サファイアウエハ | イプロスものづくり

排気を回収機構を具え、クリーンルームへの排気を減少させ、位置決機構…

1.排気回収機構：クリ-ンルーム対応ベルヌーイチャック「フロートチャックWAS型」は、保持するウエハに対向する作動面と、作動面の中央部に設けられたクッション室と、クッション室中央部に設けられたノズルおよび作動面の外周にフードを設けて構成されています。ノズルより噴出した高速空気流はクッション室壁面およびウエハと接触することなく作動面とウエハとの空隙に流入する。　クッション室に生じるエゼクタ効果に...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

高品質サファイアウエハ

成長した結晶の内部応力を低減することでウェーハの形状を強化し、独自の洗…

歩留まり向上、LEDの輝度向上、波長分布の狭小化に貢献します。高性能LEDの大量製造にはサファイア基盤が必須となっており、98%以上のLEDがサファイアを基に製造されております。サファイア材は物理的、化学的に優れた特性によって様々なハイテク分野に欠かせません。...6、8、10インチや超低転移ウエハなど各種ラインナップを取り揃えております。仕様の詳細についてはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：西華デジタルイメージ株式会社

サファイアウエハー及びインゴット

研究用や真空装置のビューイングポートでの使用に最適！少量販売も可能です

Hansol社は、韓国で多くの実績があるウエハメーカーです。 ◆Ingot内製化を通じた資材の安定的確保 ◆高い価格競争力 ◆少量でも販売します ◆研究用や真空装置のビューイングポートでの使用に最適 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。...【特徴】 Hansol社は、韓国で多くの実績があるウエハメーカーです。 ◆Ingot内製化を通じた資材...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マツボー

排気回収機構を設けた「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」

クリーンルームにて使用可能「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」

れ、排気口より吸引され所定の場所に排出される。そのため高速空気噴流がクリーンルーム内に流入することが少なく、ゴミの排出、塵の巻き上げることがありません　 ◎適応　・ＳｉＣ基板　・サファイアウエハ 　・ヒ化ガリウムウエハ（GaAs) 　　　 ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

厚み測定 - 光学センサ『CHRocodile 2DWシリーズ』

ドープウエハに適切な光源波長を使用し、難しいドープウエハ厚み測定に対応

『CHRocodile 2DWシリーズ』は、ウエハやコーティングなど材料厚みを非接触測定できる装置です。ドープウエハ測定にも対応でき、インラインでも適用可能で、多くのお客様へ実績があります。サファイア、Si、SiC等の半導体ウェハー厚み測定をはじめ、フイルム、樹脂、ガラス、太陽電池等の厚み測定も可能です。干渉膜厚最大16層まで対応しています。【特長】　■幅広い厚み測定範囲、様々な材質...

メーカー・取り扱い企業：プレシテック・ジャパン株式会社

2サイズ兼用自動レジストコーター・デベロッパー（塗布・現像）

段取り替え不要、2サイズのウエハ兼用装置です。低粘度～高粘度レジス…

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました！ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。 GaAs...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

SiCウエハ

パワーLSI用の材料として注目されている単結晶SiCウエハ・SiCイン…

●タンケブルー社の代理店として多くの国内顧客へSiCウエハ、SiCインゴットを販売中。 ●サファイアウエハ、シリコンウエハも販売中。 ●各膜つきウエハ販売。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ＭＴＫ

自動フォトレジスト塗布装置（スピンコーター）Coater

レジスト膜の面内均一性やウエハ間の平均膜厚の差が少ないコーターです。低…

ロボット搬送による全自動レジスト塗布装置です。高均一性、省薬液、複数薬液使用可能な仕様です。低粘度～高粘度レジストまで要求仕様に合わせてカスタムいたします。ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

プラズマ処理効果を「色で見える化」！セラミックタイプ

プラズマの処理強度や処理時間に応じて連続的に変色しますので、プラズマ処…

プラズマ処理効果の評価ツールとして、2014年の発売以来、お客様の用途に応じてラインアップを拡充してきた「PLAZMARK(R)」。このたびご要望の多かったウエハプロセス向け製品の第1弾として『PLAZMARK(R) "ウエハ型" セラミックタイプ』が登場！電子デバイスのエッチングやアッシングなど、ウエハプロセスの面内分布等の評価にご利用いただけます。【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社サクラクレパス PI事業部

受託加工「SiC＆サファイア」

進化し続けるニーズに対応！一貫加工にて対応いたします。

六甲電子株式会社の受託加工は、独自の手法によりSiCウエハの研削→研磨→RCA洗浄を一貫して行えます。既存のシリコン加工機で、研削→研磨→RCA洗浄を実現。現状の専用機での加工に比べ高速・低ソリ・高面粗度・大口径対応が可能となり、一貫加工にて対応いたします。半導体の特性や性能に影響するシリコンウエハの研削・研磨技術。高度な精密度を有する技術を開発・改良・更新し、製造しています。 ...

メーカー・取り扱い企業：六甲電子株式会社

自動塗布・露光・現像一貫プロセス装置（フルオートリソグラフィ）

レジスト塗布～露光～現像処理を一気通貫。自動で処理可能な装置です。フォ…

当製品は、スピンコーティング、一括等倍露光、現像処理を自動で行う装置です。HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載可能。設計から製造・販売まで自社で行い、コーター、アライナ、デベロッパのフォトリソ装置をラインナップしている当社だからこそ実現出来た装置です。対応レジストは、ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、など、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、GaAs、InP、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

ウエハケース（Wafer Case）

シリコンウエハ、サファイアウエハ、SiCウエハ、ガラス基板など各種基板…

■　商品名：ウエハケース/ウエハ容器/カセットケース/Wafer Case ■　サイズ：2インチ用、2.5インチ用、3インチ用、4インチ用、5インチ用、6インチ用、8インチ用、12インチ用 ■　種類：25枚入り、1枚入り（シングルケース）、洗浄用ケース、その他 ■　受注ロット：50個より（在庫品は10個からOKです）...ウエハケースは意外にコストが掛ります。弊社では2インチから12インチま...

メーカー・取り扱い企業：株式会社同人産業

GaN成膜装置治具用ドライ洗浄装置「MDC8540L」

【無料デモ実施中！】新開発・高性能設計で大幅なコストダウンを実現！作業…

「MDC8540L」は、パワーデバイスや青色レーザーダイオード、青色LED等の化合物半導体製造用MOCVD装置の治具に、成膜時に堆積するGaN、AlN等のドライエッチング方式で洗浄するMDCシリーズのフラッグシップモデルです。量産時の製品歩留まりの向上、ランニングコスト削減に最適です。【特徴】 ■GaN、AlN成膜装置に使用する各種治具のドライ洗浄に最適 ■洗浄可能治具は、SiCコ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社メープル

【説明資料】脆性材料製品

超高速レーザーや脆性材料レーザー加工装置について掲載しています

当資料は、ガラス、サファイア、ウエハー、セラミックスなどの脆性材料製品説明資料です。光学ガラス、サファイア、ガラスカバー、シリコンウエハなどの脆性材料の切断と分割に貢献する「標準脆性材料切断&分割装置」や 0.3mm～2mmサファイアの切断分割に使用できる「サファイア精密切断分割装置」などをご紹介しております。【掲載内容】 ■超高速レーザー ■フィラメンテーション...

メーカー・取り扱い企業：株式会社HiPA Photonics Japan

厚さ100um！極薄ウェーハ搬送自動レジスト塗布装置　コーター

GaAs、LT、ガラスなどの脆くて薄いウェーハでの搬送・塗布での実績（…

薄いウェーハで気になるのは搬送での割れ、塗布後の面内均一性です。ウェーハ搬送装置（ウェーハソーター）の作製実績など、薄くて割れやすい（脆い）ウェーハの搬送に自信があります。 GaAs、LT（タンタル酸リチウム）、ガラス（石英）、GaN、サファイア、Si、セラミックなど多数の基板に対応可能です。また、薄いウェーハでは塗布時の面内均一性がバラつきやすいですが、チャックなどを工夫す...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

マニュアル型透明基盤検査装置

ニーズにお応えする基板異物検査装置

「マニュアル型透明基盤検査装置」はYGK（山梨技術工房）製の、ワーク設置マニュアル形式ガラス基板表面検査装置／サファイア表面検査装置です。小型、安価でありシリコンウエハ、ガラス基板の異物測定が可能で、これまで難しかったガラス基板の表裏分離測定やSiC表面の潜傷の検出を可能にしました。また、お客様のシリコンウェハ／ガラス基板等、製品サンプル及び製品をお預りし、YPIシリー...

メーカー・取り扱い企業：ファーストゲート株式会社本社、大阪オフィス、笹目倉庫

フィルム表面検査装置

SiC、サファイア、GaNウエハなどの化合物系ウエハ外観検査装置です。…

内部マイクロパイプや、脈離、表面傷、異物、研磨痕などの検査に有効です。検査に、スーパーマクロ、微分干渉、暗視野、透過の４つの光学系を持ち、全ての光学系にオートフォーカスを持ち、自動ステージにより同じ座標系での検査が可能です。オプションで、同じ座標系に、ＡＦＭやウエハ厚さ測定を載せる事も可能です。【装置アプリケーション】 ■ウエハー内部のマイクロパイプ ■ウエハー内部の脈離 ■表面傷検査、...

メーカー・取り扱い企業：ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

セラミックスレーザー加工

アルミナ・窒化アルミ・炭化ケイ素他、レーザー加工を承ります！

当社は、アルプスエンジニアリングのレーザー技術部門が独立し光産業創成大学院大学の支援の下設立されたベンチャー企業です。微細穴や薄いセラミックスに対して加工を得意とし、近年の耐熱性や電気特性が求められるレーザー加工以外では加工の難しい機能性セラミックスに対応できるよう加工工法の開発を行い実績を積み上げています。【加工例・加工実績（抜粋）】 ■アルミナへの穴加工 ■...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ナノプロセス

MAX400℃！高温ベーク対応レジスト塗布装置（スピンコーター）

BARCやその他薬液をスピン塗布後、MAX400℃でベーク可能！高温ベ…

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、高温ベーク（MAX400℃）、低温ベーク（MAX200℃）、クーリング機能を搭載。低温ベークと高温ベークの組み合わせでステップベークも可能です。レジスト以外での薬品でもスピン塗布後に高温ベーク可能！その他、ポジレジスト・ネガレジスト、ポリイミド（PI）、シリコーン、SOG、WAXなどなど多数の薬液に実績ございます！シリコン...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

ダイシング加工サービス

ダイシング加工(直線)とマシニング加工(曲線)も融合加工を実現

当社では、半導体用シリコンウエハを中心に切断（チップ化）と研削（薄く）の加工技術を提供します。また、この加工技術を光学ガラス、セラミック、SiC　サファイアなど加工が難しいとされる幅広い素材に展開。 ICチップをより小さく切断、より薄く、より精度よく加工します。なお、丸加工／曲線／穴開精密加工もおまかせください。【特長】 ■クリーン環境の中で純粋を使って加工可能...

メーカー・取り扱い企業：株式会社サンテック

GaN成膜装置冶具用ドライ洗浄装置　【無料デモ実施中！】

ドライ洗浄により冶具が長持ち・コスト削減！ウェット洗浄に比べて大幅な時…

GaN成膜装置冶具用ドライ洗浄装置はMO-CVD装置の冶具などの成膜時に堆積するGaNやAlN等をドライエッチング方式で洗浄する装置です。パワーデバイス、レーザーダイオード等の化合物・半導体や青色LEDの製造に最適。製造時の製品歩留まりの向上、ランニングコストの削減に効果を発揮します。　　　★☆★【無料デモ】実施中！！★☆★ 【特徴】 ●ＧａＮ成膜装置に使用する各種冶具のドライ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社メープル

GaN成膜装置治具用ドライ洗浄装置

GaN成膜装置治具用ドライ洗浄装置のご紹介

ＧａＮ成膜装置に使用する各種治具のドライ洗浄に最適...【特長】 ●ＧａＮ成膜装置に使用する各種治具のドライ洗浄に最適 ●洗浄可能な治具は、ＳｉＣコートカーボン、石英等 ●ダミーウエハのサファイア基板も洗浄可能 ●高価で時間のかかるウエット洗浄や大量の予備部品が不要 ●本装置導入でメンテナンス費用の削減に貢献可能 ●作業者に負担のかからない安全設計 ※...

メーカー・取り扱い企業：株式会社メープル

薄化&無歪み化技術

ウエハの薄化なら日本エクシードにお任せください!!

加工実績・Si 4インチ 25um～・Si 6インチ 50um～・GaAs 3インチ 20um～・LT(タンタル酸リチウム) 2インチ 25um～...薄化後にお客様で取り扱いがしやすいよう支持基盤(石英、サファイアなど)に貼り付けてお渡しすることも可能です。...

メーカー・取り扱い企業：日本エクシード株式会社

自動フォトレジスト塗布・現像装置（コーター・デベロッパー）

低粘度～高粘度レジスト対応！小口径～大口径まで、どのウェハサイズの装置…

【特長】 ■低価格を実現 ■低～高粘度（1.7cP～10000cP）まで対応 ■2～12インチまで対応 ■複数サイズウエハを処理可能（例、3・4・5インチ兼用、8・12インチ兼用) ■ウエハサイズ自動認識システム ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減（省スペース化） ■レジスト削減で多数のオプション ■生産量に合わせたラインアップ【ASAPのコーター・デベロッパ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

角基板対応自動レジスト塗布・現像装置（コーター・デベロッパー）

低粘度～高粘度レジスト対応！どのウェハサイズの装置も作製可能です！

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました！ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。 GaAs...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

半自動レジスト塗布装置(セミオートスピンコーター)Coater

低～高粘度レジスト対応！どのウェハサイズの半自動機（セミオート）も作製…

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。設計から製造・販売まで自社で行っているので、自動機を買うには手が届かないというお客様や小ロットのため自動機まではいらないというお客様のために半自動（セミオート機）の製作を低価格で実現しました！ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

真空貼り合せ装置　VSP300

超精密ラップ加工及びポリッシュ加工を可能にするボンディング装置をご提供…

昨今の加工技術に求められる微細加工や多様化された超高度な精度要求を解決すべく、また、現状のラップ・ポリッシュ加工ラインを生かしつつ更なる精度追求を可能にした超高精度加工工程において必要なワーク仮固定方式としてボンディング装置で貴社の開発・生産ラインのサポートを致します。 ...【特徴】 ○サファイア・ＧａＡｓに代表される様なウエハの高精度研磨を実現 ○槽内を減圧とし、ワックス内に含まれる気泡...

メーカー・取り扱い企業：テクノライズ株式会社

R&Dや少量生産に最適！手動レジスト塗布装置(スピンコーター)

研究・開発、小ロット対応のマニュアル装置！卓上タイプとは違う自動機と同…

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。設計から製造・販売まで自社で行っているので、装置の低価格を実現しました♪ 自動機を買うには手が届かないというお客様や小ロットのため自動機まではいらないというお客様のために最適な手動機（マニュアル）装置です。卓上タイプとは違い、自動機と同等のレジスト塗布が可能なので、自動機へ移行した際もプロセスの条件出し...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

ハイキス株式会社加工事例集

素材の特性を最大限に引き出す！確かな技術力で生み出された製品を多数掲載…

ハイキス株式会社の「加工事例集」は、ファインセラミックス・ガラス・結晶素材等を中心に、これまでの経緯に基づいた確かな技術力で作成した製品を掲載しております。お客様の目的・要望に応じた原料の選定と製造方法の選択によって、素材が持つ優れた特性を最大限に引き出します。【掲載事例】 ■アルミナセラミックス ■単結晶サファイア ■フロートガラス ■特殊耐熱ガラス ■各種...

メーカー・取り扱い企業：ハイキス株式会社