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クリーンルームにて使用可能「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」
れる。そのため高速空気噴流がクリーンルーム内に流入することが少なく、ゴミの排出、塵の巻き上げることがありません ◎適応 ・SiC基板 ・サファイアウエハ ・ヒ化ガリウムウエハ(GaAs) ...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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