エッチング | イプロスものづくり

PR毎月先着50社限定｜短納期、小ロットから対応の「エッチング加工」サンプ…

エッチング加工をご希望の企業様向け！毎月先着50社様限定で、ケミカルプリントが誇る技術を詰め込んだ無料サンプルを進呈致します！切削加工や機械加工に比べ、エッチング加工は加工精度が高く、また、ケミカルプリントなら短納期・小ロットから対応が可能です。サンプルご希望の企業様はイプロスもしくは、下記お問い合わせからとご連絡くださいませ。 https://www.chemical-print.c...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ケミカルプリント

【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

不良解析エッチング装置『200FA/200R/200I』

剥離処理により、不要箇所を除去！当社で取り扱う不良解析エッチング装置を…

『200FA/200R/200I』は、半導体チップ及びウエハの不良解析装置です。剥離処理により、不要箇所を除去し、不良原因箇所の解析をする事が出来ます。【特長】 ■選べる剥離技術(RIE、HCD、ICPRIE) ■サンプル形状柔軟性(ダイ、パッケージダイ、ウェーハフラグメント、　フルウェーハ) ■搬送の柔軟性(ダイレクトロード、プリロードシャトル、　ロードロック付...

メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

表面形状・シミュレーション・モジュール（FPSM2D）

PVD、プラズマCVD、そしてエッチングなどどのような反応にも対応可能…

ーション・モジュール（FPSM2D）』は、粒子モンテカルロ法により、基板表面での様々な反応を考慮し、基板、堆積膜の経時変化を計算するモジュールです。 PVD、プラズマCVD、そしてエッチングなどどのような反応にも対応可能。入射粒子情報（粒子フラックス、入射エネルギー・角度分布）はPEGASUS 気相モジュール、PEGASUS表面科学系モジュールからの出力を使用するか、 ...

メーカー・取り扱い企業：ペガサスソフトウェア株式会社

表面形状・シミュレーション・モジュール（FPSM3D）

初期形状はトレンチ、ホールで与えることが可能！基板、堆積膜の経時変化を…

算するモジュールです。セル法特有のシャープな境界面は用いず、固体層占有率による勾配から入射角を決定し、入射角依存の鏡面反射確率、反応確率に適用。 PVD、プラズマCVD、そしてエッチングなどどのような反応にも対応可能です。【特長】 ■粒子モンテカルロ法を用い、セル法により固体層占有率、表面被覆率を　考慮し形状を表現 ■ガス種、反応式、錯体、そしてポリマーなどの数...

メーカー・取り扱い企業：ペガサスソフトウェア株式会社

プラズマPICモンテカルロ衝突モジュール（PIC-MCCM）

計算の精度が高い！装置内のプラズマ密度が、比較的低い場合のプラズマ解析…

『プラズマPICモンテカルロ衝突モジュール（PIC-MCCM）』は、プラズマ CVD装置、プラズマエッチング装置、スパッタリング装置、機能性薄膜の製造装置といった装置内の、非平衡低温プラズマの挙動を解析ができるモジュールです。装置内のプラズマ密度が、比較的低い（10^16[#/m3]；...

メーカー・取り扱い企業：ペガサスソフトウェア株式会社

ICの不良解析

不良モードに適した様々な手法を組み合わせることで、不良ノードの特定から…

ら物理解析までを一貫して対応致します。 Layout Viewerによるレイアウト確認が可能な「発光解析/OBIRCH解析」をはじめ、「層剥離/サンプル加工」や「PVC解析」、「拡散層エッチング」、「sMIM解析」等、様々な解析手法があります。【手法】 ■発光解析/OBIRCH解析 ■層剥離/サンプル加工 ■マイクロプローブ ■PVC解析 ■EBAC解析 ■物理...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アイテス

【半導体向け】解析シミュレーションソフト　※カタログ進呈

工数・コスト削減に！薄膜生成、スパッタリング、プラズマエッチングなどの…

当社では、半導体関連装置向けに特化した解析ソフトを取扱っています。希薄流体解析ソフト、プラズマ解析ソフトをラインアップし、有機ELやマグネトロンスパッタのシミュレーションで活躍中です。「新商品開発をしたい」「製品改善時に実機(装置)を作って検証したい」「事前検証,装置との比較検証をしたい」などでお困りの方に。また、自社開発製品のため、導入後も手厚くサポートいたします。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

シリコンICプロセスシミュレータ

CSupremにおける物理モデル

イオン注入(ion implantation), 蒸着(deposition)、エッチング(etching)、拡散(diffusion)、酸化(oxidation)に対する物理モデルをベースに様々な半導体構造の1次元、2次元および3次元のプロセスシミュレーションが可能。IC製造工程の...

メーカー・取り扱い企業：クロスライトソフトウェアインク日本支社

X線残留応力測定機による受託サービス｜JTL

残留応力測定機により試料表層の残留応力を非破壊で測定します。

原理を利用しているため、試料に対するダメージはほとんどありません。傷をつけたくない製品の測定、同一製品での工程毎の応力の変化の測定が可能です。【深さ方向の測定が可能】【電解研磨装置でエッチングをすることにより、深さ方向の応力分布が測定可能です。【局部測定が可能】微小部（コリメータサイズでφ150μmまで）の測定が可能です。歪ゲージで測定できない局所でのピンポイント測定が可...

メーカー・取り扱い企業： JAPAN TESTING LABORATORIES株式会社本社

残留応力測定サービス｜JTL

X線回折の原理を利用して、試料の残留応力を非破壊で測定します。

【非破壊による応力測定】 X線を用いて測定を行うため、非破壊・低ダメージでの測定が可能です。【深さ方向の応力分布測定】電解研磨装置でエッチングすることにより、深さ方向の応力分布の測定（デプスプロファイル）が可能です。【微小領域の応力測定】コリメータサイズでφ150μmまでの微小領域の測定が可能です。【短納期対応】 ...

メーカー・取り扱い企業： JAPAN TESTING LABORATORIES株式会社本社

中性粒子DSMCモジュール（DSMCM）

新衝突計算法を指定することにより、平均自由行程以上のセルサイズでの計算…

粒子の衝突を物理モデルに従って確率的に引き起こして挙動を追跡していくといったDSMC法（粒子モデル）を用い、いろいろな真空装置内の希薄気体の流れ場を解析するためのモジュールです。 エッチング装置、薄膜製造装置、スパッタリング装置内の電荷を持たない中性粒子（バッファガス、ラジカル種、スパッタリング粒子）の挙動を解析することが可能。また、新衝突計算法を指定することにより...

メーカー・取り扱い企業：ペガサスソフトウェア株式会社

内藤電誠工業株式会社　設計・評価事業部評価部　事業案内

総合技術力で要求に応じたソリューションをご提供

析概要】 ■外観解析 ■電気的特性解析 ■マイクロフォーカスX線解析 ■マルチフォーカスX線CT解析 ■超音波探傷(SAT)解析 ■PKG開封内部解析 ■LED内部解析 ■ドライエッチング(RIE) ■断面/平面解析 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：内藤電誠工業株式会社デバイスカンパニー

樹脂成形とレオロジー　第3回「樹脂の成形法」

射出成形・ブロー成形・圧縮成形など！熱可塑性樹脂と熱硬化性樹脂の成形法…

人類が得たモノづくり法は、石包丁や石矢じりなど大きな塊から不要部を取り去って目的形状を残す「除去加工」です。切削、レーザー、エッチング加工がこれに該当します。一方、樹脂の成形加工法はあらかじめ計量された材料を目的形状に成形する「変形加工」となります。当コラムでは、その代表的な成形法について説明します。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テラバイト

【資料】SPH法による噴霧とエッチング解析

SPH法による噴霧とエッチング解析！図を用いてわかりやすくご紹介してい…

当資料は、SPH法による噴霧とエッチング解析についてご紹介しています。最初に、エッチング液の首振り噴霧をシミュレーションします。次に、エッチング液が銅板に噴霧された後、エッチング液と銅のイオン化反応により、銅板の削...

メーカー・取り扱い企業：エイシーティ株式会社本社

【解析事例】CVDエッチングプロセス最適条件の探索

最適条件の探索に！多次元表示チャートの活用事例をご紹介！

詳細化学反応解析プログラムCHEMKINと連成した、 エッチングプロセス最適条件の探索事例をご紹介します。問題設定としては、原料ガス供給量SCCM、酸素濃度を変化させ、出口C2F6濃度、CF4濃度がそれぞれ最小となり、 エッチング速度最大(膜生...

メーカー・取り扱い企業：株式会社IDAJ

事例:Particle-PLUS:GEC-CCP装置プラズマ解析

Particle-PLUS解析事例紹介「GEC-CCP装置のプラズマ解…

代表的なドライエッチング手法のひとつである、CCP（容量結合プラズマ）エッチングに関する3Dでの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、高速にエッチング率などの...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

【事例】Particle-PLUS:CCPによるクリーニング処理

Particle-PLUS解析事例紹介「CCPによるクリーニング処理」…

代表的なドライエッチング手法のひとつである、CCP（容量結合プラズマ）エッチングに関する解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、高速にエッチング率などのシミュレーシ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

【事例】『Particle-PLUS』CCPでのクリーニング処理

代表的なドライエッチング手法のひとつである CCP（容量結合プラズマ…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

半導体関連装置向け解析シミュレーションソフト

ガス流れや薄膜生成のシミュレーションに。大規模形状でも短時間計算

》 ■低圧のプラズマシミュレーションが可能 ■プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造などにこの2つのシステムで、半導体製造における薄膜生成、スパッタリング、プラズマエッチングなどの様々なシミュレーションに対応可能です。 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社