静電気対策　静電チャック用プロセステープ　STチャックテープ

ガラスウェハーを静電チャック！　優れた導電性能・耐薬品性能・耐熱性能！…

当社独自の導電処理を施したPI、PENを基材とし、シリコン・耐熱アクリル粘着剤を使用した導電性耐熱保護テープです。ガラスウエハーやガラスサポートウエハーに貼ることで低電圧で静電チャックが可能。MEMS、CMOS、IGBTなど様々なウエハーでご使用いただけます。また、200℃以上の耐熱性、耐薬品性を有することからウエハー表面保護用途としてもご使用可能です。 《特長》 〇従来の半導体設備で転用可能...

メーカー・取り扱い企業： アキレス株式会社 工業資材販売部

ウエハー用導電性耐熱保護テープ（静電チャック）

PI、PENを使用した導電性耐熱保護テープ。MEMS、CMOS、IGB…

当社独自の導電処理を施したPI、PENを基材とし、シリコン・耐熱アクリル粘着剤を使用した導電性耐熱保護テープです。ガラスウエハーやガラスサポートウエハーに貼ることで低電圧で静電チャックが可能。MEMS、CMOS、IGBTなど様々なウエハーでご使用いただけます。また、200℃以上の耐熱性、耐薬品性を有することからウエハー表面保護用途としてもご使用可能です。 《特長》 〇従来の半導体設備で転用可能...

メーカー・取り扱い企業： アキレス株式会社 工業資材販売部