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8inchウエハー対応用ナノインコーター(離型剤塗布装置)
本装置は、最大8inchウエハーを離型剤塗布、リンス洗浄、定着乾燥という工程で処理することで、ワーク表面に離型剤を定着させる装置です。 処理は1ワークずつ行います。 SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター型装置です。 ※詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。...【主仕様】 1.ストローク 250mm 2.対象サ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社SDI
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シリコン部品製造用シリコンディスク、プラズマ処理装置用フォーカスリング…
株式会社ベクトルジャパンの取扱製品についてご紹介いたします。 コインロールシリコンウェハーの取扱サイズは、φ5″、φ6″、φ8″、 φ12″で、サイズの他に厚み、表面状態、型式、抵抗値、OF/ノッチを ご指定いただけます。 そのほか、経過品シリコンウェハーをはじめ、半導体製造装置用 各種シリコン部品なども取り扱っております。 【取扱製品(抜粋)】 ■コインロールシリコンウ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ベクトルジャパン
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