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PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…
ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...
メーカー・取り扱い企業: ティー・ケイ・エス株式会社
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PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも!非常に幅広い基板サイズに対応可能
当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型 スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。 フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池や バッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や 表面保護のためのコーティングにも対応。 サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の 用途に応じて組み立てることが可能です。 ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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【技術資料を無料進呈】当社の反射防止フィルムのしくみ、生産方法、メリッ…
分けて「ウェット工法」と「ドライ工法」の 2種類の工法があります。ウェット工法はその名のとおり、液体の材料をベースフィルムに塗工し、 乾燥させて膜を成形します。 ドライ工法は「蒸着」と「スパッタリング」に分かれ、デクセリアルズではスパッタリングによる 製造を行っています。 スパッタリングは成膜のための代表的な技術で、真空チャンバー内で膜の材料となるターゲット材に 高電圧下でイオ...
メーカー・取り扱い企業: デクセリアルズ株式会社
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DWDM成膜用イオンビームスパッタ装置です。
光学分野用イオンビームスパッタ装置です。 スパッタ:16cm RF Ion Source アシスト:16cm RF Ion Source ターゲット:2面 揺動機能 ステージ:自転 膜厚制御:透過型波長可変レー...
メーカー・取り扱い企業: アールエムテック株式会社
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ドイツ・ADL社製の、空冷式の小型スパッタ電源です。
「GSシリーズ:GS05-GS30」は、 容量0.5 kWから 3 kWまでをカバーした全11型式がございます。主に研究開発用の小型スパッタ装置をターゲットにした製品です。すべて空冷式であり、煩わしい冷却水を導入する必要がございません。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン
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【Chroma Technology社製】紫外から近赤外までの波長対応…
『蛍光フィルタ』は、薄膜の光フィルタの設計・製造を行っている Chroma Technology社の高品質光学フィルタです。 【特長】 ■超精密スパッタ技術 ■高品質 ■紫外から近赤外の波長対応 【用途例】 ■バンドパスフィルタ ■ビームスプリッタ ■ダイクロイックミラー ■レーザー用反射鏡 ■蛍光顕微鏡 ■マシンビジョン ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイテック
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スパッタ低減に好適!透過率が非常に高いフィールドマッピング型ビームシェ…
的なコリメータレンズの出力側に 使われているマウントネジ(M30×0.75、またはM58×1)付きのマウントに 取り付けられておりますので、インテグレーションが容易です。 【特長】 ■スパッタ低減に好適 ■透過率が非常に高い ■高出力レーザでも安定して利用可能 ■非常に便利な付属のマウント ■既存装置へのインテグレーションがスムーズ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社プロフィテット
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試作から量産まで、幅広く対応可能な高品質光フィルタ!
ハイテック では、 Chroma社が独自開発した超精密マグネトロンスパッタ技術による、 精密かつ高品質なフィルタを提供致します。 スペクトル・形状・外径・厚み等、お客様の様々なニーズ、ご用途に合わせて、 特注品の製作を低コストでお応えいたします。 【ア...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイテック
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光導波路ウェハ受託製造及び各種ウェハ受託加工サービス!世界トップクラス…
【主な保有技術】 ■成膜技術: スパッタ、常圧CVD、蒸着、火炎加水分解堆積(FHD)、高温アニール ■フォトリソ技術: 縮小ステッパー露光、非接触等倍露光、コーターデベロッパー ■微細加工技術: ガラスRIE、メタルRIE、ガラス...
メーカー・取り扱い企業: NTTデバイスオプテック株式会社
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開発・試作の小ロットから大量生産まで幅広い設備ラインナップと保証測定機…
国内2拠点を有し、ご希望する薄膜製品の安定した受託生産が可能です。 Φ1800型真空蒸着装置:多数 , Φ1300型真空蒸着装置:多数 , Φ850型真空蒸着装置:1台 , 低真空スパッタ機:1台 主軸となる真空蒸着装置は全機イオンアシスト機構を搭載した多層膜機で、試作用途に多用している中型機を始め、量産用途としては国内最大のチャンバーサイズとなるφ1800装置を多数保有しており...
メーカー・取り扱い企業: 京浜光膜工業株式会社
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