スパッタ | イプロスものづくり

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業：ティー・ケイ・エス株式会社

超音波複合振動接合機『Ellinker 20k-HP/20k』

PR狭いところに手が届く接合を実現。楕円形の軌跡により、高強度・低ダメージ…

『Ellinker 20k-HP/20k』は、振動拡大ホーンと楕円形の軌跡を描く複合振動を生み出すスリット入りホーンを備えた超音波複合振動接合機です。加圧・加振のムラや減衰が少なく、ワークへのダメージやバリの発生を抑えた高品質な接合が可能。ロングホーンチップを使用でき、円筒型LiBの底部など様々な形状・接合位置のニーズに対応可能です。はんだなどの介在物を使用せず、母材の変質リスクも少な...

メーカー・取り扱い企業：千代田交易株式会社

レーザ溶接用スパッタモニタリングシステム

量産における品質管理の支援ツールとして威力を発揮！溶接の条件出しにも有…

当製品は、レーザ溶接中に発生するスパッタを常時監視するモニタリングシステムです。監視できる測定機能は、溶融池から飛び出すスパッタの「数」「飛散軌跡」「サイズ」です。これにより溶接中のスパッタの発生状況を取得するこ...

メーカー・取り扱い企業：前田工業株式会社本社

マグネトロンスパッタ

電子顕微鏡の試料に導電膜処理を施す装置です

『マグネトロンスパッタ装置』は、ターゲットの背面に強力な磁石を用いてカソード表面層でのイオン化を促進し、電界によりイオンをターゲットに衝突させて金属分子を放出させる原理を応用させたものです。株式会社真空...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ユニオン

手軽に電極膜作製　デスクトップコンパクトコーター

45年以上のロングセラーモデル手軽に電極膜作製ができるデスクトップ…

置かれていても違和感のないデザインとコンパクトさ!! 【特徴】〇スモール＆コンパクト〇ベルジャーを持ち上げる必要のない前面ドア開閉方式　⇒　サンプルのセット/取出しが楽に行なえます。〇間欠スパッタ機能を標準搭載〇多彩なオプションをご用意：シャッター付前面ドア/アルミ製前面ドア/ピラニー真空計取付ポート付前面ドア etc. ...

メーカー・取り扱い企業：サンユー電子株式会社

超音波スキャニング装置

超音波探傷器とデータ処理パソコンでの構成！探傷条件の設定、結果の保存、…

タ収録・画像処理する自動超音波探傷装置です。検査は、位置情報を基に超音波信号を画像処理し、平面図、断面図に展開して欠陥の位置、形状をモニタに表示。内部欠陥、肉厚（厚み）測定、溶接接合部、スパッタ材・ターゲット材などの内部・接合検査など色々な検査に使用できます。検査結果画像は評価方法に合わせた色表示処理が可能です。ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。【装置の構成】 ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社エヌ・ケイ・システム

超高真空マルチチャンバー連結システム

φ4インチ基盤対応のエネルギー半導体デバイス研究開発システムなどをご紹…

当社が取り扱う『超高真空マルチチャンバー連結システム』をご紹介します。超高真空搬送用チャンバーに複数の成膜・分析装置を連結した UHV一貫システムは、ALD、ECRプラズマ処理、スパッタ装置と XPS分析装置を連結。他に、MEBチャンバーとXPS表面分析装置を連結したシステムや MBE室と酸化処理室、STM分析室を連結したシステムがあります。【ラインアップ】 ...

メーカー・取り扱い企業：ケニックス株式会社

【分析事例】ウエットエッチングによる有機付着物除去

表面汚染を除去してXPSによる評価を行います

法のため、大気等による有機付着物由来のCが主成分レベルで検出されます。こういった有機付着物由来のCの影響を減らすことは、膜本来の組成を評価する上で重要です。通常、有機付着物の除去にはArイオンスパッタを用いますが、スパッタによるダメージにより膜本来の組成,結合状態が評価できない場合があります。Arイオンスパッタを使用せず、表面酸化層をウェットエッチングを用いて除去することで、有機付着物由来のC...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

新対向ターゲットスパッタリング（NFTS）装置

超伝導薄膜応用分野やMEMS応用分野などに！低ダメージ・低温成膜で有機…

新対向ターゲット式スパッタ（New Facing Targets Sputtering：NFTS）技術は高密度プラズマを箱型空間に拘束することにより、堆積基板へのエネルギー種（反跳粒子、イオン、電子）の衝撃によるダ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社トヤマ

フラットミリングとSEM観察

めっき表面とはんだの境界面の状況がより緻密に観察できます。【特徴】 ○アルゴンイオンの均一な照射によってSEM観察にも耐える完璧な覆面仕上が可能です。 ○5mm径の広い範囲を均一にスパッタエッチングでき、50nm/min(Cu)の高いミリングレートで処理します。 ○安定した放電電流（2～6kV）によって再現性のよい試料を提供できます。 ○光学顕微鏡に比べ分離機・焦点深度に優れ、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社クオルテック

TruPlasma MF 7000（G2）シリーズ

重要なプロセスにおける完全なコントロール！最大限のスパッタ率が確保され…

ことが可能。豊富な周波数ラインアップにより、様々なプロセスで活用いただけます。【主な利点】 ■高い反応速度とそれに対応する残留エネルギーの低減により、　安定したプロセスと最大限のスパッタ率が確保される ■フレキシブルな冷却コンセプト ■独自技術"イグニッションサポート"技術により、効果的なプラズマ点火 ■豊富な周波数ラインアップにより、様々なプロセスで活用可能 ※詳し...

メーカー・取り扱い企業：トルンプ株式会社

【分析事例】XPSにおける吸着酸素の影響

XPS： X線光電子分光法

XPSは試料表面(数nm程度の深さ)の組成・結合状態に関する知見を得る手法ですが、イオン照射によるスパッタエッチングを組み合わせることで、試料内部や深さ方向分布の評価も可能です。但し、スパッタエッチングを伴う評価ではXPSの原理及び測定機構から、吸着酸素の影響を受けて酸素量が本来の組成より過大評価...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

『208HR型高分解能ターボスパッタコーター』

コンパクトで省エネルギー設計！導電性膜を高精度に成膜するスパッタコータ…

『208HR型高分解能ターボスパッタコーター』は、FESEM試料の導電性膜を高精度に成膜する信頼性の高い、クレジントン社製のスパッタコーターです。マグネトロンヘッドのデザインと効率的なガス導入機構で、多種類のターゲッ...

メーカー・取り扱い企業：エルミネット株式会社

【納入事例】超音波スキャニング検査装置

超音波プローブを動作させて、指定された範囲の検査が可能！

超音波検査をポイントではなく、エリアで行う事が可能。検査材のサイズに合わせて、装置の構築が可能です。ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。内部欠陥、肉厚（厚み）測定、溶接接合部、 スパッタ材・ターゲット材などの内部・接合検査など色々な検査に使用できます。【検査方法】 ■水槽の中で検査を行うタイプ ■水を吹きかけながら検査をするタイプ ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気...

メーカー・取り扱い企業：有限会社エヌ・ケイ・システム

【使用事例】NMI-300

スキャナ加工ヘッドの保護ガラス汚れを検知した事例をご紹介

スキャナ加工ヘッド用保護ガラス汚れ検知ユニット『NMI-300』の使用事例をご紹介いたします。 スパッタにレーザ照射された箇所のみ数値が上昇するため、実際の照射領域の汚染状態を検知することが可能です。また、ヒュームの蓄積度に応じて数値が上昇、波形の平均値に任意の閾値を設けることで検知...

メーカー・取り扱い企業：株式会社NISHIHARA

［GDMS］グロー放電質量分析法

特定の質量イオンを解離・フラグメント化させ、質量分析計で検出

Ar雰囲気下で、試料をマイナス極としてグロー放電を行います。Arガスが試料に衝突することにより試料構成元素がスパッタされます。スパッタにより放出された元素は大部分が中性ですが、Arプラズマ中でイオン化されます。イオン化された原子を二重収束型質量分析器で測定し、元素の定性及び濃度の算出を行います。試料...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

ULVAC DIGEST　真空関連機器　総合カタログ

無料プレゼント中！真空ポンプやクライオポンプなどを紹介しています。【ア…

ULVAC DIGEST 真空関連機器総合カタログでは、ドライ真空ポンプや油回転真空ポンプなどの「真空ポンプ」、スパッタイオンポンプ､クライオポンプなどの「クライオポンプ／冷凍機」、大気圧ピラニ真空計､キャパシタンスマノメータなどの「真空計」、ベーシックプロセスガスモニタなどの「ガス分析計／プロセスモニタ」等、多数...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

【DL可/GD-OES測定】変色したステンレスの組成調査

GD-OES（グロー放電発光分析）によりステンレス(SUS)の表面をス…

グロー放電発光分析法(Glow Discharge OpticalEmission Spectrometry:GD-OES)は、スパッタリングにより試料表面から原子を弾き出し原子をプラズマ状態に励起し、生じた発光を測定することで試料の組成を分析する方法です。H(水素)が検出できるのも本装置の特長です。この事例では「変色した...

メーカー・取り扱い企業：セイコーフューチャークリエーション株式会社

【分析事例】ポリイミド成分の深さ方向分析

TOF-SIMSによる高分子・樹脂・フィルムの表面改質層の深さ方向の評…

から、電子部品をはじめとして様々な分野で用いられている材料です。表面改質を行うことで他の材料との密着性を高めることができることから、改質層の状態を把握することが重要です。今回、有機成分が壊れにくいスパッタ条件にてTOF-SIMS測定を行い、深さ方向にポリイミド成分を評価しました。GCIB（Arクラスター）をスパッタに用いると着目する有機成分を深さ方向に測定することが可能です。※GCIB：Gas C...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】角度分解XPS（ARXPS）による極薄膜組成分布評価

基板上の極薄膜についてデプスプロファイルを評価可能です

分解XPS（ARXPS）はX線照射によって放出される光電子を取出角ごとに検出し、それぞれ検出深さの異なるスペクトルを用いてサンプル表面極近傍のデプスプロファイルを評価する手法です。従来のArイオンスパッタを用いた方法と比較すると、深さ方向分解能が向上し、かつ選択スパッタやミキシングによる組成変化が無いといったメリットがあり、基板上の極薄膜（数nm程度）のデプスプロファイル評価に有効です。本資料...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

圧力センサー高温用 PX1004L1

圧力センサー高温用

圧力センサー PX1004高温用スパッタ薄膜歪ゲージは、高精度及び優れた長期安定性、高信頼性です。補償温度範囲は＋24℃～＋204℃で、動作温度範囲は－54～＋232℃です。温度零点シフトおよび温度感度シフトは±0.018%FSO/...

メーカー・取り扱い企業：株式会社パシフィックテクノロジー

クラスター真空成膜・評価装置紹介

測定・研究したい要素をそのまま！お客様のニーズに合致させることが可能な…

『クラスター真空成膜システム』は、試料自動搬送システム、サンプル交換室、サンプルストッカー室、スパッタ室に加え誘電率・磁性測定、ホール測定装置などの分析機を備えた評価室から構成されます。また、中央の試料自動搬送チャンバーは、各成膜室ならびに分析室と接続。試料を真空中でロボット搬送し...

メーカー・取り扱い企業：株式会社パスカル

溶接機器　CMT電源シリーズ　TPS3200CMT

CMT溶接は極薄板に非常に威力を発揮致します。

）短絡すると同時にアークは消滅し（コールドプロセス）ワイヤは強制的に切断し引きもどされます。このサイクルを14msで高速に行うことで、入熱を大幅に抑制し、溶融プールの爆発現象も大幅に抑えますので、スパッタ発生も極小になります。このような方式により、1mm以下の極薄板に威力を発揮します。ロウ付けに近い感覚の為、極薄板のギャップのある溶接や、溶け落ちが心配される場合にも有効な方法です。詳しくはお問...

メーカー・取り扱い企業：株式会社三葉電熔社

【溶接検査の自動化】3D溶接検査システム「POLASTAR」

溶接の外観検査のために開発されたから"目視"→"自動"への移行がスムー…

長距離、ワイド、高精度高速モデルをラインナップ。 ◆高速検査　毎分約10ｍで検査（標準カメラ、0.3ｍｍピッチ、深さ±7ｍｍの場合） ◆豊富な検査機能　溶接幅、溶接長はもちろん。脚長、スパッタ、ピットなども ◆特徴量解析機能　計測データから特徴量を解析し各部分を数値化します。　数値化したデータを閾値と比較を行い判定します。 ◆簡単ティーチング　カメラヘッドにガイドレーザ...

メーカー・取り扱い企業：コアテック株式会社本社/中部営業所/関東営業所

テーラードブランク溶接の検査でお困りではありませんか？

多関節ロボットと3Dカメラの組合せで、テーラードブランク溶接を自動検査…

毎分10ｍで検査（標準センサー,0.3ｍｍピッチ、深さ±7ｍｍの場合）　新タイプはより早くなります。（約毎分27ｍ、0.3ｍｍピッチ） ◆豊富な検査機能　溶接幅、溶接長はもちろん。脚長、スパッタ、ピットなども ◆特徴量解析機能　計測データから特徴量を解析し各部分を数値化します。　数値化したデータを閾値と比較を行い判定します。 ◆簡単ティーチング　3Dセンサーにガイドレーザ...

メーカー・取り扱い企業：コアテック株式会社本社/中部営業所/関東営業所

測定球『ミニチュアゲージ』

取付場所の選定が容易！プロセス圧力(1Pa台が測定可)までの圧力計測が…

割れ易いという欠点を除いた金属製の小型ゲージ球です。取付場所の選定が容易で、さらに感度や測定範囲等のゲージの性能を損なうことなく小型化(従来の1/20当社比)。到達圧力からスパッタ等のプロセス圧力(1Pa台が測定可)までの圧力計測が1つのゲージで行なえます。【ラインアップ】 ■MG-2 ■MG-2M ■MG-2I/NW16、25 ■MG-2I/φ34IC...

メーカー・取り扱い企業：キヤノンアネルバ株式会社栗木本社

【半導体向け】解析シミュレーションソフト　※カタログ進呈

工数・コスト削減に！薄膜生成、スパッタリング、プラズマエッチングなどの…

当社では、半導体関連装置向けに特化した解析ソフトを取扱っています。希薄流体解析ソフト、プラズマ解析ソフトをラインアップし、有機ELやマグネトロンスパッタのシミュレーションで活躍中です。「新商品開発をしたい」「製品改善時に実機(装置)を作って検証したい」「事前検証,装置との比較検証をしたい」などでお困りの方に。また、自社開発製品...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

［FIB］集束イオンビーム加工

FIBは、数nm～数百nm径に集束したイオンビームのことで試料表面を走…

FIBは、数nm～数百nm径に集束したイオンビームのことで、試料表面を走査させることにより、特定領域を削ったり（スパッタ）、特定領域に炭素（C）・タングステン（W）・プラチナ（Pt）等を成膜することが可能です。また、イオンビームを試料に照射して発生した二次電子を検出するSIM像により、試料の加工形状を認識できます。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

アーク検知器

　１usの分解能でアークを検知し、歩留り向上に貢献いたします。　パルス…

・エッチング装置、CVD、スパッタ等の量産現場でのアーク検知、パルスモニターとして最適です。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マツボー

表面処理の特性予測ソリューション

複数の解析ソフトウェアを駆使した表面処理の特性予測ソリューションを提案…

たとえば、調べたい材料表面の作成/処理過程＆材料特性などプラズマプロセス装置の解析と表面状態の特性予測をまとめて提供します！【解析対象となる物理現象】・結合と活性化・成膜・スパッタや浸食・脱離や洗浄　　　など【評価可能な表面特性例】・原料ガスやプラズマの入射量やエネルギー、あるいは浸食/成膜速度の評価・物質の原子/分子データに基づきその材料特性を評価 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

【事例】GCIBを用いたSiO2中アルカリ金属の深さ方向濃度分布

SiO2膜の不純物の評価

アルカリ金属であるLi,Na,Kは半導体における各種故障原因の要の元素です。これらは測定時に膜中を移動してしまう可動イオンと言われており、正確な分布を得ることが困難とされてきました。今回、スパッタイオン源にGCIB(Arクラスター)を用いたTOF-SIMSの深さ方向分析を行うことにより、常温下の測定でもアルカリ金属の移動を酸素スパッタガンに比べ抑えられることがわかりました。この測定を行うこ...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】高分子フィルムの多層構造の解析

GCIBを用いた低ダメージスパッタリングで多層フィルムの層構造を明瞭に…

ラップフィルムとして一般的に用いられるポリエチレン系多層フィルムの層構造を評価しました。 FT-IRで主にポリエチレンで構成されていることを確認したフィルムに対し、GCIB（Arクラスター）をスパッタに用い、TOF-SIMSで深さ方向に測定することで、10μmの厚みの中でポリエチレンとナイロン6とが積層されている構造を明瞭に可視化することができました。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】界面および深さ方向分解能について

SIMS：二次イオン質量分析法

異種材料間の界面のSIMS分析プロファイルは、深さ方向にある幅をもって変化します。これはSIMS分析の特性上、イオンビームミキシングとスパッタ表面の凹凸（ラフネス）の影響を受けるためです。検出している不純物は、混ぜ合わされた深さまでの平均化した情報となり、深さ方向に幅を持った領域のイオンを検出します。そのため、界面位置は一般に主...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】金属膜の高温XRD評価

昇温過程での相転移・結晶性変化を追跡評価

Pt をSi 基板にスパッタ蒸着させた試料に対して、昇温させながらOut-of-plane XRD, In-plane XRD 測定をそれぞれ行いました。両測定で、Pt(111) は500℃より高い温度ではピーク強度が増加し...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】有機EL素子の成分分析

Slope面出し加工された有機多層構造試料のTOF-SIMS成分分析

XPSで4層の異なる有機化合物(或いは有機金属錯体)で形成されていると推定された有機EL素子（図1）について、TOF-SIMS分析を行いました。多層構造試料についてはスパッタを併用した深さ方向分析も行われますが、今回は構成成分の結合を壊さずに測定するために、Slope面を作製して各層を露出させました。Alq3, NPD, CuPcと推定される分子量関連イオン・フラグメ...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】ゲート電極から基板へのBの突き抜け量評価

SSDP-SIMSによる測定面の凹凸・高濃度層の影響を避けた測定

基板側からSIMS分析（SSDP-SIMS）を行うことで、表面の凹凸・スパッタに伴う表面側高濃度層からのノックオンの影響を受けない測定が可能です。ゲート電極（BドープPoly-Si）から基板へのボロンの突き抜け量を評価しました。基板側からの測定ではノックオンなどの影響が見ら...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】高分子表面のイオン照射による損傷層の評価

GCIB（Arクラスター）を用いることで損傷層の成分・厚さ評価が可能

この変化を利用し、機能性材料の開発など広い分野で研究が行われています。イオン照射後、表面状態にどのような変化が生じたのか評価することは、効率的な研究・開発に重要です。 TOF-SIMS分析では、スパッタイオンビームにGCIB（Gas Cluster Ion Beam）を用いることで、高分子材料表面のイオン照射による損傷層（ダメージ層）の成分・厚さを評価することが可能です。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】有機多層膜のラマン3Dマッピング

表面からの測定で、深さ方向の成分分布を確認可能です

ラマン分析では、表面からの測定で深さ方向の成分分布が確認できます。光を透過し易い物質に有効で、断面加工やイオンスパッタエッチングを併用せず非破壊での評価が可能です。本資料では、有機多層膜の各層について、ラマン3Dマッピングで評価した例を示します。結果より、有機多層膜は四層で構成されていることが分かりました。ま...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

［XPS］X線光電子分光法

試料表面（数nm程度の深さ）の元素の種類、存在量、化学結合状態評価に有…

r Chemical Analysis とも呼ばれています。・固体表面（約2～8nm）の元素の定性・定量が可能・化学結合状態分析が可能・非破壊で分析が可能・深さ方向分布（イオンスパッタを併用）の測定が可能・絶縁物の測定が可能・雰囲気制御下での測定が可能...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

コーティング　光学フィルター『高性能光学薄膜フィルター』

デジタルカメラ、各種検査装置などに最適な高性能光学薄膜フィルター

【特徴】 ○紫外域～遠赤外域の幅広い波長帯域に対応可能 ○外観欠陥10 µmに対応 ○イオンアシスト蒸着、イオンビームスパッタによる　高品位多層膜の成膜【光学特性】 ○ノッチフィルター →通常の設計では出てしまう透過帯のRippleをなくした ○バンドパスフィルター →狭いバンドパスで広帯域をカット ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ニデックコート事業部

［TOF-SIMS］飛行時間型二次イオン質量分析法

試料表面の構造解析を行う手法です。他の分析装置に比べ表面に敏感であるこ…

試料表面の構造解析を行う手法です。他の分析装置に比べ表面に敏感であることから、最表面の有機汚染の同定などに適した手法です。 スパッタイオン源を用いて、深さ方向に無機・有機物の分布分析が可能です。・有機・無機化合物の構造解析・同定が可能・異物検査装置の座標データとリンケージが可能・ミクロンオーダーの微小異物から数...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

光学式エンドポイントモニター【Verity社製】

超高性能エンドポイント検出システム検出困難だったイオンミリングプロ…

お問い合わせください型番・ブランド名 SD1024GH (Verity Instruments社) 用途／実績例プラズマエッチング MEMsエッチングイオンミリング反応性スパッタコントロール...

メーカー・取り扱い企業：アールエムテック株式会社

【実験できない範囲も解析が可能】表面処理の特性予測ソリューション

専門知識を持った技術者がサポート！各種解析ソフトを組み合わせる事で、表…

【その他の特長】＜解析対象となる物理現象＞ ■結合と活性化 ■成膜 ■スパッタや浸食 ■脱離や洗浄　　　など＜評価可能な表面特性例＞ ■原料ガスやプラズマの入射量やエネルギー、あるいは浸食/成膜速度の評価 ■物質の原子/分子データに基づきその材料特性を評価 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

プラズマモニタ

エッチング・スパッタ・CVD等プラズマモニタに好適！

オーシャンオプティクス社製の小型分光器は、リアルタイムでチャンバ内のプラズマ発光スペクトルを取得するために多くのお客様から選ばれています。これらの発光スペクトルから求めたプラズマ特性を監視し、半導体製造におけるプラズマベースのプロセス制御等に好適です。『プラズマモニタ』は、スタンダードモデルのFLAMEをはじめ、高分解能モデルの HR4000またはバッファリング対応UV高...

メーカー・取り扱い企業：オーシャンフォトニクス株式会社

受託成膜・受託分析

各種成膜・表面処理・塗布加工や、受託測定のことなら当社へお任せください

【各種成膜・表面処理・塗布加工詳細】 ■真空成膜加工　・加工方法：P-CVD、スパッタ、蒸着、イオンプレーティング　・膜種類：SiN、SiO2、DLC、ITO、Al2O3他各種メタルなど　・基板：Si、ガラス、フィルム他 ■エッチング・表面処理　・処理方法：P-エッチ...

メーカー・取り扱い企業：アイゲート株式会社本社

レーザ走査表面形状検査機『CSM＆CSYSシリーズ』

広い範囲の微小な高さの変化を測定可能な表面形状検査機！極めて振動に強く…

超高感度で速く測定が可能なレーザ走査表面形状検査機です。特許技術の「レーザ表面形状検査機」で、半導体ウエハ（Si,SiC,GaN,etc.）、MEMS、ハードディスク、FPD用機能性フイルム、スパッタ薄膜などの「表面形状」「粗さ」「うねり」「パーティクル」「キズ欠陥」を高感度で、早く、広い範囲を検査して「デジタルデータ」と「3D画像データ」を表示します。【特長】 ■レーザ走査式非接触...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コアシステム

赤外線サーモグラフィカメラ『InfReC R550シリーズ』

120万画素の超解像フラグシップモデル！熱挙動の速い現象のモニタリング…

20万画素の高精細な赤外線サーモグラフィカメラです。用途と測定温度範囲が異なる、3種類のモデルをラインアップ。最速120Hzでの高速サンプリングが可能なためレーザー溶接における スパッタの発生状況や、熱影響の状態確認に好適です。【特長】 ■標準レンズで最小58ミクロンの近接撮影が可能 ■充実した解析ソフトウェアが標準付属 ■PCでの自動動画収録機能付き（R550Pr...

メーカー・取り扱い企業：日本アビオニクス株式会社

コンビナトリアル成膜の受託

マテリアルズインフォマティクスのためのハイスループット薄膜の作製と評価

エンジニアが、お客様のご要望にお応えします。まずはお問合せ下さい。【特長】 ■コンビナトリアルライブラリ薄膜試料の作製 ■コンビナトリアル特性解析 ■コンビナトリアルマグネトロンスパッタ装置の販売 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コメット

EPMAによる薄膜の膜厚分布測定

極小領域の膜厚測定が可能に！電子線照射時に発生する特性X線の強度から膜…

【測定事例】 ■Si基板上のCuスパッタ膜 ■ステンレス板上のAu薄膜 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社大同分析リサーチ

イオンエネルギー測定器

エッチングやスパッタ、成膜プロセス中のイオンエネルギーの測定ができます…

検出プローブは電極/基板ホルダーに取付け可能なので、実プロセスと同条件でプラズマの最適化が行えます。各種のバイアス条件(フローティング、DC、パルスDC、RF)下で測定ができます。プラズマ放電中のプロセス内で以下の測定が可能です。 - イオンエネルギー分布 - イオンフラックス - イオンカレント - エレクトロンフラックスとエネルギー ...・検出プローブは電極/基板ホルダーに...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マツボー

金属表面処理品の表面及び断面の観察と分析サービス

観察から始まり分析まで問題解決のお手伝いをいたします！

れています。しかし、表面に異物が付着するとそれら機能に問題が発生します。当社では、金属表面処理加工品などを表面及び断面から観察分析を行っています。さらに断面をArガスによるスパッタエッチングすることでめっき皮膜の結晶を観察することができます。表面処理の異常でお困りが有りましたら御連絡ください。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社環境アシスト

スパッタリング装置

固体表面にイオン化して加速した原子あるいは分子を衝突させることにより、固体表面から固体材料が飛び出してくる現象（スパッタリング）を利用した成膜装置です。高融点金属や合金材料、誘電体、絶縁材料にも適用できる為に、工業的利用価値が高い。...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社

【分析事例】C60,GCIBを用いたアルカリ金属の深さ濃度分布

SiO2膜の不純物の評価

アルカリ金属であるLi,Na,Kは半導体における各種故障原因の要の元素です。これらは測定時に膜中を移動してしまう可動イオンと言われており、正確な分布を得ることが困難とされてきました。今回、スパッタイオン源にC60（フラーレン）とGCIB(Arクラスター)を用いたTOF-SIMSの深さ方向分析を行うことにより、常温下の測定でもアルカリ金属の移動が抑えられることがわかりました。この測定を行うこ...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】半導体のイオン化ポテンシャル評価

UPS：紫外光電子分光法

半導体では、価電子帯立ち上がり位置(VBM)と高束縛エネルギー側の立上り位置(Ek(min))より、イオン化ポテンシャルを求めることが可能です。表面有機汚染除去程度のArイオンスパッタクリーニング後に測定を行っています。 ■価電子帯立ち上がり位置(VBM)の決定価電子帯頂点近傍のスペクトルを直線で外挿し、バックグラウンドとの交点を求めます。 ■イオン化ポテンシャルの算...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】ポリカーボネートの劣化層の評価

GCIB（Arクラスター）を用いることで劣化層の膜厚を評価することが可…

ート（PC）は熱可塑性プラスチックの一種であり、優れた透明性・耐衝撃性・耐熱性などの特長をもち、太陽電池パネル・メガネレンズ･CD・車載部品・医療機器の材料として、幅広く活用されております。今回、スパッタイオンビームにGCIB（Arクラスター）を用いてTOF-SIMS分析を行い、PC表面の劣化層の評価を行いました。 ※GCIB：Gas Cluster Ion Beam...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

まとめて進呈！『真空関連機器の総合カタログ』＆『真空の技術資料』

IGZO成膜やイオン注入技術など、技術者必見の資料と製品カタログを進呈…

速度制御　　　　・真空機器構成部品・分子間相互作用解析装置／ソフトウェア／真空搬送系　ほか【技術資料『ULVAC TECHNICAL JOURNAL No.79』の掲載内容】・大型スパッタカソードにおけるIGZO成膜技術・結晶太陽電池向けイオン注入装置の開発・OLED用薄膜封止装置「CEE-950」の開発・リークディテクタ「HELIOT900シリーズ」の開発・マグネ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

受託測定　依頼測定ご利用条件

レーザーを用いた非接触で熱拡散率を測定。熱を使ったデュアルモード観察が…

　サーマルマイクロスコープ　ＴＭ３ →測定対象：固体材料 →試料外形：□１０ｍｍ　ｔ＝３ｍｍ以内（それ以外は要相談） →表面形状：鏡面研磨が必要（微小粒子の場合は包埋が必要） →表面処理：スパッタが必要 →参照試料　　　薄膜の場合は、基板上の薄膜の測定 ○熱物性測定装置　サーモウェーブアナライザ　ＴＡ３ →測定対象：固体材料 →試料外形：□２０ｍｍ　ｔ＝０．１ｍｍ以上（それ以外...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ベテル　ハドソン研究所

着磁電源装置　ES型 6000V

時代のニーズに応える超高圧6000V着磁電源装置

は、充電電圧が最大6,000V、高保磁力磁石の着磁用として最新の制御回路を搭載し、安全性とハイパワーを両立させました。大型希土類磁石（ＳｍＣｏ、ＮｄＦｅＢ）の内／外極着磁、ＥＶ自動車モータ用、スパッタ用、ＮＭＲ用磁石、大型サーボモータ用、リニアサーボモータ、ＩＰＭ用等に適しています。【特徴】 ○充電電圧は最大6,000V ○高保磁力磁石の着磁用として最新の制御回路を搭載し、安全性と...

メーカー・取り扱い企業：電子磁気工業株式会社

蛍光顕微鏡用フィルター

サブピクセルシフトを実現！蛍光顕微鏡用フィルター

フィルター分野のパイオニア、クロマ社はシャープな立ち上がりを持つダイクロイックフィルター、s/n比の高いバンドパスフィルターを数多く標準品で取り揃えております。フィルターは全てスパッタハードコーティング。各種フィルターホルダーへの取り付けも無料で行っております。この度日本語カタログを完成、是非ご利用下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エムスクェア東京営業所

【資料】『アルミ合金の抵抗溶接プロセスにおける電極加圧力の挙動』

電極加圧力の測定により溶接部の品質安定化を実現、アプリケーションノ…

効率化のヒントをお探しの方は、ぜひご覧ください。【ポイント】 ◎プロセスの合間に測定するのが一般的な電極加圧力を“通電中”に測定 ◎通電中の電極加圧力の挙動を測定した実例をご紹介 ◎スパッタの発生を検知できる可能性も示唆 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、弊社HPよりお気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：トルーソルテック株式会社

『各種真空成膜装置』

ユーザーのニーズに合う多種多様な真空装置のカスタマイズ製作を行います

【特長】＜ICF成膜装置＞ ■HIPIMS（High Power Impulse Magnetron Sputtering）法による成膜 ■高出力でスパッタされた粒子が基材に衝突することにより、　高い密着と硬度を特長とする緻密な膜成形を実現 ■高速成膜も可能 ■フィルムへの大面積、フレキシブル成膜可能 ■基板温度制御－50～120℃まで対応...

メーカー・取り扱い企業：ナノテック株式会社

『X線光電子分光（XPS）分析』

軟X線を照射！基板や回路等の定性・半定量分析にも最適な光電子分光分析！

します。試料を構成している元素と組成（定性分析・半定量分析）、元素の化学状態（状態分析）を調べることができます。検出される情報は、試料の極表面層（数nm）のものであり、Ar イオンスパッタ リングを組み合わせることで、深さ方向の測定を行うこともできます。励起源が軟X線のため、導通がない試料の測定も可能です。【適用対象】 ■金属全般 ■セラミックス ■半導体 ■...

メーカー・取り扱い企業：コベルコ溶接テクノ株式会社