リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

超音波複合振動接合機『Ellinker 20k-HP/20k』

PR狭いところに手が届く接合を実現。楕円形の軌跡により、高強度・低ダメージ…

『Ellinker 20k-HP/20k』は、振動拡大ホーンと 楕円形の軌跡を描く複合振動を生み出すスリット入りホーンを備えた超音波複合振動接合機です。 加圧・加振のムラや減衰が少なく、ワークへのダメージやバリの発生を抑えた高品質な接合が可能。 ロングホーンチップを使用でき、円筒型LiBの底部など様々な形状・接合位置のニーズに対応可能です。 はんだなどの介在物を使用せず、母材の変質リスクも少な...

メーカー・取り扱い企業： 千代田交易株式会社

極高真空対応スパッタイオンポンプ『エクセルポンプ』

40％のサイズダウン！組み込み型のベーキングヒーターと保湿機能のカバー…

『エクセルポンプ』は、小型軽量の真空ポンプです。 イオンポンプをベースに、低い圧力領域での放電特性を改良し開発した ポンプ素子、効率のよいベーキングを行えるビルドインヒータを採用。 また、NEG(非蒸発型ゲッタ)ポンプの内蔵によりXHVの達成を可能にしました。 【特長】 ■UHV、XHV領域での高い排気能力 ■高効率ベーキングの実現 ■小型、軽量 ■クリーンルーム対応 ...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空ポンプ『イオンポンプ・ノーブルポンプ』

無振動・無騒音！被排気系を汚染する心配が無いため夜間の無人運転にも安心…

『イオンポンプ・ノーブルポンプ』は、超高真空ポンプです。 磁場中で冷陰極放電を起すことにより、電離された気体分子が陰極に 埋め込まれること、また陰極との衝突の際の陰極材料(Ti)をスパッタして、 活性なゲッター膜を連続的に作ることを利用して排気を行います。 油など有機物を一切使用していないため、系を汚さず清浄な真空が得られます。 【特長】 ■完全オイルフリー ■超...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

中古真空装置・機器販売のご案内

全機種オーバーホールして完全稼動した状態で納品しております

株式会社グリーンテックでは、完全オーバーホールを実施して性能 確認した中古真空機器・装置の販売・メンテナンス及びレンタルを 行っております。 取扱商品はスパッタ装置・真空蒸着装置をはじめとして、Heリークディ テクタ等の計測器や電源・電子銃・真空計・ポンプ等の単品も販売して おりますので、ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社グリーンテック 大阪本社

チタンゲッタポンプ GGT-3, PGT シリーズ

チタン合金を真空中で直接通電してチタンを昇華させるためのユニットです。…

2、N2、O2、H2O、CO、CO2）を吸着排気します。チタンの活性金属表面は、不活性ガス（He、Ne、Ar、CH4、C2H6、その他有機ガス）に対しては吸着能力を持たないので、ターボ分子ポンプやスパッタイオンポンプなどと組み合わせて使用します。 【特徴】 ○システムの設計に合わせて昇華したチタンの吸着面積を選べば、 　大きな排気速度が得られ到達圧力性能も向上する ○T接続フランジ部に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

クライオポンプ　CRYO-U 4H

4型の最高性能クライオポンプ

【特徴】 ○4型のクライオポンプで最高の排気特性を発揮します。 ○高い排気速度は、排気効率と生産性の向上に寄与します。 ○特に半導体製造装置のスパッタプロセスや小規模の装置に適しています。 ○１台のコンプレッサーで4台までのポンプを運転することが可能です。 ○ご使用の用途に合わせた設計、製作が可能です。 ●詳しくはお問い合せ、またはカ...

メーカー・取り扱い企業： アルバック・クライオ株式会社

イオンポンプ融合型超真空用ゲッターポンプ「NexTorr(R)」

全てのガスを効率的に排気する　超軽量タイプのUHV対応ゲッターポンプ

NEXTorrポンプは、NEGとイオンポンプの技術を相補的に組み合わせた設計になっています。 小さなスパッタイオンポンプ（SIP)がNEGによって排気されなかった不活性ガスを取り除いている間、ゲッターカートリッジが主なUHVポンプとして働きます。 活性化ガス(水、水素、窒素等）向けのNEGポンプの大き...

メーカー・取り扱い企業： サエス・ゲッターズ・エス・ピー・エー 日本支店

クライオポンプ総合カタログ

【無料贈呈】アルバック・クライオのポンプ総合カタログ！

【特長】 ◆スパッタ装置用に排気速度可変型のポンプ ◆エッチング、CVD装置などのために耐食性のポンプ ◆極高真空用にベーカブルタイプ ◆分析機器、実験装置などのために防振型 ◆スペースの節約のために、高さを...

メーカー・取り扱い企業： アルバック・クライオ株式会社

株式会社ラジカル　真空機器事業部

現在使用されている設備の改造、老朽化対策、修理をお受けいたします。

株式会社ラジカル　真空機器事業部では、極低温冷凍機により真空状態を作り出す非常に特殊な真空ポンプ「クライオポンプ」の修理業務を日本、台湾、韓国で事業展開しています。また、真空蒸着装置、スパッタ装置等、各種真空設備の設計、製作も行なっております。特に、大手真空メーカーでは対応しない特定業種専用機を対応いたします。さらに、現在使用されている設備の改造、老朽化対策、修理をお受けいたします。古...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ラジカル