【加工事例】白色干渉顕微鏡による加工面の測定

PRmm単位を超える広い面内測定範囲！多結晶セラミックスとSiC単結晶の測…

当社で新たに導入した、白色干渉顕微鏡による加工面の測定事例をご紹介します。 白色干渉顕微鏡は、光の干渉現象を利用して「表面形状」を計測、解析する 顕微鏡。測定対象材質を問わず、3D計測で面粗さ・線粗さに対応します。 多結晶セラミックスのワイヤースライス面からポリシング面の測定では、 スライス面Sa 0.8446 μm、ラッピング面Sa 0.2506 μm、ポリシング面 Sa 0....

メーカー・取り扱い企業： 株式会社新興製作所

厚銅バスバー基板・コイル基板【銅厚3.0mmまで実績あり】

PR大電流用途で使用されるバスバー・コイルを基板化することで高い絶縁性と工…

重電や自動車業界で大電流用途として使用されているバスバー・コイルを基板化しました。 基板化したことで以下の効果が見込めます。 ・IGBTやSiCといったパワーデバイスの基板実装 ・基板実装後に装置への取付が可能→組立時の工数削減と誤配線の防止 ・基板化、配線の簡易化による省スペース化→装置全体の小型化 ・一般的に厚銅基板というと銅箔厚が200μ(0.2mm)以上の基板を指しますが...

メーカー・取り扱い企業： 共栄電資株式会社

受託加工『CVD-SiCコーティング』

高硬度、耐熱、半導体特性、化学蒸着法炭化ケイ素 CVD-SiC

『CVD-SiCコーティング』は、高硬度、耐熱性、耐磨耗性に優れた 半導体特性を持つ薄膜です。 当社独自のCVD法により半導体装置部品等にも適応可能なグレードを保ち、 高純度のSiC膜を最大2mm以上析...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社インターフェイス

今さら聞けないめっきとは？漫画でわかる解説資料進呈中

オジックテクノロジーズの『無電解Agめっき』はSiCパワーデバイスに対…

マンガで簡単に解説！ めっきと言っても、さまざまなめっき処理があります。 求められる用途や環境、処理する素材によって、どのめっき処理がいいかなどは迷うものです。 『無電解Agめっき』は、SiCパワーデバイスに対応した オジックテクノロジーズの技術です。 従来の技術では、高温環境下での動作の不安定さや、デバイスの 高性能化に対応できない問題点があり、SiCパワーデバイスなどに ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社オジックテクノロジーズ

黒鉛製品・グラファイト製品・カーボン製品

特殊炭素材料押出材・CIP材を用途に合わせて加工・コーティングした製品…

【製品例】 ○特殊炭素製品ノズルにSiC系耐酸化コーティング →特殊炭素製品ノズルにホワイトアルミナ溶射 ○黒鉛（カーボン）吹き込み管 →先端にポーラス（多孔質）カーボンノズル装着 ○特殊炭素製品（CIP・等方性黒鉛） →カー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本鋳造技術研究所

プラズマ技術～バイオ・医療への応用

a-SiC:H(堅牢膜)等のパッシベーション膜形成が可能！高密度プラズ…

膜を形成。 複雑な形状のインプラント用セラミック、金属物の 表面除染も対応可能です。 【パッシベーション膜の特長】 ■現在、業界で注目されている、以下4種の膜形成が可能 　・a-SiC:H(堅牢膜) 　・a-C:H(不活性で耐摩耗性膜) 　・SiN(ストレスと堅牢制御膜) 　・SiO2：BioMEMS(低ストレスで高い絶縁破壊膜) ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

ICP エッチング装置

ヨーロッパ 発の技術から生まれた汎用性の高い装置！

iN、pGaN、AlGaN層の特別処理が可能； pGaNの高エッチング選択比を実現、AlGaN層に低損失制御； 超低出力工程に対応 ・Pishow D： DRIE技術をベースに、Si、SiCの深掘りに対応； ガスの切り替え速度＜1s； BOSOH工程に対応可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 日星産業株式会社

『機能性薄膜の受託加工サービス』

柔軟な対応と30年の実績！多岐に渡るご要望に応える、高機能受託加工サー…

、In、Si、Ta、W、Sn、Pt　など 　・酸化膜：Al2O3、SiO2、TiO2、Cr2O3、In2O3、ITO、MgO、NbO、Ta2O5、WO3、Zr3O3、ZnO　など 　・炭化膜：SiC、TiC、WC、BC　など 　・窒化膜：AlN、BN、CrN、MoN、NbN、SiN、TaN、TiN　など 　・二元蒸着による合金膜の生成 　・各種積層膜：Au/Ni/Cr、Au/Pt/Ti...

メーカー・取り扱い企業： 東邦化研株式会社

コーティング技術のワンストップサービス

豊富な改善事例をもとに、問題解決に向けた表面処理メニューを用途に応じて…

D系 （TiC／TiCN） ■装飾系 （イオンプレーティング／貴金属メッキ） ■各種メッキ処理 （無電解ニッケルメッキ／電気ニッケルメッキ／硬質クロムメッキ／超硬質クロムメッキ／ニッケルSiCメッキ／金メッキ／銀メッキ／銅メッキほか） ■金属表面硬化・改質処理 （塩浴窒化処理／プラズマ窒化処理／イオン窒化処理／各種熱処理／セラミック溶射／金属溶射／超硬溶射／イオン注入／化成処理／電...

メーカー・取り扱い企業： 千代田交易株式会社

精密ショットピーニング：弊社独自の『OX-FSP』処理加工

従来ピーニングの２倍の噴射スピードで、高い残留圧縮応力の付与・良好な摺…

【概要】 ■設備 　・OX-FSP 27台 　・シリウス機 2台 ■使用メディア(30種類以上) 　・鉄系 　・アルミナ 　・SiC 　・ガラス系 　・Sn ・MoS2 　・Ag ・Tio ・メラミン樹脂　など ■最大加工寸法：800mm×800mm×t300mm ※詳しくはPDFをダウン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社オキソ

高密着・高耐久DLCコーティング『Neo-スリック』

従来のＤＬＣ膜を超える密着力と耐久性！アルミ・セラミックスへの成膜を可…

ール　■チップ　　　　■丸刃　　　　　　■機械部品 ■プレス金型　　　■樹脂金型　　　■粉末成形金型　　■その他 【対象となる基材】 ◎各種鉄鋼材料 ◎超硬基材 ◎セラミックス基材(SiCなど) ◎非鉄金属(アルミ、真鍮など) ◎一部樹脂、ゴム等も可能です ※詳しくはカタログをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 日本コーティングセンター（ＪＣＣ）株式会社

高温用グラファイト保護コーティング

高温腐食性雰囲気でグラファイトを保護するコーティング。SiCやGaNな…

グラファイト部品にPBN（熱分解窒化ホウ素）、PG（熱分解グラファイト）、TaC（タンタルカーバイド）などのコーティングを施した製品です。 ウェハトレイ、ヒータ、歯車、チューブ、ルツボなど色々な製品、形状に対応可能です。 【特長】 １）高温のNH3、H2などの腐食性雰囲気でグラファイトを保護します。 ２）電気絶縁性、導電性両方のコーティングがあります。 ３）高温のMOCVD用部品を保...

メーカー・取り扱い企業： モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社

【開発】セラミックDIPコーティングで厚膜イットリアを実現

半導体製造工程での耐プラズマ性向上、溶融金属へのセッター、るつぼ、ロー…

ける面粗度大。 ※コーティング対象物の設計自由度は増しますが形状に応じ打合せ要。 ２．幅広いコーティング材＋対象基材 ・コーティング可能セラミックス素材：ほとんどの酸化物及び非酸化物(BN、SiC、Si3N4等) ・対象基材：ファインセラミックス全般、等方性黒鉛、石英等ガラス、耐火物、金属(耐熱温度確認要) ３．ディッピングにより他コーティング方法への高いアドバンテージ ・低コスト(...

メーカー・取り扱い企業： ナラサキ産業株式会社 メカトロソリューション部　機能材料課

ＳｉＣコーティング装置（ＡＦ－ＩＰ装置）

緻密で耐摩耗性と耐酸化性に優れたＳｉＣ（シリコンカーバイド）膜をＰＶＤ…

新開発アークフィラメント型イオンプレーティング法により従来に無かったＰＶＤ法による」ＳｉＣ成膜を実現。 ４００℃以下の低温で緻密で耐摩耗性・耐酸化性に優れたＳｉＣ膜を形成可能とした新成膜技術を採用。 個体シリコンを出発材料としたイオンプレーティング法のためシンプルで環境負荷の少ないクリーンなプロセスを実現。 膜厚や膜質の制御性も高くＣＶＤに比べ、排ガス処理・メンテナンス性・設置面積・ランニン...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

厚膜成膜

薄い膜だけじゃない！厚く成膜することもできます。

3、SiO2、TiO2、Cr2O3、ITO、MgO、NbO、Ta2O5、WO3、ZrO2、ZnO　など 　窒化膜：AlN、BN、CrN、MoN、NbN、SiN、TaN、TiN　など 　炭化膜：SiC、TiC、BC　など ※使用装置によって変わりますので、ご相談ください。 ■最大搭載可能サイズ：800×1000mm ※小型装置から大型装置まで幅広く保有しております。 ■対応可能...

メーカー・取り扱い企業： 東邦化研株式会社

ネツレン高周波電源

ネツレンは、高効率、コンパクト、高安定性にこだわった高周波電源装置を幅…

ニアとして高度な技術と豊富な実績から高効率で信頼性の高い高周波電源装置を商品化し、各種用途にご使用いただいております。 ネツレン高周波電源装置MKシリーズは、SCR、IGBT、MOSFETおよびSiC半導体を使用した出力(2.5～2,000kW)、周波数(0.3～400kHz)の豊富なラインナップを取り揃えています。 【特長】 ・業界トップレベルの安定性・高い信頼性 ・高効率、コンパ...

メーカー・取り扱い企業： ネツレン　高周波熱錬株式会社

イオンプレーティング成膜

50種類以上もの薄膜コーティングを1個からでも対応可能！宇宙開発技術か…

3、SiO2、TiO2、Cr2O3、ITO、MgO、NbO、Ta2O5、WO3、ZrO2、ZnO　など 　窒化膜：AlN、BN、CrN、MoN、NbN、SiN、TaN、TiN　など 　炭化膜：SiC、TiC、BC　など ■最大搭載可能サイズ：800×1000mm　※小型装置から大型装置まで幅広く保有しております。 ■対応可能基板 　・Si Wafer 　・ガラス 　・フィルム 　...

メーカー・取り扱い企業： 東邦化研株式会社

【WEBセミナー開催中】電子線(EB)照射で素材の課題を解決

照射テスト相談受付中！　素材に電子線を照射して特性向上、新機能を付加し…

分子を水と混合してペースト状にした後、電子線を照射すると架橋してハイドロゲルとなります。 水と高分子のみでゲル化が可能なので、添加剤の漏出といった心配はありません。 ■炭化ケイ素繊維(SiC繊維)の耐熱性向上 炭化ケイ素繊維の製造工程において電子線架橋を利用することで耐熱性を大幅に向上させることが出来ます。航空機用エンジン部材として利用されており、機体の軽量化による燃料コストの低減...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社NHVコーポレーション 本社・工場

無電解めっき（UBM）サービス

ウエハへの無電解めっき（UBM）なら当社にお任せください！

、 更にAu膜を薄くすることも可能です。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【めっきが必要なデバイス（代表例）】 ■パワーMOSFET ■IGBT ■ダイオード ■SiC ■GaN ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： アスカコーポレーション株式会社

【金属間摩擦によるかじり×焼きつきを防止】表面メッキ処理

金属間摩擦による"かじり、焼きつき"を防止！つきまわりは完全で精度は±…

【その他の特長】 ■キャビテシーションエロージョンに対して有効 ■ダイヤモンド-SiC等の微粉末と共にコーティングしたものは、 　コンポジットカニゼンとして特に、耐蝕、耐摩耗性に優れている ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 日本クロイド工業株式会社

【表面処理】耐酸化セラミックコーティング・ガラスコーティング

溶射だけでなく、溶射＋αの様々な方法で表面処理を行っております。

黒鉛（カーボン）製品は耐熱性に優れておりますが、酸化消耗が激しく大気との遮断が必要になります。 日本鋳造技術研究所はガラス状のコーティングとSiCを組み合わせることによって、カーボン製品の寿命を延ばすコーティングを実施しております。 耐熱部品や焼結トレー等にも使用可能ですが、少し違った観点から黒鉛（カーボン）自体は電磁調理器にかかることか...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本鋳造技術研究所

『エプテックの高品質アルミニウムめっき技術』

様々なアルミ素材にめっき処理が可能。前処理工程の優れたノウハウで高品質…

っき例】 ・無電解ニッケルめっき ・装飾クロムめっき ・硬質クロムめっき ・すずめっき 【対応可能な素材例】 ・A1000系～A7000系 ・アルミ鋳物（DC、鋳造） ・Al-SiC、Al-boronなど複合材料 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エプテック

ＣＶＤコーティング　（ＱＬＩＭＡＱ　Ｃシリーズ）

プレス金型の寿命向上に貢献します

果により、特にアルミダイカストピンでは、ヌレにくい・ヌケがよい・かじりが少ないなどの通常ピンの倍以上の耐久効果が得られます。 〇超硬合金（WC‐Co)鋼（SKH、SKD、SUS）セラミック（SiC,Si3N4、A2O3など）カーボンなどに適用します ●その他機能や詳細はお問い合わせください...

メーカー・取り扱い企業： ビヨンズ株式会社

無電解ニッケルめっき技術カタログ

無電解ニッケルめっきの原理をはじめ、特性や用途を種類別に詳しく解説！

【掲載品目】 ■無電解Ni-Pめっき ■無電解Ni-Bめっき ■複合めっき（コンポジットめっき） ■無電解Ni-P-PTFEめっき ■無電解Ni-P-SiCめっき ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 仁科工業株式会社

『薄膜コーティングサービス』

素材に新たな特性を！各種材料による形成のニーズに応える表面処理受託加工

【サービス対象】 [膜種] ■反応性膜：SiO2、Al2O3、TiN、SiC、SiON　等 ■積層膜：Au/Ni/Cr//基板、Au/Pd/Ti//基板、SiO2/Al//基板　等 ■2元蒸着 ：Au-Sn、Ag-Sn、Ni-Cr　等 [基板材質] ■ガラス基材 ...

メーカー・取り扱い企業： 東邦化研株式会社

桑名商事株式会社　めっき入門

防錆皮膜『無電解ニッケル-リンめっき』など多数ラインナップ！

ホウ素(B)やタングステン(W)からなる合⾦めっき ■シンフロンシリーズ 　PTFE粒子を複合させた無電解ニッケル-リンめっき皮膜 ■シンジットシリーズ 　セラミック粒子（BN,MoS2,SiC等）を複合させた 　無電解ニッケル-リンめっき皮膜 ■精密箔膜形成技術 　無電解ニッケル-リンめっき皮膜で形成する⾼精度な 　シームレス3次元薄肉中空製品 　 ●詳しくはお問い合わせ、...

メーカー・取り扱い企業： 桑名商事株式会社

東邦化研株式会社『コーティング受託加工実績』

30年を超え、受託薄膜加工一筋！豊富な経験と確かな技術に培われた加工実…

など 　・積層膜：Au/Ni/Cr、Au/Pt/Ti、Au/Pd/Ti、Au/Cr　など 　・酸化膜：Al2O3、SiO2、SiO、TiO2、Cr2O3、InO2　など 　・炭化膜：TiC、SiC、BC　など 　・窒化膜：TiN、SiN、CrN、BN、AIN　など ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。　　...

メーカー・取り扱い企業： 東邦化研株式会社

表面処理『ニッケル系合金・複合めっき』

撥水性をはじめ、滑り性に優れるもの等さまざまな合金・複合めっきに対応！

イプ（PTFE：30～35vol％） ■ニッケルリンタングステン 　Ni：86～89％、P：8～9％、W：3～5％ ■ニッケルボロン 　Ni：99％、B：1％ ■ニッケルセラミック 　SiC：約10vol％ ※詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 中日クラフト株式会社

※事例集プレゼント※各種成型用超精密金型

ナノまで対応！数多くの加工領域に挑戦しています。

ンズ、導光板、マイクロレンズアレイ、ヘッドアップディスプレイ（HUD）用ミラーなどの各種高精度成型用金型 ◆対応材質 （MPM38 or STAVAX or アルミ）＋無電解Ni 銅、真鍮、SiC、グラッシーカーボン、超硬合金など ◆加工可能サイズ 最小Φ1mm～最大Φ150mm　※参考寸法 ◆主な加工機 超精密非球面加工機　ULG-100D　東芝機械 超精密加工機　ULG-10...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社木村製作所

『鏡面研磨技術』技術紹介

単結晶から金属・セラミック・樹脂までナノレベルで仕上げる表面仕上げにて…

aCl 　・KBr 　・KCl 　・CsI 　・CsBr　他 ■金属 　・ステンレス 　・アルミニウム 　・銅 　・チタン 　・モリブデン　他 ■非金属 　・セラミックス：SiC、アルミナ、ジルコニア、YAGカーボン、石 　・ガラス：石英、BK7、青板、白板、ゼロデュア 他 　・樹脂：アクリル、PEEK、PVC、MCナイロン、テフロン　他 ■表面処理層 　・アルマ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリスタル光学

【めっき技術】パワーデバイスへの無電解UBMめっき技術

20年間のノウハウによるパワーデバイスの実装に欠かせない無電解めっき技…

【対応基材】 ■素材：Si、SiC、GaO、GaNなどのパワー半導体 ■Al系電極：純Al、AlSi、AlSiCu、AlCu ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 清川メッキ工業株式会社

ネツレン「誘導加熱設備」

自動車・建設機械・産業機械のあらゆる用途に応じた全自動焼入機から簡易型…

サービス拠点として、神奈川、名古屋のほか、海外には米国、中国、インドネシア、メキシコ、韓国を有し、グローバルなサポート、サービスを展開しております。 SCR、IGBT、MOSFETおよびSiC半導体を使用した0.5～400kHz、2.5～2,000kWの高周波電源装置を商品化しています。 また、金属変態までのCAE解析や、歯車およびシャフト等の"低(定)変形輪郭焼入技術"を実用化して...

メーカー・取り扱い企業： ネツレン　高周波熱錬株式会社