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MPSの酸化物，窒化物成膜関連製品を紹介します．
【特徴】 ○抵抗加熱式蒸着装置…小規模の光学膜生産用として使用．光学膜を作るための抵抗加熱式蒸着装置 ○熱+プラズマCVD装置…窒化物を作るための実験装置．熱とプラズマの併用も可能 ○EBPVD装置…100kWの直進銃を搭...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社MPS
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