ポータブル脳波・多点筋電計測装置「TMSi」

PRERP、運動時、睡眠時の計測に好適！バッテリ残量など、本体全面をLED…

『APEX』は、ERP、運動時、睡眠時の計測に好適な超小型24ch/32ch対応の 脳波計測装置です。 アナログ帯域はDCから350Hz。リファレンスチャンネルはカスタム可能です。 また、32ch/64chの脳波＆多点筋電対応のモバイルタイプの計測装置 「SAGA」もご用意しております。 【APEX仕様(抜粋)】 ■チャンネル数：24ch/32ch ■解像度：24bit ...

メーカー・取り扱い企業： ゼロシーセブン株式会社

車載電池用設備の設計・製作にお困りでは無いですか？

PR【お困りごと解消】ODM/OEMメーカーをお探しでは無いですか？ 奥行…

主に、組付・レーザー接合・金属加工・樹脂溶着・性能検査・ワーク搬送の工程で車載電池用設備の実績があり、 これらの培ってきた技術や知識を活かした提案が可能です。 また、ODM/OEM製作においては、お客様の工場へ納入する前に弊社の工場内にて 設備を並べ、品質確認やサイクルタイムの確認、流動確認等も実施いただけます。 数多くの台数をこなすことでコスト削減が可能です。 従来の工程・工法だけでなく、新工...

メーカー・取り扱い企業： 日清紡メカトロニクス株式会社

半自動フォトレジスト現像装置（セミオートデベロッパー）

自動機を購入するほど生産量が多くないが、プロセスの再現性を求めるお客様…

【主な仕様】 ■スピン現像ユニット：1組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12" ■現像ノズル：1組/CUP～ ■リンスノズル：1組/CUP ■ベークユニット：1組（Max200℃） ■クーリングユニット：1組 ■センタリングユニ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

自動レジスト現像装置（枚葉式） デベロッパー Developer

枚葉式のためプロセスの再現性が高く、薬液使用量も少なく済みます。品質向…

枚葉式フォトレジスト現像装置です。 パドル現像、スプレー現像（1流体、2流体）など様々な現像プロセスに対応できます。 薄型ウェハや角基板など多数実績がございます！ また、厚膜レジスト現像～微細なパターンの現像まで幅広く対応できます。 当製品は、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

逆テーパー角を一定に！PEB対応レジスト現像装置（デベロッパー）

逆テーパー角度を一定に！ネガレジストやイメージリバーサル用のレジストに…

設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。 TMAH、コリン水溶液、Na2CO3等多彩な薬液に実績があります。 また、薄いウエハでの実績も多数あります（ウエハ厚さ150umなど）のでご相談ください。 【特長】 ■PEBによる逆テーパー角の安定 ■自動ウエハサイズ認識機能 ■パドル、1流体スプレー、2流体スプレーの対応可 ■フットプリントの低減 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

半導体関連装置 「レジスト液加温塗布装置」

純水1/4RC　圧縮空気1/4RC！薬液をスプレー塗布する装置

【標準仕様】 ○ユ－ティリティ　純水1/4RC　圧縮空気1/4RC　排水1/4RC ○外形寸法　　　　W800×H1500×D500 ○電源　　　　　　AC100V　10A ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロード...

メーカー・取り扱い企業： オーエヌ総合電機株式会社

コンパクト！手動フォトレジスト現像装置（マニュアルデベロッパー）

少量多品種生産、開発用途向けのコンパクトレジスト現像装置です。枚葉式の…

研究開発目的としてだけでなく少量多品種の製品を扱うお客様にご利用いただいております。 TMAH等多彩な薬液に実績があります。 【特長】 ■低価格を実現 ■コンパクト！ ■パドル、1流体スプレー、2流体スプレーも選択可能 ■多彩な薬液に実績あり ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

研究開発向け枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』

昇温した有機薬液による化学反応と高圧ジェットの物理的アシスト利用した剥…

けメタルリフトオフ処理装置。 コンパクトなTWPmから、搬送ユニットを省いてさらに小型化とコストメリットを追求したモデル。 レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完結タイプはハイスループットだけでなく、省フットプリント化にも貢献致します。また、使用した薬液を分離回収し再利用することも可能で、ランニングコストの削減にも寄与致します。 ※レジスト剥離...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

半自動リフトオフ装置（セミオートリフトオフ機）Lift-off

自動機よりも安く、マニュアル装置より使いやすいセミオートタイプのリフト…

を行う装置です。 リフトオフはASAP特殊ノズルによる高圧ジェットによりバリも除去し、メタル剥離を行います。 カセット（キャリア）でセットをすることはできませんが、マニュアルと違いウェハ1枚1枚を自動搬送するので、偏心や位置ズレの心配がありません！ ドライイン・ドライアウトで処理に関して作業者に薬液の付着の心配がありません。 リフトオフの最大のメリットである厚膜メタルのリ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

コーティング性能を確認できる！粘着テープの付着具合を数値化

「コーティングの効果を事前に確かめておきたい」 そんなニーズにお応え…

能測定サービスは、離型コーティングの導入を検討しているが選定の方法に困っている方や 自社で生産している材料でコーティングの効果を試してみたい方への新しいご提案です。 ＝サービス概要紹介＝ 1.テープ離型力測定 コーティング面へ粘着テープを貼り付け、はがす力を測定することで、 はがれ具合を確認できます。 測定結果はPDFファイルをメールにてお送りします。 詳しくはWebサイト...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社吉田ＳＫＴ

銀イオン循環冷却水質系浄化剤

水処理全ての問題に優れた効果を発揮！ 21世紀の新しい水処理剤として…

銀イオン循環冷却水質系浄化剤 ISO14001取得工場で愛用される無公害水処理剤。 水質の浄化と設備の保守を同時に行うことが可能で、レオジネラ症予防対策や油剤の劣化などを防止することが可能です。 取り扱いも簡単で水中に沈めるだけで、投入...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ク・チャベル 埼玉営業所

高精度スプレーコーター API-300OGS

カバーガラス一体型タッチパネル（OGS）用レジストコーター

セル方式のOGS量産用スプレーコーター。　ガラスキャリアに化学強化済みのガラス基板（個片）を張り合わせ、複数個取りの状態でOC1などのレジストコーティングを自動で行う量産用装置。 レジスト膜厚２um前後で±5%(個片）のユニフォーミティを実現し、OGS量産プロセスの歩留まり向上に貢献しています。 ガラス基板（キャリア）サ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アピロス 本社

中大物向け1200×1100×650ｍｍ5軸制御型立型MCを保有

最大加工サイズφ1000×500、工程集約による短納期対応、複数面アプ…

様からお引き合いを頂いております。高精度三次元測定機による保証とセットで高い信頼とご愛顧を頂いております。 まずはお気軽にお問い合わせください。 品質保証【測定設備】 　・LEGEX9106【高精度三次元測定機】　1台 　　　測定サイズ：910×1010×605ｍｍ　　メーカー：ミツトヨ 　　　　測定精度：0.35＋Ｌ/1000（μｍ） 　　　　　　　　(プロ―ピング誤差 0...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三栄精機工業

粉体提供可能なネガ型レジスト　H-SiOx

電子ビーム描画装置、EUV露光装置、ナノインプリント・リソグラフィ用途…

AQM社のH-SiOxは粉体・溶液2種類を提供可能なネガ型のレジストです。 Dow XR-154やFOXと同等の性能を提供可能です。 粉体・溶液はそれぞれに特徴がございます。 【粉体】 長期間の保管が可能：1年間保存可能なので長期間において少量ずつのご使用が可能です。 即納対応：必要な...

メーカー・取り扱い企業： オプトシリウス株式会社

卓上式マニュアルスピンナー

シンプルデザインの卓上式マニュアルスピンナー

ストパフォーマンス ======================================== ＜仕　様＞ 試料サイズ…Φ2インチ 〜 Φ6インチ カップ径…Φ300mm 回転範囲…100〜5000rpm 回転精度…±1rpm スピンドルモータ…ACサーボモーター 回転表示…デジタル 回転数設定…液晶タッチパネル レシピ設定…10プログラム×50パターン オプション…...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トービ

マニュアル・レジスト／塗布現像装置

ウエーハ製造プロセスのあらゆる部門に適応可能。

な組み合わせが可能です。 「ラインアップ」 ●モデルLSC-800C マニュアルのレジスト塗布装置です ●モデルLSC-800D マニュアルの現像装置です。 ●モデルLSC-Qz1 マニュアルの極小基板用のレジスト塗布装置です。 ●モデルLSC-400C シンプル仕様の安価なマニュアル・レジスト塗布装置です。 ●モデルLSC-400D シンプル仕様、低コストのマニュ...

メーカー・取り扱い企業： リソテックジャパン株式会社

段取り替えなし！インチ兼用自動リフトオフ装置

【複数サイズのウエハを段取り替えなしで処理！】複数サイズ兼用装置はダウ…

3」、「2・4」、「3・4」、「4・6」、「6・8」インチ 【薄型ウェハにも対応！】 高圧ジェットはウェハ（基板）が薄いと割れるのではないか？という声をよくお聞きします。 弊社では厚さ120umのGaAsのリフトオフの実績もございます（圧力3MPa） デバイスによって圧力調整なども自由に行えます。 【複数サイズウエハの段取り替えがないメリット」】 ■ダウンタイムが少なく高...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

容積計量チューブポンプ式ディスペンサー『TME』

チューブポンプのイメージを一新するチューブポンプディスペンサー。 微少…

【用途】 ◎試薬の吐出 ◎瞬間接着剤の微量吐出 ◎フラックス吐出 ◎その他低粘度材料 【仕様】 ◎使用チューブ材質：シリコンチューブ・ファーメドチューブ・テフロンチューブ ◎1回の吐出量：0.07マイクロリットル～ ◎モーター：ACサーボモータ ◎電源：AC100V～AC240V ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業： ESER Corporation-Japan(イーサージャパン） さいたまラボ

フォトレジスト剥離液の世界市場レポート YH Research

『無料サンプル』を入手可能！ 関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…

YH Research株式会社（本社：東京都中央区）は調査レポート「グローバルフォトレジスト剥離液のトップ会社の市場シェアおよびランキング 2024」を1月10日に発行しました。本レポートでは、フォトレジスト剥離液市場の製品定義、分類、用途、企業、産業チェーン構造に関する情報を提供します。また、フォトレジスト剥離液市場の開発方針と計画、製造プロセスと...

メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社

内層板用両面同時露光装置　光 ＨＤＥ１１０Ｓ

今までの露光装置とは生産性が違います！

　通常12秒〜のタクトタイムを、何と！ 9秒にまで縮小しました。 　1分に換算すると、今までのものよりも1〜2枚生産量ＵＰが実現できます。...

メーカー・取り扱い企業： 豊和工業株式会社 機械事業部ＣＥ営業グループ電子機械チーム

半導体向けポリエチレンフィルタ Photopex PE

用途に応じた幅広い孔径（1nm相当の微細孔径も）と清浄度を有するポリエ…

Cobetter Photopexシリーズは、最先端1nm相当から5μｍ相当まで幅広い孔径を有する高Retentionのフィルタであり、半導体製造プロセスのLithography工程を初めとする厳しい要求にMeetする清浄度を有します。 この高い清浄...

メーカー・取り扱い企業： 日本コベッタ株式会社

短時間剥離！手動リフトオフ装置（マニュアル機）Lift-off

短時間剥離！当社独自の特殊ノズルによる高圧ジェットで、枚葉による高速処…

【主な仕様】 ■ウェハサイズ：φ2"～φ8"まで対応可能 ■膨潤機能：パイプヒーター or リサイクルによる温調液 ■使用薬液：DMSO、NMPなど各種剥離液 ■装置サイズ：1400×1100×1900(本体・薬液BOX一体) ■搬送方法：ダブルアームクリーンロボット(CLASS1対応) ■消火器システム その他オプション多数！ ※詳しくはPDF資料をご覧...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

セミセルフ対応POSレジ「ハヤレジ」　　

クリニック様、薬局様の会計業務削減に貢献！ ※IT導入補助金(デジタ…

または領収書に請求情報が印字されたバーコードを読み込むことで連携が可能です。 そのため、請求金額の打ち間違いがなくなります！ 【ハヤレジシリーズの特徴】 ・自動釣銭機は業界シェアNo.1のGLORYを採用 ・自動計数機能により売上金のみ自動回収・準備金の自動調整が可能 ・全シリーズで返金・追金・窓口物販などのイレギュラーにも対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、...

メーカー・取り扱い企業： ハヤレジ株式会社

1流体スプレー方式自動フォトレジスト現像装置（デベロッパー）

厚膜現像や処理時間短縮に効果を発揮する1流体現像装置です。スプレー形状…

1流体スプレー方式の現像装置です。 現像液の圧力でスプレーをするため、スプレーによるミストが飛び散りにくく、また現像スピードを速くすることができます。 大型基板や厚膜の現像に最適です。 スプレーノズルは扇形、円形などの形状と分布や広がり角度や範囲も自由に選択できます。 当製品は、枚葉式で現像、ベーク、クーリング機能を搭載。 マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせた...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

オート式露光装置

190WPHの高スループットを実現したマスクアライナ

2インチのウエハサイズに対応する､全自動式露光装置です｡ 従来のウエハ搬送方式で用いられる多間接ロボットに代わり､自社開発の搬送ロボットを3台配置させたことで､毎時190枚(2インチウエハ)を処理する高いスループットを実現しました｡ 特に､新開発のアライメント画像処理には､任意座標指定のサーチおよび､インテリジェントθサーチとの複合サーチを行うオートアライメン...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社

マニュアル露光装置

顕微鏡オート移動など､生産性､使い勝手に優れたアライナ

主な特長 1.フォトマスクとウエハの平行出しは､ウエハテーブルを空気の層で浮遊させ､アライメント機構部に内蔵されたエアバネでフォトマスクに正確にコンタクトする方式を採用しています｡ 2.アライメント顕微鏡は､...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社

小型現像装置

スプレー及びパドル現像が行なえる、小型卓上タイプのスピンデベロッパー

現像→リンス→振り切り等を任意設定のプログラムにより連続処理が行なえるスピンデベロッパー。 プログラムは最大99ステップ×50パターン保存可能。 スプレーとパドルが1台で行なえる。...

メーカー・取り扱い企業： アクテス京三株式会社 技術センター

『薄膜スプレー技術資料』抜粋

霧化方法・薄膜形成方法など、当社の最新ノウハウを初心者の方にも分かりや…

ルコーティング）、高機能材の精密薄膜形成、バブルフリーの乾燥プロセスなど、スプレーコーティング技術の開発・提供を行っている当社では、ただいま『薄膜スプレーに関する技術資料』抜粋を進呈中です！ 10μ以下の薄膜塗布でのスプレー方法について、 今までスプレー技術にあまり携わっていない方でも 問題なく導入可能になるよう、分かりやすく解説しております。 【掲載内容】 ■霧化について ...

メーカー・取り扱い企業： Shimada Appli合同会社 コーティング開発部

薄膜電子部品工程『フォトリソグラフィープロセス装置』

生産設備・研究開発向け！薄膜電子部品工程における一連のプロセスを提供！

ロセスを高精度高信頼性で提供するシステムです。 洗浄・コーター・現像・剥離・エッチングなどの生産設備および 研究開発向けの設備を提供します。 「全自動スピンエッチング装置」は、ウエハを1枚ずつ取り出し、 自転させながら薬液を吹き付け、エッチングから乾燥までを 自動処理する装置です。 【特長】 ■薄膜電子部品工程の一連のプロセスを提供 ■様々な装置で対応 ■全自動スピ...

メーカー・取り扱い企業： 大村技研株式会社

書籍『レジスト材料の基礎とプロセス最適化』

半導体、ディスプレイ、プリント基板等で欠かせないフォトレジスト材料に…

【目次構成】 第1章　レジスト材料　 第2章　レジストプロセス　 第3章　ナノスケール計測技術　 第4章　レジスト付着性　 第5章　レジスト欠陥　 付録　Q＆A　...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シーエムシー・リサーチ

電子ビームレジストの世界市場調査レポート2024

『無料サンプル』を入手可能！ 関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…

YH Research株式会社（本社：東京都中央区）は調査レポート「グローバル電子ビームレジストのトップ会社の市場シェアおよびランキング 2024」を2月1日に発行しました。本レポートでは、電子ビームレジスト市場の製品定義、分類、用途、企業、産業チェーン構造に関する情報を提供します。また、電子ビームレジスト市場の開発方針と計画、製造プロセスとコスト構造...

メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社

有機フォトレジストの世界市場レポート YH Research

『無料サンプル』を入手可能！ 関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…

YH Research株式会社（本社：東京都中央区）は調査レポート「グローバル有機フォトレジストのトップ会社の市場シェアおよびランキング 2023」を12月26日に発行しました。本レポートでは、有機フォトレジスト市場の製品定義、分類、用途、企業、産業チェーン構造に関する情報を提供します。また、有機フォトレジスト市場の開発方針と計画、製造プロセスとコ...

メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社

G線フォトレジストの世界市場シェア2023YH Research

『無料サンプル』を入手可能！ 関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…

YH Research株式会社（本社：東京都中央区）は調査レポート「グローバルG線フォトレジストのトップ会社の市場シェアおよびランキング 2023」を10月16日に発行しました。本レポートでは、G線フォトレジスト市場の製品定義、分類、用途、企業、産業チェーン構造に関する情報を提供します。また、G線フォトレジスト市場の開発方針と計画、製造プロセスとコ...

メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社

厚膜レジストの世界市場動向分析2023-2029

『無料サンプル』を入手可能！ 関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…

YH Research株式会社（本社：東京都中央区）は調査レポート「グローバル厚膜レジストのトップ会社の市場シェアおよびランキング 2023」を12月4日に発行しました。本レポートでは、厚膜レジスト市場の製品定義、分類、用途、企業、産業チェーン構造に関する情報を提供します。また、厚膜レジスト市場の開発方針と計画、製造プロセスとコスト構造につい...

メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社

自動フォトレジスト塗布・現像装置（コーター・デベロッパー）

低粘度～高粘度レジスト対応！小口径～大口径まで、どのウェハサイズの装置…

【特長】 ■低価格を実現 ■低～高粘度（1.7cP～10000cP）まで対応 ■2～12インチまで対応 ■複数サイズウエハを処理可能（例、3・4・5インチ兼用、8・12インチ兼用) ■ウエハサイズ自動認識システム ■多彩な薬液に実績...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

2流体スプレー方式自動フォトレジスト現像装置（デベロッパー）

高い圧力から霧状の柔らかい圧力まで自由自在！2流体スプレーレジスト現像…

【主な仕様】 ■カセットステージ：2組 ■スピン現像ユニット：2組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12" ■現像ノズル：1組/CUP ■リンスノズル：1組/CUP ■ベークユニット：4組（Max200℃） ■クーリングユニット：2組 ■センタリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

静止現像式（パドル）自動フォトレジスト現像装置（デベロッパー）

多彩な薬液に実績あり！低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っている…

枚葉式でウエハ上に現像液を液盛りして現像を行います。 ディップ方式と違い、1枚1枚現像を行うので、プロセスの再現性が非常に高いです。 薬液使用量を最適化することにより、現像液使用量の削減に繋がります。 液盛り方法もシャワータイプからストレートノズルなどご要望にお...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

リフトオフ（イメージリバーサル）対応フォトレジスト現像装置

多彩な薬液に実績あり！低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っている…

【主な仕様】 ■カセットステージ：2組 ■スピン現像ユニット：2組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12" ■現像ノズル：1組/CUP ■リンスノズル：1組/CUP ■ベークユニット：2組（Max200℃） ■クーリングユニット：1組 ■センタリングユニット：1組 ■UV露光ユニット（L...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

製作実績／半導体製造装置 関連部品

最短半日見積り／金属部品から樹脂製品まで、半導体製造装置に関わる部品を…

（1）精密整列パレット（SUS430） ステンレス材を指定された為、バリが出やすかったのですが、 加工方法と刃物の選定で最小限に留め、仕上げ処置で規定通りにバリをゼロに仕上げました。 （2）ウェハー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社 エージェンシーアシスト 京都本社　営業所(仙台・東京・埼玉・神奈川・浜松・愛知・岐阜・新潟・福井・奈良・兵庫・岡山・福岡)

マニュアルスピンコーター

シンプルデザインのマニュアルスピンコーター

、コストパフォーマンス ---------------------------------------- ＜仕　様＞ 試料サイズ…Φ2インチ〜Φ6インチ カップ径…Φ300mm 回転範囲…100-5000rpm 回転精度…±1rpm スピンドルモータ…AC サーボモーター 回転表示…デジタル 回転数設定…液晶タッチパネル 薬液ノズル…2系統（エアーシリンダー駆動式） レシピ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トービ

試作開発 枚葉式自動レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』

昇温した有機薬液による化学反応と、高圧ジェットの 物理的アシスト利用…

向けレジスト剥離・メタルリフトオフ処理装置。 手狭なスペースでも設置可能なコンパクト設計（従来機から約40％コンパクト化） レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完結タイプはハイスループットだけでなく、省フットプリント化にも貢献致します。また、使用した薬液を分離回収し再利用することも可能で、ランニングコストの削減にも寄与致します。 ※レジスト剥離...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【主な仕様】 ■ウェハサイズ：φ2"～φ8"まで対応可能 ■膨潤機能：パイプヒーター or リサイクルによる温調液 ■使用薬液：DMSO、NMPなど各種剥離液 ■装置サイズ：1500×1100×1900(3カップ時、本体) ■搬送方法：ダブルアームクリーンロボット(CLASS1対応) ■消火器システム その他オプション多数！ ※詳しくはPDF資料をご覧いた...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

枚葉式でDIP！？膨潤・高圧ジェット併用リフトオフ装置

【枚葉式でDIP並みの膨潤】リサイクル式循環ヒーターにより、高温・高剥…

厚膜のパターニングに好適な超高圧ジェットリフトオフ装置です。 ●薄型ウェハにも対応！ 高圧ジェットはウェハ（基板）が薄いと割れるのではないか？という声をよくお聞きします。 弊社では厚さ120umのGaAsのリフトオフの実績もございます（圧力3MPa） デバイスによって圧力調整なども自由に行えます。 【特長】 ■DIP並みの膨潤！ ■MAX20MPaの超高圧ジェット ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

自動リフトオフ装置（メタル・レジスト剥離）Lift-off

高圧ジェットで驚きの剝離能力！当社独自の特殊ノズルで、枚葉による高速処…

【主な仕様】 ■ウェハサイズ：φ2"～φ8"まで対応可能 ■膨潤機能：パイプヒーター or リサイクルによる温調液 ■使用薬液：DMSO、NMPなど各種剥離液 ■装置サイズ：1500×1100×1900(3カップ時、本体) ■搬送方法：ダブルアームクリーンロボット(CLASS1対応) ■消火器システム その他オプション多数！ ※詳しくはPDF資料をご覧いた...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ