省スペース | イプロスものづくり

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基板分割機【卓上型でコンパクト＆きれいな切断面】

PR基板の外形加工をルーターカット方式で行える卓上型の基板分割機です。集塵…

基板の外形加工をルーターカット方式で行える卓上型の基板分割機です。上方式、下方式と2タイプの集塵方式をご用意。【主な特長】 ■集塵機の設置が不要でイニシャルコスト削減 ■卓上型で省スペースを実現 ■高性能ロボットのCP制御で曲線・直線のカットも可能 ■基板へのストレスが少なく、きれいな切断面を実現 ■＝＝下方集塵式の新機能＝＝　・ルータビット数倍長持ち　・スピンドルモ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャノメ
アルミ溶解炉『アルキープ・アルイッシュ・バーチカルアルキープ』

PR高機能・高品質のアルミ溶解炉。当社のベストセラーモデル"アル…

お客様の運用面・ニーズにお応えできる、多様性を備えたアルミ溶解炉のベストセラーモデル"アルキープ3姉妹"のご紹介！アルキープの最大の特長である独自設計の「溶湯プール部」を備え、溶解室で溶湯を昇温し、溶湯は常にクリーンな状態を維持できます。【アルキープ3姉妹】 ■アルキープ　当社独自設計の「溶湯プール部」を備えた元祖モデル。　溶解室の形状変更により、さらに耐久性・省...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ＴＯＫＡＩ
1チャンバー型薬液スピン・スクラブ洗浄機

シングルチャンバーで各種洗浄からスピン乾燥まで完結。省スペース設計で研…

ラブ洗浄機』は、高圧スプレーや超音波スプレー、薬液等の非接触洗浄、ブラシ等の接触洗浄など、様々な組み合わせが可能な洗浄機です。 1つのチャンバーで洗浄からスピン乾燥まで完結し、 省スペース設計のため、設置スペースとコストの削減に貢献します。各種装置構成、薬液構成、目的とする洗浄性能やご予算など、ニーズに応じて最適な装置構成をご提案可能です。【特長】 ■各種洗...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）
省スペース型「スピン洗浄装置（多目的洗浄タイプ）」

１チャンバー型多目的スクラブ洗浄。１チャンバーで異物、金属汚染を取り除…

各種サイズ、各種ウエハの、界面活性剤、純水スクラブ、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までを１チャンバーで行う枚葉装置です。１つの洗浄層の中で洗浄が完結できる省スペース型のためスペースの限られた場所にも適しています。単機能のスクラブ洗浄装置についてはご相談ください。【特長】 ■洗浄・リンス・乾燥まで1か所で行える ■被洗浄対象ウエハ：シリコン、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）
『事例』半導体製造装置　排気系ラインの省スペース化 ※無料進呈中

デバイスメーカーの求める装置の価値基準とは？　KITZSCTは排気系ラ…

"貴重な設計時間をレイアウト検討に取られていませんか？メイン配管の大口径化に伴ないレイアウト設計は複雑化しています。また各種要件が厳しくなっており、施工性やメンテナンス性を考慮した配管設計が難しくなっています。 KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。気になる事例がありましたらイプロスまたは当社ホームページ経由でお問い合わせください。ホー...

メーカー・取り扱い企業：株式会社キッツエスシーティー
石英管洗浄装置(HTC/VTCシリーズ)「薬液、純水削減に貢献」

縦型洗浄装置(VTCシリーズ)は省スペースで「薬液・純水削減」に貢献。…

浄用途に合わせた装置ラインナップ　・6インチ・８インチ・１２インチプロセス用の石英管に対応致　・石英管の形状・洗浄用途に合わせ、横型式(HTC)と縦型式(VTC)の装置を選択可能 ■省スペースで「薬液・純水削減」に貢献　・縦型式(VTCシリーズ)は、省スペースで「薬液・純水削減」に貢献 ■カスタマイズ対応可能 ■世界トップクラスの納入実績(400台以上) 　・国内外半導体...

メーカー・取り扱い企業：株式会社渡辺商行
手動研磨機『ルキューブ』シンプルで省スペースな卓上型研磨機

シンプルで効率的な研磨機！取り外し可能な部品など、メンテナンスが容易

『ル　キューブ』は、400ｘ400のスペースがあれば研磨可能！これ1台で荒研磨の耐水研磨紙の研磨から超仕上げのバフ研磨まで。 φ200mmとφ250mmのプレートに対応。インバーター制御で時計、反時計方向に回転可能なトルクの高いモーターを搭載。ポリッシングプレートの回転スピードは150rpmと300rpmの切り替えが可能なほか、マルチジェットウォータースプレーはクーラ...

メーカー・取り扱い企業：北川グレステック株式会社本社
ピラニ真空計　PG-20

小型なボディで装置組込みの省スペース化！

熱を奪われたフィラメントが常に一定温度となるよう、加える電力を自動的に調節する定温度型のピラニ真空計です。小型なボディで装置組込みの際に省スペース化を図ることができます。表示は操作しやすいデジタル方式です。...

メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社
【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置

小型・省スペース! 有機薄膜開発に好適蒸着・スパッタ・アニール等全て…

れた不活性ガス雰囲気で試料を取扱う必要があります。 MiniLab-026/090-GBでは、PVDチャンバーをGB内に収納することにより有機膜用途の「酸素・水分フリー」実験環境をコンパクトな省スペース環境で実現します。【特徴】 ◉ PVD成膜、スピンコート塗布・ホットプレートベーキングなど一連の作業を外気に晒すことなく、GB内でシームレスに行うことができます。 ◉ 省スペース：背...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
省スペース型「スピン洗浄装置（多目的洗浄タイプ）」

１チャンバー型多目的スクラブ洗浄。１チャンバーで異物、金属汚染を取り除…

各種サイズ、各種ウエハの、界面活性剤、純水スクラブ、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までを１チャンバーで行う枚葉装置です。１つの洗浄層の中で洗浄が完結できる省スペース型のためスペースの限られた場所にも適しています。単機能のスクラブ洗浄装置についてはご相談ください。【特長】 ■洗浄・リンス・乾燥まで1か所で行える ■被洗浄対象ウエハ：シリコン、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクニカルフィット
スパッタリング装置『MiniLab-026』

小型、省スペース! 研究開発に最適蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…

必要最小限のモジュール・コントローラをPlug&Play感覚で19"コンパクトラックに組込む事により無駄が無く、小型省スペース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。マグネトロンスパッタ（最大3源）もしくは抵抗加熱蒸着（金属源最大4、有機材料x4）に対応します、又...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
卓上型フリップチップボンダーCB-200 アスリートFA製

超省スペース、100[V]電源対応のセミオートFCボンダー

■対応プロセス　　１．熱圧着　　２．超音波接合 ■省スペース設計　　本体：702W×805D×740H[mm]　※制御box別置き ■4インチトレイを2枚同時セットが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：日精株式会社本社
昇華精製装置『DSUシリーズ』

0.1kgの少量精製から10kgまでの量産精製に対応。省スペースで設置…

ーズに対応 ■オートプロセスコントロールによる温度・圧力制御 ■実験や開発に適した0.1kgから量産用の10kg/runを精製 ■純度99.99％・歩留まり98％(2回目の精製後) ■縦型のため省スペースで設置可能 ※「PDFダウンロード」より製品資料(英語)をご覧いただけます。　お問い合わせもお気軽にどうぞ。 ※ 本画面下部にて関連製品動画もご覧いただけます。 ...
メーカー・取り扱い企業：ティー・ケイ・エス株式会社
《回路設計者必見》熱・ノイズ・スペースの各種課題への解決事例集

【回路設計者のためのご提案シリーズ】耐熱・放熱・ノイズ対策・省スペース…

産業機器の設計製造において、熱やノイズに関する対策、また省スペース化の課題はつきものです。現在の取り扱い製品のラインナップで、カバーしきれずお悩みなことはありませんか。オリナスでは、多数のメーカーラインナップの中から商品を選定し、耐熱・放熱・ノ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社オリナス東京営業所、名古屋営業所、京都営業所、大阪営業所、香港
真空計『コンビネーションゲージ　CC-10（NW25）』

大気圧から高真空までの広帯域の計測をこの1台で！センサー・回路部・ディ…

クリスタルゲージとコールドカソードゲージを組み合わせ、広帯域の計測を1台でカバーする複合型真空計です。大気圧から高真空まで、切り替え操作なしで計測でき、取り付け寸法の省スペース化が行えます。構造の単純化により、センサークリーニング、センサー交換をお客様自身で行っていただく事ができ、生産復帰までの時間短縮を可能にしました！【特長】 ■広い測定範囲を実現...
メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社
ウエハ移載機

ウエハ移載機

従来のウエハ移載機よりも小型・省スペースを実現しました。必要な機能のみを搭載し、無駄を省くことにより、低価格にてご提供致します。ユーザーポートを準備しており、検査ユニット等とドッキングすることが可能です。検査機用・搬送機用等、顧客のニ...

メーカー・取り扱い企業：レイリサーチ株式会社
【コネクタの用途例】超小型・高密度コネクタ

他のコネクタでは取付け困難な、狭く限られたスペースに取り付けが可能！

【小型軽量化・高密度実装を求められる装置に】製品がよりコンパクト、小型化することにより省スペース、可搬性、高集積性など様々な面で新たな価値を生み出します。装置・機器の小型化に伴い、接続インターフェイスの高密度化・省スペース化でお困りの際は、お気軽にご相談ください。・小型化・高密度実...
メーカー・取り扱い企業：レモジャパン株式会社
パワーモジュール用ベアチップ外観検査装置『CIシリーズ』

実装前にチップの全数外観検査を行うことで後工程のロス低減＆歩留まり向上…

裏面、側面の全6面検査） ■最速　8000CPHの高処理能力 ■高精細な検査を実現するステージを搭載＜CI200i＞ ■表裏面検査モデル ■表面検査をイントレイで実施することで、省スペース化 ■製品への接触をミニマム化し、ダメージレス ■高精細の検査ステージを搭載...

メーカー・取り扱い企業：日精株式会社本社
小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

クリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。【特長】 ■...
メーカー・取り扱い企業：株式会社ハイブリッジ東京営業所
【資料】高電流・高周波対応可能の高電圧コネクタソリューション

今後の更なる半導体製造装置の高機能化・省スペース化にもマッチした高電圧…

るプロセス装置は今まで以上に高電圧化が進みながら、装置自体の小型化が強く求められています。レモコネクタは、今後の半導体製造装置の進化に対してプッシュプル・小型高電圧製品で「お客様の電圧増加・省スペース化の課題を解決」いたします。 ●高電圧：最大50kVDCまで対応可。単極・多極・複合・気密等豊富なラインナップ "耐ノイズ性に優れたレモオリジナル高電圧編組シールド付きケーブルもご用...
メーカー・取り扱い企業：レモジャパン株式会社
スパッタリング装置『MiniLab-060』

蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールをご要望の構成で組み…

コンパクト/省スペース、ハイスペック薄膜実験装置下記蒸着源から組合せが可能・抵抗加熱蒸着源 x 最大4 ・有機蒸着源 x 最大4 ・電子ビーム蒸着・2inchスパッタリングカソード x 4（又は3in...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
小型スパッタリング装置

コンパクト設計で省スペースを実現！大学や民間の研究室に最適なスパッタリ…

【主な特長】 コンパクト設計により省スペース化を実現 RF/DC電源が可能 優れた膜厚均一性 タッチパネル(PLC)による簡単操作 大学の研究室や民間の研究開発に最適...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マツボー
※動画公開中！　外径精密表面仕上機『SFM』

従来機比約30％の省スペース化を実現！経験の多少にかかわらず精密仕上が…

トやワーク回転機構を備えた卓上型研磨機もラインナップしています。さらに乾式・湿式の両用に使用できると共に、加工環境がクリーン＆コンパクトです。【特長】 ■従来機比約30％の省スペース化を実現 ■目的に応じた面粗度を得ることができる ■経験の多少にかかわらず精密仕上が可能 ■常に新しい砥粒面で均一に仕上げることが可能 ■加工環境がクリーン＆コンパクト ※詳しくは...
メーカー・取り扱い企業：株式会社サンシン
Revolution セミオートウェットプロセッサー

省スペースなマルチステップウェットプロセッサー

RENAのマルチステップウェットプロセッサー、Revolutionは回転式ロボット設計と精密工学を採用し、プロセスコントロールの操作性をアップさせました。 省スペースでありながら、強力かつ柔軟性の高い設計となっております。 Advancerシリーズは、モジュール式で設置が容易なロボット搬送の半自動ウェットプロセッサーです。【省スペースな回転式ロボット】 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社インターテック販売東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）
デスクトップ高精度搭載機

デスクトップ高精度搭載機

【世界最小クラスのミクロン精度自動組立装置。 省スペース、省資源、省コスト化を実現した実用レベルのデスクトップ・ファクトリー】・マニピュレータハンドによる自動搭載メカに１２軸ドライバー・コントローラを全て組み込んだ超コンパクト設計・高剛性で定...

メーカー・取り扱い企業：アクテス京三株式会社技術センター
酸化シリコン成膜CVD装置

3インチウェハ対応！コンパクトな設計となっており省スペース化を実現しま…

当製品は、酸化シリコンを成膜する為のCVD装置です。コンパクトな設計となっており省スペース化を実現。内面処理は電解研磨、チャンバー材質はSUS316です。また、3インチウェハ対応となっております。【特長】 ■酸化シリコンを成膜 ■コンパクトな設計となっており省...

メーカー・取り扱い企業：株式会社和泉テック
自動フォトレジスト塗布装置（スピンコーター）Coater

レジスト膜の面内均一性やウエハ間の平均膜厚の差が少ないコーターです。低…

る膜厚分布の高均一性 ■2～12インチまで対応可能 ■低～高粘度（1.7cP～10000cP）まで対応可能 ■自動ウェハサイズ検知機能 ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減（省スペース化） ■レジスト削減で多数のオプション ■生産量に合わせたラインアップデモ設備を常設していまので、まずはデモをご検討ください！...
メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
真空炉『Mini-BENCH 超高温卓上型実験炉』

卓上小型サイズ実験炉・省スペース 最高使用温度2000℃！還元雰囲…

◉ 卓上サイズ 省スペース：328(W) x 220(D) x 250(H)mm（*2inch用チャンバー参考値） ◉ るつぼ内サンプル焼成用（るつぼΦ50 x 100）, 又はΦ1"〜Φ4"ウエハー焼成用フラットヒー...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
籾殻粉砕機『モミダーエボリューショ』

籾摺り機から出てくるもみがらを直接投入できる籾殻粉砕機！

『モミダーエボリューショ』は、籾殻処理の手間を半分にする籾殻粉砕機です。 省スペース設計で設置場所を選ばず、運搬や廃棄回数を50%に削減。再研磨可能なので、経済かつメンテナンスも楽々です。また、カラーバリエーションを豊富にご用意しておりますので、お客様だけの1台...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ワイエスエンジニアリング鳥取本社
真空炉『Mini-BENCH-prism 超高温実験炉』

最高使用温度2000℃ セミオート制御超高温実験炉（カーボン炉、…

ードルバルブにて手動調整） ◉作業中の安全を確保冷却水異常・チャンバー温度異常・過圧異常を監視SUS製堅牢な水冷チャンバー、最高温度で連続使用中でも安全にご使用いただけます。 ◉小型・省スペース 幅603 x 奥行603 x 高さ1,160mm（*ロータリーポンプ筐体内設置）実験室での小片試料の超高温加熱実験、新素材研究開発などのさまざまな試料加熱実験が、簡単な操作で行えます...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
ウェハーケース｜グリップリングケース

導電性PPを使用！試作品や少量の搬送、出荷、保管に好適です

『グリップリングケース』は、グリップリング、またはダイシングフレームに嵌合／貼り付けられたウェハーを1枚収納可能。スタック可能なため省スペースで保管可能。試作品や少量の搬送、出荷、保管に好適です。【特長】 ■グリップリング、またはダイシングフレームを1枚収納可能 ■ウェハは非接触 ■スタック可能なため省スペースで保管...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノビジョン本社
デスクトップボンダ

先端半導体実装技術をデスクトップに

ため、多様な工法に対応できる最先端の接合装置をデスクトップサイズまで小型化し、机の上の僅かなスペース（500x700mm程度）でも設置できるようにいたしました。また、一般的な接合装置に対し非常に省スペースですので複数のテーマにおいて複数台導入し、開発スピードを上げることも可能になります。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アドウェルズ
シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」

1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置！洗浄方法の…

各種ウェハの界面活性剤・純水スクラブ洗浄、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までの工程を１つのチャンバーで行う枚葉装置 ◇　シングルチャンバーで完結する省スペース型 ◇　Si（シリコン）、LT（リチウムタンタレート）やSiC（炭化ケイ素）他、　　各種ウェハに対応 ◇　異物（有機物・無機物）の除去、金属イオンの除去 ◇　洗浄項目・装置構成の変更に...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）
フィルム方式超小型超仕上げ装置『アタッチメントSF』

アタッチメントタイプの超仕上げ装置としてCNC旋盤へ組み込み複合加工の…

加工を可能にした製品です。当社の、既存製品と比較し、重量40kgあったユニットに対して約1/10の 4.2kgに小型化。工具回転軸を持ったターレットの組み込みタイプとして、省スペースの超仕上げで効率アップが計れます。【特長】 ■フィルムの揺動（オシレーション）機構によりクロスハッチ状に研磨 ■方向性のない均一な仕上げ ■駆動源は旋盤のタレット工具回転軸と連...
メーカー・取り扱い企業：株式会社松田精機
TCF-C500 超高温小型実験炉Max2900℃

コンパクト・省スペース・省エネルギー！高性能 R&D用超高温実験炉

小片試料を最高2900℃まで加熱実験ができるR&D用超高温小型実験炉。実験室での超高温加熱実験、新素材開発などのさまざまな焼成実験を行うことができます。 ◆主な特徴◆ ・省スペース ・ロータリーポンプ、コンプレッサー付属・インターロック：断水警報、過昇温、ガス圧力低下 ◆基本仕様◆ ・電源仕様：AC200V 75A NFB 50/60HZ（C-500）・Ma...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
電力回生型モータリング装置『MEP-10』

供試体にトルクを負荷し、耐久・性能各種試験を行います

『MEP-10』は、さまざまな条件を台上試験において簡単に再現し、供試体のメカニカルロス・温度状況・潤滑状況・振動状況などを定量的に計測・表示・記録する試験装置です。タッチパネルやPC画面から簡単に操作制御することが可能で、また計測データも各種形式で表示・記録することが可能です。　【特長】 ■負荷モータを電力回生しているため省エネルギー ■連続運転・パターン運転に...

メーカー・取り扱い企業：株式会社スペースクリエイション
【ガススプリングの代替に】パワーアシストヒンジ採用事例

ガススプリングの代替にパワーアシストヒンジを。ガス抜けがなく省スペース…

チップマウンターのカバー開閉部分にパワーアシストヒンジ HG-PA230-25を採用いただきました。【課題のポイント】・ガススプリングを取り付けるスペースが確保できないが、開けるときのアシスト機能が欲しい。・積層表示灯を見やすい装置にしたい。【解決のポイント】カバーの重量が重いため従来機種ではガススプリングを使用されていましたが、新機種では内部の装置の関係でガススプ...
メーカー・取り扱い企業：スガツネ工業株式会社テクノフィールド事業部
バッチタイププラズマリフロー装置（フラックスリフロー）

微細ウェハバンプのフラックスレスリフロー装置サンプルテスト対応　省…

H2ラジカルによりフラックスフリーのバンプリフローを実現。フラックスの塗布・洗浄工程を削減。リフロー前後のウェット工程を削減。ウェット装置のスペース・処理・ユーティリティーを削減する省エネ・省スペース・クリーンプロセス。３００ｍｍウェハ対応の処理ステージによる最先端量産プロセスをバッチタイプのハードで小径基板のニッチデバイスに対応短タクトのバッチ処理で多品種少量生産やR&D用途に対応...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店
研究開発用エッチング装置　ＳＰＥ４０

研究開発用エッチング装置　ＳＰＥ４０

ング→液切→循環水洗→直水洗→絞り→取出し【基板サイズ】Max.W400×L500ｍｍ厚み0.4〜2.0ｍｍ【ノズル揺動】水平揺動【装置サイズ】W1300×L1590×H1215ｍｍ・省スペース研究用・材料開発やテストに最適・PCB・LCDのエッチングが可能 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社二宮システム
全自動精密ディスペンシング『モデルSSD』

リードフレーム LED 封止用に設計された高度なジェットディスペン…

主な特長: ■ 高度なディスペンシングビジョンソフトウェア ■ 省スペース設計 ■ マーキングされた不良部品の事前検査で不良部品のディスペンスにかかる時間を節約 ■ デュアルバルブ機能、ダブルスループット ■ AOI機能（オプション）...

メーカー・取り扱い企業：キューリック・アンド・ソファ・ジャパン株式会社
精密研磨機『IS-POLISHER ISPP-1000』

小型・軽量・省スペース！試料にダメージを与えず、誰でも熟練者並みの仕上…

『IS-POLISHER ISPP-1000』は、小型・軽量で、試料にダメージを与えない精密研磨機。 省スペース設計をコンセプトに開発されました。研磨時間・研磨盤回転数・方向、揺動範囲・速度などの研磨条件を操作パネルで簡単に設定できるのが特長。さらに数値と手順を記録し、誰でも熟練者並みの仕...

メーカー・取り扱い企業：株式会社池上精機
半導体製造装置・検査装置に好適なアライメントステージ

0.1μmの追従性を実現する『RSTアライナー』と薄型・小型の省スペー…

やワークサイズに合わせ、テーブルサイズも自在 ■貼り合わせ用途などで必要とされるZ機構追加可能 ■高耐荷重仕様、外観色の変更、仕様等、カスタム対応【YRAシリーズ】 ■薄型・小型の省スペースながら、高精度・高剛性を実現 ■XYθ軸の各軸が独立して動作する一体型構造 ■用途に合わせた4型式をラインアップ・YRA-070：シリーズ最小のアライメントステージ・YRA-071：...

メーカー・取り扱い企業：神津精機株式会社
メタルプラズマコーター「AT-ET」【導電性薄膜を作製！】

省スペース&低コストで導電性薄膜を作製！電子顕微鏡観察時に金属被膜のコ…

プラズマコーター「AT-ET」は、電子顕微鏡観察時における試料の帯電を防止するためのAu（金）、Ag（銀）、Pt（白金）等の導電性薄膜を作製する装置です。ロータリーポンプを本体に内蔵したことで、省スペースでの設置が可能となりました。真空度の表示は読み易いデジタル表示で、ボタン1つで排気～コーティング～終了（標準処理時間約5分）までを自動で行える簡単操作のコンパクトなメタル薄膜作製専用コーターです...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エーティーエー
ME-1000 枚葉式スピン洗浄装置

ブラシ洗浄、超音波洗浄、リンス洗浄、N2ブロー乾燥の処理を行う装置です…

省スペースで、両面洗浄可能なメカグリップ機構の枚葉式スピン洗浄装置です。メンテナンスが容易で高速、スピン乾燥、Ｎ２乾燥、によりウオーターマークを軽減します。（特許第3558543)...

メーカー・取り扱い企業：マック産業機器株式会社テクノロジーセンター
小型センターレス研磨機『ECO楽2 CCB-10型』

家庭用100V電源で使用可能！コンパクトサイズで省スペースです

『ECO楽2 CCB-10型』は、簡単でどなたでもラクラク研磨可能な小型センターレス研磨機です。家庭用100V電源で使用可能。 450×600×280mmと、コンパクトサイズで省スペースです。また、小型ハンドルを搭載しているので、主軸や送り車の前後操作も楽にできます。【特長】 ■どなたでも簡単に研磨できる ■難しい調整は一切不要 ■主軸、送り車の前後操...

メーカー・取り扱い企業：株式会社野水機械製作所本社
バリ取り・研磨装置『WS056S』

小物金属部品に最適なバリ取り・研磨を実現！ワーク把持型バリ取り・研磨装…

リ取り・仕上げを目的とした装置です。ワークを把持し、装置本体ベース側に設置された各種ツールヘッドで加工をすることで、小物部品に最適なバリ取り・研磨を実現しました。ツール把持に比べ省スペースなシステムを実現できます。【特長】 ■パレット式ワークセット法を採用 ■省スペースシステムを実現 ■環境面・安全面にも配慮した構造 ■作業性・保守性を考慮した前面操作型装置 ...

メーカー・取り扱い企業：ヤマハファインテック株式会社
簡易シールドボックスプローバ『TBシリーズ』

プローブに必要な構成品を標準装備！コストパフォーマンスに優れたプロービ…

『TBシリーズ』は、省スペースで各種の計測目的に適したコストパフォーマンスに優れたモデルのプローバです。コンパクトなシールドボックスの中には試料台、マイクロポジショナ、プローブ二ードル、信号用ケーブル、顕微鏡...

メーカー・取り扱い企業：雄山株式会社東京支店
インサーキットテスター　THOMAS-JTAG

インサーキットテストとJTAGバウンダリテストをシームレスに行えます。

で別々に検査をしていた、インサーキットテストとJTAGバウンダリテストを同時に行うことができる製品です。検査装置を2つ置く必要が無く、1度で検査を済ますことができますので、工場ラインの工数削減、省スペース化を実現できます。管理をする上でも間違いが少なく、実用的なテスターといえます。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ノアコーポレーション楢原事業所
エッチング実験装置『ミニミニエッチャー』

少量の薬液でのエッチングが可能！容易な薬液の交換で実験・開発に好適です

レー」をはじめ、「横型・上下スプレー」や「水平揺動型・上下スプレー」などをラインアップ。少量の薬液でのエッチングが可能で、数枚単位の基板製作に対応出来、また、薬液の交換も容易で、省スペースにて設計されています。【特長】 ■小型基板の製作および薬液の実験・開発に好適 ■少量の薬液でのエッチングが可能 ■数枚単位の基板製作に対応 ■薬液の交換も容易 ■省スペース設計...

メーカー・取り扱い企業：株式会社シマテック
スクリュー攪拌型粉体スパッタリング装置

省スペースで大容量！各種ご要望に合わせたオーダーメイドも製作可能！

部品、電池部品、高機能材料開発といった用途に使用可能です。このほかにも、小型化/大型化、CVD/各種プラズマ処理、バレル/ドラム型など様々な装置のご提案が可能です。【特長】 ■省スペース ■大容量 ■独自のスパッタカソードを搭載 ■スクリュー型攪拌機構 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社
スナイパーノズル新製品『レクチ』発表

スナイパーノズルは整流加工液を勢いよく加工点に送り込む高性能。新製品『…

を増やし加工時間短縮・加工液の確実供給がダメージを抑え工具寿命延長　・クーラントホースに簡単装着（『レクチ』はワンタッチ装着）・用途に合わせて豊富なラインアップから選択（『レクチ』は省スペース設計） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社塩業務基地
高精度リニヤステージ　縦型5軸ステージ

高精度リニヤステージ　縦型5軸ステージ

【特徴】 ○XY軸に加え、Z軸、θ軸及び　チィルティング機能を搭載した多軸ステージ ○マスクのアライメントに必要な機能を装備 ○縦型に配置するため、パーティクルフリーが可能 ○省スペースでの使用が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウイング
精密貼り合せ装置（半自動）

精密貼り合せ装置（半自動）

ム基板などの2枚の基板を手動で位置決めし、貼り合せを行う装置です。近年、貼り合わせ製品の薄層化、外観精度の要求レベルが高くなっておりますが、弊社が保有する貼り合せ技術（速度、圧力制御機構）を省スペースの装置に集約し、キズや気泡のない高品質の貼り合せを実現しました。...

メーカー・取り扱い企業：長野オートメーション株式会社
スパッタ装置 QKG-Sputtering

フルオートで大気に曝されることなく成膜完了！〜サンプル測定実施中！…

従来のスパッタ装置では困難であった“1バッジ内での複数材料の成膜”をワークマスク採用で可能にし、フルオートモードで試料が大気に曝されることなく成膜完了します。 ○省スペースで作業スペースにメリット ○成膜の再現性が上昇するメリット ○工数削減、エラー減少、気分上昇メリット ○ワンボタンで成膜までフルオート→作業効率メリット ○１インチカソードで材料費を削減...

メーカー・取り扱い企業：九州計測器株式会社
省エネ、フロンガス対策チラー　※置き換え事例ハンドブック進呈

省エネ効果でカーボンニュートラル、カーボンプライシング対策に！温室…

合わせることにより、温度安定性と温度レスポンス性に優れたペルチェ素子の特徴を最大限に生かしたチラーです。従来のチラーで採用されている冷凍機とヒーターを用いた非効率な温度制御方式に比べて、省エネ、省スペース、低騒音、低振動、脱フロンといった、多くの革新性と優位性を備え、半導体、レーザー装置、分析機器、医療機器、ストレージ、航空技術、軍事産業など、特にシビアな温度制御が要求されるマーケットで豊富な納...

メーカー・取り扱い企業：エムエス機器株式会社
コールドカソードゲージコントローラ　CG-20

堅牢な冷陰極型電離真空計

（特長）　●堅牢な冷陰極型電離真空計　●小型のボディーで省スペース化が可能（仕様）・出力信号：a)フォトリレー出力　容量DC24V、0.5A 　　　　　　b)アナログ出力　0?5V F.S.　主力インピーダンス1ＫΩ ・使用温湿度 ...

メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社
高速熱処理装置(RTP/RTA) AccuThermoシリーズ

高速熱処理装置（RTP/RTA装置）　AccuThermo シリーズ

○温度制御範囲+100℃ 〜 +1,250℃ ○高速加熱100℃/sec，高速冷却100℃/sec ○高いウェハ間プロセス再現性 ○特定のプロセス条件に対応した温度−時間プロファイル ○省スペースかつ、高いエネルギー効率 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：ハイソル株式会社
定温度型ピラニゲージコントローラ　PG-30

熱伝導を圧力に変換して、真空計測を行えます。

（特長）　・（1.0×10-1Pa）?（1.0×10　4Pa）の測定範囲　・故障に強い定温度型　・小型なボディーで省スペース化が可能（仕様）・出力信号：a)制御出力　リレー接点出力容量 AC100Vmax、1Amax 　　　　　　b)アナログ出力　0?5V　F.S.　（1V/1桁）　出力イン...

メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社
小型循環式サンドブラスト機『ASB-2N型』

汎用機仕様のノウハウを凝縮した省スペースタイプのサンドブラスター

『ASB-2N型』は、小物部品の各種表面処理に、研究開発用・小ロット生産用として幅広く活躍する小型循環式サンドブラスト機です。多量の研削材を一度に噴射することで驚きのハイパワーブラスト処理を実現。スペースを取らずに短時間で表面処理が可能です。また、サンドブラスト自体の圧送能力が優れているため、細かい粒度の研削材でも楽々処理できますので、加工物の表面荒れが少ない仕上がり面を生成で...

メーカー・取り扱い企業：有限会社秋山産業
UV-LED光源！半導体製造用自動露光装置|マスクアライナー

光源を水銀ランプからLEDへ置き換えた露光装置です。自動平行調整、…

nm)、H線（405nm)に対応！（g線はご相談ください） ■完全非接触でフォトマスクとウエハの平行出し&露光 ■オートアライメント機能 ■段取り替えが容易で、複数基板サイズ対応可能 ■省スペース&簡単メンテナンス ■低価格、コンパクトを実現し、多品種少量生産にも好適 ■超精密UVWステージ搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
スパッタリング装置『MiniLab（ミニラボ）シリーズ』

モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

様々な薄膜プロセス実験への応用が可能になります。 MiniLabシリーズは、研究開発から小規模生産用途まで幅広く対応するハイコストパフォーマンスシステムです。【スモールフットプリント・省スペース】・シングルラックタイプ（MiniLab-026）：590(W) x 590(D)mm ・デュアルラックタイプ（MiniLab-060）：1200(W) x 590(D)mm ・トリプル...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
マニュアル・プローバ・システム

ハイソルが経験と実績に基づき独自に開発設計した、高性能・低価格のマニュ…

ハイソルが経験と実績に基づき独自に開発設計し、実現した多機能マニュアルプローバー。コストパフォーマンスに優れ、省スペース、ローノイズ、DC〜マイクロウェーブの広い周波数領域、-65℃〜＋400℃の測定温度領域。初めてプロ-バーをご利用される方から次世代デバイスの開発用途までPMPシリーズなら幅広くご...

メーカー・取り扱い企業：ハイソル株式会社