フィルム表面検査装置

SiC、サファイア、GaNウエハなどの化合物系ウエハ外観検査装置です。…

内部マイクロパイプや、脈離、表面傷、異物、研磨痕などの検査に有効です。検査に、スーパーマクロ、微分干渉、暗視野、透過の４つの光学系を持ち、全ての光学系にオートフォーカスを持ち、自動ステージにより同じ座標系での検査が可能です。オプションで、同じ座標系に、ＡＦＭやウエハ厚さ測定を載せる事も可能です。 【装置アプリケーション】 ■ウエハー内部のマイクロパイプ ■ウエハー内部の脈離 ■表面傷検査、...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

スクラッチ装置

高精度・精密計測！任意のしきい値設定から欠陥に対してOK/NG判別を全…

『スクラッチ装置』は、ウエハーを複数枚乗せる事が可能で、極微少な スクラッチ（傷）、異物、カケの外観検査を全自動で行います。 ワークまでの距離を自動で測るレーザー変位計を装備しておりウエハーの 厚みに依存しません。 画像記録のほか任意のしきい値設定から欠陥に対してOK/NG判別を、 全自動で行います。アプリケーションとして、透明体、半透明のSiCやGaN、 GaAs、サファイア...

メーカー・取り扱い企業： ソフトワークス株式会社

マクロ光学検査装置

世の中で最も高感度な光センサーに薄膜ムラ検出アルゴリズムを搭載したマク…

世の中で最も高感度な光センサーに薄膜ムラ検出アルゴリズムを搭載 マクロ光学検査とは、対象物に光を照射し、その反射光情報から欠陥を検出や形状を把握する技術です。 従来の目視検査や顕微鏡を使ったミクロ検査と比べ、短時間で高精度な検査結果が得られ、液晶パネルなどの成膜工程での製造品質、検査精度を飛躍的に向上させ、業界最高レベルの高感度を実現します。 協業パートナー：スミックス株式会社 マク...

メーカー・取り扱い企業： 東京エレクトロン デバイス 株式会社