ナノインコーター(離型剤塗布装置)　NIC-1106

4inchウエハー対応用ナノインコーター(離型剤塗布装置)

本装置は、最大4inchウエハー基板を離型剤塗布、リンス洗浄、定着乾燥という工程で処理することで、ワーク表面に離型剤を定着させる装置です。 処理は1ワークずつ行います。 SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター型装置です。...【主仕様】 1.ストローク 140mm 2.対象サイズ 4inch 3.対象材質 ウエハー 4.ディップ速度 0....

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＤＩ