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45件 - メーカー・取り扱い企業
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PR実装コストの低減を実現！電極が凸型形状のチップ抵抗ネットワーク
当製品は、電極が凸型形状のチップ抵抗ネットワークです。 部品搭載回数の減少による実装コストの低減を実現。 最高使用電圧は25V、定格電力は1/16Wです。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。 【仕様(抜粋)】 ■素子数：4 ■回路記号：D（独立回路） ■包装数量：10,000 アイエイエム電子ではチップ抵抗ネットワークを始め各種厚膜チップ抵抗器を製造販売しております。 ※詳...
メーカー・取り扱い企業： アイエイエム電子株式会社
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【産業用管理ギガビットPoE光ハブ】IGPS-9084GP-LA
PR産業用 マネージドPoE+ギガビット光スイッチ：IGPS-9084GP…
IGPS-9084GP-LAは8×10/100/1000Base-Tと4×100/1000Base-X(SFP)を備え、IEEE802.3atに準拠した産業ネットワーク向けのマネージドギガビットPoE+イーサネットスイッチです。 STP/RSTPは始め、ベンダー独自の冗長プロトコル｢O-Ring/Open-Ring/O-RSTP｣等のリカバリプロトコルに対応しており、ネットワークの中断や一時的...
メーカー・取り扱い企業： データコントロルズ株式会社
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優れた圧力制御能力を持ったコントロールバルブの組み合わせバルブ
Series 61.2 バタフライコントロールバルブとSeries 12.1 真空封止用ゲートバルブを1つのバルブボディ内に組み合わせたシステム。ゲートバルブはバタフライコントロールバルブのスレーブで、OEMインターフェイスに向いています。 Series 95.1: コントロールバルブとアングルバルブの組み合わせ。ベローズ軸シール付き。0.1MPaの差圧でバルブの開動作可能。 Seri...
メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社
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減圧・常圧プロセス用高効率気化器 VU-450 series
減圧・常圧プロセス用高効率気化器 VU-450
液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより各種液体を精密流量制御し、効率よく気化供給する気化器です（US PAT.5372754）。 【特長】 ○液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより、 各種液体を精密流量制御し、効率よく気化（US PAT.5372754） ○常圧条件下で水の気化供給が可能 ○最高200℃の加熱が可能 ○コン...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所
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分析装置や各種成膜装置向けに開発した、低価格でありながら基本性能を備え…
気体用マスフローコントローラ MC-10シリーズは、短納期対応により、半導体製造コストの改善に貢献しうる低価格なモデルです。 ソレノイドアクチュエータやラバーシールを採用することで低価格を実現しました。 【特長】 ○ラバーシール採用により低価格での提供を実現 ○流量精度は±1.0%F.S.を保証 ○幅広い流量レンジに対応 ○オプションのバリアブルレンジ機能により、1台で複数の仕様に...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所
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気化器の器壁に液体が接触する機会を減少し、効率よく気化が可能です
High-kや各種メタルなど、熱分解しやすい液体気化に適した気化器です 【特長】 ○液体を気化器の器壁（金属製）に接触する機会が少なく、 （軽接触）効率よく気化 ○アトマイザによる液滴化とブローガスによる微細化による 高効率気化 ○液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより、 液体材料を精密流量制御し、効率良く気化（US PAT.5372754...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所
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極めて短い制御応答時間、かつ、コンパクトなデザインで使いやすい
-優れた圧力制御能力 -リミットスイッチ付き -サービスポート装備（PC接続用またはサービスBOX接続用） ...サイズ: DN63-400mm アクチュエータ: 搭載型コントローラ ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: 回転軸シール 標準フランジ: ISO-F, CF-F, ASA-LP/ASA, JIS シール技術: VATLOCK リーク量:...
メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社
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ロールtoロール式 減圧プラズマ処理装置『PR Series』
ロール状フィルム基材の処理に対応。 減圧プラズマ処理により、アッシン…
『PR Series』は、減圧下でプラズマ処理が可能なロールtoロールタイプの処理装置です。 レジストアッシング、絶縁膜エッチングをはじめ、 用途に応じた様々な官能基（親水, 親油, 密着性向上,など）を 基材表面に強固に付与することができます。 本社にデモ機を完備し、随時プロセス評価処理をお請けしております。 詳しくはお問い合わせください。 【特長】 ■ロールtoロール...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研
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特に過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適なコントロールバルブ
-高速、パーティクルフリー、ショックフリーな動作 -極めて短い制御応答時間 -サービスポート装備（PC接続用またはサービスBOX2接続用)...サイズ: DN 100 – 400 mm (4“ – 16“) アクチュエータ: 搭載型コントローラ ボディ材質 アルミニウム: 表面処理なしまたは硬質アルマイト加工 軸シール: 回転軸シール 標準フランジ: ISO-F、JI...
メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社
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大きな差圧に対応可能！
-大きな差圧対応 -絞り開口部はメモリでの設定が可能 -アングルおよびインラインボディ...リーク量 バルブボディ、バルブシート : 1 × 10 – 9 mbar ls 1 使用圧力範囲 DN 63-80: 1 × 10 – 8 mbar～4 bar (abs) DN 100-160: 1 × 10 – 7 mbar～2 bar (abs) プレートにかけ得る許容...
メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社
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コンパクトな真空封止用バルブ
-バルブの開閉時に振動・パーティクルの発生が少ない -ボディ分割構造により容易で迅速なメンテナンスが可能 -分解、クリーニング後の調整不要...サイズ: DN 200-550mm (8“ – 22“) アクチュエータ 圧空作動式: 単動シリンダー 、閉動作はスプリング（NC） 3位置圧空作動式: 単動シリンダー、閉動作はスプリング（NC） ボディ材質: アルミニウム 軸シ...
メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社
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高真空シリンダーバルブ SERIES25.0/25.1/25.2
フルコンダクタンスが可能な高真空シリンダーバルブ
大きなコンダクタンスが要求される高真空アプリケーションの排気およびベント用バルブ -過酷な環境にも対応（腐食に対しての高い耐性）します。 -穴の開いたシリンダーが回転するため、フルコンダクタンスが可能です。 -O-リングがバルブボディに隠れる回転構造。腐食性ガスからO-リングを守り、長寿命を実現します！ ...特長 1. 開および閉位置での機械的なロックです 2. パーティクル発生...
メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社
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CVDなどの高速で高度なプロセスに最適な圧力制御用バルブ
-優れた圧力制御能力 -サービス時期の自動検出（コンタミネーション検出） -サービスポート装備（PC接続用またはサービスBOX接続用） -コンタミの多いプロセスへの優れた適応性...サイズ: DN25-320mm (1“ – 12“) アクチュエータ: 搭載型コントローラ ボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール 軸シール: 回転軸シール 標準フランジ: I...
メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社
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高温マスフローコントローラ MC-3000L-TC series
多彩な機能を持った高性能デジタルマスフローコントローラMC-3000L…
独自の特許技術で1.0％F.S.の高精度を実現した、1.125インチサイズの高温用デジタルマスフローコントローラです。 水蒸気などの高温ガス制御に最適です。 【特長】 ○RoHS対応 ○使用温度120℃、ベーキング温度150℃（非通電）が可能 ○デジタルインターフェイスRS-485を装備 ○独自特許技術のセンサを搭載 ○高温対応・高精度のデジタルMFC ※その他機能や詳細に...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所
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射出成形機連動型高速スパッタ・重合システムSPP-SERIES
樹脂基板への金属膜、保護膜が全自動で成膜可能！
新しく開発された射出成形機連動型高速スパッタ・重合システムSPP-SERIESは、自動車・装飾部品などで用いられる樹脂基板への金属膜、保護膜の自動成膜が可能です。 射出成形された基板を全自動で真空成膜（スパッタリング及び重合）することが可能です。 【特徴】 ○全...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空
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大型角型ゲートバルブ FLAPVAT Series 06.8
短い開閉時間による高いスループット
-保有コストが低い -短い開閉時間による高いスループット -お客様指定のデザイン ...開口サイズ 50 × 500 mm～100 × 3000 mm (1.97“ × 19.69“ ～ 3.94“ × 118.11“) アクチュエータ 圧空作動式: 複動シリンダー リミットスイッチ付き ボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール 軸シール: 回転軸シール ...
メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社
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過酷なプロセスおよび高温に対応した設計
-短い開閉時間による高いスループット -過酷なプロセスおよび高温用の設計 -バルブのフランジの面間距離が小さい...開口サイズ: 50 × 500 mm～300 × 3000 mm (1.97“ × 19.69“～11.81“ × 118.11“) アクチュエータ 圧空作動式: 複動シリンダー リミットスイッチ付き ボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール 軸シ...
メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社
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各種液体流量を精密計測します
0.01〜20g/min (C2H5OH換算) の計測が可能です。液体は、ステンレスを腐食しないものであれば何でもOKです。コントロールバルブ（当社CVシリーズ）と接続する事により、液体マスフローコントローラとしても使用可能です。 【特長】 ○各種液体材料の高精度流量計測を実現 ○リンテック社独自の熱式マスフローセンサ（特許出願中）採用、 電子回路はデジタル化され、高速、高精度の流...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所
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液体用マスフローコントローラ LC-3000L series
当社独自センサにより各種液体流量を精密制御します
ノーマリオープンタイプの液体用マスフローコントローラです。 0.01〜2.0g/min (C2H5OH換算) の流量制御が可能です。液体は、ステンレスを腐食しないものであれば何でもOKです。 【特長】 ○リンテック独自の周囲温度補償方式の流量センサによる長期流量安定 ○ボディ面幅28.6mm、バルブ一体型構造のコンパクト設計 ○汎用デジタルインターフェイスを装備（RS-485準拠） ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所
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大型角型ゲートバルブ TWINVAT Series 06.1
軽量コンポーネントによる高速動作が可能な大型角型ゲートバルブ
-軽量コンポーネントによる高速動作速度 -メンテナンス中のシステム停止時間なし -3つの異なるサービスポジション -メンテナンス中の安全モード...リーク量: バルブボディ、バルブシート < 1 × 10-7 mbar Is-1 (< 1 × 10-8 Pa m3 s-1) バルブ閉方向のバルブボディおよびゲートにかけ得る許容最大差圧: ≤ 1 bar (≤ 1 × 10 -5 Pa...
メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社
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気体、液体、圧力制御が可能な高速応答ピエゾコントロールバルブです
ビエゾコントロールバルブCV-3000シリーズは、外部からの制御入力により気体、液体の流量制御、あるいは圧力制御などが可能な高速応答バルブです。 制御方法として、オーブンループ式ならびにクローズドループ式が使用できます。 【特長】 ○積層圧電素子を用いたバルブの為、高速制御可能 ○高推力、高分解能バルブの為、微小流量、低圧力の精密制御可能 ○気体ならびに液体の流量制御および圧力制御可...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所
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（極）UHVアプリケーションの真空プロセス用
-シールはFLEX VATRING方式 -シール面の変形は弾性変形の範囲内 -標準的な六角レンチ、トルコ管理不要 -コンダクタンス大 -FLEX VATRINGは2回まで交換可能...リーク量（バルブボディ、バルブシート）: < 1 × 10-10 mbar ls-1 使用圧力範囲: XHV to 2 bar (abs) ゲートにかけ得る許容最大差圧: ≤ 2 bar バ...
メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社
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多彩な機能を持った高性能デジタルマスフローメータです
マイクロプロセッサ内蔵の高機能デジタルマスフローメータです。 【特長】 ○高分解能（16ビット）A/D、D/Aコンバーターの採用による高精度化 ○アラーム出力機能を標準装備 ○アラーム状態表示ＬＥＤを装備 ○オートゼロ機能装備 ○汎用デジタルインターフェースを装備 ○デバイス番号の設定が可能 ○従来品との電気的互換性を保持 ○コンパクトなボディサイズ ○メタルシールを採用 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所
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高性能マスフローコントローラ MC-3000L series
当社独自の自己温度補正方式（米国、日本特許）のセンサを採用した高性能デ…
独自の特許技術で1.0％S.P.の高精度を実現し、各種面実装規格（1.125インチ）に対応したデジタルマスフローコントローラです。 【特長】 ○高性能1.125インチサイズ・デジタルマスフローコントローラ (ピエゾバルブ、高精度(S.P.保証）、デジタル制御） ○アナログマスフローコントローラとの互換性を維持 ○汎用インターフェースRS485が使用可能 ○標準でメタルシール...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所
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低差圧マスフローコントローラ MC-3000S series
SDSなど低差圧にて動作可能なマスフローコントローラです
独自の技術で低圧においてもガス流量が制御可能なマスフローコントローラです。 【特長】 ○独自の低圧損構造により、6Torrの差圧で10SCCM(N2)を制御可能 ○AsH3やPH3などのインプラ用途や、液体を加温なしで気体制御も可能 ○汎用インターフェースRS485が使用可能 ○標準でメタルシール、内面精密研磨のウルトラクリーン仕様 ○高速・高性能なピエゾアクチュエータを搭載 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所
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低圧損、クリーン構造の小型ガス加熱器です
低圧損構造にも関わらずMax300℃まで加温可能な小型ガス加熱器です。 【特長】 ○圧力損失を低減することで流量制御後にも設置が可能 ○オールメタルシールのクリーン構造 ○接ガス部材質はSUS316L ○異常加熱検出用サーマルスイッチ内蔵 ○熱電対内蔵 ○コンパクトサイズでありながらMax300℃の加熱が可能 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。......
メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所
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半導体や表面分析アプリケーションに使用できるポンプ/チャンバー用真空遮…
-パーティクル発生が少ない -メンテナンスが容易 -低コスト...サイズ: DN10-100mm(⅜“ – 4“) アクチュエータ: 圧空作動 単動シリンダースプリングによる閉動作、または複動シリンダー ボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール 軸シール: ベローズ 標準フランジ: ISO-KF, ISO-F, CF-F 真空レベル: HV, UHV ...
メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社
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UHVから高度なアプリケーションまでの多用途バルブ
-潤滑剤不要 -パーティクル発生が少ない -ショック低減 -Vulcanizedシール...サイズ: DN 16 – 50 mm (⅝“ – 2“) アクチュエータ: 手動式 回転ハンドル付き 圧空作動式 単動シリンダー スプリングによる閉動作(NC) 単動シリンダー スプリングによる開動作(NO) 複動シリンダーによる開閉動作 ボディ材質: ステンレススチール ...
メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社
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開、閉位置において300℃までベーク可能で、過酷な環境にも対応
-頑丈で長いライフサイクル -閉位置で機械的ロック -耐・放射性能 -"Hard on hard"シーリング...サイズ: DN 16-320mm (⅝“ – 12“) アクチュエータ: 手動式 圧空作動式 複動シリンダー、延長型とコンパクト型 ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: ベローズ 標準フランジ: CF-Fメートルねじ シーリング技術: ...
メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社
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開位置250℃、閉位置200℃までベーク可能で水分を飛ばし、超真空状態…
-潤滑剤不要 -DN 63-200用 Vulcanizedシール -メンテナンスが容易 ...サイズ: DN 63-320mm (2 ½“ – 12“) アクチュエータ: クランクハンドルによる手動式、圧空作動式 複動シリンダー、3位置圧空作動式 複動シリンダー ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: ベローズ 標準フランジ: ISO-F, CF-F, ASA-L...
メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社
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腐食性ガスにも対応！
-極めて少ないアウトガス量 -大きな差圧対応 -CF回転フランジ...サイズ: DN 16 – 63 mm (⅝“ – 2½“) アクチュエータ: 手動式-取外し可能なハンドホイール式 圧空作動式-単動シリンダースプリングによる閉動作（NC) ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: ベローズ 標準フランジ: CF-R...
メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社
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緊急遮断シャッターシステム Series 77.1/77.3
加速器やストレージリングの真空系を突然の大気侵入から保護する
-高い信頼性 -メンテナンス不要 -研究機関向け...サイズ: DN 40-160mm (1 ½“ – 6“) アクチュエータ: 圧空作動式、複動シリンダー ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: ベローズ 標準フランジ: CF-F...
メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社
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高真空アングルバルブ（ベローズ軸シール）Series 26.4
高真空アプリケーションの排気、ベント用のアングルバルブ
-アングルおよびインラインボディ -ベローズ軸シール -大きな差圧対応 -長いサイクルライフ...リーク量 バルブボディ、バルブシート: < 1 × 10-9 mbar ls-1 使用圧力範囲 DN 10-50: 1 × 10-8 mbar～ 5 bar (abs) DN 63-80: ～4 bar (abs) DN 100-160: ～2 bar (abs) ゲートにか...
メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社
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VATLOCKシステムの真空ゲートバルブ
研究開発および産業の低真空アプリケーション用のバルブ -機械的なロックで、逆圧状況においても確実にシールするVATLOCKシステムのゲートバルブ -エアダンピングにより、振動が少ないためポンプに負担を掛けない構造 -取外しが簡単でメンテナンスが容易 -低コスト...カスタムソリューション アクチュエータ -緊急手動操作時ロック可能な電磁弁 -2重リミットスイッチ（開、閉それぞれ...
メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社
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0.1MPaの差圧でバルブの開閉動作が可能な高真空ゲートバルブ
0.1MPaの差圧でバルブの開閉動作が可能 -真空封止アプリケーション用の高真空ゲートバルブ -ウェッジシールにより圧力差があっても開け閉め可能...機能 くさび型のプレート&受け（特許取得のウェッジシーリング）により、圧力差があっても開け閉め可能です。O-リングがデポ物を掻き取るため、リーク量を低減いたします。 頑丈 1. 真空に触れる大部分はステンレススチールです 2. 真空中...
メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社
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優れたパーティクル性能を備えたショックフリーL-MOTIONバルブ
-ショックフリーなL字動作 -パーティクルフリー、バイブレーションフリーな動作 -保有コストが低い ...開口サイズ: 81 × 800 mm～250 × 3000 mm (3.19“ × 31.50“～9.84“ × 118.11“) アクチュエータ: 圧空作動式 複動シリンダー リミットスイッチ付き ゲート材質: アルミニウム シール技術: L-VAT リーク量:...
メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社
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均等なガスフローで高度なプロセスに最適
-パーティクルフリーな動作で均等排気を可能にする -卓越した圧力制御の実績 -サービスポート装備（USBでPCとControl Performance Analyzer (CPA)とソフトウェアの接続用）...サイズ: DN 250-450mm (10“ – 18“) アクチュエータ: 2つのステッピングモーターを同期、フィードバック制御を実施 ボディ材質: アルミニウムまたは硬質...
メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社
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SEMI/FPDプロセスにおけるダウンストリームの圧力制御および真空封…
-パーティクルフリーな動作で均等排気を可能にする -卓越した圧力制御の実績 -サービスポート装備（USBでPCとControl Performance Analyzer(CPA)ソフトウェアの接続用） ...サイズ: DN 250-450mm (10“ – 18“) アクチュエータ: 2つのステッピングモーターを同期、フィードバック制御を実施 ボディ材質: アルミニウムまたは硬質アルマイ...
メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社
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過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適
-高速、パーティクルフリーな動作 -正確な圧力制御 -サービスポート装備（PC接続用とCPAソフトウェア用）...サイズ: DN 250mm アクチュエータ: サーボドライブ付き圧力コントローラ搭載 ボディ材質: アルミニウムまたは硬質アルマイト加工アルミニウム 標準フランジ: ISO-F、JIS...
メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社
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コンパクトな真空遮断バルブ。ゲートバルブの代替品としても活用。
-頑丈でコンパクトなポンプ用真空遮断バルブ -差圧での動作が可能...サイズ: DN 63-250mm (2 ½“ – 10“) アクチュエータ: ターニングレバーによる手動式 圧空作動式 複動シリンダー ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: O-リング回転軸シール 標準フランジ: DN 63-160 ISO-F DN 250 ISO-F, ISO-K...
メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社
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複雑な形状の基板への成膜に最適で、低温成膜で樹脂基板にも対応します。ま…
ALD（Atomic Layer Deposition）とは原子層堆積法という単原子層を1サイクルで成膜する手法で、サイクルを繰り返すことにより薄膜を形成します。 一原子層レベルの均一なレイヤーコントロールが可能となり、高品質かつ段差被覆性の高い薄膜を形成する事が可能です。 【特徴】 ○複雑な形状の基板への成膜に最適 ○低温成膜で樹脂基板にも対応 ○ガスバリア性に優れた薄膜が得られる...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空
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小型電磁弁：流体開度を比較的大きくとれる、直動タイプなので、小さくても…
御社の製品に組み込むことでの価値を最大化するために、導入効果事例を中心に専任セールスエンジニアがサポートさせて頂きます。 The Lee Company社は航空宇宙分野でトップシェアを持つ流体制御デバイスのリーディングカンパニーです。 一般産業用・医療／分析機向けの製品も多数取り揃えております。 Lee社は、小型直動電磁弁にこだわり、あらゆる分野に小型電磁弁の価値を提供してまいりまし...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジュピターコーポレーション 本社
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真空コンポーネント部品総合カタログ。NW・ICFやJIS VG/VF規…
『SMST真空コンポーネント部品 総合カタログ』は、NW規格フランジ・ICF規格フランジ・JIS VG/VF規格フランジなどの真空部品を掲載したカタログです。 半導体製造装置・液晶製造装置・有機EL製造装置において欠くことのできない真空配管、ガス配管などの製品も掲載しております。 【掲載製品】 ○NW規格（NW Standard） ○ICF規格（ICF Standard） ○アダプタ...
メーカー・取り扱い企業： 湘南丸八エステック株式会社
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新しい成膜方法をお考えのエンジニア必見！樹脂基板への金属膜、保護膜を全…
新しく開発された射出成形機連動型高速スパッタ・重合システムSPP-SERIESは、自動車・装飾部品などで用いられる樹脂基板への金属膜、保護膜の自動成膜が可能です。射出成形された基板を全自動で真空成膜（スパッタリング及び重合）することが可能です。 【対象製品】 ◆自...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空
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小型二液性材料用注入装置
■2液性材料を自動計量、混合し定量吐出します。 ■1回当り0.8cc〜10cc程度の少量注入作業に適しています。 ■搭載機器：材料タンク、計量ポンプ、混合機、ノズル弁等。 ■エアーシリンダー式計量・吐出ポンプ搭載 ■使用圧力：Max0.45Mpa 中型二液性材料用注入装置もご用意しております。 ※適応材料粘度等の詳細に関しましては、【お問い合わせ】よりどうぞ。...■2液性材料...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社三双機工
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減圧・常圧プロセス用気化器 VU-206
液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより各種液体を精密流量制御し、効率よく気化供給する気化器です。 【特長】 ○液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより、 各種液体材料（TEOS、TEB、TEPO、etc）を精密流量制御する と同時に高効率で気化可能 ○ピエゾバルブ採用 ○常圧プロセスから減圧プロセスまで対応 ○最高16...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所
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減圧・常圧プロセス用高効率気化器 VU-430A series
減圧・常圧プロセス用高効率気化器 VU-430A
液体マスフローメータLM-3000Lシリーズとの組合せにより各種液体を精密流量制御し、効率よく気化供給する気化器です（US PAT.5372754）。 【特長】 ○液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより、 各種液体を流量制御し、効率よく気化（US PAT.5372754） ○減圧プロセスから常圧プロセスまで可能 ○最高200℃の高温加熱が可能 ○コン...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所
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