2液性接着剤を混合しながら塗布！2液混合仕様モーノディスペンサー

PR2液性の接着剤やギャップフィラーの塗布に！ 高粘度液・高濃度スラリーま…

2液混合仕様モーノディスペンサーは、2台のモーノディスペンサーと スタティックミキサーを組み合わせたユニット。 主剤と硬化剤を正確に混合しながら、高精度に吐出し、生産性向上に貢献します。 ［特長］ ●混合比・吐出量を簡単調整 　ローターの回転制御だけで混合比・吐出量を簡単に調整できます。 ●高粘度液も安定吐出 　50万mPa・sを超える粘度の液体にも対応可能です。 ●高い混合精...

メーカー・取り扱い企業： 兵神装備株式会社 東京支店

鋼材製品／多様な材料知見と、大型設備を生かした取り組み

PRクラッド鋼板供給以外の製品・サービス、当社設備を活用しお客様の問題を解…

鋼材製品について、主力製品であるクラッド鋼板以外の製品・サービスにも取り組んでいます。 例えば、当社の大型圧延機を活用した委託圧延は、材質に関わらず、板厚600mm超の素材圧延が可能です。 完成品としては板厚・幅・長さのバランスを要考慮ながら、最大重量15トン超、最大幅4メートル超、最大長さ12メートル超の製品ハンドリングも可能です。 委託熱処理についても、バッチ式大型加熱・熱処理炉を保有し...

メーカー・取り扱い企業： 日本製鋼所M&E株式会社 営業本部

バッチタイププラズマリフロー装置（フラックスリフロー）

微細ウェハバンプのフラックスレスリフロー装置 サンプルテスト対応　省…

減。リフロー前後のウェット工程を削減。ウェット装置のスペース・処理・ユーティリティーを削減する省エネ・省スペース・クリーンプロセス。 ３００ｍｍウェハ対応の処理ステージによる最先端量産プロセスをバッチタイプのハードで小径基板のニッチデバイスに対応 短タクトのバッチ処理で多品種少量生産やR&D用途に対応 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

高田工業所社製バッチ式ウエハー自動洗浄装置『TWSシリーズ』

クリーン化技術・搬送/制御技術を駆使し、各種薬液に対応したバッチ式洗浄…

高田工業所では、長年の経験に裏打ちされた、クリーン化技術、搬送／制御技術等を駆使し、トータルエンジニアリング力で、お客様に最適な装置を設計・製作されております。 3D CADをはじめ、各種エンジニアリングツールにより、省スペースで使い勝手の良い装置をお届いたします。 ウエハー（RCA）洗浄装置、精密部品洗浄装置、インゴット洗浄装置、エッチング装置、IPAドライヤー装置など各種装置を取り揃え...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

バッチ式洗浄装置

クリーン化技術・搬送／制御 技術を駆使し、各種薬液に対応したバッチ式洗…

長年の経験に裏打ちされた、クリーン化技術・搬送／制御技術等を駆使し、トータルエンジニアリング力で、お客様に最適な装置を設計・製作して参ります。 3D CADをはじめ、各種エンジニアリングツールにより、省スペースで使い勝手の良い装置をお届いたします。 ...装　置　仕　様 【洗 浄 対 象】 ～12 インチカセット（※対象サイズはご相談ください） 【槽構成】 ローダー（水中も可）→処理槽（...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

バッチ式プラズマアッシング装置　ウエハアッシャー装置

50枚一括バッチ式プラズマアッシング装置（アッシャー装置）・6インチウ…

高性能装置を低価格でご提供。 アッシングレート：300Å以上、面内均一性：±20％以下、バッチ間均一性：±20％以下、処理能力：150枚/時間（RF0分で算出）。枚葉式アッシャー、エッチャーも低価格でご提供しております。老朽化した装置のレトロフィットもお受けしております。...

メーカー・取り扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社

クラスター装置『Morpher』

デバイス量産へ、優れたプロセス品質、信頼性、高スループットを提供！

Morpher ALDシステムは、業界標準の枚葉ウエハ真空クラスタプラットフォームを組み込み、ウエハバッチを完全自動処理するように設計されています。 米国特許取得済みのウエハバッチフリップ機構により、他の半導体製造ラインとのシステムの統合が可能で、またSEMI S2/S8認定により、当システムが業界...

メーカー・取り扱い企業： PICOSUN JAPAN株式会社

化粧品原料の分散に利用可能なバッチ式分散機　解砕機　乳化器

【デモ機有】ハンドクリームや乳液等スキンケア化粧品の乳化に利用可能！固…

□回転数はデジタル表示 □選べるシャフトジェネレーター（分散ツール） □幅広い回転数範囲 □幅広い処理量に対応 □過負荷保護機能あり 商品の処理量はラインナップをご覧ください。 【デモ機無償貸出実施中！】 ...Ｔ５０ ｄｉｇｉｔａｌ 技術データ 処理量：０．２５－３０Ｌ 回転数：６００－１００００ｒｐｍ 本体寸法：１１５ｘ３５５ｘ１３９mm 重量：５．８５ｋｇ...

メーカー・取り扱い企業： IKAジャパン株式会社

ALD装置（原子層堆積装置）『P-300B』

高品質のALD膜を作り出す！MEMS機器の生産や3Dオブジェクトの成膜…

【製品情報】 ■標準的な基板サイズと種類 　・200mmウェハで25個のバッチ(標準ピッチ) 　・150mmウェハで50個のバッチ(標準ピッチ) 　・100mmウェハで75個のバッチ(標準ピッチ) 　・ウェハなし基板(特注ホルダー) 　・高アスペクト比サンプ...

メーカー・取り扱い企業： PICOSUN JAPAN株式会社

バッチ式ウェーハ移し換え機『D-Trans』

発塵防止しウェーハを確実に保護！一括移載も可能！

『D-Trans』は、ウェーハ持上げ時の過負荷監視、 トランスファー時の異常監視などによりウェーハを確実に保護する、 バッチ式ウェーハ移し換え機です。 ハンドリング時にモータを加減速制御し、ショックを最小として 発塵を防止します。 【特長】 ■全ウェーハを一度に持ち上げ、キャリアからキャリアへ一括移載 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイナミックス

半導体関連装置　バッチ式洗浄装置

5,6インチ共用カセットレス処理

架台のユニット化により、現場での復帰作業の効率化を実現。装置コンフィング等の大掛かりな改造も短時間での現場工事が可能。...【特徴】 ○オートハンドラーによる枚数ロット同時処理 ○各槽温度コントロール機能付 ○鏡面反転機構 ○ハーフピッチ処理対応 ○ファイナル槽に比抵抗値モニタリング ●詳しくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： セファテクノロジー株式会社 京都事業所

半導体製造装置　マスク自動洗浄装置

【デモ機貸し出し可能！】バッチタイプ、スクラブ洗浄等多彩なオプションに…

本機はローダーに収納されたマスクを自動的に搬送し、各処理槽を経てアンローダーに収納する装置です。 バッチタイプ、スクラブ洗浄等多彩なオプションにて対応いたします。 詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

ウエハー自動洗浄装置　300mmウエハ自動洗浄装置

【デモ機貸し出し可能！】Φ300まで対応可能なカセットタイプのバッチ式…

300mmウエハ自動洗浄装置は、カセットタイプのバッチ式洗浄装置です。 Φ300まで対応可能です。 詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

サーマルALD装置『Firebird』

トップクラスのスループット！柔軟性のあるモジュール化されたデザイン

『Firebird』は、大規模量産の為のクラスターツールタイプ サーマル式のALD装置です。 実績のあるVeecoの自動化システムを搭載しており、 基板への衝撃の少ないバッチ搬送。 ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。 【特長】 ■トップクラスのスループット ■低所有コスト ■実績のあるVeecoの自動化システム ■柔軟性のあるモジュール化...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ

昇華精製装置『DSUシリーズ』

0.1kgの少量精製から10kgまでの量産精製に対応。省スペースで設置…

料の精製装置です。 独自の精製システムにより、収率と純度の両立を実現しています。 0.1kgの少量精製はもちろん、10kgの大量精製に対応できる機種もご用意。 チューブの洗浄や交換作業も容易で、バッチ間の時間短縮も図れます。 【特長】 ■開発から量産まで幅広いニーズに対応 ■オートプロセスコントロールによる温度・圧力制御 ■実験や開発に適した0.1kgから量産用の10kg/runを精製 ■純...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

プラズマドライクリーナー 　プラズマクリーナー　プラズマ洗浄装置

ご要望に合わせてカスタマイズ出来るプラズマクリーナー

ド標準（DPモード切替器はオプション） ・アルゴン・酸素の2系統のマスフローメーターを搭載 ・標準油回転ポンプ付 標準機を基にお客様のご要求に合わせて、カスタマイズもいたします。弊社では小型バッチ式から中型、大型バッチ式さらに各種自動機まで幅広くラインナップしております。チャンバー構造は石英バレル、平行平板、ロードロックタイプと多種に対応しております。大気圧プラズマについても取り揃えており...

メーカー・取り扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社

シリコンウェハ用圧力分布測定システム

歩留まりアップを圧力管理からサポート！

◆シリコンウェハの大きさにより、センサーシートを用意しています。 ◆バッチ式だけでなく、毎葉式にも対応しています。 ◆センサーシートは厚さ約0.1mmと超薄型となっており、実使用に極めて近い状態での測定が可能です。 ◆測定データは２次元・３次元の画面で表示可...

メーカー・取り扱い企業： 蒲田工業株式会社

セントロサーム　超高温バルクアニール炉

超高温熱処理と優れた温度均一性の実現により、ブール・インゴット、ウエハ…

ワイドバンドギャップ半導体デバイスの歩留まりを向上するためには、応力に起因する欠陥や転位を最小限に抑える必要があります。その手法の一つとして、半導体結晶の超高温熱処理があります。c.CRYSCOO HTA高温アニール炉は、ワイドバンドギャップ半導体のバルク結晶からデバイスまでのバリューチェーンにおいて生産性を大幅に改善させるために開発されました。優れた温度制御(最高温度2200℃)、均一性、低クロ...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

イオンプレーティング装置 「SIP-1600」

装飾・塗装のドライ化や増産をご検討中のお客様向け

イオンプレーティング装置 「SIP-1600」は樹脂基板へ金属膜を成膜する装置です。 同一バッチで2種類の材料が成膜可能です。 内部治具及び台車が2式付属しており高い生産性を有します。 イオンプレーティング機構により、付き回りよく成膜できます。 【特徴】 ○ワークの大きさにより、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

アーク放電型イオンプレーティング装置 「SIA-400T」

ドロップレットを減少させるための蒸発源高速回転機構付です。

プしたアーク放電タイプ（蒸発源表面上にアーク放電を発生させ、溶解・蒸着・イオン化という過程を経て膜形成）を採用した装置です。 【特徴】 ○ムダを極力少なくし、処理量の確保をはかった ○1バッチごとの蒸発源の補給が不要 ○基板取付けを容易にした担当者にやさしい装置 ○本装置で成膜したTiNの密着強度70N以上 ○蒸発源をかえればほとんどの金属の成膜が可能 詳しくはお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

大気圧・自公転式撹拌脱泡ミキサー　A-mini350

自公転式真空撹拌脱泡ミキサーで培ったノウハウを凝縮した大気圧ミキサー

小型・軽量の卓上型で開発や小バッチ生産に最適 真空ミキサーで培ったメカニズムを共有し、静音・低振動・長寿命 ベルト類の消耗品交換以外はメインテナンスフリー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社EME

サーマルALD装置『Savannah G2』

研究開発用、小規模バッチ用！簡易除害ユニットALD Shield Va…

『Savannah G2』は、シンプルで使いやすく研究開発から 少規模の量産まで対応可能な柔軟性のあるサーマル式のALD装置です。 高い成膜性能をシンプルなシステムで実現しており、 用途と予算に合わせた構成選択可能。 ご要望の際は、当社へお気軽にご相談ください。 【特長】 ■高い成膜性能をシンプルなシステムで実現 ■超高アスペクト比(＜2000：1)対応モード ■用途と...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ

Inception 枚葉式スピンプロセッサー

R＆Dからパイロット生産への移行に適切なInception

アル・自動に対応 ■ 初期投資が抑えられる ■ 省スペース ■ 小ロット生産向け ■ 酸とソルベントのプロセス ■ スピンナーでは実現できない複合的搬送システム ■ エッチングユニフォーミティーはバッチタイプを凌ぐ ■ タンクは２～4基搭載可能 ■ 200mm ウェハまで対応 ■ 個別の薬液系統に対し可動式スプレーアームを2式まで搭載 ■ 純水とN2にそれぞれボトムスプレーノズルを準備 ■ 外部...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社インターテック販売 東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）

株式会社プレテック　会社案内

高周波・超音波洗浄を事業領域として産業と生活を支えるマザーツールを提供

→ファインスコール（バー型高周波洗浄ユニット） →ウルトラソニック（超音波洗浄ユニット） →スイープソニック（超音波洗浄ユニット） ○精密洗浄装置の製造及び販売 →カセットレス洗浄装置（バッチ式洗浄装置） →スピンソニッククリーナー（枚葉式洗浄装置） →レンズ、ディスク洗浄装置 →液晶洗浄装置 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社プレテック

洗浄装置　ファインシリーズ洗浄ユニット 『ファインソニック』

各種ウェハーの基板洗浄や各種フォトマスク、磁気ディスク等の洗浄に最適

【特徴】 ○ニーズに応えて、さらに進化したバッチ式高周波洗浄ユニット ○サブミクロン以下のパーティクルを除去 ○特殊型振動素子により効率よく音波を伝搬させ、ワークにダメージを与えない ○外部信号により、８段階出力切替が可能 ○信頼性の高...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社プレテック

三建産業株式会社　事業紹介

企画からメンテナンスまで一貫システムでお客様のニーズにお応えします

5、T6､T7熱処理炉 　・板加熱炉、熱処理炉 　・ビレット調質炉 　・ビレット加熱炉 ■銅熱処理・加熱設備 　・熱処理炉 　・加熱炉 ■鉄鋼用加熱・熱処理設備 　・加熱炉 　・バッチ式熱処理炉 　・連続熱処理炉 　・焼成炉 ■表面処理設備 　・溶融亜鉛めっき設備 　・熱材熱処理設備 　・化学処理設備 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせくださ...

メーカー・取り扱い企業： 三建産業株式会社

SSY-21000カセット搬送システム

カセット搬送システム

チルト機構によりウェーハのズレがなくスムーズなカセット搬送が可能 様々なカセット仕様にもカスタマイズ対応 バッチや枝葉処理の装置どちらにも対応...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

石英槽（石英角槽）

バッチ式ウエット(薬液処理、洗浄)プロセスで使用される石英ガラス槽を製…

石英ガラスは他の材質と比較して、金属汚染・パーティクルの発生が極めて少ない材料です。石英ガラス槽は、フッ素系樹脂槽と比較するとブロックから切削せずに板溶接加工しますので、材料ロスも少なく、また複雑な構造も研削・溶接加工にて製作可能です。 ...石英ガラス槽の材質は次の中で選定頂けます。 ・溶融石英ガラス ・低アルカリ溶融石英ガラス ・合成石英ガラス ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大興製作所 事業統括本部

ラップ機　仕込み取り出し装置（LLU-01型）

φ150 mm及びφ125 mmシリコンウェーハの仕込み、取出

ラップ加工装置へφ150 mm及びφ125 mmシリコンウェーハの仕込み、取出しを行う装置です。 取り出したウェーハは1バッチごとに1枚の厚さ測定を行い、仕上がり厚さのOK/NG判定を行います。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

半自動真空ホットプレートチャンバー「PH-224S-200型」

最高温度400℃！小型バッチ炉タイプで、少量品、研究開発に最適です。

ァイルプロセスに対応いたします。 温度コントローラーは、専用タイプによりプロセスの確認に必要なデータを取得（アナログ出力）できます。 【特徴】 ○空冷にて、最高温度400℃対応 ○小型バッチ炉タイプで、少量品、研究開発に最適 ○観察窓により、ワークの状態が視認できる ○バルブ動作　自動対応（レシピに合わせてプログラム可能） 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロード...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー

大容量真空プラズマ装置：YHS-MS

大きなサンプル・大量のサンプルの表面改質・洗浄にお使い頂けます♪

02年に京都工芸繊維大学発ベンチャー企業として設立。 昨年の『関西フロントナー大賞』『京都中小企業優秀技術賞』を受賞。 社内の技術者が様々なニーズに対応いたします。 【特徴】 ○一括でバッチ処理が可能 ○様々なガスの導入が可能 ○タッチパネル制御で使用方法が簡易 【オプション対応致します】 設計から製造まで弊社の技術者により製品を作っております。 お客様からの様々な要望...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体