無停電電源装置『KE-0520シリーズ』常時インバータ給電UPS

PR対象機器に絞った瞬停対策に！三相AC200V 5ｋVAの小容量を実現！…

『KE-0500シリーズ』は、三相200V/5kVAの小容量を実現した 常時インバータ給電方式のUPS（無停電電源装置）です。 工場全体ではなく、重要な機械・設備のみに導入するなど ターゲットを絞った瞬停対策が行えます。 また蓄電デバイスに「EDLC」を選ぶことで、従来の蓄電池では動作できなかった 零下などの低温環境下でもバックアップが可能な点も特長です。 【特長】 ■産...

メーカー・取り扱い企業： クズミ電子工業株式会社

廃液減容化装置『蒸発・濃縮装置 (電気式小容量)』

PR臭気成分などを熱分解して排気！廃液処理のコスト削減を可能に！

本装置は、電気ヒーターで廃液中の水分を蒸発させて濃縮し、 蒸発時に発生する臭気成分などを熱分解して排気する、廃液減容化装置です。 水溶性切削液、水溶性研削液などの含油廃液の場合は濃縮油を有価物にする事も可能です。 【特徴】 ■廃液処理のコスト削減可能 ■高温、高粘度、スラッジ含有濃縮液の自動排出機構 ■排熱利用の省エネ機構 ■脱臭触媒を標準設置して排気ガスに臭気・煙が出ない ...

メーカー・取り扱い企業： プリテクノジャパン株式会社

スピン洗浄装置　スピナー MSC-200型

小型コンパクト・オプションにて10,000rpmに可能！

パクト ○オプションにて10,000rpmに可能 ○膜厚が安定 【仕様】 ○ワークサイズ：φ30～100mm×t1mm（φ2"～φ4"） ○試料台：オプション ○カップ径・材料：φ200mm ○本体材質・寸法：SS＋焼き付け塗装　W250×D300×H250mm ○スピンモーター：スピードコントロールモーター　40W ○回転数：250～5,000rpm オプション　10,0...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スリットコーター（200mm□用）

実験用小型スリットコーター ・基板サイズ：200mm ・粘度：数c…

【装置特徴】 ・基板サイズ：200×200×0.4～1.1mmt ・ステージサイズ：230×230mm ・膜厚：0.5～100μm ・薬液系統：1系統 ・粘度：数cps～10,000cps ・ノズル上下駆動：サーボモータ...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

レンタル用小型スリットコーター

実験・開発用スリットコーター ・基板サイズ：200mm□ ・レンタ…

レンタル専用スリットコーター！ 受託加工（成膜・塗工）も対応可能 対応基板サイズ（MAX）：200mm□×0.4～1.1mmt 対象ワーク：ガラス基板・フィルム・シート 貸出期間：１ヶ月～6ヶ月間 【装置特徴】 ・基板サイズ：200×200×0.4～1.1mmt ・ステージサイズ...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

スピン洗浄装置　自動フォトリゾ装置 JASC-1200AD型

対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します！

ナー、スプレー現像を自動で行う装置です。勿論工程の選択も出来ます。ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬送は多関節ロボットを採用しています。本機の対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

MAX400℃！高温ベーク対応レジスト塗布装置（スピンコーター）

BARCやその他薬液をスピン塗布後、MAX400℃でベーク可能！高温ベ…

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、高温ベーク（MAX400℃）、低温ベーク（MAX200℃）、クーリング機能を搭載。 低温ベークと高温ベークの組み合わせでステップベークも可能です。 レジスト以外での薬品でもスピン塗布後に高温ベーク可能！ その他、ポジレジスト・ネガレ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

コーティング受託テスト（精密塗工）

短納期・小ロットでも対応可能です。 経験豊富な技術者による対応。 …

リューション ・塗布の均一性を追求した精密コーティング ・スピンコーターの貸出レンタルも行えますので、お客様の用途、環境に合わせてご提案いたします。 対象基板・ワーク ガラス：10mm□～200mm□・400×500mm ウエハ：Φ2インチ～Φ300mm 機能性フイルム：MAX400×500mm 光学レンズ・精密小型部品など 塗布材料・粘度 ・各種薬液、レジスト、樹脂系など ...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

デモ機貸出中！　高精度スプレーコーター『API-40RD』

吐出精度１％以下！成膜プロセスを効率化する卓上型スプレーコーター！デモ…

量制御（１％以内）を実現した 卓上型高精度スプレーコーターです。 【API-40RD 製品仕様】 ・装置寸法：850(W) x 800(L) x 750(H) (mm) ・塗布面積：200 x 200mm ・スキャン速度：最大700mm ・塗布液流量：1～20ml/min ・流量再現性：平均値±1％程度 ・霧加圧：500kPa（オプション700kPa） ・レシピ：20個ま...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アピロス 本社

枚葉式スピンスプレー洗浄装置　SRC-15001

2流体ノズルより高圧純水をスプレー、メガソニックによる仕上げ洗浄！

0rpm →スプレー洗浄時：0～500rpm →2流体ノズル洗浄時：0～500rpm →スピン乾燥時：MAX 3000rpm ○純水流量：1～4L/分　0,2Mpa ○N2流量：150～200L/分　0,2Mpa ○排気：VP-75A　5m³/分 ○電源：φ3　AC-200V　20A ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

卓上式ホットプレート

軽量・コンパクトな卓上タイプ

【装置特徴】 基板サイズ：MAX370×470mm 温度範囲：MAX200℃ ホットプレートGAP：0.3mm（プロキシタイプ） 主要用途・実例 ・大学、研究開発機関、産総研・素材、材料開発・精密部品、光学部品 ・医薬品研究用途・自動車精密金型部品・化粧品・電子...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

自動フォトレジスト塗布装置（スピンコーター）Coater

レジスト膜の面内均一性やウエハ間の平均膜厚の差が少ないコーターです。低…

トステージ：2組 ■スピン塗布ユニット：2組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12" ■レジスト滴下ノズル：2組/CUP ■エッジ・バックリンス：各1組/CUP ■ベークユニット：2組（Max200℃） ■クーリングユニット：1組 ■センタリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体) 　　　　　　　　　 1600×2500×1800(Φ12...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

【小型で高精度】卓上型テストコーター 『Mini-Labo』

超小型のロールtoロール コーターで膜厚均一性±2%以下！家庭用電源で…

[基本仕様] 塗工方式：マイクログラビア方式 基材巾：140mm～320mm 塗工巾：120mm～300mm 巻出径：最大200mm 速度　：0.2~2.0m/min 寸法　：650mm×700mm×450mm*オプションによる 重量　：約150kg*オプションによる [オプション] 塗工巾・基材巾拡張 熱...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社康井精機

厚膜塗布に高粘度専用スピンコーター！自動ポリイミド塗布装置

～10000cP程度の高粘度ポリイミドを均一に塗布する高粘度専用スピン…

【主な仕様例】 ■カセットステージ：2組 ■スピン塗布ユニット：2組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12" ■レジスト滴下ノズル：2組 ■ベークユニット：2組（Max200℃） ■クーリングユニット：1組 ■センタリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体) 　　　　　　　　　 1600×2500×1800(Φ12...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

『バーコート用自動倣い機構付きアプリケーター』

被塗布材の起伏に追従する機能を装備！バー位置調整に掛かる時間を抑制しま…

・板厚：～4mm(オプションで変更可能) ・設置可能板材：100*100～230*350mm ■コート材料 ・各種塗料、溶剤 ■設定項目（装置内タッチパネルから） ・コート速度（0.1～200mm/秒） （オプションで変更可能です） ・バー圧加荷重（～3000g） （オプションで変更可能です） ・板材設置ベース温度（～80度） ・コート範囲（～340ｍｍ） ■装置形状 ・...

メーカー・取り扱い企業： ユーケーテック株式会社 神奈川県川崎市高津区新作２−１８−３２

ロール・スプレーコーターの置き換え！回転カップ式レジスト塗布装置

多彩な薬液に実績あり！低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っている…

【主な仕様】 ■カセットステージ：2組 ■スピン塗布ユニット：2組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12" ■レジスト滴下ノズル：2組 ■ベークユニット：2組（Max200℃） ■クーリングユニット：1組 ■センタリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体) 　　　　　　　　　 1600×2500×1800(Φ12...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

自動塗布・露光・現像一貫プロセス装置（フルオートリソグラフィ）

レジスト塗布～露光～現像処理を一気通貫。自動で処理可能な装置です。フォ…

エハサイズ：Φ2"～Φ6"、□4インチも可 ■レジスト滴下ノズル：1組 ■バック・エッジリンス：1組/塗布CUP ■現像ノズル：1組 ■リンスノズル：1組 ■ベークユニット：3組（Max200℃） ■クーリングユニット：2組 ■センタリングユニット オリフラ自動位置合わせ機能付き：1組 ■露光ユニット：1組 ■露光光源：超高圧水銀灯(250W，500W)　UV-LED光源も対応...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

厚さ100um！極薄ウェーハ搬送自動レジスト塗布装置　コーター

GaAs、LT、ガラスなどの脆くて薄いウェーハでの搬送・塗布での実績（…

【主な仕様】 ■カセットステージ：2組 ■スピン塗布ユニット：2組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12" ■レジスト滴下ノズル：2組 ■ベークユニット：2組（Max200℃） ■クーリングユニット：1組 ■センタリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体) 　　　　　　　　　 1600×2500×1800(Φ12...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

2サイズ兼用自動レジストコーター・デベロッパー（塗布・現像）

段取り替え不要、2サイズのウエハ兼用装置です。 低粘度～高粘度レジス…

：1組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12" ■レジスト滴下ノズル：1組 ■バック・エッジリンス：1組/塗布CUP ■現像ノズル：1組 ■リンスノズル：1組 ■ベークユニット：3組（Max200℃） ■クーリングユニット：1組 ■センタリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体) 　　　　　　　　　 1600×2500×1800(Φ12...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

段取り替えなし！複数ウエハサイズ兼用自動レジスト塗布装置コーター

現状のウエハサイズと将来的に使用したいウエハサイズを兼用した装置を作製…

【主な仕様】 ■カセットステージ：2組 ■スピン塗布ユニット：2組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12" ■レジスト滴下ノズル：2組 ■ベークユニット：2組（Max200℃） ■クーリングユニット：1組 ■センタリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体) 　　　　　　　　　 1600×2500×1800(Φ12...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

両面プロセスに最適！両面自動フォトレジスト塗布装置　コーター

ウェハ反転ユニットを使うことでウェハの両面塗布を自動で行えます！

【主な仕様】 ■カセットステージ：2組 ■スピン塗布ユニット：2組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12" ■レジスト滴下ノズル：2組 ■ベークユニット：2組（Max200℃） ■クーリングユニット：1組 ■センタリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体) 　　　　　　　　　 1600×2500×1800(Φ12...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

反りウェハも搬送！ベルト搬送式自動レジスト塗布装置（コーター）

ベルト搬送タイプのトラックシステムスピンコーターです。高スループットで…

【主な仕様】 ■カセットステージ：2組 ■スピン塗布ユニット：2組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12" ■レジスト滴下ノズル：1組/CUP ■ベークユニット：2組（Max200℃） ■クーリングユニット：2組 ■センタリングユニット：2組 ■装置サイズ：（例）1800×1000×1400(Φ4"本体) 　　　　　　　　　 その他オプション多数！ ※...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

デスクトップ全自動コーター

走査電子顕微鏡用試料作製に最適！　試料作製の煩わしさを解消します。

（自動リーク付） ○設置電源：単相 AC100V±10％　50/60Hz　10A ○寸法・重量 →本体：225(W)×420(D)×320(H)mm、15kg →RP：300(W)×160(D)×200(H)mm、9kg ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： サンユー電子株式会社

TH-C型コーター

オプションも豊富で、適した塗工装置をご提供！精密タイプの3本ロール式コ…

ダイレクトコート・転写式コート（間欠塗布） ■塗工ヘッド：交換対応構造 ■ロール幅：350mm～600mm（50mm単位） ■乾燥炉：1000mmX1炉～4炉（熱風方式） ■電源電圧：AC200V/100A ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンクメタル 東京営業所

フォトレジスト量削減！回転カップ式塗布装置（スピンコーター）

ポリイミドや高価な高粘度レジストの削減に有効！回転カップ式スピンコータ…

【主な仕様】 ■カセットステージ：2組 ■スピン塗布ユニット：2組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12" ■レジスト滴下ノズル：2組 ■ベークユニット：2組（Max200℃） ■クーリングユニット：1組 ■センタリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体) 　　　　　　　　　 1600×2500×1800(Φ12...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

小型塗工機

小型サイズの塗工機です。

度：0-100ｍｍ/s 精度：10ｍｍ/s ストロークの長さ：10-250ｍｍ　調節スイッチで調節可能 プラットフォーム：アルミ合金フラット真空チャック 真空チャックサイズ：370(L)ｘ200(Ｗ) ｍｍ 全体サイズ：550(L) ｘ 330(Ｗ) ｘ 150 (H) mm 詳細はホームページをご覧ください。 ...

メーカー・取り扱い企業： AAポータブルパワー株式会社

幅広ロールコーター『FRC-500VT』

幅600mmまで対応！フィルムにスパッタにより成膜するウェブコーター

【仕様】 ○到達圧力：10-5Paオーダー ○機材収容サイズ：500mm巾×200m（100μmの場合）最大外径φ250 ○送り速度：0.01～10ｍ/min程度（CW、CCW可能） →最低設定速度：0.01m/min ○テンションコントロール →巻き径、基板厚さの設定...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社富士アールアンドディー

円形塗布装置『RSコータ』

独自スリットダイで自由に円形塗布！Spiral Coaterに代わる新…

【仕様】 ■ウエハサイズ：4～18inch（φ450mm） ■粘度：500 ～15,000mPa・s（cps） ■塗布膜厚：50～200μm/Wet ■膜厚精度：±3％以内 ■塗液使用効率：90％以上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 中外炉工業株式会社

Smart film Vacuum Conditioner

PET Filmの前処理　&　Filmの熱収縮の調整　＆ITO膜の連続…

可） • Substrate : PET & ITO Film (HC等の表面加工されたオリゴマ漏出防止処理 Film) • Substrate Thickness : 38~200㎛ • 除電のための真空内の除電装置を設置(“U”形) ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＵＫＷＯＮ

スピン洗浄装置　フルオートスピンナー JASC-150型

現像液温度精度±1℃。φ4"φ5"φ6"を治具交換にて対応！

：Siウェハー、GaAs、ガラスマスク、液晶ガラス、セラミック ○ワークサイズ：φ2"～□150mm ○チャンバー径、材質：φ400mm　SUS304 ○スピンモーター：ACサーボモーター（200W） ○回転数範囲：0～5000rpm （オプション最大8000rpm） ○回転数表示：デジタル表示 ○本体材質、寸法：SS＋焼き付け塗装　W1100×D1000×H1440mm ○レシピ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

研究開発用小型実験装置 Mini-Lab

IC・MEMSの実験に適した安価で超小型！即稼働の実験装置をご提案！

【ラインアップ(一部)】 ■ミニコーター　Mini-Lab spin-150 ■ベーク装置　Mini-Lab bake-150 ■現像装置　Mini-Lab dev-200 ■クーリング装置　Mini-Lab cool-150 ■エッチング装置　Mini-Lab etcher ■光ナノインプリント装置　Mini-Lab immprinter-150 ※詳...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アシストナビ

塗工装置『多層ダイコーター』

多段化したスロットル構造！単層～多層の同時塗工を実現するコーター

【機械仕様】 ○塗工速度範囲：～200m/min ○塗工液粘度範囲：1～20,000mPas ○塗工厚み範囲：1～100μm wet ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノスマート

高出力紫外線照射装置　UVフラッシャー ストレート型TX2100

UV原料を瞬時に硬化させる高出力紫外線照射装置！電源投入後、直ちに稼動…

【主な仕様】 ■型式：TX2100-S500 ■電源定格：単相AC200V/220V 20A以下 50/60Hz ■使用電圧範囲：AC180V～242V ■動作環境：温度10～40℃、湿度20～60％(非結露) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社タクト

スピン洗浄装置　卓上型マニュアルスピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式…

○条件設定は操作パネルのタッチパネルで実行 ○各処理モード中はタッチパネル上に各モード表示 【仕様】 ○外形寸法：W420×D500×H335 ○モーター：600WACサーボモーター 200V （100Vの場合15Aトランス　オプション） ○回転数：0～3000rpm （MAX5000rpmはオプション） ○回転数表示：デジタル表示 ○回転精度：±1rpm ○プログラム数：1...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

ミニスピンコーター（卓上タイプ）

業界初！小型コーター 回転数MAX8,000rpm！

1.小型・軽量　W180×D210×H200mm　約3.5Kg　 2.主軸回転数　Max8000rpm　 3.ワーク寸法　１インチ・2インチ・50mm□　 4.ワーク固定　内蔵真空ポンプによる真空吸引　 5.ユーティリティー　AC１...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

スピン洗浄装置　自動レジストスピンコーター JASC-200型

対象ワーク：2"□～5"□基板又はφ２"～φ５"基板に適用！

JASC-200型は、カセットtoカセットの自動スピンコーターで、レジストをコートし次にベーク工程も自動で行います。処理工程はU字型に配置されローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

小型精密塗工機2本ロールコーター

ダイレクトコーターの標準タイプ！オプションも豊富で、適した塗工装置をご…

銅箔・アルミ箔やフィルムに合材を一定の厚さで 精度良く塗工する装置です。 『小型精密塗工機2本ロールコーター』は、ダイレクトコーターの 標準タイプで、塗工ヘッドは交換対応構造。ロール幅は200mm～500mm （50mm単位）となっており、乾燥炉は800mmX1炉（熱風方式）です。 オプションも豊富で、要望する内容によって、必要なオプションを 選択し、適した塗工装置をご提供致...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンクメタル 東京営業所

スピンコーター（MAX200mm□）

精密塗布スピンコーター オープン式卓上タイプ 研究開発・R＆D用途…

【装置仕様】 ・ 基板サイズ ：φ4～２5０mm□基板 ・ 基板の受渡し方法 ：人手によるセット/リセット ・ 装置重量 ：約48Kg 【ユニット構成】 ・ カップ外径 ：φ５００mm ・ カップ材質 ：SUS＋ミガキ#400 ・ カップ処理 ：オプション　テフロンコーティング 　　　　　　...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

自動フォトレジスト塗布・現像装置（コーター・デベロッパー）

低粘度～高粘度レジスト対応！小口径～大口径まで、どのウェハサイズの装置…

：1組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12" ■レジスト滴下ノズル：1組 ■バック・エッジリンス：1組/塗布CUP ■現像ノズル：1組 ■リンスノズル：1組 ■ベークユニット：3組（Max200℃） ■クーリングユニット：1組 ■センタリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体) 　　　　　　　　　 1600×2500×1800(Φ12...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

大型角基板用（～430mm）回転カップ式自動レジスト塗布コーター

430mm角までの大型基板を隅まで均一良く塗ることができます！正方形、…

【主な仕様】 ■カセットステージ：2組 ■スピン塗布ユニット：2組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12" ■レジスト滴下ノズル：2組 ■ベークユニット：2組（Max200℃） ■クーリングユニット：1組 ■センタリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体) 　　　　　　　　　 1600×2500×1800(Φ12...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

角基板対応自動レジスト塗布・現像装置（コーター・デベロッパー）

低粘度～高粘度レジスト対応！どのウェハサイズの装置も作製可能です！

：1組 ■スピン現像ユニット：1組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12(角基板対応)" ■レジスト滴下ノズル：1組 ■現像ノズル：1組 ■リンスノズル：1組 ■ベークユニット：3組（Max200℃） ■クーリングユニット：1組 ■センタリングユニット：1組 ■ウェハ搬送ロボット：1組（ダブルアームクリーンロボット） その他オプション多数！ ※詳しくはPDF資料をご覧いた...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

半自動レジスト塗布装置(セミオートスピンコーター)Coater

低～高粘度レジスト対応！どのウェハサイズの半自動機（セミオート）も作製…

【主な仕様例】 ■スピン塗布ユニット：1組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12" ■レジスト滴下ノズル：2組 ■ベークユニット：2組（Max200℃） ■クーリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体) 　　　　　　　　　 1600×2500×1800(Φ12"本体) その他オプショ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

小型精密塗工機3本ロールコーター

デジタル式クリアランス表示装置付！塗工方式が選べる3本ロールコーターの…

方式：ダイレクトコート・転写式コート（間欠塗布） ■塗工ヘッド：交換対応構造 ■ロール幅：250mm～500mm（50mm単位） ■乾燥炉：1000mmX2炉（熱風方式） ■電源電圧：AC200V/60A ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンクメタル 東京営業所

10000cP！高粘度対応自動レジスト塗布装置（スピンコーター）

10000cPのポリイミドやレジストにも対応可能！ASAP（エイ・エス…

【主な仕様】 ■カセットステージ：2組 ■スピン塗布ユニット：2組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12" ■レジスト滴下ノズル：2組 ■ベークユニット：2組（Max200℃） ■クーリングユニット：1組 ■センタリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体) 　　　　　　　　　 1600×2500×1800(Φ12...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

R&Dや少量生産に最適！手動レジスト塗布装置(スピンコーター)

研究・開発、小ロット対応のマニュアル装置！卓上タイプとは違う自動機と同…

【主な仕様】 ■スピン塗布ユニット：1組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12" ■レジスト滴下ノズル：2組 ■ベークユニット：2組（Max200℃） ■クーリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体) 　　　　　　　　　 1600×2500×1800(Φ12"本体) その他オプショ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

高粘度フォトレジスト対応！密閉式自動レジスト塗布装置（コーター）

高粘度フォトレジスト塗布に自信があります！10000cPのポリイミドで…

【主な仕様】 ■カセットステージ：2組 ■スピン塗布ユニット：2組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12" ■レジスト滴下ノズル：2組 ■ベークユニット：2組（Max200℃） ■クーリングユニット：1組 ■センタリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体) 　　　　　　　　　 1600×2500×1800(Φ12...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

乾燥機能付き小型塗工機

塗工後に最大100℃で薄膜を乾燥できるヒートカバー付き塗工機です。

度：0-100ｍｍ/s 精度：10ｍｍ/s ストロークの長さ：10-250ｍｍ　調節スイッチで調節可能 プラットフォーム：アルミ合金フラット真空チャック 真空チャックサイズ：365(L)ｘ200(Ｗ) ｍｍ 全体サイズ：550(L) ｘ 330(Ｗ) ｘ 320 (H) mm 詳細はホームページをご覧ください。 ...

メーカー・取り扱い企業： AAポータブルパワー株式会社