• TAITIEN社 水晶デバイス 製品画像

    TAITIEN社 水晶デバイス

    PR従来品の置き換え提案が可能!Crystal、SPXO、TCXOも従来仕…

    当社は、1976年創業の台湾のクロック発振器メーカーTAITIEN社の 正規代理店として、販売活動を行っております。 Crystal、SPXOの汎用水晶デバイスからTCXO、VCXO、OCXOの高精度 水晶発振器製品まで一貫生産し、⾧期供給も可能。 また、従来品の置き換え提案が可能な製品もございます。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■Crystal...

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    メーカー・取り扱い企業: SUPREME COMPONENTS INTERNATIONAL

  • 5G・IoT向け各種高周波製品 製品画像

    5G・IoT向け各種高周波製品

    PR【ワイヤレスジャパン2024に出展します!】5G、 IoT、スマートフ…

    アスニクス株式会社は、高周波製品および関連部品に特化した商社です。 今年5月に、アンテナ専門大手メーカーGLEAD社、アイソレータ及びサーキュレータの専門メーカーJQL社、SAWデバイスや水晶デバイスを製造するTAISAW社と共同で「ワイヤレスジャパン2024」に出展します。 今回の展示会では、5G、IoT向けの製品を幅広く展示します。 ご来場の際は、是非当社ブースへお立ち寄りください。 【ワ...

    メーカー・取り扱い企業: アスニクス株式会社

  • 膜厚モニター用水晶振動子 製品画像

    膜厚モニター用水晶振動子

    膜厚モニター用水晶振動子

    蒸着装置やスパッタリング装置などの真空成膜プロセスにおいて、膜厚モニターとして広く使われているQCM方式の膜厚計用の水晶振動子です。周波数は5MHzと6MHz、電極膜材料は金(Au)と銀(Ag)を揃えております。 弊社販売品については再生もお受けいたします。 ...

    メーカー・取り扱い企業: 有限会社アベニューマテリアル

  • 蒸着用成膜コントローラー「TMC-13」 製品画像

    蒸着用成膜コントローラー「TMC-13」

    【PREVAC社製】6個の水晶振動子のモニターおよび制御が可能です。6…

    PREVAC社製 蒸着用成膜コントローラー「TMC-13」は、膜圧モニター/プロセス制御システム付きで、6個の水晶振動子のモニターおよび制御が可能な装置です。 6.5インチ液晶タッチパネルで操作が簡単で、シンプル・コンパクトはデザインを採用しており、2台分の真空計の入力が可能です。インターフェイスは、USB、...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクノポート

  • BS-04 series ロータリーセンサー 製品画像

    BS-04 series ロータリーセンサー

    長時間・多量の真空蒸着またはスパッタリングのプロセスに有効

    日本電子株式会社 水晶振動子式膜厚コントローラ/モニターに接続して、真空蒸着時の膜厚や蒸着レートを計測/制御するための多点センサーです。 真空チャンバー内長さ、センサーヘッドタイプ、水晶振動子(クリスタル)枚数を、選択し...

    メーカー・取り扱い企業: アズサイエンス株式会社 松本本社

  • 成膜関連製品 TELEMARK 真空蒸着用コンポーネント 製品画像

    成膜関連製品 TELEMARK 真空蒸着用コンポーネント

    蒸着用電子銃など真空蒸着のことならお任せください。

    VISTA株式会社は、TELEMARK製の電子銃や水晶膜厚モニターなど多彩なラインアップで取り揃えております。 TELEMARK社の電子銃は、超高真空対応型、高真空汎用型、シングルポケット、回転型、直線型、ルツボ容積4ccから1500ccまで、最大ビ...

    メーカー・取り扱い企業: VISTA株式会社

  • 真空計『コンビネーションゲージ CC-10(NW25)』 製品画像

    真空計『コンビネーションゲージ CC-10(NW25)』

    大気圧から高真空までの広帯域の計測をこの1台で!センサー・回路部・ディ…

    【その他特長】 ■大気圧から低真空領域のクリスタルゲージ部は、水晶振動子と気体分子の摩擦によるインピーダンスの変化を読み取ることにより、真空計測を行っています。 精度・再現性に優れており、信頼性の高い計測が可能です。 ■高真空領域のコールドカソードゲージ部は...

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    メーカー・取り扱い企業: 東京電子株式会社

  • 高真空蒸着装置『RD-1230』 製品画像

    高真空蒸着装置『RD-1230』

    サイリスタ制御により蒸着電圧及び、電流値の調整が可能!排気操作は全自動…

    用 小型蒸着装置です。 抵抗加熱機構を2対装備しており、サイリスタ制御により蒸着電圧及び、 電流値の調整が可能です。 排気系はターボ分子ポンプによる排気で、排気操作は全自動。 水晶振動式膜厚計もオプションで付けることができ、卓上型タイプとしては 高性能な成膜制御が可能です。 【特長】 ■ロブスカイト太陽電池電極作成用小型蒸着装置 ■抵抗加熱機構を2対装備、サイリス...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社サンバック 本社

  • LED光学多層DBR膜形成用真空蒸着装置 Sapio-DBR 製品画像

    LED光学多層DBR膜形成用真空蒸着装置 Sapio-DBR

    LED 用光学多層 DBR 膜の成膜に最適!

        φ4inch ウェハー約110枚/batch →タクト:3h/batch 以内      →必要設置エリア:W4.6m×D6.3m×H3.2m  ※SGC-S1550i 使用時  ※水晶式膜厚計の脱着の際には   工場側天井パネルの取外し等が必要な場合がある ○優れた再現性 連続batch保証も対応 ○膜質の調整が可能 Chippingによる膜の損傷を抑制するための    ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社昭和真空

  • 高真空蒸着装置『KW-030D』 製品画像

    高真空蒸着装置『KW-030D』

    水晶振動式膜厚モニター搭載!コンパクト設計でクリーンな成膜が可能

    を調節することにより 斜め蒸着ができます。 【特長】 ■初心者でも容易に作業可能 ■ターボ分子ポンプ搭載 ■基板傾斜機構搭載 ■蒸発源は抵抗加熱3基、オプションでEB加熱に対応 ■水晶振動式膜厚モニター搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社片桐エンジニアリング

  • 多機能スパッタリング装置 【MiniLab-S060】 製品画像

    多機能スパッタリング装置 【MiniLab-S060】

    コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの…

    蒸着源:7ccるつぼx6(又は4ccるつぼx8) ・Φ2〜4inchマグネトロンスパッタリングカソード x 最大4源 ・プロセス制御:手動/自動多層膜・同時成膜、APC自動制御 ・膜厚モニタ:水晶振動子センサヘッド ・膜厚制御:Inficon社 SQM-160(又はSQC-310) 2ch/4ch薄膜コントローラ  ・その他オプション:基板加熱, 冷却, 基板昇降・回転, プラズマエッチ...

    メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社

  • スパッタリング装置『MiniLab-060』 製品画像

    スパッタリング装置『MiniLab-060』

    蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールをご要望の構成で組み…

    :7ccるつぼx6(又は4ccるつぼx8) ・Φ2〜4inchマグネトロンスパッタリングカソード x 最大4源 ・プロセス制御:手動/自動多層膜・同時成膜、APC自動制御も可能 ・膜厚モニタ:水晶振動子センサヘッドx2 ・膜厚制御:Inficon社 SQM-160(又はSQC-310) 2ch/4ch薄膜コントローラ ・ユーティリティ:電源200V 3相 15A, 水冷3ℓ/min, ...

    メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社

  • 真空蒸着装置『MiniLab-090』(グローブボックス用) 製品画像

    真空蒸着装置『MiniLab-090』(グローブボックス用)

    グローブボックス収納可能 PVDフレキシブル薄膜実験装置 高さ570m…

    着源:7ccるつぼx6(又は4ccるつぼx8) ・Φ2〜4inchマグネトロンスパッタリングカソード x 最大4 ・プロセス制御:手動/自動連続多層膜・同時成膜、APC自動制御 ・膜厚モニタ:水晶振動子センサヘッドx4 ・膜厚制御:Inficon社 SQM-160(又はSQC-310) 2ch/4ch薄膜コントローラ  ・ユーティリティ:電源200V 3相 15A, 水冷3ℓ/min, ...

    メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社

  • スパッタ・蒸着ソース複合型成膜装置【nanoPVD-ST15A】 製品画像

    スパッタ・蒸着ソース複合型成膜装置【nanoPVD-ST15A】

    スパッタカソード・蒸着ソース混在型薄膜実験装置 コンパクトフレームに…

    範囲:Φ4inch/Φ100mm ・真空排気系:ターボ分子ポンプ + 補助ポンプ(ロータリー、又はドライスクロールポンプ) ・基板回転、上下昇降ステージ ・Max500℃基板加熱ヒーター ・水晶振動子膜厚センサー ・7”タッチパネルHMI操作(’IntelliLink’ WindowsPCリモート監視ソフト付属)...

    メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社

  • 標準バッチバッチタイプ蒸着装置(AMFシリーズ) 製品画像

    標準バッチバッチタイプ蒸着装置(AMFシリーズ)

    電子デバイス用途のスタンダードシリーズ。R&D用の多目的小型研究用から…

    半導体・MEMS・各種電子部品(センサー、水晶振動子等)の研究開発から本格量産まで幅広く対応する標準型蒸着装置のラインナップ。 全機種クリーンルーム、クリーンバキューム対応で各種選択機構を装備。 実績豊富な標準仕様から個別要求に細やかに対応...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • 有機デバイス蒸着装置 真空エリプソメーター蒸着装置 製品画像

    有機デバイス蒸着装置 真空エリプソメーター蒸着装置

    真空蒸着中に光学特性をリアルタイムに測定可能です!

    :Φ96mm) ○外部フィードスルー用ポート(NW40)3ポート ○真空排気ポート(NW40)1ポート ○最大基板サイズ:Φ110mm ○基板加熱もしくは基板冷却機構 ○蒸発源:2源(同時2源) ○水晶膜厚計、基板シャッター付き ○高真空ポンプ:ターボポンプ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイエルエステクノロジー

  • 横型蒸着装置 製品画像

    横型蒸着装置

    両面成膜・端面成膜・コンパクト・大量バッチ処理。基板の自公転機構が蒸着…

    小型基板や小径ウェハの両面成膜、セラミック基板の端面成膜、マスク成膜に最適な独自基板機構を装備。 小型チャンバで大きな処理量を持つ標準横型蒸着装置。 蒸発源・加熱温度・排気系の各種選択可能。樹脂装飾用から電子部品量産の電極形成まで実績豊富な独自機構で対応 ...φ750から最大φ1000まで基板寸法と生産量に合わせて最適な処理量と蒸発源等各種機構が選択できます。 イオンプレーティング機構の...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • 大型蒸着装置(AAH型 自動車部品用) 製品画像

    大型蒸着装置(AAH型 自動車部品用)

    樹脂外装品の成膜に実績豊富な大型蒸着装置 長尺樹脂成形品の成膜に最適 …

    尺樹脂成形品の全面成膜に対応。高速排気と低温蒸着が特徴。短タクト処理で量産ラインに対応。成膜前のイオンボンバード処理により高い膜の密着性を実現。電子銃の複数台使用により各種金属の高速成膜に対応。 水晶振動式膜厚計による制御で不連続膜も安定した全自動成膜を実現。 高い安定性を備えた全自動蒸着装置。...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • スパッタ・蒸着源複合型 薄膜装置 【nanoPVD-ST15A】 製品画像

    スパッタ・蒸着源複合型 薄膜装置 【nanoPVD-ST15A】

    真空蒸着(金属・有機蒸着源)、スパッタリングカソードの混在設置が可能な…

    ンスパッタカソード x 1 ・抵抗加熱蒸着源(最大2) ・有機蒸着源(最大2) ◆基板サイズ◆ ・〜Φ4inch/Φ100mm基板ホルダー(特注ホルダー 応相談) ◆膜厚センサー◆】 ・水晶振動子膜厚センサー x 1 ◆真空排気◆ ・ターボ分子ポンプ、ロータリーポンプ ◆付属ソフトウエア◆ ・IntelliLink Windows PCリモート監視ソフトウエア ◆オプション◆...

    メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社

  • 多機能型・真空蒸着装置 「SEC-22C」 製品画像

    多機能型・真空蒸着装置 「SEC-22C」

    リフトオフ・厚膜・低温成膜対応 昭和真空の技術を結集させた最上位モデ…

    多機能型・真空蒸着装置 「SEC-22C」は、蒸発源として電子ビーム式蒸発源を採用しています。 高融点金属や酸化物を成膜する事ができます。 蒸発速度の制御と膜厚の制御は水晶発振式膜厚計により行います。 主ポンプはクライオポンプを搭載しています。 操作制御系は全自動式になっています。 【特徴】 ○良好な膜厚分布が得られるように蒸発源と基板治具が配置されている...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社昭和真空

  • Epitaxial-EB蒸着装置 製品画像

    Epitaxial-EB蒸着装置

    最高900℃の高温プロセスが可能!エピタキシャル促進機構により単結晶成…

    【仕様】 ■基板サイズ:最大φ12インチ ■基板加熱温度:700℃(基板表面) ■蒸着材料:金属または酸化物 ■真空排気:CP+DP ■膜厚コントロール:水晶式膜厚センサ ■制御操作  ・制御:PLC  ・操作:タッチパネルまたはPC ■データロギング:外部メモリまたはPC ■基板搬送:真空搬送ロボット ■オプション:基板加熱900℃(基板表...

    メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社

  • 金属蒸着装置『ESE-09』 製品画像

    金属蒸着装置『ESE-09』

    容易に基板セットや蒸着用試料補充と交換が可能!大規模集積回路用の装置で…

    系はドライな真空状態を得るために、磁気浮上式広帯域 ターボ分子ポンプとドライポンプの組み合わせによる排気システムです。 【特長】 ■基板サイズ 6インチ ■蒸着源は抵抗加熱式 ■膜厚コントロールは水晶振動子式膜厚計を用いた制御 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社日本シード研究所

  • 消耗部品 製品画像

    消耗部品

    各種消耗部品を取り扱っております。

    /拡散ポンプ用オイル/ロータリーポン プ用オイル/メカニカル・ブースターポンプ用オイル/Cu(無酸素銅) ハースライナー/EBフィラメント/パッキン各種(角ヒモ/Wシール/ Oリング 各種サイズ)/水晶振動子/ハロゲン・ランプ/フィリップス 球/モニター・ガラス、他 装置関係 :  シャッター板/RH用ボート(Mo/W)/スチール・ボール/ミラクル・ ピロー/エルボ、他 測定機系 : ...

    メーカー・取り扱い企業: アールエムテック株式会社

  • 真空計『コンビネーションゲージ CC-10(ICF70)』 製品画像

    真空計『コンビネーションゲージ CC-10(ICF70)』

    大気圧から高真空までの広帯域の計測をこの1台で!センサー・回路部・ディ…

    【その他特長】 ■大気圧から低真空領域のクリスタルゲージ部は、水晶振動子と気体分子の摩擦によるインピーダンスの変化を読み取ることにより、真空計測を行っています。 精度・再現性に優れており、信頼性の高い計測が可能です。 ■高真空領域のコールドカソードゲージ部は...

    メーカー・取り扱い企業: 東京電子株式会社

  • 真空蒸着装置『MiniLab-080』 製品画像

    真空蒸着装置『MiniLab-080』

    蒸着・スパッタ・EB等ご要望によりフレキシブルに構成可能。 高さ570…

    ccるつぼx6(又は4ccるつぼx8) ・Φ2〜4inchマグネトロンスパッタリングカソード x 最大4源 ・プロセス制御:手動/自動多層連続成膜・多元同時成膜、APC自動制御 ・膜厚モニタ:水晶振動子センサヘッドx4 ・膜厚制御:Inficon社 SQM-160(又はSQC-310) 多チャンネル成膜コントローラ ・ユーティリティ:電源200V 3相 15A, 水冷3ℓ/min, N...

    メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社

  • スパッタリング装置 多機能スパッタ装置MiniLab-S060A 製品画像

    スパッタリング装置 多機能スパッタ装置MiniLab-S060A

    コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの…

    7ccるつぼx6(又は4ccるつぼx8) ・Φ2〜4inchマグネトロンスパッタリングカソード x 最大4源 ・プロセス制御:手動、又は自動連続多層膜・同時成膜、APC自動制御 ・膜厚モニタ:水晶振動子センサヘッド ・膜厚制御:Inficon社 SQM-160(又はSQC-310) 2ch/4ch薄膜コントローラ  ・その他オプション:基板回転/昇降, 基板加熱(Max500℃、又は80...

    メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社

  • □■□【MiniLab-080】フレキシブル薄膜実験装置□■□ 製品画像

    □■□【MiniLab-080】フレキシブル薄膜実験装置□■□

    蒸着・スパッタ・EB等ご要望によりフレキシブルに構成可能。 高さ570…

    るつぼx6(又は4ccるつぼx8) ・Φ2〜4inchマグネトロンスパッタリングカソード x 最大4源 ・プロセス制御:手動、又は自動多層連続成膜・多元同時成膜、APC自動制御 ・膜厚モニタ:水晶振動子センサヘッドx4 ・膜厚制御:Inficon社 SQM-160(又はSQC-310) 多チャンネル成膜コントローラ  ・ユーティリティ:電源200V 3相 15A, 水冷3ℓ/min, N...

    メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社

  • □■□【MiniLab-060】フレキシブル薄膜実験装置□■□ 製品画像

    □■□【MiniLab-060】フレキシブル薄膜実験装置□■□

    蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールをご要望の構成で組み…

    着:7ccるつぼx6(又は4ccるつぼx8) ・Φ2〜4inchマグネトロンスパッタリングカソード x 最大4源 ・プロセス制御:手動/自動連続多層膜・同時成膜、APC自動制御 ・膜厚モニタ:水晶振動子センサヘッドx2 ・膜厚制御:Inficon社 SQM-160(又はSQC-310) 2ch/4ch薄膜コントローラ  ・ユーティリティ:電源200V 3相 15A, 水冷3ℓ/min, ...

    メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社

  • □■□【MiniLab-090】フレキシブル薄膜実験装置□■□ 製品画像

    □■□【MiniLab-090】フレキシブル薄膜実験装置□■□

    グローブボックス収納可能 PVDフレキシブル薄膜実験装置 高さ570m…

    7ccるつぼx6(又は4ccるつぼx8) ・Φ2〜4inchマグネトロンスパッタリングカソード x 最大4源 ・プロセス制御:手動、又は自動連続多層膜・同時成膜、APC自動制御 ・膜厚モニタ:水晶振動子センサヘッドx4 ・膜厚制御:Inficon社 SQM-160(又はSQC-310) 多チャンネル薄膜コントローラ  ・ユーティリティ:電源200V 3相 15A, 水冷3ℓ/min, N...

    メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社

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    3源抵抗加熱蒸着装置

    EB源増設ポート付!4インチ基板対応で、基板加熱機構と膜厚制御機構を備…

    メンテナンス性が向上。 4インチ基板対応で、基板加熱機構と膜厚制御機構を備えています。 【特長】 ■基板寸法:100×100 ■基板加熱温度:常用600℃ ■基板回転ホルダー ■水晶式膜厚計 ■EB源増設ポート付 ■抵抗加熱源:100A 3源切替式 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

    メーカー・取り扱い企業: ケニックス株式会社

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