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24件 - メーカー・取り扱い企業
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PR悪環境(高温等)でも影響なし!40KHzまでの広帯域・高振動周波数の計…
当製品は、79GHzミリ波レーダー技術を応用した レーダー信号処理プロセッサー内蔵の振動センサーです。 内蔵レンズ付きアンテナにより狭範囲の測定が可能。 40KHzまでの広帯域・高振動周波数の計測ができます。 0.03μm(pk-pk)程度の極微小変位計測能力があります。 また、非接触計測なので機械共振の心配がありません。 【特長】 ■0.03μm(pk-pk)程度の極微...
メーカー・取り扱い企業: サクラテック株式会社
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PR超音波領域の振動に対応し、多彩な判定機能を標準装備した振動計測システム
VIT-200Rは、200KHzまでの広帯域振動を解析判定可能な、計測ユニットです。 2chのピエゾ振動センサ入力のほか、アナログ信号入力2chを有し、 複合的判断をすることにも対応可能です。(ソフトカスタイマイズ) 設備の異常や予兆検出、構造物の状況測定、製造作業結果判定など、 多くの分野への応用が可能です。 標準機能の使用手順は次のようになります。 1.PCと接続し、複数パターンの振動デー...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アローセブン
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膜厚モニター用水晶振動子
蒸着装置やスパッタリング装置などの真空成膜プロセスにおいて、膜厚モニターとして広く使われているQCM方式の膜厚計用の水晶振動子です。周波数は5MHzと6MHz、電極膜材料は金(Au)と銀(Ag)を揃えております。 弊社販売品については再生もお受けいたします。 ...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社アベニューマテリアル
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【PREVAC社製】6個の水晶振動子のモニターおよび制御が可能です。6…
PREVAC社製 蒸着用成膜コントローラー「TMC-13」は、膜圧モニター/プロセス制御システム付きで、6個の水晶振動子のモニターおよび制御が可能な装置です。 6.5インチ液晶タッチパネルで操作が簡単で、シンプル・コンパクトはデザインを採用しており、2台分の真空計の入力が可能です。インターフェイスは、USB、RS...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクノポート
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長時間・多量の真空蒸着またはスパッタリングのプロセスに有効
日本電子株式会社 水晶振動子式膜厚コントローラ/モニターに接続して、真空蒸着時の膜厚や蒸着レートを計測/制御するための多点センサーです。 真空チャンバー内長さ、センサーヘッドタイプ、水晶振動子(クリスタル)枚数を、選択して組...
メーカー・取り扱い企業: アズサイエンス株式会社 松本本社
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大気圧から高真空までの広帯域の計測をこの1台で!センサー・回路部・ディ…
【その他特長】 ■大気圧から低真空領域のクリスタルゲージ部は、水晶振動子と気体分子の摩擦によるインピーダンスの変化を読み取ることにより、真空計測を行っています。 精度・再現性に優れており、信頼性の高い計測が可能です。 ■高真空領域のコールドカソードゲージ部は、マ...
メーカー・取り扱い企業: 東京電子株式会社
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サイリスタ制御により蒸着電圧及び、電流値の調整が可能!排気操作は全自動…
小型蒸着装置です。 抵抗加熱機構を2対装備しており、サイリスタ制御により蒸着電圧及び、 電流値の調整が可能です。 排気系はターボ分子ポンプによる排気で、排気操作は全自動。 水晶振動式膜厚計もオプションで付けることができ、卓上型タイプとしては 高性能な成膜制御が可能です。 【特長】 ■ロブスカイト太陽電池電極作成用小型蒸着装置 ■抵抗加熱機構を2対装備、サイリスタ制...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社サンバック 本社
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水晶振動式膜厚モニター搭載!コンパクト設計でクリーンな成膜が可能
節することにより 斜め蒸着ができます。 【特長】 ■初心者でも容易に作業可能 ■ターボ分子ポンプ搭載 ■基板傾斜機構搭載 ■蒸発源は抵抗加熱3基、オプションでEB加熱に対応 ■水晶振動式膜厚モニター搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社片桐エンジニアリング
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コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの…
源:7ccるつぼx6(又は4ccるつぼx8) ・Φ2〜4inchマグネトロンスパッタリングカソード x 最大4源 ・プロセス制御:手動/自動多層膜・同時成膜、APC自動制御 ・膜厚モニタ:水晶振動子センサヘッド ・膜厚制御:Inficon社 SQM-160(又はSQC-310) 2ch/4ch薄膜コントローラ ・その他オプション:基板加熱, 冷却, 基板昇降・回転, プラズマエッチング...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールをご要望の構成で組み…
ccるつぼx6(又は4ccるつぼx8) ・Φ2〜4inchマグネトロンスパッタリングカソード x 最大4源 ・プロセス制御:手動/自動多層膜・同時成膜、APC自動制御も可能 ・膜厚モニタ:水晶振動子センサヘッドx2 ・膜厚制御:Inficon社 SQM-160(又はSQC-310) 2ch/4ch薄膜コントローラ ・ユーティリティ:電源200V 3相 15A, 水冷3ℓ/min, N2...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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真空蒸着装置『MiniLab-090』(グローブボックス用)
グローブボックス収納可能 PVDフレキシブル薄膜実験装置 高さ570m…
:7ccるつぼx6(又は4ccるつぼx8) ・Φ2〜4inchマグネトロンスパッタリングカソード x 最大4 ・プロセス制御:手動/自動連続多層膜・同時成膜、APC自動制御 ・膜厚モニタ:水晶振動子センサヘッドx4 ・膜厚制御:Inficon社 SQM-160(又はSQC-310) 2ch/4ch薄膜コントローラ ・ユーティリティ:電源200V 3相 15A, 水冷3ℓ/min, N2...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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スパッタ・蒸着ソース複合型成膜装置【nanoPVD-ST15A】
スパッタカソード・蒸着ソース混在型薄膜実験装置 コンパクトフレームに…
:Φ4inch/Φ100mm ・真空排気系:ターボ分子ポンプ + 補助ポンプ(ロータリー、又はドライスクロールポンプ) ・基板回転、上下昇降ステージ ・Max500℃基板加熱ヒーター ・水晶振動子膜厚センサー ・7”タッチパネルHMI操作(’IntelliLink’ WindowsPCリモート監視ソフト付属)...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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両面成膜・端面成膜・コンパクト・大量バッチ処理。基板の自公転機構が蒸着…
小型基板や小径ウェハの両面成膜、セラミック基板の端面成膜、マスク成膜に最適な独自基板機構を装備。 小型チャンバで大きな処理量を持つ標準横型蒸着装置。 蒸発源・加熱温度・排気系の各種選択可能。樹脂装飾用から電子部品量産の電極形成まで実績豊富な独自機構で対応 ...φ750から最大φ1000まで基板寸法と生産量に合わせて最適な処理量と蒸発源等各種機構が選択できます。 イオンプレーティング機構の...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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樹脂外装品の成膜に実績豊富な大型蒸着装置 長尺樹脂成形品の成膜に最適 …
脂成形品の全面成膜に対応。高速排気と低温蒸着が特徴。短タクト処理で量産ラインに対応。成膜前のイオンボンバード処理により高い膜の密着性を実現。電子銃の複数台使用により各種金属の高速成膜に対応。 水晶振動式膜厚計による制御で不連続膜も安定した全自動成膜を実現。 高い安定性を備えた全自動蒸着装置。...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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電子デバイス用途のスタンダードシリーズ。R&D用の多目的小型研究用から…
半導体・MEMS・各種電子部品(センサー、水晶振動子等)の研究開発から本格量産まで幅広く対応する標準型蒸着装置のラインナップ。 全機種クリーンルーム、クリーンバキューム対応で各種選択機構を装備。 実績豊富な標準仕様から個別要求に細やかに対応。 ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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「過酷な環境下の使用」にも耐えるLEMOコネクタ。その信頼と実績により…
LEMOコネクタは、 振動・引っ張り・ねじれ・衝撃などにさらされる過酷な環境下での使用に十二分に耐え、 狭い場所での作業や短時間での作業などに特に有効に働いています。 またステッパーからロボット化した試験装置といった...
メーカー・取り扱い企業: 丸紅エレネクスト株式会社
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スパッタ・蒸着源複合型 薄膜装置 【nanoPVD-ST15A】
真空蒸着(金属・有機蒸着源)、スパッタリングカソードの混在設置が可能な…
パッタカソード x 1 ・抵抗加熱蒸着源(最大2) ・有機蒸着源(最大2) ◆基板サイズ◆ ・〜Φ4inch/Φ100mm基板ホルダー(特注ホルダー 応相談) ◆膜厚センサー◆】 ・水晶振動子膜厚センサー x 1 ◆真空排気◆ ・ターボ分子ポンプ、ロータリーポンプ ◆付属ソフトウエア◆ ・IntelliLink Windows PCリモート監視ソフトウエア ◆オプション◆ ...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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光学用真空蒸着装置の回転系に滑らかな回転をもたらし、歩留まりの向上と回…
、名前はご存知と思います。ミラクルピローを使うのは、今や常識になりつつあります。 掲載写真のように、V溝付きリング状レールの鋼球2個の間に1個のミラクルピローを挿入するだけで滑らかな回転が行われ、振動と騒音が収まります。その結果、レンズの脱落や白抜けが無くなり、歩留まりの向上と静音化が達成されます。さらに鋼球やレールの溝をミラクルピローから転移した潤滑膜が保護しますので、サビや変形を防止して寿命...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社アベニューマテリアル
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容易に基板セットや蒸着用試料補充と交換が可能!大規模集積回路用の装置で…
ドライな真空状態を得るために、磁気浮上式広帯域 ターボ分子ポンプとドライポンプの組み合わせによる排気システムです。 【特長】 ■基板サイズ 6インチ ■蒸着源は抵抗加熱式 ■膜厚コントロールは水晶振動子式膜厚計を用いた制御 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社日本シード研究所
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各種消耗部品を取り扱っております。
散ポンプ用オイル/ロータリーポン プ用オイル/メカニカル・ブースターポンプ用オイル/Cu(無酸素銅) ハースライナー/EBフィラメント/パッキン各種(角ヒモ/Wシール/ Oリング 各種サイズ)/水晶振動子/ハロゲン・ランプ/フィリップス 球/モニター・ガラス、他 装置関係 : シャッター板/RH用ボート(Mo/W)/スチール・ボール/ミラクル・ ピロー/エルボ、他 測定機系 : チ...
メーカー・取り扱い企業: アールエムテック株式会社
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大気圧から高真空までの広帯域の計測をこの1台で!センサー・回路部・ディ…
【その他特長】 ■大気圧から低真空領域のクリスタルゲージ部は、水晶振動子と気体分子の摩擦によるインピーダンスの変化を読み取ることにより、真空計測を行っています。 精度・再現性に優れており、信頼性の高い計測が可能です。 ■高真空領域のコールドカソードゲージ部は、マ...
メーカー・取り扱い企業: 東京電子株式会社
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蒸着・スパッタ・EB等ご要望によりフレキシブルに構成可能。 高さ570…
るつぼx6(又は4ccるつぼx8) ・Φ2〜4inchマグネトロンスパッタリングカソード x 最大4源 ・プロセス制御:手動/自動多層連続成膜・多元同時成膜、APC自動制御 ・膜厚モニタ:水晶振動子センサヘッドx4 ・膜厚制御:Inficon社 SQM-160(又はSQC-310) 多チャンネル成膜コントローラ ・ユーティリティ:電源200V 3相 15A, 水冷3ℓ/min, N2ベ...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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スパッタリング装置 多機能スパッタ装置MiniLab-S060A
コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの…
cるつぼx6(又は4ccるつぼx8) ・Φ2〜4inchマグネトロンスパッタリングカソード x 最大4源 ・プロセス制御:手動、又は自動連続多層膜・同時成膜、APC自動制御 ・膜厚モニタ:水晶振動子センサヘッド ・膜厚制御:Inficon社 SQM-160(又はSQC-310) 2ch/4ch薄膜コントローラ ・その他オプション:基板回転/昇降, 基板加熱(Max500℃、又は800℃...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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□■□【MiniLab-080】フレキシブル薄膜実験装置□■□
蒸着・スパッタ・EB等ご要望によりフレキシブルに構成可能。 高さ570…
ぼx6(又は4ccるつぼx8) ・Φ2〜4inchマグネトロンスパッタリングカソード x 最大4源 ・プロセス制御:手動、又は自動多層連続成膜・多元同時成膜、APC自動制御 ・膜厚モニタ:水晶振動子センサヘッドx4 ・膜厚制御:Inficon社 SQM-160(又はSQC-310) 多チャンネル成膜コントローラ ・ユーティリティ:電源200V 3相 15A, 水冷3ℓ/min, N2ベ...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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□■□【MiniLab-060】フレキシブル薄膜実験装置□■□
蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールをご要望の構成で組み…
7ccるつぼx6(又は4ccるつぼx8) ・Φ2〜4inchマグネトロンスパッタリングカソード x 最大4源 ・プロセス制御:手動/自動連続多層膜・同時成膜、APC自動制御 ・膜厚モニタ:水晶振動子センサヘッドx2 ・膜厚制御:Inficon社 SQM-160(又はSQC-310) 2ch/4ch薄膜コントローラ ・ユーティリティ:電源200V 3相 15A, 水冷3ℓ/min, N2...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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□■□【MiniLab-090】フレキシブル薄膜実験装置□■□
グローブボックス収納可能 PVDフレキシブル薄膜実験装置 高さ570m…
cるつぼx6(又は4ccるつぼx8) ・Φ2〜4inchマグネトロンスパッタリングカソード x 最大4源 ・プロセス制御:手動、又は自動連続多層膜・同時成膜、APC自動制御 ・膜厚モニタ:水晶振動子センサヘッドx4 ・膜厚制御:Inficon社 SQM-160(又はSQC-310) 多チャンネル薄膜コントローラ ・ユーティリティ:電源200V 3相 15A, 水冷3ℓ/min, N2ベ...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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