遊星減速機におけるセラミック効果　ブラシレスモータに好適

PRセラミックキャリアピン搭載で遊星減速機の耐久性大幅UP

遊星減速機の寿命は使い方にもよりますが、一般的には出力軸の軸受け、 キヤリア軸、歯車の摩耗により動力の伝達が上手くいかない状況になることです。 当社の過去実績からすると、消耗部品の中でも一番先に摩耗するのが キヤリア軸(ピン)になります。 ブラシレスモータの普及によりモータの長寿命化が行われていますが、 減速機のほうが追いついておりませんでした。 モータの長寿命化に応える為...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社信電舎 東京本社

『耐圧防爆型 自動制御機器』株式会社東邦製作所カタログ

PR製薬工場や、各種プラントの防爆エリアで使用可能なダンパーアクチュエータ…

「耐圧防爆型 自動制御機器 カタログ」では、容器内部で爆発性ガス爆発が起こった場合に、容器が圧力に耐え外部のガスに引火しないようにした耐圧防爆形製品を多数掲載しています。 空調用、プラント用ダンパのアクチュエータ「コントロールモータ」をはじめ、モータバルブやソレノイドバルブなどを取り揃えています。 【掲載内容】 ■コントロールモータシリーズ ■ソレノイドバルブシリーズ ■モータバ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東邦製作所

ダイレクトドライブモータ［Zシリーズ］（DDモータ）

様々なバリエーションを揃え、半導体製造機器や液晶パネル製造機器、一般F…

ダイレクトドライブモータ Zシリーズは、様々なレイアウトに対応する薄型の15Nmタイプから大型設備を支える2,000Nmタイプまで、幅広いバリエーションを揃えあらゆるニーズに対応します。 【特長】 ○大きい中空径...

メーカー・取り扱い企業： シンフォニアテクノロジー株式会社 (旧)神鋼電機

真空非磁性 超音波モータ ＜US36＞

真空非磁性 超音波モータ ＜US36＞

真空非磁性対応の回転式超音波モータ（ＵＳＭ）です。 【特長】 　◇真空環境、磁場の影響が気になる環境下の駆動源として使用 　◇自己保持タイプで停電時の安全対策に適したモータ 　◇エンコーダを装着することで高精度な位置決...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所

磁気浮上型インテグレーテッドポンプ BPS-i100

Compact & Resonable for Highend Pro…

モータ・コントローラ一体型BPS-i100ポンプシステムは消耗品となる軸受やシールを使わない革新的な遠心ポンプです。 磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたポンプケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動されます。 インペラとポンプケーシングは、共に耐薬液性の高純度フッ素樹脂で造られています。これらはロ－タ磁石とともにポンプヘッドを構成しています。 コントローラ及...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

マルトー 試料乾燥機　両手が使えるフットスイッチ、温度調節機能付

室温～60度まで送風温度が調整可能な試料乾燥機。電源ON/OFFはフッ…

の調整 　 上下方向左右方向自在式で、試料の大きさに合わせてセットできる ■安全性 　 『送風』にセットしなければヒーターの加温・加熱はできない仕様 ■仕様 電　源　　：100V AC 15A モータ　　：単相100V　0.25kW　 ヒーター　：100V　1kW（通常は目盛の6～7を使用） ノズル口径：13mm（下方向角度移動） 機体寸法　：W280×L450×H430mm 機体重量　：35...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マルトー 本社

真空非磁性 ＵＳＭ駆動ユニット＜特注＞

真空非磁性 ＵＳＭ駆動ユニット＜特注＞

駆動源に回転式超音波モータ（ＵＳＭ）を採用した真空非磁性対応 ＵＳＭ駆動ユニットです。 【特長】 　◇回転式超音波モータを採用し、真空や非磁性環境に対応 　◇動作毎のユニットで組合せ自由な軸構成 　◇環境や精...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所

外部共振型　半導体レーザー装置

外部共振型　半導体レーザー装置

ー 外部共振器型波長可変半導体レーザー 【特徴】 ○LD端面にARコーティング ○小型 ○操作が容易 ○スタンダードなリトロー型、リットマン型、高出力タイプや 　 ファイバー付、モータ駆動によるリットマンタイプなど 　 様々なアプリケーションに対応します。 ○Littman/metcalf ・波長：635-1700nm， ・出力：10-150mW ・ライン幅：500k...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ルミネックス

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UTVW-R2800H』

【～300mmウエハ用】旋回軸にダイレクトドライブモータを採用！ 高…

■Z軸が標準搭載されているダブルアームタイプの真空用ウエハ搬送ロボット ■θ軸にダイレクトドライブモータを採用し、ウエハを低振動で搬送することで スループット向上に貢献 ■CVD装置、アニール装置など、高温プロセス装置に対応 ■可搬重量2kgのため、重量物搬送にも対応 ■ウエハセ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

高精度リニヤステージ　エアースライドステージ

300mmサイズのワークのプロセスに最適！

リニアモータ駆動とエアーガイドの採用により 高い速度安定性と超高精度位置決めを可能にした、エアースライドステージ 【特徴】 ○ワーク搭載テーブルがエアベアリングを介して 　石定盤で支えられており...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウイング

卓上式マニュアルスピンナー

シンプルデザインの卓上式マニュアルスピンナー

==================== ＜仕　様＞ 試料サイズ…Φ2インチ 〜 Φ6インチ カップ径…Φ300mm 回転範囲…100〜5000rpm 回転精度…±1rpm スピンドルモータ…ACサーボモーター 回転表示…デジタル 回転数設定…液晶タッチパネル レシピ設定…10プログラム×50パターン オプション…試料台、真空ポンプ ユーティリティー…電源、真空...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トービ

半導体/液晶製造装置の各種ユニットのメンテナンスサービス

半導体製造装置メーカー150社以上の修理が可能！納期・品質保証に関して…

頂きます。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください 【修理項目】 ＜電気系修理項目(抜粋)＞ ■コンピューターボード ■コントローラーPCBサポート ■パワーサプライ ■モータPCBボード ■計測器の校正 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： アル株式会社 本社

かくはん機【まぜまぜマン】標準機の仕様変更・追加例

アンカー止め対応や漏洩防止パンなどを追加可能！かくはん機の標準型に安全…

止め対応 4）漏洩防止パン追加 5）正面覗き窓追加 ■電動（安全カバー付）機種対象■ 1）非常停止ボタン追加 　　⇒赤色キノコ型プッシュロックターンリセット式 2）電磁ブレーキ付きモータに変更 　　⇒安全カバー開で即停止 3）大型運転中ランプ追加 4）安全カバー運転中ロック 　　⇒運転中に安全カバーを開けることができない 　　　※安全カバー開で運転はできません ■...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ミスギ 本社

超高速回転スピンコーター『ACT-200SM-S』

スピード重視ならMAX6万rpmの超高速回転！スピンコート機ACT-2…

Φ200（アルミ製、オプション：テフロンコーティング可能） ■本体外形寸法：355w×250d×326h（安全カバー閉時、アジャスタ付水平調整可能） ■電源：1Φ　100V-10A（スピンドルモータ最大出力350W）50/60Hz ■回転制御速度/回転精度：1,000～60,000rpm/±1％以下（Φ20mm標準負荷時）、出荷時リミッタ設定可能 ◎試料台が必須オプションです。スピン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アクティブ

【動画で紹介】半導体ウェハ用ワイヤーソースラリー調合設備

人的ミス防止で生産効率UP!ワイヤソー用スラリーを自動搬送・計量・調合…

リーの製造を目的とした設備です。 ２台の撹拌設備、１台の貯蔵設備、３台のコンベア、オイル搬送用のポンプで構成され、粉体搬送による発塵を防止するための集塵機も搭載しています。粉体搬送は自動で行い、モータ、ポンプ、ロードセルなどは非防爆仕様で、省力化に配慮をしています。 登録されたレシピに従い搬送、計量、調合を自動で行います。作業工程に人手が介在しないため、安価で生産効率アップが可能です。また、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ワイ・エム・エス 本社営業部

SWCR3160CS (防水対応）

3軸円筒座標型クリーンロボット

部防水構造にVシール使用 部品の接合部はバイトンパッキンによりシール Z軸部防水構造にジャバラ使用 動作モニター装備 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O 全軸2相ステッピングモータ使用 S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

超音波のスイープ発振システム（１ＭＨｚ）

市販のファンクションジェネレータと超音波発振プローブを利用した、超音波…

改善 ６）ろう付け装置、曲げ加工装置への超音波照射で、表面残留応力の緩和 ７）超音波洗浄機への超音波照射で洗浄レベルの改善 ・・・・ ・・・ １９）その他 　　　１：各種振動（例　モータ・・）との組み合わせ利用 　　　２：休日（２-３時間）の超音波照射による、保守メンテナンス 　　　３：超音波照射による、エージング処理 　　　・・・・・ 　　　・・・・・ 　　　ファイン...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

TSVCR3060N（2インチウェーハ搬送）

真空トランスファーチャンバーの小型化に寄与します。

ット仕様 ロボット型式 TSVCR3060N-020-PM 被搬送物 2インチシリコンウェーハ ウェーハ保持方式 落とし込みによるラフガイド方式 機械構造形式 円筒座標型 制御軸 3軸 モータタイプ エンコーダ付き2相パルスモータ 動作範囲 アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) ±119mm 360度 20mm 搬送速度 アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

半導体製造装置・検査装置に好適なアライメントステージ

0.1μmの追従性を実現する『RSTアライナー』と薄型・小型の省スペー…

ら、高精度・高剛性を実現 ■XYθ軸の各軸が独立して動作する一体型構造 ■用途に合わせた4型式をラインアップ ・YRA-070：シリーズ最小のアライメントステージ ・YRA-071：多様なモータ変更要求に対応可能 ・YRA-131：中小型液晶やウエハの貼り合わせに好適 ・YRA-200：シリーズ最大の高耐荷重仕様...

メーカー・取り扱い企業： 神津精機株式会社

【用途例】可動ステージ　金属セラミックス複合材料　

軽量高剛性の金属セラミックス複合材料により装置性能が向上します

性。抜群の比剛性が装置性能を変える ○振動減衰性が良い：すばやく動いてピタッととまる ○低熱膨張：ステンレスガイドに近い熱膨張で熱歪低減 ○高熱伝導・高熱輻射：熱が伝わり、熱はけが良くリニアモータ発熱抑制　 ○現在の鋳物形状を変えずに置き換えが可能 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 日本ファインセラミックス株式会社

高温用磁気浮上型ベアリングレスポンプ BPS-4H

Better Pumps for Better Yields !

BPS-4Hポンプシステムは消耗品となる軸受やシールを使わない革新的な遠心ポンプです。 磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたポンプケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動されます。 インペラとポンプケーシングは、共に耐薬液性の高純度フッ素樹脂で造られています。これらはロ－タ磁石とともにポンプヘッドを構成しています。 電子的にロータ回転数...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

住宅設備『昇降グリル』

ケーブル長さ調整機構付き！天井に設置してあるエアコンのグリル／フィルタ…

一般的に、グリル／フィルターは脚立等を使用し、手動清掃しており 不便となっていました。 当製品は、電動モータとプーリーにてインナーを出し入れする事で、 昇降が可能。 また、清掃作業を簡素化する事で、エアコン本来の機能を損ねる事が 無く節電にもつながりました。 【特長】 ■コンパクト ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイレックスコーポレーション 本社

ウエハ移載機

ウエハ搬送に最適！ウエハ移載機

●ウエハとチャックとの接触面を最小限にすることにより、ウエハへのストレスや汚染を防止。 ●モータ駆動によりパーティクルの発生を予防。 ●独自のウエハチャック構造がウエハ搬送中の揺れを抑え、石英ボードへの移載搬送も確実で、化合物ウエハのような重量物でも正確かつ安全に移載します。 ●オプショ...

メーカー・取り扱い企業： 大宮工業株式会社 営業本部営業課

【半導体製造装置関連】インプリント装置

モールドをワークに転写する装置。 つくば産総研・ミニマルファブ技術…

より機械的に固定可能とすること レプリカモールド 材質 PDMS熱可塑性樹脂 サイズ φ１２．５mm 固定方法 押さえ部品により，機械的に固定可能とすること 転写機構部 駆動源 パルスモータ 荷重センサ 圧電素子 (分解能1 N) 荷重 最大 １kN まで設定可能とすること 荷重設定 パラメータ入力 （最大１KN） 加圧分解能 0.1 μm...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ライズワン

アナログテスタ　CTA8280

CTA8280はアナログ製品に特化したICテスタになります。電圧、電流…

CTA8280FはCCTECH社の２世代目のアナログテスターになります。使用用途は電源関連IC、オペアンプ・パワーアンプ、モータドライバーなどのあらゆるアナログ分野の半導体に最適です。 ...

メーカー・取り扱い企業： CCTECH Japan CCTECH Japan（株）- 　日本法人

シャーレ搬送ロボット

医療、バイオ関連施設などの無菌室、クリーン環境下での搬送が可能

被搬送物 シャーレφ90x21mm（ガラス）（※その他サイズ、マイクロプレートも対応可） 搬送物保持 エアシリンダ駆動によるメカニカルグリップ方式 機械構造形式 水平多関節型 制御軸 4軸 モータタイプ 全軸ACサーボモータ 動作範囲 ワーク中心到達距離 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 555mm 335度 300mm 搬送速度 アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストロ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

マイクロ　エアモーター

超小型エアー駆動モーター

空気、窒素、その他不活性ガスにて最大1.1Mpaまでの圧力で使用可能。 ■アルミとステンレス構造による精密エアモータが、確実な動力源と高い製品寿命を生む。 ■先進的なローターブレードと高度に磨き上げられたシリンダーにより連続使用が可能。 ■最善なバランス位置に配置されたローターが、高精度ベアリングの摩擦と磨...

メーカー・取り扱い企業： 明友エアマチック株式会社

改造事例集進呈！テクサスのダイボンダ装置と技術

ダイボンダ装置ラインナップと改造事例を進呈中！　独自の技術を駆使し、ダ…

ト改造 ・ポストボンド認識 ・ストリップマップ　など ■改造事例|機能追加または変更、改善 ・ディスペンス仕様追加改造 ・裏面認識追加　など ■改造事例|製造中止品対応/予防保全 ・モータ改造 ・オーバーホール冶具　など 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクサス

ナノインプリント装置

繰り返し精度＝20nm!!!

<構成> 1.XY軸エアースライド 2.リニアモータ 3.リニアゲージ 4.Z軸エアースライダ 5.平行出し機構 6.マイクロディスペンサ 7.オートフォーカスポート 8.基板ホルダ 9.金型ホルダ 10.UV照射ユニット 11....

メーカー・取り扱い企業： 株式会社清和光学製作所

バッチ式ウェーハ移し換え機『D-Trans』

発塵防止しウェーハを確実に保護！一括移載も可能！

『D-Trans』は、ウェーハ持上げ時の過負荷監視、 トランスファー時の異常監視などによりウェーハを確実に保護する、 バッチ式ウェーハ移し換え機です。 ハンドリング時にモータを加減速制御し、ショックを最小として 発塵を防止します。 【特長】 ■全ウェーハを一度に持ち上げ、キャリアからキャリアへ一括移載 ■ウェーハ保持部はV溝形状としウェーハの端面だけをハン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイナミックス

反転ユニット

両面処理等が必要な装置に適しています。

小型、軽量化:従来製品に対して容積50%downを実現 高速反転:従来品に対して速度20%upを実現(300mmウェーハ比) (小型ウェーハの場合速度50%upを実現) 低振動:新開発のモータドライバと制御方式により、低振動化を実現 真空吸着、エッジクリップ、ベルヌーイ等各種ウェーハ保持方式に対応...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

GCR4210SN(クローズドループ制御)

・クローズドループ制御 ・アブソリュートエンコーダ搭載 ・バッテリ…

ロボット型式 GCR4210SN-300-CM 被搬送物 ～300mm ウェーハ ウェーハ保持方式 チャックによる真空吸着で保持 機械構造形式 水平多関節型 制御軸 4軸 モータタイプ ステッピングモータ（クローズドループ） 動作範囲 ワーク中心到達距離 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 760mm 335度 300mm 搬送速度 アーム(R軸) 旋回角度(...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SAL3481HV(マルチワークアライナ)

ウエーハ材質に影響を受けない新型アライナ

200mm新型アライナ。 シリコンウェーハ、シリコンウェーハBGテープ（乳白色）付、透明、半透明ウェーハなどウェーハ材質に影響を受けずにアライメント可能 独自開発のイメージセンサを使用し、モータドライバ、コントローラを本体に内蔵 ウェーハサイズ、材質にあわせてスピンドルの径、形状、材質の変更も対応可能 ベルヌーイスピンドルも搭載可能 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SAL30J1HV

ノッチレスウェーハにも対応した450mm新型アライナ

450mmシリコンウェーハの外周とT7コード又はノッチを基準に高速、高精度に位置決め 独自開発のイメージセンサを使用し、モータドライバ、コントローラを本体に内蔵 スピンドル形、形状、材質の変更にも対応可能 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O 450mmと300mmの兼用タイプも製作可能 ウェーハ持ち直...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SAL2041（エッジグリップ仕様）

ウェーハ用アライナ

度以内 センサ 赤色LED透過式センサ ウェーハ保持方式 ウェーハグリップアームによるエッジグリップ方式 クリーン度 0.1µm/cf クラス1（駆動部排気時） 駆動方式 小型ステッピングモータを各軸に使用(モータドライバは内蔵しております) ユーティリティ 電源：DC24V±10％ 2A...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

マニュアルスピンコーター

シンプルデザインのマニュアルスピンコーター

---------------------- ＜仕　様＞ 試料サイズ…Φ2インチ〜Φ6インチ カップ径…Φ300mm 回転範囲…100-5000rpm 回転精度…±1rpm スピンドルモータ…AC サーボモーター 回転表示…デジタル 回転数設定…液晶タッチパネル 薬液ノズル…2系統（エアーシリンダー駆動式） レシピ設定…10プログラム ×50 パターン オプション…試料台、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トービ

SCR3160CSN (クローズドループ制御)

●クローズドループ制御●アブソリュートエンコーダ搭載●バッテリレスを実…

, 100～300mmウェーハ （その他特殊なワーク、形状、材質へも柔軟にカスタマイズ対応致します） ○ウェーハ保持方式 チャックによる真空吸着 ○機械構造形式 円筒座標型 制御軸 3軸 ○モータタイプ 全軸2相パルスモータ ○動作範囲 ワーク中心到達距離 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 552.7mm 340度 300mm ○搬送速度(平均) アーム(R軸) 旋回角度(θ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

STCR4160SN(クローズドループ制御)

●クローズドループ制御●アブソリュートエンコーダ搭載●バッテリレスを実…

, 100～300mmウェーハ （その他特殊なワーク、形状、材質へも柔軟にカスタマイズ対応致します） ○ウェーハ保持方式 チャックによる真空吸着 ○機械構造形式 円筒座標型 制御軸 4軸 ○モータタイプ 全軸2相パルスモータ ○動作範囲 ワーク中心到達距離 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 575mm 340度 300mm ○搬送速度(平均) アーム(R軸) 旋回角度(θ軸)...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

STWHR4156 (防水対応）

防水対応4軸円筒座標型ロボットのSTWHR4156シリーズです。

キンによりシール Z軸部防水構造にジャバラ対応も可能 ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮 動作モニター装備 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O 全軸2相ステッピングモータ使用 S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

TSCR3060N（2インチウェーハ搬送）

搬送部の小型化に寄与します。

ロボット仕様 ロボット型式 TSCR3060N-135-PM 被搬送物 2インチシリコンウェーハ ウェーハ保持方式 真空吸着保持方式 機械構造形式 円筒座標型 制御軸 3軸 モータタイプ エンコーダ付き2相パルスモータ 動作範囲 アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) ±119mm 360度 135mm 搬送速度 アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

密閉式クーリングタワー、SCT-15、(45000Kcal/h)

空気汚染と水質悪いの情況、水垢の発生は免れることができません。あなたは…

しかし晋恵の密閉式の冷却塔は異なるのが普通の密閉式の冷却塔、以下の特徴を持ちます： 1. 低い騒音のファンモータ 2. 電子防垢器、速度を緩める水垢は形成 3. 解体できる式設計、修理・整備しやすい 4. 再使用可能なABS材質の充填材 5. ステンレス製の機体が年限を使うのが長い...

メーカー・取り扱い企業： 晋恵冷却機械株式有限会社 (JINHUI COOLING MACHINE CO., LTD) 株式会社 台湾本社

密閉式クーリングタワー、SCT-45、(135000Kcal)

空気汚染と水質悪いの情況、水垢の発生は免れることができません。あなたは…

しかし晋恵の密閉式の冷却塔は異なるのが普通の密閉式の冷却塔、以下の特徴を持ちます： 1. 低い騒音のファンモータ 2. 電子防垢器、速度を緩める水垢は形成 3. 解体できる式設計、修理・整備しやすい 4. 再使用可能なABS材質の充填材 5. ステンレス製の機体が年限を使うのが長い...

メーカー・取り扱い企業： 晋恵冷却機械株式有限会社 (JINHUI COOLING MACHINE CO., LTD) 株式会社 台湾本社

SAL1021（2インチウェーハ搬送）

搬送部、真空トランスファーチャンバーの小型化に寄与します。

ント時：エアシリンダ駆動のエッジグリップ機構にて位置決め オリフラサーチ時：スピンドル上のウェーハは真空吸着により保持 クリーン度 ISOクラス2（駆動部排気時） 駆動方式 2相ステッピングモータを1軸使用（モータドライバは内蔵) ユーティリティ 電源：DC24V±10% 2A...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル