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使いやすくパワフルなリソグラフィ・シミュレーション・ソフトウェア
『HyperLith(TM)』は、スカラ計算と厳密解、 EUVおよびDUVテクノロジーに対応したソフトウェアです。 LiveView GUIで概略のシミュレーション結果を予測。 また、GDSエクスポートの新機能により、プログラムした一連の パターンをGDSファイルにエクスポートできるようになったので テストマスクの作成に役立てることができます。 【特長】 ■Polariz...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社インターソフト 本社
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