フッ素膜【フッ素薄膜処理における真空蒸着法とスプレー法の違い】

PR各処理方法のメリット・デメリットを分かりやすく紹介した資料進呈。受託加…

本資料では、ガラスや金属に撥水性・撥油性・防汚性・離型性などを付与できる フッ素薄膜処理について、真空蒸着法とスプレー法の違いを説明しています。 フッ素薄膜処理は、基材の形状やコストなどの条件に応じた 処理方法の選定が求められます。 フッ素薄膜処理をご検討中の方は、ぜひ本資料をご覧ください。 【掲載内容】 ・フッ素薄膜処理とは ・真空蒸着法、スプレー法とは ・真空蒸着法...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カツラヤマテクノロジー T&K事業部

429/1216MHz帯 8接点入出力ボード（連続通信）

PR産業用途向けMU-3無線モデムを搭載した連続通信の8接点 入力・出力ボ…

MU3-IN8、MU3-OUT8は特定小電力無線モジュールMU-3（429MHz帯/1216MHz帯）を搭載した8接点入力・出力ボードです。産業用途向けのMU-3にて連続で接点情報を伝送しますので、テレコントロールなどで要求される連続的な接点制御が可能です。入力はフォトカプラ、出力はフォトMOSリレーを搭載し、高いアイソレーションと高容量負荷の接続が可能です。また入出力は端子台になっており簡単に配...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サーキットデザイン 営業部

５スワイプでわかる！フォトマスクの基本　※基礎知識資料進呈

とりあえず、これ！ たった5スワイプで理解できる！フォトマスク初心者…

初心者のための『５スワイプでわかる！フォトマスクの基本』 本資料は、フォトマスクの基本を知りたい！という方のためのお役立ち資料です。 図やイラストを用いてわかりやすく解説しており、たった5スワイプで理解できてしまいます！ ［こん...

メーカー・取り扱い企業： 竹田東京プロセスサービス株式会社

Crガラスマスクの『静電破壊』にお困りではありませんか？

［技術資料を無料公開中！］導電層が静電破壊を抑制！高い歩留まり率で、安…

当社の『静電破壊対策用Crガラスマスク』は、帯電物が接近してもパターン破壊が起こりにくいフォトマスクです。 大量の露光回数に対しても、破損することなく1枚で対応可能です。 マスクの取り替えにかかっていたコストを削減できるほか、安定した生産スピードを維持できるため、生産効率アップにも...

メーカー・取り扱い企業： 竹田東京プロセスサービス株式会社

フォトエッチング技術／拡散接合

幅広い金属に対応可能！フォトエッチング技術の利点や拡散接合についてご紹…

『フォトエッチング』とは写真の原理を応用して、金属などの材質を 化学的に腐食させることで複雑・微細な形状を作り出す精密加工技術です。 極小・極薄・極細部品や特殊な形状の製品の製造に好適。その他の加...

メーカー・取り扱い企業： ユナイテッド・プレシジョン・テクノロジーズ株式会社 本社

スピンタイプ洗浄装置WULFシリーズ「高精細フォトマスク対応」

機能水を使用したスピン洗浄ユニットを装備！RCA洗浄液に変わる洗浄液・…

弊社グループ会社の洗浄装置はフォトマスク／レチクル製品のハイクリーン化と歩留向上に寄与し、より完成度の高い製品の生産にご協力致します。 【特徴】 　・ハイクリーン化と歩留向上に貢献 　・検出限界レベルまで有機物・金属イオ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

【課題解決資料】フォトマスクのお悩みを解決する表面加工

＜加工サンプル無料貸出対応＞フォトマスク清掃に時間がかかる…CCDカメ…

竹田東京プロセスサービス［ファインプロセス本部］では、フォトマスクへの表面加工を承っております。 ～　現在『フォトマスクへの表面加工に関する課題解決資料』を公開中！　　　～ 　　　　　下部［PDFダウンロード］より、スグにご覧いただけます。 【当資料概...

メーカー・取り扱い企業： 竹田東京プロセスサービス株式会社

フォトエッチング加工サービス【エッチング加工の基礎知識】を進呈！

試作から量産まで可能。バリのない平滑な外縁のノーブリッジエッチングなど…

当社では、カットシート・ロール材などの金属板・金属箔に エッチング加工を施す『フォトエッチング加工サービス』を手がけています。 加工歪みやバリのないフラットな加工が可能なほか、片側のみにパターンを 作製する「ハーフエッチング」や「テーパー加工」にも対応できます。 ま...

メーカー・取り扱い企業： 日本フイルコン株式会社

フォトマスク洗浄装置｜PDP・大判フォトマスク用 TW-1000

スモールサイズからラージサイズまで、スクラブ洗浄・リンス・乾燥を1台で…

テクノビジョンのフォトマスク洗浄装置は、スクラブ洗浄・リンス・乾燥を一台で行いフォトマスクに付着したゴミや汚れを洗浄するマスククリーナーです。 弊社では多様なお客様からのご要望にお応えするため、スモールサイズからラージ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

【加工事例】エッチング加工で世界に一つだけのフォトフレームを作成

エッチング加工で作成した世界で一つしかない思い出に残るフォトフレームが…

くり懇談会」「東成区役所」「尼崎信用金庫/今里支店」の 皆様と、東成区在住の小学生と保護者の方などが「第12回わが町工場見てみ隊」として、 当社へ工場見学に来られました。 各部署見学後、フォトフレームエッチング加工の版下作成に挑戦。 小学生に、25cm角の版下へ思い思いの好きなイラスト・文字などを 書いていただきました。 後日、版下原稿をスキャニングしてフィルム原版を作成...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピーワン

フォトマスク

高度な図形処理技術と最新の装置によるフォトマスク

エクアがご提供するフォトマスクは、主にレーザーを光源とした最新の装置により描画されております。エレクトロニクス、光学部品、スケール、ディスプレイなどの分野において、長年に渡る経験豊富な精密フォトリソグラフィー技術、またエ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エクア

フォトマスク表面保護フィルム

高耐久性、パターンの再現性を備えたフォトマスク表面保護フィルム

PCB等の精密部品にパターニングするレイアウトを持つフォトマスクは、 製造・保管または取扱いの最中にパーティクル等によって汚染されることがあります。 これらのパーティクルによってフォトレジストフィルム上に露光された 最終イメージにダメージが発生し、最終...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ラットコーポレーション 本社：営業部・業務部

フォトマスク　製造サービス

世界最大級のフォトマスクメーカー！

当社では、レーザー描画装置を使用し、スペック（仕様）に応じた フォトマスクの製造を行っています。 エマルジョンマスク・クロムマスクをご用意しており、2100mm×1300mmと、 2メートルを超える世界最大級のフォトマスクの製造ができます。 ご要望の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社進映社

フォトマスク用CD-SEM『Zシリーズ』

ナノパターンの高速・高精度計測が可能なフォトマスク用CD-SEM

『Zシリーズ』は、フォトマスク市場で長年培った独自の高分解能技術、 チャージ対策技術をさらに進化させてsub-10 nm先端デバイス用 マスク向けに開発したフォトマスク用CD-SEMです。 EUVマスク、NIL...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ホロン

半導体用フォトマスクの世界市場レポート2023-2029

半導体用フォトマスクに関するグローバル市場分析、市場規模、販売量、売上…

2023年5月8日に、QYResearchは「グローバル半導体用フォトマスクに関する調査レポート, 2023年-2029年の市場推移と予測、会社別、地域別、製品別、アプリケーション別の情報」の調査資料を発表しました。半導体用フォトマスクの市場生産能力、生産量、販売量...

メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research

【技術情報】フォトマスクとは？

レーザーを光源とした最新の装置により描画されているフォトマスクです。

フォトマスクとは、電子回路、表示デバイス、光学部品、精密機器などのパターンをウェハ、ガラス基板、プリント基板、金属板などに露光する際に使用される原板のことです。 フォトマスクに描かれたパターンは多くの電気製品、半導体、テレビ、スマートフォン、ノイズフィルター、スケール、ネットワーク回線関連製品に使用されております。 エクアがご提供するフォトマスクは、主にレーザーを光源とした最新の装置により描画されて...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エクア

「フォトマスク」とは？

今さら聞けない！フォトマスクとは？から、用途や製造工程をご紹介！長年の…

『フォトマスク』は、「電子デバイス（半導体）」、「ディスプレイ」、 「プリント基板」、「マイクロマシン/MEMS」などを製造するときに 使用されるツールで、パターニングの原版になるものです。 写...

メーカー・取り扱い企業： 日本フイルコン株式会社

UV-LED光源！半導体製造用自動露光装置|マスクアライナー

光源を水銀ランプからLEDへ置き換えた露光装置です。 自動平行調整、…

当製品は、UV-LED光源搭載の自動一括等倍露光装置（マスクアライナー）です。 弊社の特徴として、フォトマスクとウエハを完全非接触でステージとマスクの自動平行調整が行えます。 超精密UVW駆動ステージを搭載し高性能画像処理を行う事で フォトマスクとウエハのアライメントも正確に行います。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

『フォトマスク・有機EL用　基板搬送ケースの製作サービス』

クラス100以下の清浄度を保持するタイプや、大型ガラス基板対応など品揃…

当社ではお客様のニーズや仕様に合わせて基板搬送用のケースを製作する 『フォトマスク・有機EL用　基板搬送ケースの製作サービス』を提供しています。 基板を効率良く収納できる「アルポリケース」をはじめ、 クラス100以下の清浄度を保持する「クリーンケース」、 ガラス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ディー・アール・エス（DRS)

【フォトマスク】0.5μmまでのパターンを作りたい

様々な現場で使われるフォトマスク。お客様のニーズに合わせた好適な製品を…

【フォトマスク仕様】 ＜マスクタイプ：レチクル、ワーキング・マスク＞ ■露光方法：レーザー描画 ■最小線幅：0.5µm～ ■線幅精度：±0.05µm～ ■位置精度：±0.05µm～ ■欠陥検査...

メーカー・取り扱い企業： 日本フイルコン株式会社

直射日光や海水に対し驚異的な耐久性メタルフォト銘板（アルフォト）

製作工程が少なく、短納期対応が可能なアルミ銘板！！ 塗料ではなく、化…

メタルフォト銘板とは、メタルフォトプレート（超耐候性アルミニウム板）を使用し、製作している銘板です。 印画紙の代わりにメタルフォトプレートうぃ感光素材として使用する方法です。 この銘板は、直射日光や海水に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トーホー 本社

レチクルケース(フォトマスクケース)「クリーンな環境での使用可」

露光装置及び、周辺装置用のレチクルケース。主要露光装置メーカーの露光装…

レチクルケース(フォトマスクケース)は、半導体の製造工程で使用されるレチクルを保管するケース。主要露光装置メーカーでの露光装置に使用可能。 【特徴】 ■高帯電防止性能 　高帯電防止性能により、静電気等も安心 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

フォトマスク洗浄装置（セミオート）

シリーズ累計200台以上のロングセラ機種です。

資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 枚葉式洗浄装置、塗布・現象装置、基板洗浄装置、スピン洗浄装置、半導体製造装置、半導体、レジスト剥離装置、メガソニック、洗浄装置、レジスト、フォトレジスト、フォトリソ工程、マスク洗浄装置、ウエハ洗浄装置...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング

フォトリソグラフィー装置　ME-2500

有機EL等の基板製造装置に最適！

基板を受取りスピンコートに手動で搬入され、レジストのスピンコート、EBR装置による洗浄、ベークユニット装置によるプリベーク・ポストベーク及びクリーニングを行い、現像装置により現像を行い、手動で基板の取り出しを行う装置です。...スピンコート装置・EBR装置・ベークユニット装置・現像装置で構成されます。 【装置寸法】 ●スピンコート装置：W2000×D1300×H2150mm ●EBR装置：W...

メーカー・取り扱い企業： マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター

【技術資料】フォトマスク

最高品質クラスのフォトマスクを「早く」「安く」「簡単に」提供するマスク…

当資料では、東洋精密工業のフォトマスクについてご紹介しています。 厳しく管理されたクリーンルーム、ハイスペック描画装置、オートメーション 化された現像装置や洗浄装置、さらに多数の検査、測定装置など、様々な リソースを駆...

メーカー・取り扱い企業： 東洋精密工業株式会社

【フォトマスク事例】超音波ドリルによるフォトマスクへの追加工

ドリル加工機は社内で保有しており、社内一貫加工による短納期対応が可能で…

一部お客様からのご要望により、フォトマスクへの穴開け、ザグリ等の 追加工を行っています。 以前はサンドブラストを使って同様の加工を行っていましたが、超音波 ドリルを使用することで加工形状がよりシャープになり、チッピング等も...

メーカー・取り扱い企業： 東洋精密工業株式会社

技術紹介『フォトカソード技術』

従来の電子源と比較して、低エネルギー分散かつ大電流を得ることが可能

当社の電子ビームは、『フォトカソード技術』に基づいております。 フォトカソード技術とは、材料に光を照射することで 光のエネルギーにより電子ビームを取り出す技術のことで、 多彩な電子ビームの生成が可能です。 【...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社Photo electron Soul

マスクの製作からパターニングまでの一貫製作　「パターニング」

小数枚の加工への対応可。シリコンウエーハ以外の基板投入可能。

MEMS加工を中心に展開をしておりますが、 8インチ、12インチへの部分的なパターニングの対応も可能です。 基板サイズ、パターン仕様に応じて装置を選定します。 １枚からの対応も可能です。 フォトリソ（アライナ、KｒＦ、ＥＢ）やＷｅｔエッチング、ミリング、ＲＩＥに対応しております。 シリコン以外の基板も対応しますので、お気軽にご相談ください。 その他詳細は、カタログをダウンロード、...

メーカー・取り扱い企業： 大村技研株式会社

多光子励起光造形装置『MPF-330』

材料が熱的な損傷を受けない！フェムト秒レーザーを用いた多光子励起光造形…

『MPF-330』は、フェムト秒レーザーを用いた多光子励起光造形装置です。 750～900nmの超短パルスレーザー光を励起光源として用いることにより、 紫外～可視領域に吸収を持つ物質の2光子励起が可能です。 従来の高出力レーザーによる光造形より高空間分解能で、 ナノスケールの光造形ができます。 【特長】 ■フェムト秒レーザーを用いた多光子励起光造形装置 ■紫外～可視領域に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フォトサイエンス

株式会社ラットコーポレーション　事業紹介

フォトマスクやプリント基板の資材・設備の事ならラットコーポレーション

ポレーションは国内外の様々な電子関連事業会社様とのネットワークを駆使し、よりレベルの高い製品の提供を実現し、お客様の多種多様なニーズにお応えすることで、ご満足いただける企業を目指しております。 フォトマスクやプリント基板の資材・設備・製造・設計の事ならラットコーポレーションにお任せください。 【事業内容】 ○フォトマスク関連　資材・設備・ソフトウェア等の販売 ○PCB関連　資材・設備...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ラットコーポレーション 本社：営業部・業務部

自動フォトレジスト塗布装置（スピンコーター）Coater

レジスト膜の面内均一性やウエハ間の平均膜厚の差が少ないコーターです。低…

ロボット搬送による全自動レジスト塗布装置です。 高均一性、省薬液、複数薬液使用可能な仕様です。 低粘度～高粘度レジストまで要求仕様に合わせてカスタムいたします。 ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

有機フォトレジストの世界市場レポート YH Research

『無料サンプル』を入手可能！ 関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…

YH Research株式会社（本社：東京都中央区）は調査レポート「グローバル有機フォトレジストのトップ会社の市場シェアおよびランキング 2023」を12月26日に発行しました。本レポートでは、有機フォトレジスト市場の製品定義、分類、用途、企業、産業チェーン構造に関する情報を提供しま...

メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社

G線フォトレジストの世界市場シェア2023YH Research

『無料サンプル』を入手可能！ 関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…

YH Research株式会社（本社：東京都中央区）は調査レポート「グローバルG線フォトレジストのトップ会社の市場シェアおよびランキング 2023」を10月16日に発行しました。本レポートでは、G線フォトレジスト市場の製品定義、分類、用途、企業、産業チェーン構造に関する情報を提供しま...

メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社

乾燥・焼成制御システム『フォトマスク・リペア装置』

先進のプリント基板用リペア装置もご用意！最小修正線幅5umの乾燥・焼成…

『フォトマスク・リペア装置』は、黒欠陥をレーザー加工による修正及び 白欠陥に修正材料塗布による修正を目的とした乾燥・焼成制御システムです。 前工程の検査装置の座標位置のデータを受信し、欠陥座標位置...

メーカー・取り扱い企業： A-Tech System Co., Ltd.

半自動フォトレジスト現像装置（セミオートデベロッパー）

自動機を購入するほど生産量が多くないが、プロセスの再現性を求めるお客様…

当製品は、枚葉式で現像、ベーク、クーリングユニットを搭載。 自動機を導入するほど生産量が多くないけどもマニュアル機では 工数の問題で導入できない等でお悩みのお客様におススメです！ 御社のニーズに合わせた半自動機を設計・製造いたしますので 新規装置の導入でお困りのお客様はぜひご検討ください！ TMAH等多彩な薬液に実績があります。 【特長】 ■自動搬送機能 ■低価格を実現...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

【設計データ復元サービス】紛失したマスクデータを復元したい

データがなくても、マスクから設計データを復元します！お困りの場合は、是…

『マスクデータ復元サービス』では、通常のフォトマスク製造工程とは 逆の工程で、マスクデータを復元いたします。 デバイスによっては、製品の改版がないまま、長年使用され続けている 製品があります。 たとえば、鉄道向けのパワーデバイ...

メーカー・取り扱い企業： 日本フイルコン株式会社

両面プロセスに最適！両面自動フォトレジスト塗布装置　コーター

ウェハ反転ユニットを使うことでウェハの両面塗布を自動で行えます！

一度ウェハをセットするだけで、ウェハの両面プロセスが自動で行える装置です。 塗布は片面ずつ行いますが、反転ユニットを使い、自動運転が終わる時には両面にレジストが塗られています。 ウェハの処理が律速しないように最適化した塗布・ベーク・反転の搬送手順で処理を行います。 ポジ・ネガどちらのレジストでも、低粘度～高粘度まで対応可能です。 当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

フォトエッチング加工

大量生産のための多数個取り、大型モジュールの生産など幅い広いニーズに応…

NISSHAは、量産性にすぐれたロールtoロール方式のエッチング設備を 保有し、長尺フィルム上に成膜されたITOやCuのパターニング加工を 引き受けております。 フィルム両面でのエッチング加工や、大面積パターニングにも対応可能。 最大で500×1,000mmのパターンを加工できます。 お客さまのさまざまな加工ニーズをご相談ください。 【特長】 ＜Cu/ITO 積層膜のパタ...

メーカー・取り扱い企業： NISSHA株式会社

【技術者必見!!】MEMS関連　フォトエッチング技術資料集

技術開発が進むMEMS関連の研究開発に役立つ情報を集約した技術資料集を…

さまざまな応用分野での活躍を期待されるフォトファブリケーションやマイクロマシーン技術を中心とするMEMS。 その加工技術や、応用技術を多数掲載した『技術資料集』を一挙公開いたします。 MEMSや表示デバイス基板等における要素技術であ...

メーカー・取り扱い企業： 豊和産業株式会社

LED光源マスクレス露光装置　DL-1000シリーズ

世界で初めて最小画素1μm（オプション：0.5um対応可能）の自由度の…

D-light DL-1000シリーズは、レジストの三次元加工を容易に実現できる機能を搭載したフォトマスクが不要なマスクレス露光装置です。 本装置は、グレースケールデータを効率的に作成・変更できるソフトウエアとDMD（Digital Micromirror Device）に転送されたグレースケ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノシステムソリューションズ

【フォトマスク事例】ガラスカット後の端面仕上げ加工

仕上げ加工を施すことによりテーパーが除去され、見栄え、寸法精度も向上！

定格外のフォトマスクをご依頼いただいた場合、一回り以上大きな定格の 材料に描画した後、ご要望のサイズに切り出して作成するのが一般的です。 その際、社内で通常対応しているスクライブカットではダイヤモンド ...

メーカー・取り扱い企業： 東洋精密工業株式会社

マニュアル露光装置

顕微鏡オート移動など､生産性､使い勝手に優れたアライナ

2インチウエハ対応のマニュアル露光装置です｡ オペレータがマニュアルでウエハをセットする露光装置です｡4インチのガラスマスクを使用し､フォトマスクとウエハのアライメントマークを顕微鏡で撮像､モニタに写しだされた画像を見ながらの位置合わせと､露光ギャップ設定を行うことで､露光が可能です｡ なお､露光スイッチを押すと自動で顕微鏡が退避､...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社

コンパクト！手動フォトレジスト現像装置（マニュアルデベロッパー）

少量多品種生産、開発用途向けのコンパクトレジスト現像装置です。枚葉式の…

当製品は、枚葉式のマニュアル現像機です。 薬液BOXと処理カップ部分の本体が一緒になったコンパクト仕様です。 マニュアル機をお客様のニーズに合わせて設計から製造・販売しています。 研究開発目的としてだけでなく少量多品種の製品を扱うお客様にご利用いただいております。 TMAH等多彩な薬液に実績があります。 【特長】 ■低価格を実現 ■コンパクト！ ■パドル、1流体スプ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

＜微細加工の受託サービス＞電子ビーム(EB)描画加工

フォトマスクが不要！100nm以下の超微細パターンの形成が可能です

当社では、微細加工の受託サービスとして「電子ビーム(EB)描画加工」を 行っております。 EB描画はその名の通り、フォトマスクを用いることなく、 デバイスパターンを直接描画するマスクレス露光技術です。 BE描画に精通したエンジニアが丁寧にヒアリングし、 必要に応じて前後のプロセスも含めて提案させていただき...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社FKDファクトリ

よくわかる！ガラスマスク・スクリーンマスク・メタルマスクの基礎

＜半導体関連マスク‐基本資料公開＞部署異動や転職で、はじめて各種マスク…

竹田東京プロセスサービス ファインプロセス本部では、プリント基板や電子部品の電子回路形成用として使用される フォトマスク（ガラスマスク）、スクリーンマスク、メタルマスクを、短納期かつ低価格でご提供しております。 万全の生産体制で高精度かつ高品質なマスクでお客様の多様なニーズにお応えします！ 本資料は、当社な...

メーカー・取り扱い企業： 竹田東京プロセスサービス株式会社

【技術資料】マイクロブラスト加工の基本＆ガラスマスクへの活用事例

ガラス、シリコン、セラミック、各種金属へ高精度な微細加工を実現するマイ…

［当社について］ 竹田東京プロセスサービでは、高い品質と精度のキャリブレーションプレート、 フォトマスク（ガラスマスク）、スクリーンマスク、メタルマスクを、短納期かつ低価格でご提供しております。 半導体関連のマスク製品にお困りの際は、ぜひ当社へお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 竹田東京プロセスサービス株式会社

Ｃｕエッチング対応高密度プラズマエッチング装置

新プラズマ源ＨＣＤ（ホローカソード放電）電極搭載、各種メタルやＣｕ薄膜…

ヘッドはスケールアップが容易で矩形基板や大型基板の高精度エッチングが可能。 ３００ｍｍウェハや積層基板、最大１ｍ□までの基板のメタルエッチングに対応。 近年ニーズが高まっている半導体周辺部材（フォトマスク、高密度実装基板）をカバーする従来のプラズマエッチングにとらわれない新型エッチング装置...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店