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製膜スピードUP&高い密着性!導入コストや維持費も低いDLCコーティン…
『CARBOZEN ハイブリッドPVDシステム』は、製膜スピードを飛躍的に向上させた新型DLCコーティング装置。優れた密着性が特長です。 リニア・イオン・ソースとUBMスパッタ、FCVAソースの適切な組み合わせで、基材との密着性が高い、様々なDLC膜をコーティングすることができます。 【特長】 ■装置とオペレーターのためのロック機能 ■MS Windows OSベースのソフトウェア...
メーカー・取り扱い企業: パーカー熱処理工業株式会社 川崎事業所
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物理蒸着(PVD)プラズマ源以外に、様々な化学的気相成長(CVD)プラ…
『リニアPECVDプラズマ源』は、標準的な静電容量結合プラズマ電極に類似した 製品です。 インラインダイナミックモードで動作しており、基板、キャリア、または ウェブは絶えず電極を通過し、連続的に製膜されています。 CCP CVDを用いる静止モードで大型の基板を均一に製膜するという機械的、 電気的な大規模作業が求められる場合であっても、リニアPECVDは 空間パラメーターを一次元...
メーカー・取り扱い企業: フォンアルデンヌジャパン株式会社
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