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58件 - メーカー・取り扱い企業
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PRヒートショック試験装置の排熱や、冷却水トラブルでお困りではありませんか…
[こんな事でお悩みはありませんか?] ■装置の排熱で設置環境の室内温度が上昇してしまう。 ■装置を導入したいが冷却水設備が無く、イニシャルコストが高く導入できない。 ■冷却水設備のメンテナンスコスト低減や水質管理の手間を省きたい。 ■冷却水の水質に問題がありトラブルが多発し、稼働率が低下している。 日立なら空冷リモートコンデンサー(室外機)を外に設置する事で ・冷却水設備が不要! ...
メーカー・取り扱い企業: 日立グローバルライフソリューションズ株式会社
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専用水道向け 流水型紫外線殺菌装置 シストライザーSDWシリーズ
PR浄水場や水道施設で安全な水を創る、厚生労働省令に準拠した流水型紫外線装…
【飲料・食品業界トップクラス! 豊富な実績と経験 千代田工販】 【流水型紫外線殺菌装置の分野で長年培ってきた信頼と実績に最新技術を結集し、専用水道における安全性、信頼性を実現します。】 <特長> ・安心、安全、処理水に変化を与えない UV殺菌 ・水温に左右されない紫外線ランプを採用 ・ガラス飛散防止、破損、汚れに強いフッ素樹脂コーティング石英保護管を採用 ・水道水のクリプトスポリジウム対策に ...
メーカー・取り扱い企業: 千代田工販株式会社 紫外線殺菌装置のリーディングカンパニー / 産業機械設備・部品・資材の専門商社
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【複数サイズのウエハを段取り替えなしで処理!】複数サイズ兼用装置はダウ…
く、生産性UP! 製品の種類によってインチサイズが違う、将来的に大きいサイズのウエハを処理したいというご要望が大変多いです。 そこで、段取り替えをしないで複数サイズ処理が可能なリフトオフ装置をご提供します。 【複数サイズ兼用の例】 「2・3」、「2・4」、「3・4」、「4・6」、「6・8」インチ 【薄型ウェハにも対応!】 高圧ジェットはウェハ(基板)が薄いと割れるのでは...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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研究開発向け枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』
昇温した有機薬液による化学反応と高圧ジェットの物理的アシスト利用した剥…
通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した研究開発向けメタルリフトオフ処理装置。 コンパクトなTWPmから、搬送ユニットを省いてさらに小型化とコストメリットを追求したモデル。 レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完結タイプはハ...
メーカー・取り扱い企業: 日精株式会社 本社
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自動レジスト現像装置(枚葉式) デベロッパー Developer
枚葉式のためプロセスの再現性が高く、薬液使用量も少なく済みます。品質向…
枚葉式フォトレジスト現像装置です。 パドル現像、スプレー現像(1流体、2流体)など様々な現像プロセスに対応できます。 薄型ウェハや角基板など多数実績がございます! また、厚膜レジスト現像~微細なパターンの現像...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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半自動リフトオフ装置(セミオートリフトオフ機)Lift-off
自動機よりも安く、マニュアル装置より使いやすいセミオートタイプのリフト…
ウェハ(基板)をセットするだけで自動で搬送・リフトオフ・リンスを行う装置です。 リフトオフはASAP特殊ノズルによる高圧ジェットによりバリも除去し、メタル剥離を行います。 カセット(キャリア)でセットをすることはできませんが、マニュアルと違いウェハ1枚1枚を...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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自動機を購入するほど生産量が多くないが、プロセスの再現性を求めるお客様…
。 自動機を導入するほど生産量が多くないけどもマニュアル機では 工数の問題で導入できない等でお悩みのお客様におススメです! 御社のニーズに合わせた半自動機を設計・製造いたしますので 新規装置の導入でお困りのお客様はぜひご検討ください! TMAH等多彩な薬液に実績があります。 【特長】 ■自動搬送機能 ■低価格を実現 ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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純水1/4RC 圧縮空気1/4RC!薬液をスプレー塗布する装置
「レジスト液加温塗布装置」は、半導体関連で使用されるシリコンウェハー・ガラス基盤等のワークを、任意のスピードで回転させながら、常温または加温した薬液をスプレー塗布する装置です。 お客様のご要望に、技術ノウハウと創造力で、...
メーカー・取り扱い企業: オーエヌ総合電機株式会社
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弊社が得意とする【半導体分野向けソリューション】をお客様に合わせてご提…
弊社が得意としているナノオーダーの表面解析機器の他、 半導体プロセス向けのレジスト液、マスクレス露光装置、精密位置制御装置をご提案致します。...
メーカー・取り扱い企業: 日本カンタム・デザイン株式会社
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短時間剥離!手動リフトオフ装置(マニュアル機)Lift-off
短時間剥離!当社独自の特殊ノズルによる高圧ジェットで、枚葉による高速処…
研究開発用途で活躍するマニュアルリフトオフ装置をご紹介します! アセトンや専用剥離液で一晩浸漬した後に超音波やスプレーでリフトオフをするような長時間工程を短くできます。 当社独自の特殊ノズルを使用した高圧ジェットにより、枚葉による高...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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高性能のポンプを使用し高精度の塗布を行うウエハレジスト塗布装置
『自動レジスト塗布現像装置』は、枚葉式の自動レジスト塗布現像装置です。 装置内にレジスト塗布チヤンバーと現像チヤンバーを設けています。 レジスト塗布は粘度に応じた高性能のポンプを使用し、高精度の塗布を行います。 また、...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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排ガス・風量に応じた室内型スクラバーを装着することにより、排ガス処理設…
・エッチング、洗浄装置などの装置に合せて設置が可能です。 ・酸・アルカリなどのガスを適切に処理します。 ・スクラバーで適切に処理することで後工程のダクト、装置への影響がありません。また、室外へ排気された場合でも周辺環...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダルトン
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ウエーハ製造プロセスのあらゆる部門に適応可能。
ウエーハ製造プロセスのあらゆる部門に適応可能な簡易型のレジスト塗布、現像装置。 マニュアル装置でありながら、ケミカルフィルタ、レジスト温調、現像液温調、塗布室の雰囲気温調・湿度制御などの各種オプションの搭載も可能です。基板サイズは最大300mmΦまで対応し、不定形基板...
メーカー・取り扱い企業: リソテックジャパン株式会社
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逆テーパー角を一定に!PEB対応レジスト現像装置(デベロッパー)
逆テーパー角度を一定に!ネガレジストやイメージリバーサル用のレジストに…
サイズ:Φ2"~Φ12" ■現像ノズル:1組/CUP ■リンスノズル:1組/CUP ■ベークユニット:2組(Max200℃) ■クーリングユニット:1組 ■センタリングユニット:1組 ■装置サイズ:(例)1200×1000×1800(Φ4"本体) 1600×2500×1800(Φ12"本体) ■ウェハ搬送ロボット:1組(ダブルアームクリーンロボット) ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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枚葉式・バッチ式のラインナップから、各工程及び仕様を選択し装置をカスタ…
ダルトンのリフトオフ装置は6種のラインナップと6種類のオプションを有し、用途やウエハーの性質に合わせて使用をご選定頂けます。 【ラインナップ】 ・HU型(量産向け)…バッチ、枚葉の併用仕様。より早く、確実な仕上がり...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダルトン
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コンパクト!手動フォトレジスト現像装置(マニュアルデベロッパー)
少量多品種生産、開発用途向けのコンパクトレジスト現像装置です。枚葉式の…
【主な仕様】 ■スピン現像ユニット:1組 ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ12" ■現像ノズル:1組/CUP~ ■リンスノズル:1組/CUP ■装置サイズ:(例)1200×800×1800(Φ4"本体・薬液供給一体) その他オプション多数! ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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フレキシブルプリント基板(FPC)用の高精度片面露光装置
FPCの回路形成を行うための露光装置です。 ロール to ロールでピッチ送りし、上面からドライフィルム上にパターンを焼きつけます。 装置は、ロール巻出機→クリーンローラ装置→エッジコントローラ装置→露光部→ロール送り部→ロール巻取...
メーカー・取り扱い企業: ウシオライティング株式会社
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お客様のご要望に沿ったカスタマイズ仕様。実験機から生産機まで対応可能で…
液晶ガラスやタッチパネルなどに用いられる枚葉基盤を処理する装置です。 【特長】 ■対応ワーク 100mm角~1000mm角まで対応可能。(他のサイズ、形状は別途相談) ■揺動機構(水平揺動・スプレーノズル首振り)を付けることにより、処理効率を向上させ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダルトン
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顕微鏡オート移動など、生産性、使い勝手に優れたアライナ
2インチウエハ対応のマニュアル露光装置です。 オペレータがマニュアルでウエハをセットする露光装置です。4インチのガラスマスクを使用し、フォトマスクとウエハのアライメントマークを顕微鏡で撮像、モニタに写しだされた画像を見ながらの位置合わ...
メーカー・取り扱い企業: ウシオライティング株式会社
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生産設備・研究開発向け!薄膜電子部品工程における一連のプロセスを提供!
大村技研の『フォトリソグラフィープロセス装置』は、薄膜電子部品工程 における一連のプロセスを高精度高信頼性で提供するシステムです。 洗浄・コーター・現像・剥離・エッチングなどの生産設備および 研究開発向けの設備を提供します。 ...
メーカー・取り扱い企業: 大村技研株式会社
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190WPHの高スループットを実現したマスクアライナ
2インチのウエハサイズに対応する、全自動式露光装置です。 従来のウエハ搬送方式で用いられる多間接ロボットに代わり、自社開発の搬送ロボットを3台配置させたことで、毎時190枚(2インチウエハ)を処理する高いスループットを実現しました。 特に、新開...
メーカー・取り扱い企業: ウシオライティング株式会社
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簡単操作のCtoCロボット搬送付き現像/エッチング装置。用途によりデベ…
スピン・スプレー方式現像/エッチング装置に搬送ロボットを搭載することにより、セットされた基板カセットから自動的にローダー・アンローダーを行い連続処理を行ないます。...
メーカー・取り扱い企業: アクテス京三株式会社 技術センター
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丁寧な打ち合わせの後、お客様のニーズを満たす乾燥装置をお作り致します。
○吊下げ式乾燥炉 ○ウイケット式乾燥炉 ○UV式乾燥炉 ○ボックス式乾燥炉 など、各種乾燥装置のオーダーメイドを承っております。 丁寧な打ち合わせの後、お客様の要望に沿うような乾燥装置をお作り致します。 詳しくは、カタログをダウンロードしていただくか、お問い合わせフォームよりお問い合...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ファイコーポレーション
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FPD製造工程で威力を発揮するフィルム用整合付半自動露光装置
装置は、材料手動L/UL部、整合および露光部、付帯の真空ポンプボックスで構成されています。 ITO(Indium Tin Oxide:酸化インジウムスズ)パターンを画像認識し、あらかじめコーティングされた銀インクレジストを露光します。...
メーカー・取り扱い企業: ウシオライティング株式会社
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PowerCEP GEM300対応装置制御ソフトウエア開発パッケージ
PowerCEP GEM300対応装置制御ソフトウエア開発パッケージ
半導体や液晶工場向けのGEM300に対応した製造・検査・搬送装置などのCIMアプリケーション機能を標準実装したカスタマイズパッケージソフトウエアです。PowerGEM、制御装置用PLC通信ドライバー及びCJ/PJ制御ロジックと標準的なモデル管理を標準実装し、アプ...
メーカー・取り扱い企業: テクノシステム株式会社
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循環方式が多彩なウェットプロセス洗浄装置
○扉センサー(自動メカ付) ○圧力スイッチ ○温度センサー(恒温度仕様) ○自動消火システム ○パトライト ○網入りガラス又は強化ガラス ○爆圧ハッチ ○各種インターロック 等 ※装置により一部機器は取付できない場合もございます。 ※当社の東京テストセンター(東京都墨田区)にて、テストを実施頂けます(オンライン対応可) ※詳しくはPDF(カタログ)をダウンロード頂くか、お...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダルトン
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シリコンから化合物半導体、マニュアル機から量産機まで!取扱製品をご案内…
当カタログでは、株式会社エイ・エス・エイ・ピイが取り扱う 製品をご案内しております。 センター4軸ロボットを採用した「自動レジスト塗布装置」をはじめ、 「マスクアライナー」や「自動リフトオフ装置」などを掲載。 すべての装置においてサンプルテストが可能ですので、 いつでもお気軽にお声をお掛け下さい。 【掲載内容】 ■製...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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電子部品生産システム、冷間鍛造自動車部品、クーラント関連機械の総合カタ…
【掲載製品】 [電子部品生産システム関連機械] ○液晶UV照射装置 ○半田装置 ○ブラシ洗浄機 ○レジスト塗布機 ○液晶注入機 ○段積収納機 ○焼成炉アンローダ ○露光機 ○エッチング装置 ○検査装置 ○印刷機 ○レンズ成形機 ○通電装置 ...
メーカー・取り扱い企業: マトヤ技研工業株式会社
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高品質・低価格・省スペースを追求 スイングスプレー式、パドル方式の両…
6インチウエハ対応の小型スピン現像装置。スイング式ノズルによるスプレー現像の他、パドル現像も行なえます。 プログラム入力により現像→リンス→振り切りの一連動作を連続して行なうセミオート方式デベロッパーです。...
メーカー・取り扱い企業: アクテス京三株式会社 技術センター
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フレキシブルプリント基板(FPC)用の高精度両面露光装置
両面同時露光により高い生産性を実現します...FPC両面回路形成用露光機で、ロール状両面FCCLに、ドライフィルムをラミネートしたものに対し、両面回路を高精度で露光可能です。 両面同時アライメントを行い露光するため、FPCの裏表露光精度を高めることができます。 また、両面同時露光を行うので、高い生産性が得られます。...
メーカー・取り扱い企業: ウシオライティング株式会社
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電子ビーム描画装置、EUV露光装置、ナノインプリント・リソグラフィ用途…
電子ビーム描画装置、EUV露光装置、ナノインプリント・リソグラフィ用途...
メーカー・取り扱い企業: オプトシリウス株式会社
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スプレー及びパドル現像が行なえる、小型卓上タイプのスピンデベロッパー
ご予算、用途に応じてご用意しています。。 カスタム品もご相談に応じます。...現像→リンス→振り切り等を任意設定のプログラムにより連続処理が行なえるスピンデベロッパー。 プログラムは最大99ステップ×50パターン保存可能。 スプレーとパドルが1台で行なえる。...
メーカー・取り扱い企業: アクテス京三株式会社 技術センター
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多目的全自動スクリーン印刷機
に対応出来るという、スクリーン印刷の特徴を最大限に活かす為に開発された、多目的全自動スクリーン印刷機です。 印刷対象を問わない自由度を持つと同時に、しっかりと支持される印刷ヘッド部と、自動位置決め装置が、正確な位置への印刷を可能にしています。 印刷対象の搬入から印刷、排出までを全自動で行う事が可能ですが、印刷対象の性質に合わせ、手差しによる供給への切り替えを行う事も可能です。 また、デジタル...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ミノグループ 本社/機械事業部
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今までの露光装置とは生産性が違います!
通常12秒〜のタクトタイムを、何と! 9秒にまで縮小しました。 1分に換算すると、今までのものよりも1〜2枚生産量UPが実現できます。... ◆高生産性 ・高スループット:最大5枚/分 ・大基板サイズ対応:最大30×24インチ ◆高精度露光 ・高精度アライメント:新画像処理システム ・安定露光:楔形真空接合方式 ※詳細は『カタログダウンロード』...
メーカー・取り扱い企業: 豊和工業株式会社 機械事業部CE営業グループ電子機械チーム
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ミカサ社製スピンコーターを組み込んだドラフトチャンバーです
SS+焼付塗装 内装:SUS304#400相当品 照明:黄色LED コンセント:2ヶ所 作業台へ6mmチューブ接続継手 作業台耐荷重:80~100kg レベルアジャスター 排気風量監視装置付き(標準)...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダルトン
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薬液使用量削減の最適ツール
低粘度・高粘度材料削減を目的とした高い再現性とシステム拡張性を備えたポンプシステムです。弊社は同製品の日本総販売代理店になっており、本ポンプの販売に伴い装置全体の技術サービスも提供しております。...
メーカー・取り扱い企業: エヴァンリード株式会社
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塗料ロスが極めて少なく、対応電池パネルやガラスの製造ラインにも対応。
太陽電池パネルやガラスの製造ラインの装置にも対応! ●膜厚均一性が高い ●両面同時塗布 ●塗布効率が向上 ●薄い基板に塗布できる すべてオーダーメイドにてお作りします。 各種装置、製造ラインのメンテナンス、ライン改造に...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ファイコーポレーション
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霧化方法・薄膜形成方法など、当社の最新ノウハウを初心者の方にも分かりや…
(遠心力霧化等1流体スプレーの場合/2流体スプレーの応用/ 2流体スプレー応用の集大成…新型FS式マイクロスプレーシステム/ 断続スプレー/静電印加+マイクロスプレー/薄膜スプレーシステム装置本体)/セレクトスプレーについて ■薄膜スプレーの比較 ※尚詳細については下記にお問合せ頂ければ『薄膜スプレーに関する技術資料』の詳細資料をお送り致します。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 ...
メーカー・取り扱い企業: Shimada Appli合同会社 コーティング開発部
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半導体、ディスプレイ、プリント基板等で欠かせないフォトレジスト材料に…
本書では、フォトレジスト技術に関する幅広い分野をカバーし、実用書としても有意義な内容を構成しています。 具体的には、フォトレジスト材料、プロセス、評価・解析、処理装置までを幅広く網羅し、パターン欠陥などの歩留まり改善やトラブル対策に必須な技術も含まれており、フォトレジスト材料を扱う技術者の一助となるように構成されております。 【本書の特徴】 ➢ 半導体、...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社シーエムシー・リサーチ
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硬質塩化ビニル樹脂丸棒、工業用プレート(硬質塩化ビニル樹脂板)用補材は…
・フランジなどの部品用途や各種装置用途の補強材に幅広く使用されています。 ・優れた耐薬品性で、酸、アルカリ、塩類、油脂などに対して安定した性質を有しています。 ・切削加工、孔開け加工、寸法安定性に優れています。 ・自消性ですの...
メーカー・取り扱い企業: タキロンシーアイグループ タキロンシーアイ株式会社
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カバーガラス一体型タッチパネル(OGS)用レジストコーター
セル方式のOGS量産用スプレーコーター。 ガラスキャリアに化学強化済みのガラス基板(個片)を張り合わせ、複数個取りの状態でOC1などのレジストコーティングを自動で行う量産用装置。 レジスト膜厚2um前後で±5%(個片)のユニフォーミティを実現し、OGS量産プロセスの歩留まり向上に貢献しています。 ガラス基板(キャリア)サイズ 550 X 650 (mm)まで対応した全...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アピロス 本社
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最短半日見積り/金属部品から樹脂製品まで、半導体製造装置に関わる部品を…
(PEEK/PK-450) スーパーエンプラ系樹脂のPEEK材(PK-450)による精密細穴切削樹脂加工です。 その他、実績多数! 製品搬送用パレット、 特殊形状加工品、製品搬送プレート、基盤測定装置用プローブホルダー ワーク搬送用トレー、洗浄用メッシュ網カゴ 等 実績は、カタログ「100の加工部品」をご覧下さい。 公式サイトには、更に詳しく情報を掲載しています。 アルミ・ステンレス部品を単...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社 エージェンシーアシスト 京都本社 営業所(仙台・東京・埼玉・神奈川・浜松・愛知・岐阜・新潟・福井・奈良・兵庫・岡山・福岡)
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試作開発 枚葉式自動レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』
昇温した有機薬液による化学反応と、高圧ジェットの 物理的アシスト利用…
通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した研究開発や、少量生産向けレジスト剥離・メタルリフトオフ処理装置。 手狭なスペースでも設置可能なコンパクト設計(従来機から約40%コンパクト化) レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完結タイプはハイスループットだ...
メーカー・取り扱い企業: 日精株式会社 本社
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【超高圧ジェットでメタル&レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…
で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能! 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだんだん取れづらくなってきている… そんなユーザー様の声にお応えして超高圧ジェットリフトオフ装置が生まれました! 2流体スプレーの圧力を上げて高圧ジェットと呼んでいる会社もありますが、弊社の超高圧ジェットの圧力は脅威の20MPa! 使い方によってはガラスも削れます。 もちろん...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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【事例集進呈】オートコネクタ/自動着脱装置
工場の自動化・省人化を実現!流体・粉体問わずご要望に応じた自動…
ナブテスコサービス株式会社 産業機械部 -
異物除去装置 樹脂粉・フロス除去装置『マジックダストクリーナー』
プラスチック樹脂原料を空気輸送中に発生する樹脂粉・フロス・異物…
エム・エルエンジニアリング株式会社 -
薬液供給装置(連続式) P112
プロセス装置に連続で薬液を供給
株式会社テクノメイト -
【X線CT:受託計測】非破壊内部検査
非破壊による内部の欠陥・状態観察が可能! X線CTによる受託計…
株式会社進和 戦略営業推進室 -
プラスチック溶着工法が変わる『赤外線溶着機シリーズ』
独自の赤外線技術により樹脂溶着部だけを加熱!3D形状もダメージ…
コスモシステム株式会社 -
太陽電池の最大電力点で動作「MPPT負荷装置」シリーズ
独自MPPT制御機能を採用し、様々な太陽光の照度・角度・温度条…
日本カーネルシステム株式会社 本社 -
リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置
ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバ…
ティー・ケイ・エス株式会社 -
【PFAS処理の解説資料進呈】低コスト・低負荷で効果的な浄化技術
PFAS処理にお困りの方必見!粉末活性炭×独自フィルターで吸着…
株式会社流機エンジニアリング -
ダイヤモンドライクカーボン膜(DLC)コーティング加工
金属から樹脂まで幅広く対応。金型や摺動部品の耐摩耗性向上に。メ…
株式会社栗田製作所 本社・京都事業部 -
パワーデバイス向けの最新アプリケーションをご紹介!
5月の接着・接合 EXPOに出展!パワーデバイス向けの新たなア…
株式会社アドウェルズ