近赤外線ヒーター（ヒートビームシリーズ）

PRハロゲンランプヒーターより放射される光（近赤外線）を照射し、高温・急速…

近赤外線ヒーター　ヒートビームシリーズは、特殊高効率ハロゲンランプから照射される近赤外線を利用し、ライン状やスポット状または、面状の熱源が得られるヒーターユニットです。 反射鏡は特殊金メッキを施し、熱効率が高くコンパクトな設計。 熱源にはハロゲンランプを使用する事により、最大1200℃までの加熱と2mm～3mm程度の集光が可能です。 ハロゲンランプから照射される輻射熱を利用しているので、非接...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイベック

静電気でお困りの方必見！帯電防止シリコーンゴム

PRフィラーの改良によりカーボンによるワークへの色移りが減少！ HTV・R…

導電体となるフィラーの改良により、シリコーンゴムの問題であったケッチェンブラックの色移りを軽減しながら、表面抵抗率は低い数値を維持することが可能になりました！ このフィラーは、HTV(熱硬化型)・RTV(液状型)どちらのシリコーンゴムにも付与することが可能な為、ローラー・プレート・搬送ベルトなど、多岐に渡る製品で施工が可能です。 【製作可能製品】 ・ローラー(ライニング) ・プレー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シープロン化成

自律走行型（協働）搬送ロボット『MiR250』※動画あり

【メンテナンス、バッテリー交換は容易】間口80cmをスムーズに通過可能…

『MiR250』は施設内の輸送作業に好適な自律走行型（協働）搬送ロボットです。 アセンブリの為の部品搬送、広大な施設内の材料輸送、 医療施設内での書類の配布や回収、クリーンルーム内へ機材を届ける等、 単純作業の自動化は、人がより高度な作業に集中する事を可能し、 生産性向上による対費用効果を高め、素早い投資回収を実現します。 また、カートの回収と配送の自動化...

メーカー・取り扱い企業： カンタム・ウシカタ株式会社

中可搬ロボット　総合ラインナップ

先見の明あり。中可搬30kg～60kgに対応KUKAロボット。

械に取り付けると、Kモデルと比べて小型モデルであるのに下方への作業深度がより大きくなりました。 ■KR30-3 CR 多彩な機能を持ち、柔軟なのでどのような分野でも自分の力を発揮できます。クリーンルームでも活躍できます。 ・・・など ＊詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。 ...

メーカー・取り扱い企業： KUKA Japan株式会社

『MiR100／MiR250／MiR600／MiR1350』

施設内の輸送作業に革新をもたらす！自律走行型(協働)搬送ロボットのご紹…

働搬送ロボットです。 3Dカメラとレーザーセンサー(Sick社製Lidar2ヶ所）搭載にて360°の認識範囲を有しております。 広大な施設内の部品輸送・材料輸送、医療施設内の書類の配布・回収、クリーンルーム内へ機材を届ける等、単純作業の自動化は、人がより高度な作業へ集中する事を可能にし、生産性向上による費用対効果を高め、素早い投資回収を実現します。 【特長】 ■人や障害物を自動的に回避 ■磁...

メーカー・取り扱い企業： 伊藤忠マシンテクノス株式会社

人協働ロボット搭載AGV

理想の1台が手に入る！人協働ロボットで進化したラボ・オートメーションを…

【その他の特長】 ■クリーンルーム納入実績有り ■安全カテゴリに対応した安全対策も提案可能 ■自由なレイアウトを可能にする非接触充電システム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 田辺工業株式会社

マルチアイテム自動搬送システム『M-TRAX』

お客様の多様なニーズにお応えし好適な生産設備専用の搬送システムをご提供…

『M-TRAX』は、コンパクト＆クリーンな自動倉庫を中心にAMR/AGV等の無人搬送設備と 連携して工程内物流を自動化。 高信頼性モジュールによりオペレーションからメンテナンスまで最小人員で運用が可能な マルチアイテム自動搬送シス...

メーカー・取り扱い企業： エムテック株式会社

《カスタマイズ対応・使用・改善事例》特殊ベアリング／SMT

多様なユーザーニーズにお応え！特殊形状・各種材料・指定グリースなどのカ…

備に使用したい ・高温環境下で使用したい ・ベアリングを軽く回したい ・水中で使用したい ・ベアリングと周辺部品を一体化させ、コンパクト化・高精度化したい ～グリースのお悩み～ ・クリーンルームでの使用に適した低発塵グリースを封入したい ・真空環境での使用に適したグリースを封入したい ・手持ちのグリースを封入して欲しい ～すきまのお悩み～ ・高速回転時の振動を軽減したい...

メーカー・取り扱い企業： 大喜産業株式会社

ロボットハンド【On Robot　食品向けラバーグリッパ―】

認定された食品用のソフトグリッパーで飲食物、化粧品、薬剤オートメーショ…

OnRobotソフトグリッパーは3つの交換可能なシリコン成形カップを使用して幅広いイレギュラーな形とデリケートな製品を扱うことができ、 化粧品と薬剤、および製造や梱包のような飲食物とその他の「クリーンな」製造アプリケーションのピック・アンド・プレイス・アプリケーションに最適です。 ソフトグリッパーは柔軟性を高める星形、または指形のOnRobotの革新的なクイックチェンジャー、ベースユニット、...

メーカー・取り扱い企業： OnRobot Japan　株式会社

300mm対応光学式アライナ　SAL30C1シリーズ

ベルヌーイ方式によりウェーハのダメージを最小限に抑えたアライメント可能

位置決め精度：センタリング:±0.1mm以内 (300mmシリコンウェーハの場合) 　ノッチロケート:±0.1度 (300mmシリコンウェーハの場合) ○センサ：可視半導体レーザーセンサ ○クリーン度：0.1μm クラス1(駆動部排気時) ○駆動方式：2相ステッピングモータ3軸使用　モータドライバ、コントローラ内臓 ○ユーティリティ：電源：DC24V 2A →使用流用量：60～120N...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

協働ロボット『モバイルマニピュレータSLIM』

自走ロボットLDと協働ロボットTMを一体化

ムにより複数台制御、さらに上位システムとのシームレスな通信を実現 ■ワイヤレス充電により長時間の稼働を可能とし、生産性向上に貢献 ■ワークに応じてハンド、ペイロードなど柔軟にカスタム可能 ■クリーンルームにも対応可能な低発塵ロボット 詳しくは弊社HP、Youtube（https://www.youtube.com/@ciRobotics）をご覧ください。 お問い合わせもお気軽に。お待...

メーカー・取り扱い企業： ciRobotics株式会社

光学式アライナ　SAL3261GRシリーズ

2インチ,3インチ,100～150mmウェーハのアライメントが可能です

○位置決め精度：センタリング:±0.2mm以内　オリフラロケート:±0.2度以内 ○位置決め時間：ノッチサーチ 3秒以内(持ち直し動作無しの場合) ○センサ：可視半導体レーザーセンサ ○クリーン度：ISO Class2 (ISO14644) ○駆動方式：2相ステッピングモータ3軸使用　モータドライバ内蔵 ○ユーティリティ：電源:DC24V 3A 　真空:-53kPa以上 ●詳し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

ジェーイーエル　ソーターシステム

アライナにバッファ機能を設け、ウェーハの入替を可能にしました。

【仕様】 ○対象キャリア：300mmFOUP（25枚）　SEMI E47.1.E62準拠品 ○対象ウェーハ：300mmシリコンウェーハ　厚さ775μm ○スループット：300枚/h ○クリーン度：ISO クラス2 ○外形寸法：W1250×D2500×H1900 ○重量：800kgf ○ユーティリティ →電源：AC200V±10％ 単相10A →ドライエア：0.5Mpa±10％...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

ケース搬送コンベヤ『ユニコンV』

クリーンな作業環境が創出可能！システムの増設、変更にもフレキシブルに対…

『ユニコンV』は、中荷重物の搬送（70kg/m）に好適な機能を徹底追求し、 構造の簡素化や部品の共通化によりローコスト化を実現したケース搬送コンベヤです。 ドライブシャフトと丸ベルトの駆動メカニズムにより、1台のモータで ロングラインを運転。省エネ性能に優れています。 また、標準化・ユニット化により短納期化を実現。 さらに機電一体化のため現場での据付時間も大幅に短縮します。 ...

メーカー・取り扱い企業： オークラ輸送機株式会社 東京支店、大阪支店、名古屋支店、（営業所）札幌、仙台、北関東、南関東、兵庫、四国、広島、九州

コミヤマエレクトロン株式会社　真空装置製作

ご要望に合わせた、設計から製造までのワンストップ体制で対応いたします！

FPD・有機EL・半導体・クリーンエネルギー分野など 多くの産業で活躍する「真空装置」。 当社は、設計から製造までのワンストップ体制で ご要望に合わせて対応します。 また、納入後のトラブルにも迅速に対応。 定期メ...

メーカー・取り扱い企業： コミヤマエレクトロン株式会社

搬送コンベヤ『オークラキャリーライン』

3次元搬送が自由自在。フルキシブルな生産ラインに好適な樹脂チェーンコン…

送で、スピードが要求される工程にも優れた パフォーマンスを発揮します。 【特長】 ■3次元レイアウトも自由自在 ■優れた省エネ性 ■蛇行レスで高速搬送 ■モジュール構造でシンプル＆クリーン ■4種類のチェーンで様々な搬送物に対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： オークラ輸送機株式会社 東京支店、大阪支店、名古屋支店、（営業所）札幌、仙台、北関東、南関東、兵庫、四国、広島、九州

平行リンク式シングルアームクリーンロボット『EV2250』

真空シールには接触式シール方式を使用したシングルアームクリーンロボット

『EV2250』は、真空シールには接触式シール方式を使用した 平行リンク式シングルアームクリーンロボットです。 アーム部はアルピカ処理済み。 エンコーダ付2相パルスモータを装備しているほか、RS232C通信制御、 パラレルI/O制御が可能です。 【特長】 ■耐熱使用：ア...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

光学式アライナ　SAL4484シリーズ

制御方式は、RS232C及びパラレルフォトI/Oです。

○位置決め制度 →センタリング：±0.1mm以内 →オリフラ（ノッチ）ロケート：±0.1°以内 ○センサ　可視光半導体レーザーセンサ ○サイズ切替　コマンド制御による切替または通信 ○クリーン度　0.1μm/cf　クラス1（駆動部排気時） ○駆動方式　2相ステッピングモータ4軸使用　モータドライバ・コントローラ内臓 ○電源/真空　DC24V±10％　3A/-53kPa以上 ●...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

パラレルグリッパー『2FG7』

生産をパワーアップ！金属や木材など、さまざまなサイズの製品や物質に使用…

ーです。 カスタマイズが簡単で、さまざまな作業に適応でき、 柔軟でインテリジェントな 精密グリッパー1台で迅速なROIを実現。 過酷な環境に耐えられる保護を提供するIP67規格及び、クリーンルーム規格の ISOクラス5認定により、さまざまな作業環境で使用ができます。 【技術仕様(抜粋)】 ■把持力 　・最小20N　最大140N ■把持速度 　・最小16mm/s　最大4...

メーカー・取り扱い企業： 常盤電機株式会社

GramForce（グラムフォース）グリッパー

Airpot社の超精密嵌合テクノロジーを平行開閉制御に応用した複動形超…

応。（使用圧力:0.02～0.7MPa） ○広範囲の周囲温度に対応。（周囲温度:-20～+80℃） ○エアーによる自動潤滑作用により、潤滑が一切不要。 ○使用環境に影響を与えないクリーンオペレーション。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エッチ・ケー・エスジャパン

大気環境用ウエハ搬送ロボット『UTW-REH5500』

【～300ｍｍウエハ用】450WPHの高速搬送！ 装置のスループット…

■ハイスピードモデルのウエハ搬送ロボット 450WPHの高速搬送で装置のスループット向上に貢献します。 半導体用クリーンロボット「ACTRANSシリーズ」は、技術に裏打ちされた 高い性能とグローバルネットワークによる優れたサポートでお客様の 半導体製造における様々なソリューションを提供して参ります。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

【コレック】『ローリフトトラック』チラシ

クリーンで安全、しかもローコスト！小型だから狭い場所でもラクラク運転可…

当社は、中西金属工業株式会社の『ローリフトトラック』を 取り扱っております。 リチウムバッテリー搭載で長時間使用可能な「EKシリーズ」をはじめ、 全自動の「EXシリーズ」や「JHAシリーズ」などをラインアップ。 小型だから狭い場所でもラクラク運転でき、荷役作業の効率化が図れます。 【特長】 ■ローコスト ■短納期 ■メンテナンスフリー ■全車チョッパー制御 ■荷役作...

メーカー・取り扱い企業： 大喜産業株式会社

エンジン式フォークリフト『ExPro Side Loader』

長尺物を効率よく配置・保管できるサイドフォークリフト！

『ExPro Side Loader』は、車体横に荷を積載するサイドローダーで 優れた作業性を発揮するエンジン式フォークリフトです。 2.4Lクリーンディーゼルエンジンを採用。 DPFレスで、DPFメンテナンス時間・コストの大幅削減に貢献します。 【特長】 ■作業性に優れる ■高い経済性・安全性 ※詳しくはPDFをダウンロード...

メーカー・取り扱い企業： 住友ナコフォークリフト販売株式会社 名古屋支店/名古屋営業所

カタログセンター | THKテクニカルサポートサイト

常に最新THK製品カタログや取扱説明書をまとめて入手可能！ 最大9言語…

カムフォロア ・ローラーフォロア ・球面軸受 ・リンクボール ・ロッドエンド ・潤滑関連製品 ■ 電動アクチュエータシリーズ ・コンパクト ・ユニバーサル ・エコノミー ・クリーン ・軽量 ・多軸 ・コントローラ ・リニアモータ ・プレス：PC/PCT ・精密ステージ ＊上記以外の単品カタログも多数掲載 ■その他製品カタログ ・免震システム、産業用...

メーカー・取り扱い企業： ＴＨＫ株式会社

協働ロボット『モバイルマニピュレータGIANT』

自動化・省人化、生産性向上でお悩みの方へ

ムにより複数台制御、さらに上位システムとのシームレスな通信を実現 ■ワイヤレス充電により長時間の稼働を可能とし、生産性向上に貢献 ■ワークに応じてハンド、ペイロードなど柔軟にカスタム可能 ■クリーンルームにも対応可能な低発塵ロボット 詳しくは弊社HP、Youtube（https://www.youtube.com/@ciRobotics）をご覧ください。 お問い合わせもお気軽に。お待...

メーカー・取り扱い企業： ciRobotics株式会社

軽搬送コンベヤ『オークラ キャリーライン』

蛇行レスで高速搬送！消費電力が少なく、大幅な省エネ効果を発揮します

組み合わせることで、水平から傾斜、垂直など自由自在 なラインを手軽にレイアウトできます。 【特長】 ■3次元レイアウトも自由自在 ■蛇行レスで高速搬送 ■モジュール構造で、シンプル＆クリーン ■優れた省エネ性 ■豊富な樹脂チェーンバリエーションで、自由自在に対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： オークラ輸送機株式会社 東京支店、大阪支店、名古屋支店、（営業所）札幌、仙台、北関東、南関東、兵庫、四国、広島、九州

『エンジニアリング ソリューション』

食の総合化！提案から設計・運営までネットワークを活かしたサポート体制

ソリューション】 ■福島工業エンジニアリング事業部 　・設備プランニング(冷凍冷蔵・解凍、空調換気、殺菌水、冷水 　　　　　　　　　　　照明、管理システム、その他) ■FSP 断熱パネル、クリーンパネル、建具 ■高橋工業トンネル (スパイラル)フリーザー ■省研 ベルトコンベヤ(自動搬送機) ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社省研

ジェーイーエル　ソーターシステム6インチ

装置内に多軸型GCRとガラス対応アライナSAL3361GRを搭載

【仕様】 ○対象キャリア：150mmウェーハ用カセット ○対象ウェーハ：150mmウェーハ（ガラス、サファイア、GaAs） ○スループット：140枚/h（装置側の処理時間は含まない） ○クリーン度：ISO　クラス2 ○外形寸法：W835×D940×H1815 ○重量：350kgf ○ユーティリティ →電源：単相AC200V±10％　15A →真空：-53kPa以上 ●詳し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

OMNI Lifter&System　総合カタログ

"運搬の原則"の実現こそ当社の役割！常に世界で通用する物流機器を提供

ー(TLタイプ) 専用パレット循環式 ■オムニリフター(HBタイプ) 簡易循環式 ■STEPII 専用パレット往復型 ■オムニリフター(SHタイプ) 専用パレット往復型 ■オムニリフター(クリーンCLタイプ) ■エコオムニ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： オムニヨシダ株式会社 大阪本社

協働ロボット及び周辺設備販売

中国産協働ロボットAUBOを中心に、ロボット本体及び周辺設備（ビジョン…

重要部品のすべての国産化を実現しました。AUBO製品はEN ISO 13849-1: と推進者 2015(PL=d、CAT 3)、EU CE、北米NRTL、韓国KCs、中国CR、SEMI S 2、クリーン度class 5級などの 認証を取得し、安全安定、簡易プログラミングなどの特徴により、情報通信、自動車、家電、 厨房衛生器具、医療健康、科学研究教育、飲食、小売、日用品、物流などの業界分野 に広く...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社芳誠商事

軽搬送コンベヤ『マグネット駆動コンベヤ』

低発塵・低騒音・省エネ！メンテナンスフリーでランニングコストの削減につ…

『マグネット駆動コンベヤ』は、磁力の反発原理を活用し、非接触でローラ へ動力を伝達することで、発塵を抑えたクリーンな搬送を実現します。 従来方式のベルト駆動よりも消費電力を低減し、高効率ブラシレスモータ （標準搭載）との組み合わせで、さらに省エネ化。 非接触駆動だから駆動部の消耗がなく、メンテナ...

メーカー・取り扱い企業： オークラ輸送機株式会社 東京支店、大阪支店、名古屋支店、（営業所）札幌、仙台、北関東、南関東、兵庫、四国、広島、九州

【中小企業向け】ロボット導入ワンストップサービス

製造現場向けロボットにご興味がある方、何が必要かご存じですか？導入から…

【産業用ロボットアームが活躍されている場面】 ■溶接 ■ハンドリング ■塗料・シーリング ■加工 ■組み立て ■クリーンルーム ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： IXテクノプロダクツ株式会社

『産業用ロボットシステム及び周辺輸送装置の設計・製作』のご紹介

世界の「ものづくり」の生産現場の自動化・生産性向上に貢献します！

【サービス概要】 ■ロボットデパレタイジングシステム ■ロボットパレタイジングシステム ■高速整列移載システム ■ガラスパッカー/アンパッカー(クリーン) ■総合ロボット搬送システム ■部品組立ロボット(画像・ロードセル) ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンテック

FA・工場の自動化事例：小型レンズ供給取出装置

光学機器メーカーなどに対応！金型搬送コンベヤや3軸直交ロボットなどで構…

【その他の機器構成】 ■パレットスライダー（チェンジャー） ■金型高さ測定レーザ変位センサ ■ブローユニット ■クリーンブース、イオナイザユニット ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社メカテック　

『バーチカルコンベヤシリーズ』

スピーディで確実なタテの流れをつくる！ラインレイアウトの省スペース化に…

当社では、搬送物や能力に合わせた『バーチカルコンベヤシリーズ』を 多数ラインナップしています。 クリーンなミニ昇降機「FML/ミニリフタ」をはじめ、ケース品を 安定搬送できる「PV/パーフェクトベヤー(スチール製)」や 「TC/タテコン」などをご用意しています。 【ラインアップ】 <個包...

メーカー・取り扱い企業： オークラ輸送機株式会社 東京支店、大阪支店、名古屋支店、（営業所）札幌、仙台、北関東、南関東、兵庫、四国、広島、九州

半導体製造装置用アーム　厳しいキズ管理のできるサプライヤー

シリコンウエハを搬送する際に使用するロボットに使われる部品です。クリー…

横型マシニングセンターを駆使した高精度アルミ切削加工の量産を得意としています。 加工工程にＣＮＣ測定を組み込み高精度を確保しながら、最高３万回転の主軸による高速切削と合わせ、作業者の多台持ちや昼夜連続運転など全てにおいて効率化を図り、他の追随を許さないコストパフォーマンスが実現できます。...▼取扱製品 産業用機械部品/工作機械部品/半導体装置部品/電子部品製造装置部品/医療用機器部品/環境関...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイパーウェブ

THK製品質問集（FAQ） | THKテクニカルサポートサイト

THK製品で困った時は、まずはここから

ールねじ ・スクリューナット ・チェンジナット ・クロスローラーリング ・カムフォロア ・ローラーフォロア ・球面軸受 ・リンクボール ・ロッドエンド ・LMアクチュエータ ・クリーンアクチュエータ ・アクチュエータ ・リニアモータアクチュエータ ・スーパーFAシリーズ ・精密ステージ ・潤滑関連製品 ・その他製品 ...

メーカー・取り扱い企業： ＴＨＫ株式会社

直動式ダブルアームクリーンロボット『HR81315-1900』

高剛性設計によりガラス基板を高速搬送！ISOクラス2のクリーンロボット

『HR81315-1900』は、全軸ABSエンコーダACサーボモータ仕様の 直動式ダブルアームクリーンロボットです。 高剛性設計によりガラス基板を高速搬送。 CFRPフォーク上面に滑り止めパッドを貼り付けてガラス基板を保持します。 また、250℃耐熱性CFRPフォークを採用しています...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

直動式ダブルアームクリーンロボット『LR31000-600』

高剛性設計により第3世代のガラス基板を高速搬送！ダブルアームクリーンロ…

『LR31000-600』は、コンパクトボディ、ロングストロークの 直動式ダブルアームクリーンロボットです。 高剛性設計により第3世代のガラス基板を高速で搬送。 横スライド軸と簡単にドッキングできる設計です。 スライド軸は、インクリメンタルエンコーダ仕様でサーボモータ制御可能...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

4軸円筒座標型クリーンロボット　STCR4000Sシリーズ

2本のアームにより短時間でウェーハの交換が可能です。

スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型クリーンロボットSTCR4000Sシリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。2本のアームにより短時間でウェーハの交換が可能です。CEマーキング認証...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

直動式ダブルアームクリーンロボット『HR71000-1500』

第3世代ガラス基板搬送対応！各種センサ装備ダブルアームクリーンロボット

『HR71000-1500』は、第3世代ガラス基板搬送対応の 直動式ダブルアームクリーンロボットです。 アーム、上下軸ともにロングストロークが可能。 基板裏面を真空吸着します。 アームはステッピングモータ仕様、旋回上下軸はサーボモータ仕様です。 【特長】 ■RS...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

リンク式ダブルアームクリーンロボット『PR2111-60』

板金比率を高め構造を単純化することで製造コスト削減！リンク式クリーンロ…

『PR2111-60』は、各種センサ装備のリンク式ダブルアームクリーンロボットです。 当社従来品に比べ、板金比率を高め、構造を単純化することにより、 製造コスト削減を実現します。 真空吸着式のセラミックスチャックを装備しています。 【特長】 ■...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

3軸円筒座標型クリーンロボット　SCR3000CSシリーズ

半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。

スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットSCR3000CSシリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能で、S字...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型クリーンロボット　SCR3100S-PMシリーズ

省フットプリント化により、装置レイアウトを小型化できます。

スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットSCR3100Sシリーズは、省フットプリント化により、半導体製造装置内、検査装置等の小径ウェーハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。装置レイアウトに合...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

真空対応3軸円筒座標型クリーンロボット　SVCR3000シリーズ

真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。

真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3000シリーズは、真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。SVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます。更にSVHRと取付互換がありますので、乗...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

4軸円筒座標型クリーンロボット　STHR4000シリーズ

ウェーハ搬送に適しており、短時間でのウェーハの交換が可能です。

スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型ツインアームロボットSTHR4000シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。2本のアームにより短時間でのウェーハの交換が可能です。装置レイアウト...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型クリーンロボット　LHR3000シリーズ

Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能

ガラス基板対応3軸円筒座標型クリーンロボットLHR3000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル