- 製品・サービス
46件 - メーカー・取り扱い企業
企業
12件 - カタログ
77件
-
-
-
自動で薬液を調合してエッチング槽に必要量投入！シーケンサ制御方式を採用…
当製品は、GaAsウェハを専用バスケットで自動搬送及びエッチングする 装置です。 ローダ部よりバスケットに入れたGaAsウェハを投入すると、搬送機により ローダ部からエッチング槽、リンス槽、アンローダ部へ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダン科学
-
-
-
-
レジスト膜の面内均一性やウエハ間の平均膜厚の差が少ないコーターです。低…
。 低粘度～高粘度レジストまで要求仕様に合わせてカスタムいたします。 ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。 GaAs（厚み150um）、InP（厚み150um）、LT（厚み120um）など薄い基...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
-
５０年にわたる研磨実績から生まれた組織検査用から微構造組織検査試験まで…
値管理が可能 ・ タイマーによる研磨時間の設定、半自動加工が可能 ・ 卓上設置を想定した小型研磨機 【 様々な分野で活躍 】 ・ 機器分析試料 EPMA鏡面やSEM鏡面仕上げ ・ Si基板鏡面やGaAs鏡面仕上げ ・ 光学ガラス鏡面仕上げ ・ フチダレの無い金相試験試料の鏡面仕上げ ・ 光ファイバーの端面研磨、側面研磨等 ・ 複合材界面の角度研磨 ・ 製品の品質検査 ・ 物性試験試料の研磨 ・ ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社マルトー 本社
-
-
-
-
５０年にわたる研磨実績から生まれた組織検査用から微構造組織検査試験まで…
値管理が可能 ・ タイマーによる研磨時間の設定、半自動加工が可能 ・ 卓上設置を想定した小型研磨機 【 様々な分野で活躍 】 ・ 機器分析試料 EPMA鏡面やSEM鏡面仕上げ ・ Si基板鏡面やGaAs鏡面仕上げ ・ 光学ガラス鏡面仕上げ ・ フチダレの無い金相試験試料の鏡面仕上げ ・ 光ファイバーの端面研磨、側面研磨等 ・ 複合材界面の角度研磨 ・ 製品の品質検査 ・ 物性試験試料の研磨 ・ ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社マルトー 本社
-
-
-
-
５０年にわたる研磨実績から生まれた組織検査用から微構造組織検査試験まで…
値管理が可能 ・ タイマーによる研磨時間の設定、半自動加工が可能 ・ 卓上設置を想定した小型研磨機 【 様々な分野で活躍 】 ・ 機器分析試料 EPMA鏡面やSEM鏡面仕上げ ・ Si基板鏡面やGaAs鏡面仕上げ ・ 光学ガラス鏡面仕上げ ・ フチダレの無い金相試験試料の鏡面仕上げ ・ 光ファイバーの端面研磨、側面研磨等 ・ 複合材界面の角度研磨 ・ 製品の品質検査 ・ 物性試験試料の研磨 ・ ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社マルトー 本社
-
-
-
-
５０年にわたる研磨実績から生まれた組織検査用から微構造組織検査試験まで…
値管理が可能 ・ タイマーによる研磨時間の設定、半自動加工が可能 ・ 卓上設置を想定した小型研磨機 【 様々な分野で活躍 】 ・ 機器分析試料 EPMA鏡面やSEM鏡面仕上げ ・ Si基板鏡面やGaAs鏡面仕上げ ・ 光学ガラス鏡面仕上げ ・ フチダレの無い金相試験試料の鏡面仕上げ ・ 光ファイバーの端面研磨、側面研磨等 ・ 複合材界面の角度研磨 ・ 製品の品質検査 ・ 物性試験試料の研磨 ・ ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社マルトー 本社
-
-
-
-
５０年にわたる研磨実績から生まれた組織検査用から微構造組織検査試験まで…
値管理が可能 ・ タイマーによる研磨時間の設定、半自動加工が可能 ・ 卓上設置を想定した小型研磨機 【 様々な分野で活躍 】 ・ 機器分析試料 EPMA鏡面やSEM鏡面仕上げ ・ Si基板鏡面やGaAs鏡面仕上げ ・ 光学ガラス鏡面仕上げ ・ フチダレの無い金相試験試料の鏡面仕上げ ・ 光ファイバーの端面研磨、側面研磨等 ・ 複合材界面の角度研磨 ・ 製品の品質検査 ・ 物性試験試料の研磨 ・ ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社マルトー 本社
-
-
-
-
マニュアル操作により化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）を非…
◎特徴 １．４５０℃の高温ウエハの非接触搬送が可能である。 ２．化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）の下記の切り欠きウエハの非接触搬送が可能である。 ・Φ2～４ｉｎ ウエハ ・Φ２～４ｉｎｘ1/4ウエハ ・Φ２～４ｉｎｘ1/2ウエハ ...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
-
-
-
-
RIBER社EZ-CURVE 真空装置In-situ反りモニター
各種真空装置内でのウエハ応力、反り、曲率、異方性等をリアルタイム、高精…
や真空プロセス装置(エッチング、アニーリング等）に対応可能。 4) 従来のレーザー反射計測法と比較して本計測器の計測法は10倍以上の反り測定感度、高速計測周波数(100Hz)を実現 5) AlGaAs/GaAsなどの低格子不整合材料系にも対応可能 6) 数mmまでの厚膜ウェハに対応可能 7) 高い安定性とアライメントフリー測定を実現 8) 白色光源の採用、反射率の変化に影響無し、露光時間...
メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社
-
-
-
-
-
Al系やCrなどの金属膜の微細パターンのエッチングに対応！デモ機常設！…
『ICPメタルエッチング装置』は、先端薄膜プロセスに対応した 金属膜対応の高密度プラズマエッチング装置です。 半導体、MEMSなどの汎用デバイスだけでなく露光用マスクや金属基板の 表面処理などの特殊プロセスにも積極対応いたします。 独自のチャンバ内構造により抵パーティクルのメタルエッチング (nmレベル)を実現しており、高い歩留りと稼働率が特長です。 【特長】 ■nmレベ...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
-
-
-
-
厚さ100um！極薄ウェーハ搬送自動レジスト塗布装置 コーター
GaAs、LT、ガラスなどの脆くて薄いウェーハでの搬送・塗布での実績（…
薄いウェーハで気になるのは搬送での割れ、塗布後の面内均一性です。 ウェーハ搬送装置（ウェーハソーター）の作製実績など、薄くて割れやすい（脆い）ウェーハの搬送に自信があります。 GaAs、LT（タンタル酸リチウム）、ガラス（石英）、GaN、サファイア、Si、セラミックなど多数の基板に対応可能です。 また、薄いウェーハでは塗布時の面内均一性がバラつきやすいですが、チャックなど...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
-
2サイズ兼用自動レジストコーター・デベロッパー（塗布・現像）
段取り替え不要、2サイズのウエハ兼用装置です。 低粘度～高粘度レジス…
設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました！ ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。 GaAs（厚み150um）、IｎP（厚み150um）、LT（厚み120um）など薄い基...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
-
化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）を気体供給操作を行い、ウ…
◎特徴 １．４５０℃の高温ウエハの非接触搬送が可能である。 ２．化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）の下記の切り欠きウエハの非接触搬送が可能である。 ・Φ2～４ｉｎ ウエハ ・Φ２～４ｉｎｘ1/4ウエハ ・Φ２～４ｉｎｘ1/2ウエハ ...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
-
-
-
-
５０年にわたる研磨実績から生まれた組織検査用から微構造組織検査試験まで…
値管理が可能 ・ タイマーによる研磨時間の設定、半自動加工が可能 ・ 卓上設置を想定した小型研磨機 【 様々な分野で活躍 】 ・ 機器分析試料 EPMA鏡面やSEM鏡面仕上げ ・ Si基板鏡面やGaAs鏡面仕上げ ・ 光学ガラス鏡面仕上げ ・ フチダレの無い金相試験試料の鏡面仕上げ ・ 光ファイバーの端面研磨、側面研磨等 ・ 複合材界面の角度研磨 ・ 製品の品質検査 ・ 物性試験試料の研磨 ・ ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社マルトー 本社
-
-
-
-
５０年にわたる研磨実績から生まれた組織検査用から微構造組織検査試験まで…
値管理が可能 ・ タイマーによる研磨時間の設定、半自動加工が可能 ・ 卓上設置を想定した小型研磨機 【 様々な分野で活躍 】 ・ 機器分析試料 EPMA鏡面やSEM鏡面仕上げ ・ Si基板鏡面やGaAs鏡面仕上げ ・ 光学ガラス鏡面仕上げ ・ フチダレの無い金相試験試料の鏡面仕上げ ・ 光ファイバーの端面研磨、側面研磨等 ・ 複合材界面の角度研磨 ・ 製品の品質検査 ・ 物性試験試料の研磨 ・ ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社マルトー 本社
-
-
-
-
MAX400℃！高温ベーク対応レジスト塗布装置（スピンコーター）
BARCやその他薬液をスピン塗布後、MAX400℃でベーク可能！高温ベ…
温ベーク可能！ その他、ポジレジスト・ネガレジスト、ポリイミド（PI）、シリコーン、SOG、WAXなどなど多数の薬液に実績ございます！ シリコン（Si）、サファイア、セラミック、LT、GaAs、InP、GaN、SiC、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。 GaAs（厚み150um）、IｎP（厚み150um）、LT（厚み120um）など薄い基板もご安心ください！ ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
-
早くて正確な半導体製造プロセス
■ アプリケーション：洗浄（SPM,SC1, SC2, DFH/O3等）、乾燥 ■ プロセスコントロール：薬液/オゾン濃度モニター、純粋比抵抗、薬液コントロール ■ 基板材質：シリコン、SiC, GaAs, GaN, InP, Glass, Sappire ■ 膜厚：500～2000 μm ■ 筐体：PP、FM4910相当、ステンレス枠 ■ 寸法：幅2200mm、高さ 3600mm (フローボック...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社インターテック販売 東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）
-
-
-
-
【複数サイズのウエハを段取り替えなしで処理！】複数サイズ兼用装置はダウ…
」、「3・4」、「4・6」、「6・8」インチ 【薄型ウェハにも対応！】 高圧ジェットはウェハ（基板）が薄いと割れるのではないか？という声をよくお聞きします。 弊社では厚さ120umのGaAsのリフトオフの実績もございます（圧力3MPa） デバイスによって圧力調整なども自由に行えます。 【複数サイズウエハの段取り替えがないメリット」】 ■ダウンタイムが少なく高稼働 ■段取り...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
-
高田工業所社製試作用枚葉式ウェット処理装置『TWPmシリーズ』
リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う試作研究用…
■基本仕様 ・材質：Si , 化合物 ( GaAs , InP , Sapphire , SiC , GaN ) 等 ・サイズ： 2, 3, 4, 5, 6, 8インチ（２サイズ兼用可） ・洗浄チャンバー数：1 ・スクラブ処理：高圧ジェット...
メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
-
-
-
-
用途に合わせてウエハをカスタマイズ！フルラインアップのサイズでご要望に…
種ウエハ販売を行っています。 徹底した品質管理と優れた技術により、お客さまの用途に合わせてウエハを カスタマイズ。フルラインアップのサイズでご要望にお応えしております。 石英ウエハ、GaAsウエハ、Geウエハも扱っております。 ご用命の際はお問い合わせください。 【概要(抜粋)】 ■シリコンウエハ ・2インチ～12インチまでのダミーウエハ、テストウエハなど ■各種成...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒューズテクノネット
-
-
-
-
自動塗布・露光・現像一貫プロセス装置（フルオートリソグラフィ）
レジスト塗布～露光～現像処理を一気通貫。自動で処理可能な装置です。フォ…
ベロッパのフォトリソ装置をラインナップしている当社だからこそ実現出来た装置です。 対応レジストは、ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、など、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。 露光工程は、オートアライメント機能搭載可能 ポジ・ネガ反転工程にも最適です。 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
-
MBEセル（蒸着源、分子線セル）はエピタキシャル膜の品質において重要で…
BER社（フランス）は、1964年に設立された分子線エピタキシャル成長装置（MBE装置）およびコンポーネント（MBEセル・蒸着源）を製造・販売する世界シェアNo.1のサプライヤーです。これまで主にGaAsやInP、GaN等の化合物半導体材料の成膜用途として累計約800台の装置を世に送り出してきました。現在、世界の主要大学や公的研究機関、デバイスメーカー、エピファウンドリー各社がRIBER社のMBE...
メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社
-
-
-
-
パッシベーション用MBE装置は、レーザーファセットパッシベーション等の…
BER社（フランス）は、1964年に設立された分子線エピタキシャル成長装置（MBE装置）およびコンポーネント（MBEセル・蒸着源）を製造・販売する世界シェアNo.1のサプライヤーです。これまで主にGaAsやInP、GaN等の化合物半導体材料の成膜用途として累計約800台の装置を世に送り出してきました。現在、世界の主要大学や公的研究機関、デバイスメーカー、エピファウンドリー各社がRIBER社のMBE...
メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社
-
-
-
-
長年の経験と蓄積された加工ノウハウ！化合物半導体加工向けに1300台以…
れています。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【用 途】 VCSEL、LED、μLED、Micro Lens、Wave Guide 【エッチング】 サファイア、GaN、GaAs、Si3N4、SiO2など 【成 膜】nSiO2、Si3N4、a-Si、SiCなど ※英語版カタログをダウンロードいただけます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い...
メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
-
-
-
-
-
半導体など各種材料に！数ミリ秒から数百ミリ秒の超短時間でアニーリング可…
薄金属膜、シリコンナノ粒子のアニーリング処理 ○Si、Ge、Sn等のナノクリスタルの形成 ○ローカルメルティング-再結晶化／FLASiC(SiC on Si) ○ドーパントの活性化（SiC/GaAs） ウルトラシャロージャンクション（Si） ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー
-
-
-
-
高品質基板を安価に得られるスピン枚葉装置
◎SPM処理時は基板直上で新液の硫酸と過水の混合ミキシング⇒ヒーター不要 ◎APM処理時はDIWを直水過熱後、NH4OHとH2O2を其処にミキシング ■Si、SiC、GaN、サファイア、GaAs、LT等の処理に最適 ■丸形状基板は勿論、Crマスク等の角形状にも対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング
-
-
-
-
【評価用パターンウェハー】小ロット～カスタマイズオーダーまで対応
数枚の試作加工でも問題無く受け付けており、マスクの設計から断面の寸法測…
【その他の特長】 ＜化合物半導体＞ ■SiC/GaAs/GaN/LN/サファイアを始め、様々な化合物素材を1枚から安価で販売 ■必要な仕様を開示いただければ、近い仕様の在庫品を提案 ■特殊な仕様の受注生産や、まとまった数量の安定供給も可能 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス
-
-
-
-
-
広い範囲で優れた測定直線性！三次元グラフィックマップとしてPCモニター…
事により、多数枚を迅速に計測処理する事が可能。 四探針方式で起こる、探針の接触汚染や接触具合による再現性の問題を 解決します。 2インチから最大8インチまでのSiウェーハ、化合物半導体(GaAs、GaN、InP等) epiウエハを非接触・破壊にてシート抵抗を測定します。 【特長】 ■探針の接触汚染や接触具合による再現性の問題を解決 ■多数枚を迅速に計測処理する事が可能 ■0...
メーカー・取り扱い企業： 日本セミラボ株式会社 新横浜本社
-
-
-
-
現像液温度精度±1℃。φ4"φ5"φ6"を治具交換にて対応！
【特徴】 ○現像液温度精度±1℃ ○φ4"φ5"φ6"を治具交換にて対応 ○高精度のロボット採用により、高スループット化実現 【仕様】 ○対象ワーク：Siウェハー、GaAs、ガラスマスク、液晶ガラス、セラミック ○ワークサイズ：φ2"～□150mm ○チャンバー径、材質：φ400mm SUS304 ○スピンモーター：ACサーボモーター（200W） ○回転数範...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
-
-
-
-
抵抗率／シート抵抗測定器【NC-80MAP】
【化合物GaAsエピ層、GaP、GaNなどの非接触シート抵抗多点測定器】 ◆最大4本のセンサーによるフルレンジ測定 ◆周辺6mmからの多点測定可能 ◆SPCソフトウェア（経時変化）機能 ◆最大217点...
メーカー・取り扱い企業： ナプソン株式会社
-
-
-
-
モールドをワークに転写する装置。 つくば産総研・ミニマルファブ技術…
対象ワーク 材質 シリコン，GaAs， サイズ 最小φ１２．５mm 最大φ１００mm 固定方法 抑え部品により機械的に固定可能とすること レプリカモールド 材質 PDMS熱可塑性樹脂 サイズ φ１２．５mm 固定方法 押...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ライズワン
-
-
-
-
『7100シリーズ proVectus ダイシングシステム』
0°から15°までのどんな角度でも素早く変換！傾斜スピンドル機能を搭載…
【可能な傾斜ダイシング】 ■プレーナーウエーブガイド ・Si、Silica-on-Silicon ・Polymer on Si ・InP ・GaAs ■ファイバーウエーブガイド ・LiNbO3 ・Fused Silica ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： 日本技術産業株式会社
-
-
-
-
研磨加工技術や平面研磨技術、エッジポリッシングなどを紹介します。
【掲載内容】 ○Si Wafer ○消耗副資材 ○IAG（酸化物・サファイア・SiC・GaAs・水晶・セラミックス・金属 他) ○古くから引き継がれる研磨加工技術 ○実は重要なのです。エッジポリッシング(端面研磨) ○研磨加工プロセスに必要不可欠な、消耗副資材と制御ソフト ○より薄...
メーカー・取り扱い企業： スピードファム株式会社
-
-
-
-
半導体研磨加工の匠集団
秩父電子株式会社は、半導体フォトマスク基板用合成石英ガラス、 GaP・GaAs等の化合物半導体、MEMS、SiC（シリコンカーバイド） サファイア、GaN(窒化ガリウム）、Siウェハーの研磨加工を軸に エピ成長、金属膜蒸着等半導体材料の加工を幅広く行っている技術集団です...
メーカー・取り扱い企業： 秩父電子株式会社
-
-
-
-
クリーンルームにて使用可能「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」
れる。そのため高速空気噴流がクリーンルーム内に流入することが少なく、ゴミの排出、塵の巻き上げることがありません ◎適応 ・ＳｉＣ基板 ・サファイアウエハ ・ヒ化ガリウムウエハ（GaAs) ...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
-
-
-
-
2～12inchシリコンウェハ用のめっき装置です。
基板素材 シリコンウェハだけでなくSiC、ガラス、GaAs、InP等の素材の基板へもお使いいただけます。 特注製作について 標準装置をベースに、お客様のサンプルに合わせた形状の治具や両面めっき用治具へカスタマイズできます。また、陽極酸化・アルマイ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社山本鍍金試験器
-
-
-
-
加工物のサイズにあわせて装置の選定可能！特長や寸法、キャリア搭載数など…
当カタログは、スピードファムが取り扱うIAG(酸化物・サファイア・SiC・ GaAs・水晶・セラミックス・金属 他)用装置をご紹介しています。 材質を問わず、ラップ、ポリッシュ加工が可能な標準型の「DSM 16B-5L/P-V」や、 スラリー流量、ALC定寸システム制御の...
メーカー・取り扱い企業： スピードファム株式会社
-
-
-
-
低粘度～高粘度レジスト対応！小口径～大口径まで、どのウェハサイズの装置…
まで自社で行っているので、低価格を実現しました！ 【ASAPの特長・実績】 ●ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど多彩な薬液の使用実績あり ●Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績 ●GaAs（厚み150um）、InP（厚み150um）、LT（厚み120um）など薄い基板の搬送実績多...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
-
角基板対応自動レジスト塗布・現像装置（コーター・デベロッパー）
低粘度～高粘度レジスト対応！どのウェハサイズの装置も作製可能です！
設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました！ ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。 GaAs（厚み150um）、IｎP（厚み150um）、LT（厚み120um）など薄い基...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
-
【枚葉式でDIP並みの膨潤】リサイクル式循環ヒーターにより、高温・高剥…
ングに好適な超高圧ジェットリフトオフ装置です。 ●薄型ウェハにも対応！ 高圧ジェットはウェハ（基板）が薄いと割れるのではないか？という声をよくお聞きします。 弊社では厚さ120umのGaAsのリフトオフの実績もございます（圧力3MPa） デバイスによって圧力調整なども自由に行えます。 【特長】 ■DIP並みの膨潤！ ■MAX20MPaの超高圧ジェット ■【膨潤＋超高圧ジ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
-
高田工業所社製量産用枚葉式ウェット処理装置『TWPシリーズ』
リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う量産用枚葉…
■基本仕様 ・材質：Si , 化合物 (GaAs , InP , Sapphire , SiC , GaN) 等 ・サイズ： 2, 3, 4, 5, 6, 8インチ（2サイズ兼用可） ・スクラブ処理：高圧ジェット/2 流体ジェット/超音波シ...
メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
-
-
-
-
半自動レジスト塗布装置(セミオートスピンコーター)Coater
低～高粘度レジスト対応！どのウェハサイズの半自動機（セミオート）も作製…
いうお客様のために半自動（セミオート機）の製作を低価格で実現しました！ ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。 【特長】 ■半自動レジスト塗布機（セミオート）で低価格を実現 ■2～12インチまで...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
