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51件 - メーカー・取り扱い企業
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薬品洗浄に強い!フッ素樹脂でモールドしたバーコードラベル
セラミック製、ステンレス製などのラベルをフッ素樹脂に埋め込み、一体成型する『セララベル-TF』。高い耐薬品性を備え、アルカリ処理にも対応可能、また腐食性の高いフッ酸にも耐えるバーコードラベルが登場しました。 ニーズに合わせて、サイズ・形状ともあらゆる加工が可能です! 【用途】 ■精密機器、金属、医療機器、ガラス製品などのフッ酸洗浄 ■強化ガラスの高温アルカリ処理 ■エンジンなど、...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社シグマックス
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ユニークなウエハー移載機搭載のバッチ処理装置から枚葉処理装置まで、世界…
2.45GHzのマイクロ波で励起された高密度のプラズマと、イオンの運動エネルギーを抑制することで、ダメージレスのプロセス結果を得ることができます。 ウエハープロセスにおけるアッシング、レジスト剥離、MEMSなどのSU-8レジストアッシング、デスカム処理、基板の表面クリーニングや表面活性化など、幅広いアプリケーションに対応できるよう設計されております。...PVA Metrology & Pla...
メーカー・取り扱い企業: 伯東株式会社 本社
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フルオートマティックスピン洗浄装置 300mm/8インチウエハー、ガラ…
本装置は、ウエハーカセットを本体に手動でセットし、収納されている対象ワークをロボットでスピン洗浄部に送り、スピン回転させながら二流体洗浄・超音波洗浄・N2ブロー乾燥の処理を行い、再びウエハーカセットに収納する装置です。...装置寸法 Size: W1300×D1800×H2000 (300mm)/ W1100×D1400×H2000 (8インチ) 工程 Process: カセットを手動で設置→扉...
メーカー・取り扱い企業: マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
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ウエハーテスト。テスタでチップ1個1個の良品、不良品の判定。
佐原テクノ工業社のウエハーテスト、ファイナルテスト 【特徴】 ○ウエハーテスト ・ウエハー上に作られたチップの電極パッドにプローブを接触させ、 これに接続したテスタでチップ1個1個の良品、不良品の判定 ・LCDドライバーに対応しており、アフターマーキングも可能 ・ダイシング(本社工場)との一貫加工が可能 ・5インチ、6インチ、8インチウエハーに対応 ○ファイナルテスト ...
メーカー・取り扱い企業: 佐原テクノ工業株式会社
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対応サイズはφ4~8″!試作から量産まで各種デバイスウエハーの薄板化プ…
当社が取り扱っている『マニュアルウエハーマウンター』をご紹介します。 当装置はWAXが塗布されたウエハーを真空カップ内で支持基板へ貼り付けを 行います。 真空カップ内でウエハーと支持基板の貼付を行うことにより気泡の混入を 回避。貼付後に「エアスタンプ」処理をすることによりTTVを矯正します。 【特長】 ■WAXが塗布されたウエハーを真空カップ内で支持基板へ貼り付けを行う ...
メーカー・取り扱い企業: ダイトロン株式会社
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切削・押出し加工のウエハーリングカセット!
当社では、アルミ製『ウエハーリングカセット』の設計・加工・製造を 行っております。 12インチ、8インチ、6インチ。各サイズでの製品がございます。 面取り加工(入口テーパー加工)、各種ストッパー加工、各種表面処理まで全て承ります。材質や処理、加工でお困りの事があればご連絡下さい。 また、ウエハーリングフレームの製作も行っております。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ファーストメタル
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【デモ機貸し出し可能!】一連の洗浄・エッチング処理を行い、純水処理・乾…
スプレー式ウエハーエッチング装置は、一連の洗浄・エッチング処理を行い、その後、純水処理・乾燥までを処理する装置です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○一連の洗浄・エッチング処理実行 ○その後、純水処理・乾燥までを処理 ○製造からアフターフォロー、カスタマイズもお任せ下さい ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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高田工業所社製試作用枚葉式ウェット処理装置『TWPmシリーズ』
リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う試作研究用…
試作研究用『TWPmシリーズ』は以下の特長を備えた装置になります。 ■特長 ・ 高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ・多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、 フレキシビリテイの向上とランニングコストの削減 ・枚葉化による品質・歩留り向上 (クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上 ) ・高い剥離性をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ...
メーカー・取り扱い企業: JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
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8inchウエハー対応用ナノインコーター(離型剤塗布装置)
本装置は、最大8inchウエハーを離型剤塗布、リンス洗浄、定着乾燥という工程で処理することで、ワーク表面に離型剤を定着させる装置です。 処理は1ワークずつ行います。 SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター型装置です。 ※詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。...【主仕様】 1.ストローク 250mm 2.対象サ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社SDI
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【デモ機貸し出し可能!】シリコン又は化合物半導体ウエハーの少量処理用。…
SFシリーズは、シリコン又は化合物半導体ウエハーの少量処理用として、コンパクトな卓上型の乾燥用に広く使用されています。 操作は極めて簡単で、ウエハーを回転盤上にセット後、上蓋を降ろし、スタートボタンを押すだけで、安全なスピンドライ仕上げを行います。 詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○シリコン又は化合物半導体ウエハーの少量処理用 ○コンパクトな卓上型の乾燥用 ○操作は極めて簡単...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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Max1000℃、MFC最大3系統、APC圧力制御、4"、又は6"基板…
高真空水冷式SUSチャンバー内に設置した加熱ステージにより最高1000℃までの高温処理が可能です。チャンバー内にはヒートシールドが設置されインターロックにて安全を確保。マスフローコントローラは最大3系統まで増設が可能、精密に調整されたプロセスガス圧力での焼成作業が可能です(APC自動プロセス制御システムオプション)。 又、フロントビューポート、ドライスクロールポンプ、特殊基板ホルダー、熱電対増設...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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姿勢精度2秒以下の高精度を実現!検査装置の位置決めに好適な超精密XYス…
「セラミックス製 超精密XYステージ」は、液晶パネルや有機ELパネルなどの検査装置の位置決めステージに使用可能な高精度のXYステージです。 【特長】 ■高純度アルミナセラミックス製エアースライダーガイドを採用。 ■真直度精度:1μm以下を実現。 ■姿勢精度:2秒以下の高精度を実現。 ■最長3500stまで可能 ■再現性0.2μm以内可能 ■付属品:検査成績表 ※詳しくはお問...
メーカー・取り扱い企業: 新東Vセラックス株式会社
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ウェットエッチングによる、コストダウンに配慮した仕様をご提案します。
ウェットエッチングならではの低コスト、高生産性を実現します。 ご要望に応じて様々な搬送位置や方式に対応し、追加機構の付加、カスタマイズも可能です。 【特長】 ■全自動酸・アルカリエッチング(洗浄)装置 ■手動酸・アルカリエッチング(洗浄)装置 ■RCA洗浄装置 ■前面搬送機タイプ・背面上部搬送機タイプの他に、お客様のニーズに合わせ上部搬送機タイプ・背面搬送機タイプにも対応できます。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダルトン
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【デモ機貸し出し可能!】ウエハーは専用のバレルに装填され処理されます
本機はハイスピードでウエハーのエッチング処理を行う装置です。 ウエハーは専用のバレルに装填され処理されます。 詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○ハイスピードでウエハーのエッチング処理実行 ○ウエハーは専用のバレルに装填され処理 ○製造からアフターフォロー、カスタマイズもお任せ下さい ●詳しくはお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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枚葉式・バッチ式のラインナップから、各工程及び仕様を選択し装置をカスタ…
ダルトンのリフトオフ装置は6種のラインナップと6種類のオプションを有し、用途やウエハーの性質に合わせて使用をご選定頂けます。 【ラインナップ】 ・HU型(量産向け)…バッチ、枚葉の併用仕様。より早く、確実な仕上がり ・HM型(研究開発・量産向け)…Jet処理のみで剥離が可能なウエハーに好適。 ・CHU型(研究開発向け)…HU型の特長を受け継ぎながら、コンパクト化を実現 ・MJ型(研究...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダルトン
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【デモ機貸し出し可能!】各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作致し…
カセットレス自動洗浄装置は、ワーク投入から乾燥までを一貫して行う精密洗浄処理装置です。 機器はカセットレス、ボート搬送方式を選択でき、各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作致します。 詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○ワーク投入から乾燥までを一貫して行う精密洗浄処理装置 ○機器はカセットレス、ボート搬送方式を選択可能 ○各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作致します ...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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【デモ機貸し出し可能!】処理槽からリンス槽へ円弧搬送しウエハーを処理す…
本機は手動でカセットの入ったバスケットをハンガーに取付、処理槽からリンス槽へ円弧搬送しウエハーを処理する半自動装置になります。 詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○手動でカセットの入ったバスケットをハンガーに取付 ○処理槽からリンス槽へ円弧搬送しウエハーを処理する半自動装置 ○製造からアフターフォロー、カスタマイズもお任せ下さい ●詳しくはお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、スピン乾燥を行います!
SD-8004型は、4"~8"ウエハーのスピン式スプレー現像装置です。自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、スピン乾燥を行います。条件設定は操作パネル上のタッチパネルで行います。各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示されます。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○4"~8"ウエハーのスピン式スプレー現像装置 ○自動および手動運転により、現像...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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不良品を良品に!早く綺麗に確実に“洗浄“するには?技術資料進呈
【トータルコスト削減】シンナーやIPAと同等の洗浄力!洗浄不十分による…
成形品の塗装・めっき処理・溶接時の不良でこんなお悩みはございませんか。 ・塗装がうまくいかず、剥がし直しがある ・めっき処理にムラができてしまう ・溶接不良が多く、やり直しなど無駄な労力がかかる ・コスト削減を図りたい 上記の問題は前工程の“洗浄”の見直しで解決できるかもしれません。 不良率が改善すれば【利益率向上】だけでなく【会社の信頼度UP】、リピート受注につながる可能性も...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社中部
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ウエハー マスク 枚葉スピン洗浄装置
オプションでオゾン水(20ppm)やエキシマUV、大気圧プラズマとの組み合わせも可能です。 その他、ULPA/HEPAユニット、薬液供給ユニットとの組み合わせなど汎用性に優れております。...R&D用途に最適な コンパクトなスピン洗浄装置です。 チャックテーブルの交換により 多種多様な基板を洗浄できます。 <主な仕様> 対応ワークサイズ ウエハ φ8インチ(MAX) マスク 6...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社カナメックス 厚木工場
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ダイシングフレームに付着したテープ糊痕や指紋等を高い洗浄能力を持つ独自…
『TFCシリーズ』は、ウエハー切断(ダイシング)工程で使用される ダイシングフレームに付着した、テープ糊や手脂などをジェットを使用し除去します。 ブラシ等の接触物がない為、糊等の2次付着による洗浄性の劣化がありません。 ■特長 ・高い洗浄性能をもつ独自のジェットノズルを採用した非接触方式洗浄機構 →ブラシ洗浄及びウエス等の布を使用しないので、目づまりによる洗浄力低下、及び再付着があり...
メーカー・取り扱い企業: JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
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200mm/300mmウェーハ、ガラス、250mmのサブストレートPK…
【フラックスレス蟻酸リフロー】 ■処理時間:60~100枚/時 ■プロセス温度:100~260℃ (最大450℃) ■温度分布:±3℃以下 (9-point 測定) ■省スペースフットプリント: 4.95m2 / L x W x H =1.8 x 2.75 x 2.55 m 4層シングルウエハーチャンバー設計により、高精度なプロセス制御を実現 ...***技術的優位性*** ...
メーカー・取り扱い企業: Yield Engineering Systems, Inc.
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簡単な接続・取付の小型ウエハーIDリーダー。RGB特別照明対応、簡単読…
HTT社製(ドイツ)WID120ウェーハ IDカメラは半導体工場の環境下のいかなるプロセスでも最高のスループットでIDナンバーを読み取ることが可能です。最強のRGB照明システムにより汚れた文字や読みにくい文字も対応できます。ウェーハソーター、ウェーハプローバー、光学検査装置、クラスタ装置または他の処理装置等に利用可能です。 詳しくはお問い合わせください。...【特徴】 ○ウエハー用OCR装置 ...
メーカー・取り扱い企業: ディスク・テック株式会社 本社
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確かな技術力と強固なグローバルネットワークを武器に世界へと挑みます。
株式会社アドバンテックは、国内5拠点、海外8拠点で事業を実施し、半導体及び液晶業界のお客様からご愛顧をいただいております。 半導体装置等で使用されるテスト用ウエアー販売事業や、使用済みのウエハー等を再資源化するリサイクル事業に取り組み、企業様からシリコン材料等の有価廃棄物を買取らせて頂いております。 さらに環境事業での排出権取引やカーボン・オフセット事業、太陽電池関連事業を実施しております。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アドバンテック 愛媛本社
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セラミックス製ウエハー搬送ハンド PeriZac(ペリザック)
パーティクル発生リスクを極限に抑えた、大気用セラミックス製搬送ハンドの…
半導体製造装置におけるエンドエフェクター(搬送ロボットの手の部分)には、より軽く、強く、たわみの少ない材料を要望頂くことが多くあります。一度に多くのウエハを処理したいプロセスには、クリアランスの小さいスリットにウエハを積載する必要があり、より薄いセラミックス製のエンドエフェクターが使用されます。吸着機構を備えた搬送ハンド(エンドエフェクターのこと)には内部に流路を設ける必要がありますが、接着剤を使...
メーカー・取り扱い企業: アスザック株式会社 ファインセラミックス事業部
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【デモ機貸し出し可能!】Φ300まで対応可能なディップタイプの枚葉式洗…
本機はディップ型の枚葉処理機であり、ローダー部でワークを縦に起し、搬送ロボットで各処理を行います。 最終洗浄が終わったのち、反転機構によりワークを横に戻し、スピン乾燥を行う、カセットtoカセットの洗浄機です。 詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○ディップ型の枚葉処理機 ○ローダー部でワークを縦に起し、搬送ロボットで各処理を実行 ○最終洗浄終了後、反転機構によりワークを横に戻し、...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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わずかな水流むらも引き起こさない高精度な石英槽を提供し続けています。
株式会社SCREEN SPE クォーツは『石英加工』を承っております。 石英槽のほか、搬送ユニットのロボットチャックやウェハーガイドなど、 繊細なウエハーに直接触れる高精度・高品質な製品を供給。 また、薬液処理槽において薬液を加熱するインラインヒーターなど、 多彩な石英ガラス製品も開発・製造しています。 【特長】 ■ボートやチューブをはじめとするウエハー熱処理装置用部品の ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社SCREEN SPE クォーツ いわき工場
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【SHシリーズ基板加熱ヒーター】真空成膜用 Max1100℃
CVD, PVD(蒸着, スパッタ, PLD, ALD等)均熱性・再現…
ヒータープレートにインコネルもしくはBNプレートを採用した、熱放射効率が良く、均熱性に優れた成膜装置・真空薄膜実験用高真空対応ホットプレートです。 【ラインナップ】 ◎ SH-IN(インコネルプレート):φ1.0〜φ6.1inch 真空・O2・活性ガス用 ◎ SH-BN(BNプレート, Moカバー):φ2.1〜φ6.1inch 真空・不活性ガス用 【特徴】 ◎ 最高温度1100℃...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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ウエッジ製の高圧電源とオリジナル加工処理技術を組み合わす事により、加工…
【エレクトレットとは?】 ・永久に電気分極を保持する物質をエレクトレットと言います。 ・等装置は電気絶縁性の高い高分子素材を本装置に通過させるだけで簡単にエレクトレットかさせる事ができます。 【使用例】 ・高分子材料、シリコンウエハー、開発用新素材 、特殊フイルム、不織布等 【エレクトレット化された代表的な商品や基材が使用されている製品】 ・エレクトレットフィルター、エレクトレットコン...
メーカー・取り扱い企業: ウエッジ株式会社 営業本部及び本社工場
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切削加工・押出加工のリードフレーム用マガジン!
当社では、アルミ製『リードフレーム用マガジン』の設計・加工・製造を 行っております。 面取り加工(入口テーパー加工)、各種ストッパー加工、 各種表面処理まで全て承ります。 また、ステンレスによるマガジンの加工も当方で製作が可能です。 【製品例】 ■押出加工による一体式マガジン ■一部押出加工による組立式マガジン ■全面切削加工による組立式マガジン (一部押出材使用もあり...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ファーストメタル
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タッチパネル搭載多機能!大気、窒素、真空、ギ酸、水素などの各リフローに…
『RSS-3X210-S』は、ギ酸ガス・水素ガス還元両対応で、安全面への機能も 充実しているはんだリフロー装置です。 直径100mmまでのウエハーを一度に12枚処理できる他、プリンターヘッドや LED照明など、横長の対象物のリフローにも好適。 ホットプレート下部に、18本の高速赤外(IR)光ヒーターを搭載しており、 有効加熱エリアが広くても均一な温度を保ち、対象物の熱容量に左右さ...
メーカー・取り扱い企業: ユニテンプジャパン株式会社
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精密研削加工の工法開発と受託部品加工及び専用機の開発技術によって加工に…
有限会社フジ・グラインドは、研削及び切削加工に関する工法開発と これらを応用した工作機械の製造販売、部品加工の受託、工具開発・ 販売、それに関連するコンサルタント業務を行っている会社です。 技術開発に重点を置き、工程改善と原価低減に役立つ専用加工機の開発と、 難易度の高い部品加工を、安価に受託する事を、協力工場と共に目指します。 硬脆材部品加工は最大φ1500 まで、金属部品加工...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社フジ・グラインド 横須賀試作場
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【デモ機貸し出し可能!】上部にクリーンフィルターを設け、チャンバー内の…
SPD型は、2又は4キャリーヤーを同時乾燥するもので、上部にクリーンフィルターを設け、本体内を常にクリーンな風を通し、チャンバー内のクリーン化を計っています。 クレドールの交換により4~12インチ、ウエハーの乾燥が出来ます。 詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○蓋にULPA又はHEPAフィルターを内蔵 →クリーンエアーを導入することにより、チャンバー内のクリーン度が飛躍的に向上 ...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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高圧ガス業界におけるリーダーカンパニーの1社として、あらゆる先端産業分…
鈴木商館は1905年に創業者がドイツから簡易ラムネ製造機と炭酸ガスを輸入し、当時では非常に珍しいラムネの製造法を研究、ラムネの製造と機械の販路を開拓したことよって始まりました。 その後工業の発展と共に、いち早く産業用ガスの無限の可能性に着目し、国内唯一の専門商社として取り扱いを始め、常に時代を先取りし、日本の工業の発展と共に一歩一歩確実にビジネスを伸展してまいりました。 現在は、日本全...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社鈴木商館 技術本部 低温機器部
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コート液循環ディッブコーターMD-1501-S1(耐薬品性考慮)
耐薬品性を考慮した塗布装置。接液部にはPTFE材、PTFEコート、静電…
本装置は、耐薬品性を考慮した、複数のガラスや金属を複数枚同時にコートが行えるディップコーター(塗布装置)です。接液部には、PTFE材を使用し、PTFEコート、静電気対策を施工。循環機構部の交換が可能で、複数の循環機構部を用意する事で異なるコート液をディップコートすることが可能なディップコーティングシステムです。 ...【主仕様】 1.ストローク: 300mm 2.対象サイズ: W100×H...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社SDI
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静電塗布装置
『MM小型卓上PDR-04』は、実験室で手軽に静電塗布処理が可能な装置です。 静電塗布は、 「高粘度溶液(Max数万cp)の薄膜形成が可能」 「高効率塗布 溶液の使用効率90%以上」 「凹凸面への均一な成膜が可能」 「粒子径や粒子方向性の制御が可能」 などの特長があります。 小型卓上タイプ試験装置にて成膜処理実験が可能となります。 【特長】 ■スペースを取らない小型卓上タ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ラットコーポレーション 本社:営業部・業務部
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ブラシ洗浄、超音波洗浄、リンス洗浄、N2ブロー乾燥の処理を行う装置です…
省スペースで、両面洗浄可能なメカグリップ機構の枚葉式スピン洗浄装置です。 メンテナンスが容易で高速、スピン乾燥、N2乾燥、によりウオーターマークを軽減します。(特許第3558543)...【特徴】 省スペース、メンテナンス容易 高速、スピン乾燥、N2乾燥、によりウオーターマークを軽減 両面洗浄可能なメカグリップ機構(特許第3558543) 対応試料サイズ: Ф225以下 ウエ...
メーカー・取り扱い企業: マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
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コンパクトで高い剛性を実現 高精度位置決め、低速度リップルに対応
"THKの電動アクチュエータ リニアモータシリーズ KLM(コア付フラットタイプ)は、コンパクトで高剛性を実現し、スムーズな動きにより高精度位置決め、リニアモータによる高速・高加減速が可能です。タクトが厳しくコンパクトにしたいものの、推力が必要なウエハー検査装置の上部に採用されています。 なお関連リンク先では、より、詳細な製品説明をはじめ、製品カタログ、取扱説明書、2D CAD、選定資料、...
メーカー・取り扱い企業: THK株式会社
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最大成膜エリア400mmΦ・315mm□!スパッタリングによる各種薄膜…
当社では、各種金属材料、酸化膜材料等の受託成膜を行っており 特にプラスチック基板上への成膜を得意としております。 通常納期は1週間程度で、ご要望によりパターン成膜も可能。 まずは成膜したい材料、用いる基材をお知らせください。 お客様のご要望をもとに、前処理条件、成膜条件、膜厚等を決定いたします。 【可能な基材】 ■ガラス ■金属 ■セラミック ■Siウエハー ■各種...
メーカー・取り扱い企業: アステラテック株式会社
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【受託加工】ブラストによる「微粉末(ファインパウダー)加工」
レーザー加工後のドロス・スミア除去に強力な効果を発揮するブラスト処理を…
ブラストによる「微粉末(ファインパウダー)加工」とは、微細な粒子を 高速で飛ばすミクロン単位の緻密な加工のことです。 基板表面の粗化、彫込み、レーザー加工後のドロス・スミア除去に強力な 効果を発揮。 工業用途で使用されるブラスト用ドライフィルムは、液晶および 有機EL ディスプレイ、シリコンウエハーなどに応用されています。 【使用研削材】 ■アルミナ ■ガラスビーズ ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ニッチュー
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洗浄装置・UV/O3洗浄装置・ドライ洗浄装置・クリーナー(クリーニング装置)・ストリッパー(ストリッピング装置)
洗浄装置・UV/O3洗浄装置・ドライ洗浄装置・クリーナー(クリーニング…
● 大気圧作動であるため真空システムが不要 ● コンパクト設計 ● 操作が簡単、メンテナンスが容易 ● 低コスト...UV-1は、フォトレジストアッシング、シリコンウエハークリーニング、クロムマスククリーニングなど各種半導体プロセスの完全ドライ処理を高濃度オゾンと紫外線照射の相互作用で効率よく行うことを目的として開発された研究開発用の洗浄装置です。...
メーカー・取り扱い企業: サムコ株式会社
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キャリア&キャリア収納BOX洗浄装置
ウエハー処理用キャリア、搬送用キャリア、キャリア収納BOXの洗浄に対応。 キャリアサイズ、収納個数等、仕様に応じ製作致します。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ワイ・エムテクノロジー 京都本社
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立体構造デバイス用インライン式スプレーコーター
MEMS、SAWデバイス、バワーデバイス、カーエレクトロニクスセンサーなどの電子デバイスのために、インライン式スプレーコータを開発しました。試作から量産で培ったコーティング技術やノウハウを盛込んだ装置は、お客様のニーズに沿った最適なフォトレジストや保護膜、その他の機能膜処理を可能にします。 ※下記、弊社HomePage内のお問合せページから、ご連絡・お尋ね・ご相談いただけます。...【特長】...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エーシングテクノロジーズ 湘南藤沢研究所
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高田工業所社製量産用枚葉式ウェット処理装置『TWPシリーズ』
リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う量産用枚葉…
量産用『TWPシリーズ』は以下の特長を備えた装置になります。 ■特長 ・ 高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ・多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、 フレキシビリテイの向上とランニングコストの削減 ・枚葉化による品質・歩留り向上 (クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上 ) ・1チャンバー完結 完全枚葉処理 ・パドル処理、低速回...
メーカー・取り扱い企業: JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
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Max1000℃、MFC最大3系統、APC圧力制御、4"、又は6"基板…
高真空水冷式SUSチャンバー内に設置した加熱ステージにより最高1000℃までの高温処理が可能です。チャンバー内にはヒートシールドが設置されインターロックにて安全を確保。マスフローコントローラは最大3系統まで増設が可能、精密に調整されたプロセスガス圧力での焼成作業が可能です(APC自動プロセス制御システムオプション)。 又、フロントビューポート、ドライスクロールポンプ、特殊基板ホルダー、熱電対増設...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社