H190×D490） ■エア供給用電磁弁、エアレギュレーター、圧力計を標準内蔵 ■オプショ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノメイト

マイクロエレクトロニクス高純度・流体ハンドリングソリューション

豊富なラインアップを掲載！市場のニーズに合うソリューションを提供いたし…

【特長】 ■薬品の移送・優れた流量・高い圧力にも対応 ■ウエハプロセス・コンパクトな設計・市場の要求を満たす製品 ■スラリー・スラリーの影響を低減・清掃が容易 ■精密な流体供給・高精度・再現性 ■高温仕様・高温でも使用可能 ...

メーカー・取り扱い企業：日本ピストンリング株式会社

ナノメートル位置決め装置 [ポジショニングEXPO出展]

検査効率向上に！リニアエンコーダ内蔵で優れた再現性があるナノメートル分…

ージのフィードバック制御が行えます。各種通信インターフェースを搭載しており、PC等からのコマンド制御が可能です。真空対応品もラインナップしております。真空チャンバーサイズに合わせたウエハ位置決めステージの製作実績があります。...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

LRC ダイオードカタログ無料プレゼント

中国半導体メーカーのダイオードを紹介した英語版カタログ

）』は、東機通商株式会社が取り扱っている LRC（Leshan Radio Company, Ltd）の英語版カタログです。同社は1970年に設立された中国四川省の半導体メーカーです。 GPPウエハFAB有り、超小型SMD/ESD対応/MOSFET/小信号SMDに注力し提供しています。【掲載内容】 ■Company Introduction ■Quality and Environmen...

メーカー・取り扱い企業：東機通商株式会社

真空装置　平行平板評価用プラズマ処理装置　　

半導体、液晶の微細パターニング、DNAチップ製造など微細異方性加工に広…

プロセス再現性を重視し電極温調用チラー、ＡＰＣを標準装備し、高真空プロセス対応のターボポンプを増設することができます。【特長】 ○RIEプラズマエッチング装置 ○6インチまでのシリコンウエハ、小型角基板の異方性エッチングが可能 ○8，12インチ用装置も設計可能その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問合せ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社電子技研

超精密ステージ

半導体検査装置や半導体製造装置に最適な精密ステージ！ナノメートルオ…

◆超精密位置決めに最適なステージ！ステージは装置の精度を司る、謂わば心臓部です。ピーエムティーでは、ウエハ検査装置や露光装置など、高い位置決め精度や繰り返し精度を必要とする装置にお使いいただける、超精密ステージの製作を行っています。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピーエムティー本社・工場

TSV ウエハーSolutions（内部導通ソリューション）

CMOSなどの基盤に好適！ウエハーは1200℃の拡散工程にさらされても…

アイスモス・テクノロジーは革新的で、パワフルにウエハー内部導通技術を開発いたしました。それらはICやMEMSといったデザインによるパッケージ問題等を解決する手段です。この内部導通ソリューションにより、デザインをしやすくし、 ...

メーカー・取り扱い企業：アイスモス・テクノロジー・ジャパン株式会社

MEMS Trench SOI　ウエハー（誘電体分離技術）

高品質結晶のシリコン層！MEMS技術で従来のジャンクション隔離法と比較…

などといった誘電体分離技術を提供します。隔離には厚い膜のSOIと高いアスペクト比の深いトレンチエッチおよび酸化膜とポリの埋め込み構造を使います。この技術には100-150mmのウエハーサイズ、デバイスレイヤーは 1.5-100umの厚みに適用可能です。【特長】 ■埋め込み層をなくす ■高品質結晶のシリコン層 ■エピ層をなくす ■寄生キャパシターを最小化 ■...

メーカー・取り扱い企業：アイスモス・テクノロジー・ジャパン株式会社

ソーラーマスター / VMECA

太陽電池の吸着搬送に最適！

した吸着力と早い応答速度－低い真空度と広い吸着面積で完璧に吸着－接触吸着面がPEEK材質なので静電気防止に優れた効果◎ －標準セルサイズが、5"(125mm)と6"(150mm)で　ウエハサイズも対応可能 ※詳しくはカタログをご覧いただくか、お気軽お問い合わせください。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社タツタ

産業機械　製作サービス

生産ラインを構成する専用マシンや特殊な製造装置など、独創性を発揮して、…

。特異な技術やノウハウが必要とされるだけに、取り組む分野を、我が国の基幹産業である自動車関連および半導体製造装置関連に限定。これらの産業で使われる、自動車部品製造装置、シリコンウエハ洗浄器の搬送ユニット製作等を主に手がけています。【自動車部品製造装置一例】 ■ロボット自動供給IH圧入機 ■液封入機 ■ロータリーカシメ機 ■リンクIH圧入機 ※詳しくは...

メーカー・取り扱い企業：株式会社惠木製作所

【真空加圧装置シリーズ】様々なシーンで活躍中

積層・貼付、接着・接合、含浸など様々な用途に！カスタマイズ可能な加圧装…

【加工サンプル】 ■放熱樹脂接着 ■樹脂接合 ■樹脂成形 ■ウエハ固定 ■ガラス貼り合わせ（OCA、OCR） ■シート封止 ■段差吸収 ■曲面貼り ■局部封止 ■球面貼り ■はみ出し抑制 ■凹凸貼り ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お...

メーカー・取り扱い企業：ミカドテクノス株式会社

非接触チャック

ソーラーリサーチ研究所の垂直気体噴流方式の非接触チャック

、フィルム、光学、エレクロニクス、紙、繊維と多方面にわたり、納入実績は数百件に達している。ワークの大きさは数mm角チップ/レンズから数m角ガラス、厚さも数μmのものもある。性状も反りのある ウエハ、スルーホール、通気性、柔軟性のあるワーク、表面塗布したワークと多種多様である。 ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

卓上CMP実験機『BC-15』

CMP部材開発、研究開発に最適！研究開発を身近に出来る卓上型CMP実験…

材スクリーニング、デバイス開発など幅広くご活用頂ける卓上実験装置です。定盤径は15インチで、定盤回転数は5～100RPMです。最大加工物径はφ152mmです。チップサイズ～φ6インチのウエハサイズまで対応可能です。【特徴】 ◆ベースプレートの裏面がマグネットのため、着脱が容易です。 ◆タッチパネルが搭載されています。 ◆自動運転が可能で、セットしたらスタートを押すだけで...

メーカー・取り扱い企業：北川グレステック株式会社本社

USTRON株式会社　会社案内

自社生産ならではのスピーディかつ正確な情報を提供可能！各バッチに於いて…

【取扱製品（抜粋）】 ■光学薄膜材料 ■カメラレンズ、光学部品 ■液晶、タッチパネル、太陽電池 ■プラズマ、液晶関係 ■液晶フォトマスク用材料 ■シリコンウエハ洗浄器具 ■医療機器向け部品 ■ロボット装置関連 ■真空設備関連　など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： USTRON株式会社

【解決できるお困りごと】半導体の検査装置をもっと小型化したい

半導体の検査装置やウエハ搬送装置にも使用！装置本体のスリム化に貢献した…

当社の『精密減速機RV』の活用メリットを、実例を挙げながらご紹介します。あるお客様は、アームを旋回させる回転軸が弱いため故障しやすく、装置全体として脆弱で作業者の安全確保にご苦労されておられました。そこで剛性の高い当製品で回転軸の強度アップはできないかと直接のご相談を頂きました。現状を丁寧にヒアリングし、求められる精度に適した減速機をご提案。装置本体のスリム化に貢献...

メーカー・取り扱い企業：ナブテスコ株式会社本社

半導体製造装置用アーム　厳しいキズ管理のできるサプライヤー

シリコンウエハを搬送する際に使用するロボットに使われる部品です。クリー…

横型マシニングセンターを駆使した高精度アルミ切削加工の量産を得意としています。加工工程にＣＮＣ測定を組み込み高精度を確保しながら、最高３万回転の主軸による高速切削と合わせ、作業者の多台持ちや昼夜連続運転など全てにおいて効率化を図り、他の追随を許さないコストパフォーマンスが実現できます。...▼取扱製品産業用機械部品/工作機械部品/半導体装置部品/電子部品製造装置部品/医療用機器部品/環境関...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハイパーウェブ

精密ステージ・テーブル

平面度0.001mm以下の精度を実現（φ12インチの場合）

1.ウエハ吸着用テーブルや測定用ステージの新規作成 2.使用中のステージの磨耗修正 φ12インチサイズで平面度0.001mmが実現可能です。材質はSUS、セラミック、ガラスなどをはじめ、チタ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ティ・ディ・シー

高圧対応・自動ダイヤフラムバルブ『NRHD8Cシリーズ』

大流量供給システムに最適！安全・高耐久・パーティクルフリーを実現した高…

バルブです。＃空圧新開発の高出力アクチュエータとスプリングレスダイヤフラム構造を採用することにより安全・高耐久・パーティクルフリーを実現。フラットパネルディスプレイ工場や大口径ウエハ向け半導体工場などの大流量供給システムに好適です。【特長】 ■Cv1.0 ハイフロータイプ ■新開発の高出力アクチュエータとスプリングレスダイヤフラム構造を　採用することにより...

メーカー・取り扱い企業：株式会社キッツエスシーティー

高圧ポンプユニット　KPM-5030　※カスタマイズ可能

ポンプとモーターを縦に配置して床面積を縮小！研磨ウエハ洗浄に好適

KPM-5030はポンプとモーターを縦に配置して床面積を縮小した高圧ポンプユニットです。インバータ内蔵により流量特性を可変でき、外部信号により運転、停止ができます。半導体業界をターゲットとし研磨ウエハの洗浄に適しています。【特長】 ◆設置面積が小さくコンパクト設計 ◆ポンプの選定により本仕様以外の流量、圧力に対応可能 ※ご要望に応じたカスタマイズが可能です。半導体産業のみなら...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノメイト

ハイキス株式会社加工事例集

素材の特性を最大限に引き出す！確かな技術力で生み出された製品を多数掲載…

セラミックス：機能部品形状サンプル、立体形状、平面鏡面加工 ■単結晶サファイア：機能部品形状サンプル、切断加工、ネジ形状 ■フロートガラス：機能部品形状サンプル、立体形状 ■特殊耐熱ガラス：ウエハ形状サンプル、微細穴加工 ■各種セラミックス素材：微細穴けサンプル、貫通穴φ0.2mm ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業：ハイキス株式会社