フォトレジスト | イプロスものづくり

コーティング困難な凹凸デバイスへ、フォトレジストの薄膜塗布を可能とした…

凹凸立体形状のMEMSデバイスへ、フォトレジスト薄膜のコーティング試作をしています。数枚から大ロットまでフォトレジスト薄膜形成の試作をご提案しております。凹凸・立体（３D）形状に対してのレジスト塗布方法に問題を抱え、お困りでしたら、是非...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エーシングテクノロジーズ湘南藤沢研究所　

フォトレジスト剥離液の世界市場レポート YH Research

『無料サンプル』を入手可能！関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…

YH Research株式会社（本社：東京都中央区）は調査レポート「グローバルフォトレジスト剥離液のトップ会社の市場シェアおよびランキング 2024」を1月10日に発行しました。本レポートでは、フォトレジスト剥離液市場の製品定義、分類、用途、企業、産業チェーン構造に関する情報を提供し...

メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社

書籍『レジスト材料の基礎とプロセス最適化』

半導体、ディスプレイ、プリント基板等で欠かせないフォトレジスト材料に…

本書では、フォトレジスト技術に関する幅広い分野をカバーし、実用書としても有意義な内容を構成しています。具体的には、フォトレジスト材料、プロセス、評価・解析、処理装置までを幅広く網羅し、パターン欠陥などの歩留まり改...

メーカー・取り扱い企業：株式会社シーエムシー・リサーチ

フォトレジスト量削減！回転カップ式塗布装置（スピンコーター）

ポリイミドや高価な高粘度レジストの削減に有効！回転カップ式スピンコータ…

回転カップ式スピンコーターは高粘度材料（ポリイミドや高粘度レジスト）の使用量を大幅に削減できます！弊社取得特許により、最小塗布量の薬液を低回転で均一に塗り広げることで、使用量を削減することに成功しました。削減の幅は薬液によりますが、使用量3割～7割の削減実績があります。生産量に合わせて、マニュアル機～フルオート機までのラインアップを揃えています。設計から製造・販売ま...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

有機フォトレジストの世界市場レポート YH Research

『無料サンプル』を入手可能！関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…

YH Research株式会社（本社：東京都中央区）は調査レポート「グローバル有機フォトレジストのトップ会社の市場シェアおよびランキング 2023」を12月26日に発行しました。本レポートでは、有機フォトレジスト市場の製品定義、分類、用途、企業、産業チェーン構造に関する情報を提供します。...

メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社

G線フォトレジストの世界市場シェア2023YH Research

『無料サンプル』を入手可能！関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…

YH Research株式会社（本社：東京都中央区）は調査レポート「グローバルG線フォトレジストのトップ会社の市場シェアおよびランキング 2023」を10月16日に発行しました。本レポートでは、G線フォトレジスト市場の製品定義、分類、用途、企業、産業チェーン構造に関する情報を提供します。...

メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社

バッチ式プラズマアッシング処理装置（バッチ式プラズマアッシャー）

ウエハ50枚一括のバッチ式プラズマアッシング装置

です。ウエハサイズは、5インチ以下、6インチ、8インチに対応しています。また、オプションにて4インチと6インチ、5インチと6インチウエハ兼用も可能です。シリコンウエハ上に形成されたフォトレジスト薄膜を高周波プラズマ励起により、低ダメージアッシング（灰化除去）や表面改質等、多様なプロセス用途に利用可能です。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社リバティー

両面マスクアライナー

両面アライメントと、プロキシミティおよびソフトコンタクト露光が可能

ウェハ、ガラス基板などのフォトリソ工程において、ガラスマスクとワークをアライメントし、板上にコーティングされたフォトレジストに、微細なマスクパターンを転写するマスクアライナーです。...

メーカー・取り扱い企業：ウシオライティング株式会社

自動フォトレジスト塗布装置（スピンコーター）Coater

レジスト膜の面内均一性やウエハ間の平均膜厚の差が少ないコーターです。低…

ロボット搬送による全自動レジスト塗布装置です。高均一性、省薬液、複数薬液使用可能な仕様です。低粘度～高粘度レジストまで要求仕様に合わせてカスタムいたします。ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

プラズマ処理装置（多目的プラズマエッチャー）

本装置は、平行平板型高周波プラズマにより、ポリイミド系樹脂・窒化膜等のエッチングやフォトレジストのアッシング（灰化除去）、表面改質等に有効な多目的枚葉式プラズマユニットです。ウエハサイズ50〜200mm（2〜8インチ）、BGA・CSP等に対応しており、プラズマモードは、オペレーション...

メーカー・取り扱い企業：株式会社リバティー

半自動フォトレジスト現像装置（セミオートデベロッパー）

自動機を購入するほど生産量が多くないが、プロセスの再現性を求めるお客様…

当製品は、枚葉式で現像、ベーク、クーリングユニットを搭載。自動機を導入するほど生産量が多くないけどもマニュアル機では工数の問題で導入できない等でお悩みのお客様におススメです！御社のニーズに合わせた半自動機を設計・製造いたしますので新規装置の導入でお困りのお客様はぜひご検討ください！ TMAH等多彩な薬液に実績があります。【特長】 ■自動搬送機能 ■低価格を実現...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

枚葉式プラズマエッチング処理装置（枚葉式プラズマエッチャー）

本装置は、平行平板型高周波プラズマにより、ポリイミド系樹脂・窒化膜等のエッチングやフォトレジストのアッシング（灰化除去）等の処理を行う枚葉式プラズマエッチング処理装置です。オペレーションパネルにより、DPモードとRIEモードを切り替える事が出来ます。ウエハサイズ6インチ、8インチ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社リバティー

凹凸面対応のフォトレジストスプレーコーター装置『IS型シリーズ』

半導体・MEMS・センサーデバイスに最適！　　　　　　　　　　　　 …

【コーティングの特長】 ■スピンコートで塗布可能な微細凹凸形状に、良好なコーティングが可能 ■ステップカバレッジの良好な薄膜コーティングが可能 ■100nm～100μmの膜厚形成が可能（フォトレジスト・FC触媒膜） ■効率75%と飛躍的に高い液使用効率（対比：スピンコートでは数%） ■数cc程度の少量の希少材料でもコーティングが可能 ■特殊間欠と筆安定塗布が可能（分散液・FC触媒液他...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エーシングテクノロジーズ湘南藤沢研究所　

フォトマスク洗浄装置（セミオート）

シリーズ累計200台以上のロングセラ機種です。

をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。枚葉式洗浄装置、塗布・現象装置、基板洗浄装置、スピン洗浄装置、半導体製造装置、半導体、レジスト剥離装置、メガソニック、洗浄装置、レジスト、フォトレジスト、フォトリソ工程、マスク洗浄装置、ウエハ洗浄装置...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ソフエンジニアリング

半導体・高純度化学品・純水用低価格継手（ジョイント・コネクタ）

簡単確実に接続

た継手です。100%金属フリーでありながら、継ぎ手の両側に自動閉塞弁を有しています。またロータリー機構を有し、確実な接続をクリック音で知らせます。高純度化学品・高腐食性化学品・純水・一部のフォトレジストのハンドリングに適しております。Oリングにオイルは使用しておりません。内部バネはPEEK製、OリングはChemraz(パーフロ）を使用。従来のフッ素系樹脂・PVDF製品に比べ割安です。（当...

メーカー・取り扱い企業： CPC（コールダー・プロダクツ・カンパニー）スウェップジャパン株式会社CPC製品事業藤沢事務所

大型基板用全自動フォトリソ処理装置

フォトリソプロセス一貫処理が可能

の実績がございます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。枚葉式洗浄装置、基板洗浄装置、スピン洗浄装置、半導体製造装置、半導体、洗浄装置、レジスト、フォトレジスト、フォトリソ工程、有機EL、表面処理、ウエハ剥離装置、ウエハ洗浄装置、ウエハ洗浄機...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ソフエンジニアリング

小型LED直接描画装置『マイクロライターML Family』

卓上小型！高速にパターン試作を可能にするマスクレスなLED直接描画装置

高速にパターン試作を可能にするマスクレスなLED直接描画装置です。マスクレスで少量のパターンの試作を手早く可能にし、パターン作製時に毎回必要なマスク作製の手間を省きます。 フォトレジストに直接LEDで描画することが可能です。【特長】 ■卓上小型（底部面積70cm×60cm） ■高速でパターン試作を可能 ■毎回必要なマスク作製の手間を省く ■フォトレジストに直接...

メーカー・取り扱い企業：日本カンタム・デザイン株式会社

フォトマスク表面保護フィルム

高耐久性、パターンの再現性を備えたフォトマスク表面保護フィルム

PCB等の精密部品にパターニングするレイアウトを持つフォトマスクは、製造・保管または取扱いの最中にパーティクル等によって汚染されることがあります。これらのパーティクルによってフォトレジストフィルム上に露光された最終イメージにダメージが発生し、最終的にボードの廃棄や不具合につながります。『フォトマスク表面保護フィルム』でラミネートすることで、フォトマスクの使用期限／寿命を延...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ラットコーポレーション本社：営業部・業務部

ネオ現像液『D-701』

レジストの溶解量が多い(液寿命の増加)！ネオ現像液

『D-701』は、液状フォトレジスト及び、ドライフィルム等のアルカリ可溶型フォトレジストに対して適切な現像液です。高解像度のため、パターン不良減少。(レジスト低膨性) スカムなどの残渣除去が非常に強いです。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヤマトヤ商会新潟営業所

ドライエッチング装置・リアクティブイオンエッチング装置・コンパクトエッチャー・アッシング装置・クリーナー(クリーニング装置)

ドライエッチング装置・リアクティブイオンエッチング装置・コンパクトエッ…

FA-1は、ICチップ上の各種不良解析のためのパッシベ-ション膜の剥離や各種シリコン薄膜のエッチング、フォトレジストのアッシングなどを効率よく、かつ低損傷で行うドライエッチング装置です。操作方法は簡単で、試料をセットしてボタンを押すだけで使用できます。また、省スペースで場所を選ばず、床置型、卓上型のどちらに...

メーカー・取り扱い企業：サムコ株式会社

スプレーコーター　ACingTec　IS-8型

立体構造デバイス用インライン式スプレーコーター

、カーエレクトロニクスセンサーなどの電子デバイスのために、インライン式スプレーコータを開発しました。試作から量産で培ったコーティング技術やノウハウを盛込んだ装置は、お客様のニーズに沿った最適なフォトレジストや保護膜、その他の機能膜処理を可能にします。 ※下記、弊社HomePage内のお問合せページから、ご連絡・お尋ね・ご相談いただけます。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エーシングテクノロジーズ湘南藤沢研究所　

【資料】アクアプラズマ～画期的な銀電極、銅電極の表面処理技術～

Aqua Plasmaの効果として、ESCAによる表面の深さ分析結果な…

エッチングを用いながら組成分析した結果などを掲載。ぜひ、ご一読ください。【掲載内容】 ■はじめに ■Aqua Plasmaの効果 ■ESCAによる表面―深さ分析結果 ■フォトレジストの除去レート ■新製品 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：サムコ株式会社

2流体スプレー方式自動フォトレジスト現像装置（デベロッパー）

高い圧力から霧状の柔らかい圧力まで自由自在！2流体スプレーレジスト現像…

N2と現像液を混合して吐出する2流体スプレー方式の現像装置です。 N2の圧力を変更することで、スプレーの吐出圧力を変更することができます。液の圧力を高め、高圧で吐出す方法や、液量を少なくして霧状にして柔らかく吐出する方法など幅広くスプレーの吐出パターンを選べます。スプレーノズルは扇形、円形などの形状と分布や広がり角度や範囲も自由に選択できます。マニュアル機～フルオート...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

1流体スプレー方式自動フォトレジスト現像装置（デベロッパー）

厚膜現像や処理時間短縮に効果を発揮する1流体現像装置です。スプレー形状…

1流体スプレー方式の現像装置です。現像液の圧力でスプレーをするため、スプレーによるミストが飛び散りにくく、また現像スピードを速くすることができます。大型基板や厚膜の現像に最適です。スプレーノズルは扇形、円形などの形状と分布や広がり角度や範囲も自由に選択できます。当製品は、枚葉式で現像、ベーク、クーリング機能を搭載。マニュアル機～フルオート機まで生産量に合...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

リフトオフ（イメージリバーサル）対応フォトレジスト現像装置

多彩な薬液に実績あり！低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っている…

当製品は、枚葉式で現像、前面露光（反転露光）、ベーク、クーリング機能を搭載。マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。 TMAH等多彩な薬液に実績があります。【特長】 ■低価格を実現 ■自動サイズ認識 ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減 ■生産量に合わせたラインアッ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

剥離装置

材料幅はTAB/CSP/COF用で35mm～160mm、FPC用で25…

当製品は、エッチング後にフォトレジスト及び、裏止め剤を剥離する装置です。搬送速度は2.0m/min、材料幅はTAB/CSP/COF用で35mm～160mm、 FPC用で250～300mm。装置は、巻出～剥離～...

メーカー・取り扱い企業：株式会社SETO ENGINEERING 守谷事業所