複合加工（微細貫通穴、掘り込み等）

フォトレジストを使用した掘り込み加工とレーザー改質を利用した微細加工を…

当社で行う「複合加工（微細貫通穴、掘り込み等）」についてご紹介します。 フォトレジストを配線保護の目的で使用することが可能。すでに配線の 完了した基板にフォトレジストで保護層をパターニングし、掘り込みや 貫通穴加工を行えます。 また、レーザー改質＋エッチングで加工した...

メーカー・取り扱い企業： 武蔵野ファインガラス株式会社

フォトリソグラフィー加工（掘り込み）

完全な有機レジスト！すでに加工されたり、メッキがかかっているガラスに彫…

「ガラスフォトリソ加工」はガラス材料に任意のパターンを彫り込む技術です。 ガラス材料にフォトレジストで任意のパターンを形成し、彫り込むことで 凹凸、貫通孔を加工することが可能。 有機レジスト膜を用いたフォトリソは価格や耐久性の面で強みがあるほか、 レジストを剥がす際に基板にダメージ...

メーカー・取り扱い企業： 武蔵野ファインガラス株式会社

スリミング加工（薄型化）

湾曲ディスプレイや有機EL照明などに！加工精度はターゲット厚さに対して…

グ技術を活かし、最大550mm×650mm、 最小100mm×100mmの加工が可能。加工精度はターゲット厚さに対して ±10％以内を実現します。 また、スリミングした薄型ガラスに、フォトレジストやレーザー改質を利用し パターン加工・貫通加工・切断加工をするなど、他の当社ガラス加工技術と 組み合わせて、加工することもできます。 【特長】 ■ケミカル液でガラスを溶解し、薄く・...

メーカー・取り扱い企業： 武蔵野ファインガラス株式会社

同軸バレル型アッシング装置

同軸バレル型プラズマ装置

半導体ウエハや小型基板のフォトレジストのアッシング用途の他、等方性プラズマによる全方向からの処理を利用されたい場合に有効です。 量産用自動機は50枚一括処理のYSP650Wをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社