MEMS全自動欠陥検査装置『IR-MEMS100』

コントラストの低い画像を見やすくする処理を使用して見つけにくい欠陥部を…

『IR-MEMS100』は、ロボットにより自動的に貼り合わせウエハーを 搬送してウエハーの内部状態を特殊赤外線光学系で画像を撮影し、欠陥検出 アルゴリズムを使用して各種欠陥を検出するMEMS全自動欠陥検査装置です。 赤外線顕微鏡にセットした高感度赤外線カメラで画像を撮影し独自の 欠陥検出ソフトウエアにて見えにくい欠陥部を検出します。 【特長】 ■赤外線顕微鏡にセットした高感度赤...

メーカー・取り扱い企業： ディスク・テック株式会社 本社

枚葉式プラズマ処理装置　WLP-611S、WLP-600S

価格は低廉であり、搭載されたシーケンサにより各エッチング条件の管理を行…

ＷＬＰは多様化したアプリケーションに対応する為、ＲＦパワーを下部電極に印加（ＲＩＥ方式）又は、上部電極に印加（ＤＰ方式）を実現しております。 ６～８インチのＳｉ、Ｐｏｌｙ-Ｓｉなどのエッチングやポリミド系樹脂のエッチング及びフォトレジストのアッシングなど多種多様なプロセスに御利用頂けます。 ...【仕様】 ○処理方式 平行平板プラズマ励起方式（ＤＰ／ＲＩＥ切替可） ○処理室 ＡＬ製（シング...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エスクラフト

リフロー装置

ウエハーBUMPリフローや真空リフロー装置、卓上リフロー装置などをご紹…

大日商事株式会社が取扱う『リフロー装置』についてご紹介します。 「N2コンパクトサイズリフロー」は、全長2.5mで6ゾーンのコンパクトサイズを 実現した製品で、BGA/CSP等パッケージに対応しています。 「φ6-8インチウエハーBUMPリフロー」は、半田めっき処理後のバンプ形成用 ウエットバック装置として利用でき、「φ8-12インチウエハーBUMPリフロー」は、 ボール搭載後、...

メーカー・取り扱い企業： 大日商事株式会社

検査装置

小型硝子基板外観検査装置や電子部品6面外観検査装置をご紹介

大日商事株式会社が、取扱う『検査装置』についてご紹介します。 「ウエハー・チップ外観検査装置」は、高速スループットにて省力化実現し マイクロクラックや異物検査、パターン欠陥などの検査が可能です。 「小型硝子基板外観検査装置」は、スマートフォンなど小型硝子基板の微細な 傷・汚れなどの外観不良を検出できます。 また、チップ部品を高速6面検査ができ、1分間に約1500個の処理が可能...

メーカー・取り扱い企業： 大日商事株式会社

バッチ式プラズマ処理装置　WPA-600S

価格は低廉でありながら搭載しているシーケンサ。各アッシング条件の管理を…

小型の電力整合方式マッチャーを採用しており、プラズマ整合の高速化を実現しております。整合時間の短縮化により、プラズマ着火時における素子へのチャージアップダメージの低減を実現しております。また本体以外はＰＵＭＰのみの省スペース化を実現しております。...【仕様】 ○処理方式 同軸バレル型 ○処理室 円筒・縦型・石英チャンバー ○ＲＦ電源 600～2000Ｗ　13.56ＭＨｚ　オートチューニ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エスクラフト

フィルム表面検査装置

SiC、サファイア、GaNウエハなどの化合物系ウエハ外観検査装置です。…

内部マイクロパイプや、脈離、表面傷、異物、研磨痕などの検査に有効です。検査に、スーパーマクロ、微分干渉、暗視野、透過の４つの光学系を持ち、全ての光学系にオートフォーカスを持ち、自動ステージにより同じ座標系での検査が可能です。オプションで、同じ座標系に、ＡＦＭやウエハ厚さ測定を載せる事も可能です。 【装置アプリケーション】 ■ウエハー内部のマイクロパイプ ■ウエハー内部の脈離 ■表面傷検査、...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

スクラッチ装置

高精度・精密計測！任意のしきい値設定から欠陥に対してOK/NG判別を全…

『スクラッチ装置』は、ウエハーを複数枚乗せる事が可能で、極微少な スクラッチ（傷）、異物、カケの外観検査を全自動で行います。 ワークまでの距離を自動で測るレーザー変位計を装備しておりウエハーの 厚みに依存しません。 画像記録のほか任意のしきい値設定から欠陥に対してOK/NG判別を、 全自動で行います。アプリケーションとして、透明体、半透明のSiCやGaN、 GaAs、サファイア...

メーカー・取り扱い企業： ソフトワークス株式会社

【労働災害事例】使用した薬液の廃液処理を誤り塩化水素が発生

半導体素子製造工場で使用した薬液の廃液の処理を誤り、塩化水素が発生し作…

製造工程の膜付前洗浄作業では硫酸・過酸化水素・純水の混合液Mを、 マーキング作業ではリン酸・塩酸の混合液Nを使用していました。 M液とN液は別々に処理していましたが、誤ってM液回収用のポリタンクに N液を投入したため、塩化水素ガスが発生。 ポリタンクから吹き出した白煙の塩化水素ガスがクリーンルーム内に 広がり、室内にいた3 名の作業者が目の痛みを訴え治療を受けました。 【提...

メーカー・取り扱い企業： 理研計器株式会社 本社

マクロ光学検査装置

世の中で最も高感度な光センサーに薄膜ムラ検出アルゴリズムを搭載したマク…

世の中で最も高感度な光センサーに薄膜ムラ検出アルゴリズムを搭載 マクロ光学検査とは、対象物に光を照射し、その反射光情報から欠陥を検出や形状を把握する技術です。 従来の目視検査や顕微鏡を使ったミクロ検査と比べ、短時間で高精度な検査結果が得られ、液晶パネルなどの成膜工程での製造品質、検査精度を飛躍的に向上させ、業界最高レベルの高感度を実現します。 協業パートナー：スミックス株式会社 マク...

メーカー・取り扱い企業： 東京エレクトロン デバイス 株式会社

ピッカーハンドラー『KIG-3000』

豊富な検査項目！独自の縦型ロータリーヘッド方式で高速かつ安定性を実現し…

『KIG-3000』は、最大処理能力0.35S/個の高速対応が可能な ピッカーハンドラーです。 ダイシング済みのウエハーからデバイスをピックアップして(反転マーク) 反転後、トレイ収納やテーピングが可能。 独自の縦型ロータリーヘッド方式により、高速かつ安定性を実現しました。 【特長】 ■高速対応可能　最大処理能力0.35S/個 ■独自の縦型ロータリーヘッド方式で高速かつ安...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社AXIS TECHNOLOGY