イワキエアー駆動ディスペンサー　SBシリーズ

半導体製造プロセスにレジスト塗布工程に最適。

『イワキエアー駆動ディスペンサー　SBシリーズ』は半導体製造プロセスのレジスト塗布工程をはじめ種々の要求に対応可能ポンプです。 ■□■特長■□■ ■高精度 フォトレジストをはじめ、薬液を精度良く計量・分注。 レジスト滴下量の最適化のため、1shot当りの分注精度を高め、サックバック（オプション）を取付けることにより吐出端からレジストのボタ落ちを防止。 ベロ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イワキ

純水薬液用ポンプ『MLシリーズ』

ご使用可能な流体は、一般水・純水・IPA・NMP・過酸化水素水・フォト…

『MLシリーズ』は、1MPa〜500MPaまでの広範囲の圧力を発生させることができる 純水薬液用ポンプです。 ご使用可能な流体は、一般水・純水・IPA・NMP・過酸化水素水・ フォトレジストなど多種にわたります。 また、ポンプ吐出ラインの付属品もございますのであわせてご参考にしてください。 【特長】 ■1MPa〜500MPaまでの広範囲の圧力が発生可能 ■ポンプ吐...

メーカー・取り扱い企業： アルプス販売株式会社