真空ポンプユニット（装置組込型）　P94

水滴・水蒸気を含む気体の吸引に適した水封式真空ポンプユニット！

『真空ポンプユニット P94』は、加工対象物を薬液をかけながら切断する際に、対象物を保持する真空源として使用するユニットです。 ダイシング装置のウエハー真空チャックの為の真空発生装置として使用され、水封式ポンプ、制御バルブ封水流量計、真空圧力計などから構成されています。 【特長】 ■ウエット処理装置の真空チャック用の水封式真空ポンプにユニット ■水滴・水蒸気を含んだ気体の吸引に好適 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト