溶剤回収装置(真空蒸留式)『HRSシリーズ』

PR溶剤の有効成分の回収！運転やバルブ操作は、空気圧や窒素圧による遠隔操作…

本装置は、廃溶剤液から水分や不純物を除去し、溶剤の有効成分の回収を行う装置です。 【特長】 ■溶剤のリサイクル、廃液処理のコスト削減 ■空気圧・窒素ガスによる遠隔操作方式の為、高い安全性確保 ■連続減圧蒸留方式で蒸留ユニットは防爆仕様 ■設置・移動が簡単な省スペース設計 ■簡単操作、自動運転 ■安全に留意した自動停止機構 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお...

メーカー・取り扱い企業： プリテクノジャパン株式会社

切粉破砕機『チップクラッシャー』

PR切粉を最大1/10破砕！保管場所の省スペース化が実現。

『チップクラッシャー』は、機械加工で出る鉄くずを粉砕する製品です。 場所を取りがちな切粉の一時的な保管が、当製品の導入により省スペース化が実現。 破砕により容積を最大1/10に減らすことができ切粉の輸送などにかかる手間を減らすことができます。 さらに作業の効率化や、産廃コスト削減による節約なども見込めます。 SDGsやカーボンニュートラルへの取組みに対して親和性の高い製品です。 材質に合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 浜松貿易株式会社

高性能枚葉式常圧CVD(APCVD)装置 (A200V)

少量・多品種向け　NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用　枚葉式…

A200Vは、層間絶縁膜・パッシベーション膜(保護膜)・犠牲膜等のシリコン酸化膜(SiO2膜)の成膜を目的とした枚葉式常圧CVD装置(APCVD装置)です。 【特徴】 　・絶縁膜・拡散/インプラマ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

DLI-CVD/DLI-ALD装置『MC-100/MC-200』

最大成膜温度は800℃！チャンバー加熱機構で最大4x DLI気化器を搭…

『MC-100/MC-200』は、スチールステンレス製チャンバーの DLI-CVD/DLI-ALD装置です。 最大200mm径基板対応、マスフローコントローラーは最大「MC-100」が8、 「MC-200」は6で、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ

枚葉式常圧CVD装置『A200V』

装置サイズを可能な限りコンパクト化！安定した成膜処理と低パーティクルを…

『A200V』は、少量多品種から大量生産までカバーするφ150・φ200mm ウェーハ対応の枚葉式常圧CVD装置です。 フェイスダウン式成膜方法の採用により優れた膜厚均一性、パーティクル 制御、埋...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社天谷製作所

『事例集』固体材料供給における高温化の課題への提案※無料進呈中

半導体材料メーカー様　必見！固体材料供給における高温化の課題への提案の…

250℃の供給プロセスでオールメタルバルブを使用しているが、耐久回数に不満がある。 200℃の供給プロセスでシート交換できないバルブを使用しているため、バルブを交換しなければならず、ランニングコストがかさんでしまう。 200℃対応のバルブを使用しているが、駆動部が高温に耐えられず、ボ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

CVD装置『ナノカーボン堆積装置』

3種類の堆積装置をラインアップ！用途に合わせてお選びください

り扱う、『ナノカーボン堆積装置』を ご紹介いたします。 当製品は、ナノカーボン材料を合成可能なCVD装置です。 「CND-050LP」をはじめ、大面積ナノカーボン堆積装置「LCND-200」や PNナノカーボン堆積装置「NCD-050W」をラインアップ。 用途に合わせてお選びいただけます。 【特長】 ■ナノカーボン材料を合成可能 ■3種類のラインアップ ■用途に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社片桐エンジニアリング

RIBER社EZ-CURVE 真空装置In-situ反りモニター

各種真空装置内でのウエハ応力、反り、曲率、異方性等をリアルタイム、高精…

光時間の調整が不要。 9) ウェーハの平坦性に影響せず、パターニングされたウェーハでも測定可能 10) 他のソフトウェアとデータを共有可能。 仕様 1) 曲率測定レンジ　0.0008～200,000 Km-1 2) 半径レンジ（Max-Min）1,250,000～0.005m...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

三菱電線工業の耐熱ふっ素ゴムシール「サンエラストＫ」

長期耐久性に優れたふっ素ゴム！！従来のふっ素ゴムに比べ高温（200〜2…

す過酷になってきました。 ●従来よりも高温でのプロセスも増えてきており、シール材料も 　高温耐久性に優れるものが要求されてきております。 ●「サンエラストＫ」は、従来材料よりも高温（200〜220℃）での 　長期耐久性に優れるふっ素ゴムです。...

メーカー・取り扱い企業： 三菱電線工業株式会社

ダブルフェルールタイプ継手「BI-LOK」【高品質！低価格！】

様々な流体を低温から高温まで確実にシールする継手です！

●接液部はすべて同じ材質(SUS316)で構成 ●広い温度範囲で低温から高温まで使用可能 【仕様】 ●使用温度領域：-196～+600℃（SUS316） 　　　　　　　　-196～+200℃（C3604、C3771） 　※圧力により、使用可能温度領域も変動します。 ●RoHs対応品（SUS316） ※詳しくはカタログをご覧いただくか、お気軽にお問合せ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： イハラサイエンス株式会社

インラインセラミックガスフィルター

常に安定した状態で0.003μmの高濾過精度を有するガスフィルターを開…

半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製インラインセラミックガスフィルターです。水や酸素などの不純物の除去を確実に行うための、200℃の高温ベーキングが可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

常圧CVD装置「AMAX800V」

優れた膜厚・不純物濃度の均一性。高生産性と低価格を実現した常圧CVD装…

常圧CVD装置「AMAX800V」は、φ200mmウェーハ対応、モノシランガスの反応特性を応用したUSG、PSG、BPSG等の絶縁膜およびシリコン基板の裏面保護膜を形成する連続式常圧CVD装置です。 搬送機構の改良により高スループットを実現...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社天谷製作所

Aera FC-R7700シリーズ　マスフローコントローラ

経済性に優れた高精度ラバーシール

特長 ・高速応答性 ─ 設定値入力後2秒未満で流量安定 ・エラストマー（ゴム）シール ・VCR、VCO、Swagelok準拠の接続部 ・10sccm～200slmのフルスケール流量レンジ ・ノーマリ・クローズ型またはノーマリ・オープン型ソレノイド制御バルブ ・1x10-7Pa・m3/sec（He）以下の外部リークレート...

メーカー・取り扱い企業： 日立Astemo＆ナガノ株式会社

Oリング フロロパワーAF90 (FEPM-耐圧)

Oリングの桜シールによる高硬度タイプのアフラス (FEPM)材質

アフラスによる耐圧材質で、優秀な耐薬品性は特に耐アミン性に優れるほか、強アルカリや強酸などにも使用可能です。耐放射線性。硬さA90±5。黒色。温度0～200℃。...

メーカー・取り扱い企業： 桜シール株式会社 日本本社

Oリング フロロパワー3FW (3元系FKM-白色)

Oリングの桜シールによる白色タイプの3元系フッ素ゴム材質

3元系フッ素ゴムによる白色材質で、耐熱性や耐薬品性に優れ、蒸気や強酸にも使用することが出来ます。硬さA70±5。白色。温度－10～200℃。...

メーカー・取り扱い企業： 桜シール株式会社 日本本社

クラスター装置『Morpher』

デバイス量産へ、優れたプロセス品質、信頼性、高スループットを提供！

＜標準基板サイズとタイプ＞ 〇100～200 mmウエハ最大50枚/バッチ 〇高アスペクト比サンプル（最大1：2500） 〇基板材料：Si、ガラス、化合物半導体各種 ＜処理温度と容量＞ 〇～300℃ 〇最大1000ウエハ／24時間...

メーカー・取り扱い企業： PICOSUN JAPAN株式会社

耐プラズマ性Oリング フロロパワーDPR (特殊フッ素ゴム)

Oリングの桜シールによる配合材無使用の特殊（フッ素ゴム+フッ素樹脂）材…

フッ素樹脂とフッ素ゴムを結合させた特殊材質で、優れた耐プラズマ性を有しながら、価格が低く抑えられています。硬さA65±5。黒色。温度0～200℃。...

メーカー・取り扱い企業： 桜シール株式会社 日本本社

ICPECVD『SI 500 D』

ICPパワーによるイオン密度の制御！低温成膜、低ダメージ、高コンフォマ…

『SI 500 D』は、ICPパワーによるイオン密度の制御のICPECVDです。 独自のPTSA200ICPソースによる10＾12[イオン/cm3]の高いプラズマ密度により 低温成膜、低ダメージ、高コンフォマリティーを実現 ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。 【特長】 ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ

腐蝕性特殊ガス対策用ハステロイC-22ハウジング製

ハロゲン系反応性腐蝕性特殊ガスに対し、耐蝕性が非常に高く極めて優れた性…

【特徴】 ○濾過精度は0.003μｍです。 ○推奨流量は40〜200L/minです。 ○設計圧力は17MPa（2,465PSIG）at20℃です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

フッ素樹脂コーティングの特性　飛散防止

他の樹脂コーティングでは得る事の出来ない、耐熱性、非粘着性、耐摩耗性、…

【製品の特長】 ○飛散防止フッ素樹脂コーティングは、薬品を使用するフラスコや試験管、 　200℃前後の高温照明に使用されることが多いコーティングです。 ○薬液の飛び散り、破片の飛び散りを防止することで、安全に使用することが可能です。 ○フッ素樹脂コーティングは、他の樹脂コーティングでは...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社YMM コーティング事業部

B-A真空計『ミニチュアイオンゲージ　IG-10（ICF70）』

センサー・回路部・ディスプレイが一体型のコンパクトな熱陰極電離真空計で…

定：FIL　ON/OFF、デガス ON/OFF、エミッション切替 ■アナログ出力：0?9VDC（ログリニア）：1V/1桁 ■使用温湿度：0?40℃、?95％（結露なしで） ■ベーキング温度：200℃（回路部を取り外すこと） ■電源：DC20?28V　14W ■通信機能（規格）：RS-485 ■セットポイント：1点 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせくださ...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

トランスファーロッド（Ｚ-φ軸　KTXシリーズ）

【 4000台販売突破キャンペーン実施中 】 弊社トランスファーロッ…

ルを取り付けることが可能です。 また、腐食性ガス対応の仕様もございますので、ご相談下さい。 ＜3機種共通仕様＞ 許容リーク量：≦1.33×10-11Pa・m3/sec 許容加熱温度：≦200℃ 直進力：6kgf 回転トルク：9kgf/cm 回転角目盛：16° 駆動軸径：φ16mm 接続フランジサイズ：ICF-114FH 駆動方式：マグネット ◎詳しくはPDF資料をご...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

Aera FC-R7800シリーズ　マスフローコントローラ

高精度・信頼性のメタルシールモデル

特長 ・高速応答性 － 設定値入力後1秒未満で流量安定 ・耐腐食設計 ・メタルシール採用 ・VCR準拠の接続部 ・10sccm～200slmのフルスケール流量レンジ ・ノーマリ・クローズ型またはノーマリ・オープン型ソレノイド制御バルブ ・1x10-11Pa・m3/sec（He）以下の外部リークレート...

メーカー・取り扱い企業： 日立Astemo＆ナガノ株式会社

Oリング フロロパワーAF (FEPM-標準)

Oリングの桜シールによる標準タイプのアフラス (FEPM)材質

アフラスによる標準材質で、優秀な耐薬品性で特に耐アミン性に優れるほか、強アルカリや強酸などにも使用可能です。耐放射線性。硬さA70±5。黒色。温度0～200℃。...

メーカー・取り扱い企業： 桜シール株式会社 日本本社

Oリング フロロパワーDEB (バイトンETP-標準)

Oリングの桜シールによる標準タイプのバイトンETP (FFKM-E)材…

バイトンETPによる標準材質で、優秀な耐薬品性を有していることから、強アルカリや強酸、極性溶剤などにも使用可能です。硬さA75±5。黒色。温度0～200℃。...

メーカー・取り扱い企業： 桜シール株式会社 日本本社

Oリング フロロパワー3F (3元系FKM-標準)

Oリングの桜シールによる標準タイプの3元系フッ素ゴム材質

3元系フッ素ゴムによる標準材質で、耐熱性や耐薬品性に優れ、蒸気や強酸にも使用することが出来ます。硬さA70±5。黒色。温度－10～200℃。...

メーカー・取り扱い企業： 桜シール株式会社 日本本社