ウエハー処理 | イプロスものづくり

半導体製造プロセスとは？半導体製造装置で採用される表面処理を紹介します…

半導体製造プロセスとは、設計から半導体デバイスを作り出し出荷するための一連の工程のことです。半導体デバイスは、コンピュータ、スマートフォン、車載電子機器、LEDなど、現代の様々な電子機器に利用される不可欠な部品です。半導体製造プロセスは、高純度な精密性の高い技術を要するため、多くの場合自動化されたクリーンルームで行われます。 1．設計→フォトマスクの製作　論理回路設計・レイアウト設...

メーカー・取り扱い企業：株式会社吉田ＳＫＴ

プラズマ処理装置　WLP600S

6インチと8インチのウエハーに対応！平行平板方式のプラズマ処理装置

WLP600Sは、平行平板方式のプラズマ処理装置です。 6インチと8インチのウエハーに対応し、低価格・省スペースを実現しました。コントロール・パネル上の操作のみでDP（ダイレクトプラズマ）モードとRIE（リアクティブイオンエッチング）モードの2種類のプラズマ方式を切り替えられ、ポリイミド系樹脂のエッチングやフォトレジストの表面改質など多様な用途にご利用頂けます。【特徴】 ○容易なプ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エスクラフト

高田工業所社製試作用枚葉式ウェット処理装置『TWPmシリーズ』

リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う試作研究用…

試作研究用『TWPmシリーズ』は以下の特長を備えた装置になります。 ■特長・高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構・多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、フレキシビリテイの向上とランニングコストの削減・枚葉化による品質・歩留り向上（クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上）・高い剥離性をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社プロセスソリューション営業部実装プロセス営業室

ナノインコーター(離型剤塗布装置)　NIC-1103

8inchウエハー対応用ナノインコーター(離型剤塗布装置)

本装置は、最大8inchウエハーを離型剤塗布、リンス洗浄、定着乾燥という工程で処理することで、ワーク表面に離型剤を定着させる装置です。処理は1ワークずつ行います。 SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター型装置です。 ※詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。...【主仕様】 1.ストローク 250mm 2.対象サ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ＳＤＩ

アニール炉『ANNEALウエハーアニール装置』

Max1000℃、MFC最大3系統、APC圧力制御、4"、又は6"基板…

高真空水冷式SUSチャンバー内に設置した加熱ステージにより最高1000℃までの高温処理が可能です。チャンバー内にはヒートシールドが設置されインターロックにて安全を確保。マスフローコントローラは最大3系統まで増設が可能、精密に調整されたプロセスガス圧力での焼成作業が可能です（APC自動プロセス制御システムオプション）。又、フロントビューポート、ドライスクロールポンプ、特殊基板ホルダー、熱電対増設...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

洗浄装置　SA-1109

ウエハー洗浄装置。ハイスペックのクリーン度を要求されるお客様に最適

本装置は、ハイスペックのクリーン度を要求されるお客様に最適の装置です。Max8inchのウエハー5枚を同時に設定されたレシピパラメータに従い、自動で各工程を処理する為の自動化装置です。SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター型洗浄装置です。詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○ハイスペックのクリーン度を要求されるお客様に最適の装置 ○M...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ＳＤＩ

高性能高機能な洗浄機　ライン規模やレイアウトに応じた洗浄機を提供

完全オーダー品で細かなニーズに対応可能！自動超音波洗浄機や自動車部品精…

弊社は太陽電池、有機ELディスプレイ、自動車、産業機械、家電、食品、厨房機器、精密機器、油圧機器、通信機器、農業、土木、建設と、広範囲な分野をカバーし、いずれのマシンも、ユーザーの条件や目的に応じたオリジナル製品として開発しています。独自の機構による高い機能性、作業性、安全性を確保しながら、サブミクロン単位のダストを除去することで、高品質、高付加価値の製品づくりをサポートしています。 ...

メーカー・取り扱い企業：特機工業株式会社

300mmウエハー対応クリーンオーブン『SO2-12-F』

300mm(12インチ)ウェーハ対応の半導体製造向けクリーンオーブン

『SO2-12-F』は、FPD製造装置のベストセラー、枚葉式クリーンオーブンの技術を取り入れた半導体製造向けのクリーンオーブンです。 300mm(12インチ)FOUP対応で全自動での運用が可能。50枚/1チャンバーの処理が可能で、2チャンバーまでの増設ができます。ポリイミドキュアなどの低温処理で高スループット、短タクトタイムを実現します。【特長】 ■FOUP対応全自...

メーカー・取り扱い企業：光洋サーモシステム株式会社営業管理部

高田工業所社製ダイシングフレーム洗浄装置『TFCシリーズ』

ダイシングフレームに付着したテープ糊痕や指紋等を高い洗浄能力を持つ独自…

『TFCシリーズ』は、ウエハー切断（ダイシング）工程で使用されるダイシングフレームに付着した、テープ糊や手脂などをジェットを使用し除去します。ブラシ等の接触物がない為、糊等の2次付着による洗浄性の劣化がありません。 ■特長・高い洗浄性能をもつ独自のジェットノズルを採用した非接触方式洗浄機構 →ブラシ洗浄及びウエス等の布を使用しないので、目づまりによる洗浄力低下、及び再付着があり...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社プロセスソリューション営業部実装プロセス営業室

エレクトレット加工装置

ウエッジ製の高圧電源とオリジナル加工処理技術を組み合わす事により、加工…

【エレクトレットとは？】・永久に電気分極を保持する物質をエレクトレットと言います。・等装置は電気絶縁性の高い高分子素材を本装置に通過させるだけで簡単にエレクトレットかさせる事ができます。【使用例】・高分子材料、シリコンウエハー、開発用新素材、特殊フイルム、不織布等【エレクトレット化された代表的な商品や基材が使用されている製品】・エレクトレットフィルター、エレクトレットコン...

メーカー・取り扱い企業：ウエッジ株式会社営業本部及び本社工場

不動態化技術『P-max処理(Passivate max)』

従来の不動態化液に高耐食性金属化合物を添加することにより、より錆びにく…

不動態化技術である『P-max処理(Passivate max)』についてご紹介します。当技術は、前処理で電解研磨を行い、バフ研磨や機械加工によって生じた加工変質層を溶解除去するとともに、最表面のCrとFeの含有量比を 1.6：1以上のクロムリッチな層に改質します。また、その電解研磨で耐食性を向上させた後、特殊な不動態化液に浸漬させることによって、より安定そして緻密な酸化...

メーカー・取り扱い企業：マルイ鍍金工業株式会社千葉,柏工場

2流体ノズルナイフジェット KJIS型幅広製品のミスト洗浄に

スリットから均一に強力なミストを発生するノズル。噴射距離を短く設定でき…

通常のミスト洗浄ノズルは、単孔ノズルを複数個配置させ、噴射高さを50～100ｍｍに設定することで洗浄幅を確保しますが、ナイフジェットノズルはエアーと液体をノズル内部で混合させ、スリットから均一で強力なインパクトのミストを噴射します。そのため、噴射距離を従来より短く設定でき、洗浄効果が大幅に向上。空気や液体の消費量の削減、とくに大型機のユーティリティーの削減に効果を発揮します。【...

メーカー・取り扱い企業：株式会社共立合金製作所　/　総代理店　エバーロイ商事株式会社

無機系凝集剤「アクアリファイン」

対象排水の処理に最適な凝集剤をご提案致します

　処理実績のある標準品の販売、及び個々の排水に合わせた特殊配合品を製造致します。標準品処理実績 ◆AR-2000 　製紙会社排水、感光樹脂洗い出し排水、鉛含有排水、等 ◆CA-2008 　セメント排水、シリコンウエハー研磨排水、油エマルジョン排水、等 ◆TA-2011 　食品工場排水、窯業排水、高圧洗浄除染排水、等 ◆ライト　塗料排水、廃トナー洗浄排水、フロ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社タイショウ

コート液循環ディッブコーターMD-1501-S1(耐薬品性考慮)

耐薬品性を考慮した塗布装置。接液部にはPTFE材、PTFEコート、静電…

　本装置は、耐薬品性を考慮した、複数のガラスや金属を複数枚同時にコートが行えるディップコーター(塗布装置)です。接液部には、PTFE材を使用し、PTFEコート、静電気対策を施工。循環機構部の交換が可能で、複数の循環機構部を用意する事で異なるコート液をディップコートすることが可能なディップコーティングシステムです。 ...【主仕様】 1.ストローク: 300mm 2.対象サイズ: W100×H...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ＳＤＩ

洗浄力が向上！マイクロバブル発生装置　※動画公開中！

ナノバブルが4億8000万個/mL！ナノバブル発生効率が高いマイクロ…

マイクロバブル発生装置『ループ流式OKノズルの特徴』１）ナノバブル発生効率が高い！多段階的乱流方式　　-ナノバブルが4億8000万個/mLです。２）気体の自吸量が多い！３）流れ方向に取付く。圧力損失が小さい。４）既存設備の能力アップ、グレードアップ！５）シンプル性！　　超小型～大型まで製作可能　 ●実績：　60cc~ 500L　 1200/min マイクロ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社OKエンジニアリング

ME-1000 枚葉式スピン洗浄装置

ブラシ洗浄、超音波洗浄、リンス洗浄、N2ブロー乾燥の処理を行う装置です…

省スペースで、両面洗浄可能なメカグリップ機構の枚葉式スピン洗浄装置です。メンテナンスが容易で高速、スピン乾燥、Ｎ２乾燥、によりウオーターマークを軽減します。（特許第3558543)...【特徴】省スペース、メンテナンス容易高速、スピン乾燥、Ｎ２乾燥、によりウオーターマークを軽減両面洗浄可能なメカグリップ機構（特許第3558543) 対応試料サイズ: Ф225以下　ウエ...

メーカー・取り扱い企業：マック産業機器株式会社テクノロジーセンター

自転式スピンドライヤー(遠心乾燥機) 「SPD-180」

ワークをクリーンに水切り乾燥します｡

半導体産業向けウエハー乾燥装置として多くの実績を有する装置です｡遠心力とULPAフィルタを介したエアーの流れによりワークをクリーンに水切り乾燥します｡ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...【仕様】 ○駆動エアー 0.3Mpa (3Kg/cm2) ○最大処理量 8インチ×25枚キャリア 1キャリア ○ULPAフィルタ有 ○イオナイザ有 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コクサン

趙微細ファインバブル発生装置『UFB』

環境・農業・食品・水産業等様々な分野で活用可能！

『UFB』は、環境・農業・食品・水産業等様々な分野で活用可能なファインバブルを発生させる装置です。活性汚泥法排水処理での、ブロワーエネルギー削減、汚泥削減に効果があるUFB-A型と河川・運河・湖での浄化利用では、自然浄化能力が促進される UFB-B型をご用意しております。【ファインバブル】 ■ウルトラファインバブル ■マイクロバブル ※詳しくは、お気軽にお問...

メーカー・取り扱い企業： WEF技術開発株式会社

株式会社ベクトルジャパン業務案内

シリコン部品製造用シリコンディスク、プラズマ処理装置用フォーカスリング…

株式会社ベクトルジャパンの取扱製品についてご紹介いたします。コインロールシリコンウェハーの取扱サイズは、φ5″、φ6″、φ8″、 φ12″で、サイズの他に厚み、表面状態、型式、抵抗値、OF/ノッチをご指定いただけます。そのほか、経過品シリコンウェハーをはじめ、半導体製造装置用各種シリコン部品なども取り扱っております。【取扱製品（抜粋）】 ■コインロールシリコンウ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ベクトルジャパン

（めっき）友電舎の対応可能なメッキ種一覧

難素材や微細品へのメッキ加⼯にも幅広く対応します︕︕

⾦属素材への表⾯処理や樹脂等の⾮⾦属素材に⾦属⽪膜を付着させる加⼯を⼀般的に「めっき」と称しています。当社は、各種⾦属素材はじめ微細加⼯部材・部品を対象に機能メッキを施しています。また、従来ではメッキを施すのが難しいとされる難素材や、形状的に「引っかかりやすい」、「重なりやすい素材」と言った形状のものへも、当社の独⾃技術でメッキを施すことが可能となりました。メッキの種類や、素材などでご...

メーカー・取り扱い企業：株式会社友電舎本社、工場

【遠心分離機活用事例】シリコン加工排水からのスラッジ回収

【動画でご紹介】シリコン加工排水に含まれる微粒子（シリコンスラッジ）を…

当社のスラッジ回収事例をご紹介します。半導体、太陽電池業界でこのようなお困りはございませんか？（ウエハー用インゴット加工等）・シリコン加工機用クーラント液を長期利用したい… ・不良率を削減したい… ・回収スラッジの直接廃棄したい… ・シリコン加工機の寿命を延ばしたい… ・シリコン加工機用刃物（ホイール等）の寿命を延ばしたい… 当動画では、当社の『MG-50W型全自動遠心分離機』を活用...

メーカー・取り扱い企業：ジー・フォースジャパン株式会社

UVオゾンクリーナー　UV-1

UV/O3クリーナー・UVオゾンクリーナー

UV-1は、フォトレジストアッシング、シリコンウエハークリーニング、クロムマスククリーニングなど各種半導体プロセスの完全ドライ処理を高濃度オゾンと紫外線照射の相互作用で効率よく行うことを目的として開発された研究開発用の洗浄装置です。 ...【特徴】 ○大気圧作動であるため真空システムが不要 ○コンパクト設計 ○操作が簡単、メンテナンスが容易 ○低コスト ●その他機能や詳細につ...

メーカー・取り扱い企業：サムコ株式会社

洗浄装置・UV/O3洗浄装置・ドライ洗浄装置・クリーナー(クリーニング装置)・ストリッパー(ストリッピング装置)

洗浄装置・UV/O3洗浄装置・ドライ洗浄装置・クリーナー(クリーニング…

● 大気圧作動であるため真空システムが不要 ● コンパクト設計 ● 操作が簡単、メンテナンスが容易 ● 低コスト...UV-1は、フォトレジストアッシング、シリコンウエハークリーニング、クロムマスククリーニングなど各種半導体プロセスの完全ドライ処理を高濃度オゾンと紫外線照射の相互作用で効率よく行うことを目的として開発された研究開発用の洗浄装置です。...

メーカー・取り扱い企業：サムコ株式会社

高田工業所社製量産用枚葉式ウェット処理装置『TWPシリーズ』

リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う量産用枚葉…

量産用『TWPシリーズ』は以下の特長を備えた装置になります。 ■特長・高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構・多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、フレキシビリテイの向上とランニングコストの削減・枚葉化による品質・歩留り向上（クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上）・1チャンバー完結　完全枚葉処理・パドル処理、低速回...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社プロセスソリューション営業部実装プロセス営業室

ウエハー表面の洗浄に有効！　卓上型UVオゾン表面処理装置

本体(光源)や電源など！卓上型UVオゾン表面処理装置を多数ラインアップ

当社では、『卓上型UVオゾン表面処理装置』を取り扱っております。手動シャッターを備えた表面処理装置「SSP17-110」をはじめ、片開扉の表面処理装置「SSP16-110」などをラインアップ。その他にも、「PL16-110」と「PL17-110」の共用電源である「UE1101N-19」もご用意しています。【SSP17-110 特長】 ■手動シャッターを装備 ■試...

メーカー・取り扱い企業：セン特殊光源株式会社

ナノインコーター(離型剤塗布装置)　NIC-1106

4inchウエハー対応用ナノインコーター(離型剤塗布装置)

本装置は、最大4inchウエハー基板を離型剤塗布、リンス洗浄、定着乾燥という工程で処理することで、ワーク表面に離型剤を定着させる装置です。処理は1ワークずつ行います。 SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター型装置です。...【主仕様】 1.ストローク 140mm 2.対象サイズ 4inch 3.対象材質ウエハー 4.ディップ速度 0....

メーカー・取り扱い企業：株式会社ＳＤＩ

【農業から、排水処理、医療、工業分野まで】マイクロバブル発生装置

ナノバブルが4億8000万個/mL！ナノバブル発生効率が高いマイクロ…

マイクロバブルとはは非常に微細な泡のことです。家庭、水浄化、養殖、植物栽培、洗浄、排水処理、除菌、油水分離、シリコンウエハーでは研磨、洗浄及び薄板の剥離・分離などといった多岐にわたる分野で利用されており、強い洗浄力や生物の活性化、除菌効果などが期待されています。マイクロバブル発生装置『ループ流式OKノズルの特徴』１）ナノバブル発生効率が高い！多段階的乱流方式　　-ナノバブル...

メーカー・取り扱い企業：有限会社OKエンジニアリング

株式会社SCREEN SPE クォーツ　郡山工場　事業紹介

安全・機能的な生産体制で石英製品の製造・加工を担う

株式会社SCREEN SPE クォーツの保有する郡山工場は、半導体製造装置関連の分野における創業以来の生産拠点であり、半導体ウエハー洗浄用処理槽（石英槽）の開発・製造を鋭意的に展開しています。クリーン度がハイレベルに保たれた工場内では、材料調達から製品出荷までの各工程が一貫して機能し、安全かつ効率的な生産体制を構築しています。また、約1,700℃の高い軟化点を持つク...

メーカー・取り扱い企業：株式会社SCREEN SPE クォーツいわき工場

UVオゾンクリーナー　UV-300H

UV/O3クリーナー・UVオゾンクリーナー

UV-300Hは、フォトレジストアッシング、シリコンウエハークリーニング、クロムマスククリーニングなど各種半導体プロセスの完全ドライ処理を高濃度オゾンと紫外線照射の相互作用で効率よく行うことを目的として開発された洗浄装置です。本装置は従来のUV/O3処理に比べ、高速処理が可能です。 ...【特徴】 ○従来のUV/O3処理に比べ、高速処理（200～300nm/min）が可能 ○非貴金属系触媒...

メーカー・取り扱い企業：サムコ株式会社

UVオゾンクリーナー　UV-300

UV/O3クリーナー・UVオゾンクリーナー

UV-300は、フォトレジストアッシング、シリコンウエハークリーニング、クロムマスククリーニングなど各種半導体プロセスの完全ドライ処理を高濃度オゾンと紫外線照射の相互作用で効率よく行うことを目的として開発された洗浄装置です。 ...【特徴】 ○基板回転機構の採用により均一な処理が可能 ○基板径はφ370mmあり、大面積または多数枚の試料処理が可能 ○非貴金属系触媒のオゾン除去器を内蔵して...

メーカー・取り扱い企業：サムコ株式会社

対向式スピンドライヤー(遠心乾燥機) 「H-840SA」

クレードル起し機構により､自動でクレードルを起します｡

半導体産業向けウエハー乾燥装置として多くの実績を有する装置です｡遠心力とエアーの流れによりワークをクリーンに水切り乾燥します｡クレードル起し機構により､自動でクレードルを起します｡ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...【仕様】 ○駆動エアー 0.5Mpa (5Kg/cm2) ○最大処理量 6インチキャリア×2架　5インチ以下キャリア×2架又は4...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コクサン

メイホー　黒クロームめっき

工業用、装飾用に当社の表面処理をご用命ください。

漆黒調の美しい皮膜が得られます、塗装や他の黒色化に比べ耐摩耗性に優れています。光選択吸収性、熱吸収性が非常に良くレーザー関連部品､ソーラ関連部品、半導体ウエハー関連部品など多岐に使われています。...【特徴】 ○スピディー ○ローコスト ○きれいな外観 ●その他詳細についてはカタログをご覧頂くか、お問い合わせ下さい...

メーカー・取り扱い企業：メイホー株式会社

【めっきの解決事例】難素材へのめっき

金錫合金めっきや天体観察用機器への金めっきなど！難素材へのめっきに関す…

三ツ矢のめっき技術、管理体制による、難素材へのめっきに関するめっき・表面処理の課題解決事例をご紹介します。電子部品材料XX社の事例では、"銅スパッタリングで形成した回路の半田付け性を改善したい"とご相談いただき、めっき工程の開発により銅めっきを加工して、試作提出したところ要求性能をクリアーすることができました。この他、「耐熱性のための無光沢銀めっき」「石油採掘用ドリルへ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社三ツ矢