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34件 - メーカー・取り扱い企業
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ユニークなウエハー移載機搭載のバッチ処理装置から枚葉処理装置まで、世界…
2.45GHzのマイクロ波で励起された高密度のプラズマと、イオンの運動エネルギーを抑制することで、ダメージレスのプロセス結果を得ることができます。 ウエハープロセスにおけるアッシング、レジスト剥離、MEMSなどのSU-8レジストアッシング、デスカム処理、基板の表面クリーニングや表面活性化など、幅広いアプリケーションに対応できるよう設計されております。...PVA Metrology & Pla...
メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社
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フルオートマティックスピン洗浄装置 300mm/8インチウエハー、ガラ…
本装置は、ウエハーカセットを本体に手動でセットし、収納されている対象ワークをロボットでスピン洗浄部に送り、スピン回転させながら二流体洗浄・超音波洗浄・N2ブロー乾燥の処理を行い、再びウエハーカセットに収納する装置です。...装置寸法 Size： W1３00×D１８00×H2000 （300mm）/ W1100×D1400×H2000 （８インチ） 工程 Process： カセットを手動で設置→扉...
メーカー・取り扱い企業： マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
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切削・押出し加工のウエハーリングカセット！
当社では、アルミ製『ウエハーリングカセット』の設計・加工・製造を 行っております。 12インチ、8インチ、6インチ。各サイズでの製品がございます。 面取り加工（入口テーパー加工）、各種ストッパー加工、各種表面処理まで全て承ります。材質や処理、加工でお困りの事があればご連絡下さい。 また、ウエハーリングフレームの製作も行っております。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ファーストメタル
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【デモ機貸し出し可能！】一連の洗浄・エッチング処理を行い、純水処理・乾…
スプレー式ウエハーエッチング装置は、一連の洗浄・エッチング処理を行い、その後、純水処理・乾燥までを処理する装置です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○一連の洗浄・エッチング処理実行 ○その後、純水処理・乾燥までを処理 ○製造からアフターフォロー、カスタマイズもお任せ下さい ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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高田工業所社製試作用枚葉式ウェット処理装置『TWPmシリーズ』
リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う試作研究用…
試作研究用『TWPmシリーズ』は以下の特長を備えた装置になります。 ■特長 ・ 高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ・多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、 フレキシビリテイの向上とランニングコストの削減 ・枚葉化による品質・歩留り向上 （クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上 ） ・高い剥離性をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ...
メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
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【デモ機貸し出し可能！】シリコン又は化合物半導体ウエハーの少量処理用。…
SFシリーズは、シリコン又は化合物半導体ウエハーの少量処理用として、コンパクトな卓上型の乾燥用に広く使用されています。 操作は極めて簡単で、ウエハーを回転盤上にセット後、上蓋を降ろし、スタートボタンを押すだけで、安全なスピンドライ仕上げを行います。 詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○シリコン又は化合物半導体ウエハーの少量処理用 ○コンパクトな卓上型の乾燥用 ○操作は極めて簡単...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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Max1000℃、MFC最大3系統、APC圧力制御、4"、又は6"基板…
高真空水冷式SUSチャンバー内に設置した加熱ステージにより最高1000℃までの高温処理が可能です。チャンバー内にはヒートシールドが設置されインターロックにて安全を確保。マスフローコントローラは最大3系統まで増設が可能、精密に調整されたプロセスガス圧力での焼成作業が可能です（APC自動プロセス制御システムオプション）。 又、フロントビューポート、ドライスクロールポンプ、特殊基板ホルダー、熱電対増設...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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ウェットエッチングによる、コストダウンに配慮した仕様をご提案します。
ウェットエッチングならではの低コスト、高生産性を実現します。 ご要望に応じて様々な搬送位置や方式に対応し、追加機構の付加、カスタマイズも可能です。 【特長】 ■全自動酸・アルカリエッチング（洗浄）装置 ■手動酸・アルカリエッチング（洗浄）装置 ■RCA洗浄装置 ■前面搬送機タイプ・背面上部搬送機タイプの他に、お客様のニーズに合わせ上部搬送機タイプ・背面搬送機タイプにも対応できます。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン
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【デモ機貸し出し可能！】ウエハーは専用のバレルに装填され処理されます
本機はハイスピードでウエハーのエッチング処理を行う装置です。 ウエハーは専用のバレルに装填され処理されます。 詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○ハイスピードでウエハーのエッチング処理実行 ○ウエハーは専用のバレルに装填され処理 ○製造からアフターフォロー、カスタマイズもお任せ下さい ●詳しくはお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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枚葉式・バッチ式のラインナップから、各工程及び仕様を選択し装置をカスタ…
ダルトンのリフトオフ装置は６種のラインナップと６種類のオプションを有し、用途やウエハーの性質に合わせて使用をご選定頂けます。 【ラインナップ】 ・HU型（量産向け）…バッチ、枚葉の併用仕様。より早く、確実な仕上がり ・HM型（研究開発・量産向け）…Jet処理のみで剥離が可能なウエハーに好適。 ・CHU型（研究開発向け）…HU型の特長を受け継ぎながら、コンパクト化を実現 ・MJ型（研究...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン
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【デモ機貸し出し可能！】各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作致し…
カセットレス自動洗浄装置は、ワーク投入から乾燥までを一貫して行う精密洗浄処理装置です。 機器はカセットレス、ボート搬送方式を選択でき、各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作致します。 詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○ワーク投入から乾燥までを一貫して行う精密洗浄処理装置 ○機器はカセットレス、ボート搬送方式を選択可能 ○各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作致します ...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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【デモ機貸し出し可能！】処理槽からリンス槽へ円弧搬送しウエハーを処理す…
本機は手動でカセットの入ったバスケットをハンガーに取付、処理槽からリンス槽へ円弧搬送しウエハーを処理する半自動装置になります。 詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○手動でカセットの入ったバスケットをハンガーに取付 ○処理槽からリンス槽へ円弧搬送しウエハーを処理する半自動装置 ○製造からアフターフォロー、カスタマイズもお任せ下さい ●詳しくはお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、スピン乾燥を行います！
SD-8004型は、4"～8"ウエハーのスピン式スプレー現像装置です。自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、スピン乾燥を行います。条件設定は操作パネル上のタッチパネルで行います。各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示されます。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○4"～8"ウエハーのスピン式スプレー現像装置 ○自動および手動運転により、現像...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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ウエハー マスク 枚葉スピン洗浄装置
オプションでオゾン水（20ppm）やエキシマUV、大気圧プラズマとの組み合わせも可能です。 その他、ULPA/HEPAユニット、薬液供給ユニットとの組み合わせなど汎用性に優れております。...Ｒ＆Ｄ用途に最適な コンパクトなスピン洗浄装置です。 チャックテーブルの交換により 多種多様な基板を洗浄できます。 ＜主な仕様＞ 対応ワークサイズ ウエハ φ8インチ（MAX） マスク 6...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナメックス 厚木工場
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ダイシングフレームに付着したテープ糊痕や指紋等を高い洗浄能力を持つ独自…
『TFCシリーズ』は、ウエハー切断（ダイシング）工程で使用される ダイシングフレームに付着した、テープ糊や手脂などをジェットを使用し除去します。 ブラシ等の接触物がない為、糊等の2次付着による洗浄性の劣化がありません。 ■特長 ・高い洗浄性能をもつ独自のジェットノズルを採用した非接触方式洗浄機構 →ブラシ洗浄及びウエス等の布を使用しないので、目づまりによる洗浄力低下、及び再付着があり...
メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
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200mm/300mmウェーハ、ガラス、250mmのサブストレートPK…
【フラックスレス蟻酸リフロー】 ■処理時間：60~100枚/時 ■プロセス温度：100~260℃ (最大450℃) ■温度分布：±3℃以下 (9-point 測定) ■省スペースフットプリント: 4.95m2 / L x W x H =1.8 x 2.75 x 2.55 m 4層シングルウエハーチャンバー設計により、高精度なプロセス制御を実現 ...***技術的優位性*** ...
メーカー・取り扱い企業： Yield Engineering Systems, Inc.
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簡単な接続・取付の小型ウエハーIDリーダー。RGB特別照明対応、簡単読…
HTT社製（ドイツ）WID120ウェーハ IDカメラは半導体工場の環境下のいかなるプロセスでも最高のスループットでIDナンバーを読み取ることが可能です。最強のRGB照明システムにより汚れた文字や読みにくい文字も対応できます。ウェーハソーター、ウェーハプローバー、光学検査装置、クラスタ装置または他の処理装置等に利用可能です。 詳しくはお問い合わせください。...【特徴】 ○ウエハー用OCR装置 ...
メーカー・取り扱い企業： ディスク・テック株式会社 本社
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確かな技術力と強固なグローバルネットワークを武器に世界へと挑みます。
株式会社アドバンテックは、国内５拠点、海外８拠点で事業を実施し、半導体及び液晶業界のお客様からご愛顧をいただいております。 半導体装置等で使用されるテスト用ウエアー販売事業や、使用済みのウエハー等を再資源化するリサイクル事業に取り組み、企業様からシリコン材料等の有価廃棄物を買取らせて頂いております。 さらに環境事業での排出権取引やカーボン・オフセット事業、太陽電池関連事業を実施しております。 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アドバンテック 愛媛本社
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セラミックス製ウエハー搬送ハンド PeriZac（ペリザック）
パーティクル発生リスクを極限に抑えた、大気用セラミックス製搬送ハンドの…
半導体製造装置におけるエンドエフェクター（搬送ロボットの手の部分）には、より軽く、強く、たわみの少ない材料を要望頂くことが多くあります。一度に多くのウエハを処理したいプロセスには、クリアランスの小さいスリットにウエハを積載する必要があり、より薄いセラミックス製のエンドエフェクターが使用されます。吸着機構を備えた搬送ハンド（エンドエフェクターのこと）には内部に流路を設ける必要がありますが、接着剤を使...
メーカー・取り扱い企業： アスザック株式会社 ファインセラミックス事業部
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【デモ機貸し出し可能！】Φ300まで対応可能なディップタイプの枚葉式洗…
本機はディップ型の枚葉処理機であり、ローダー部でワークを縦に起し、搬送ロボットで各処理を行います。 最終洗浄が終わったのち、反転機構によりワークを横に戻し、スピン乾燥を行う、カセットtoカセットの洗浄機です。 詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○ディップ型の枚葉処理機 ○ローダー部でワークを縦に起し、搬送ロボットで各処理を実行 ○最終洗浄終了後、反転機構によりワークを横に戻し、...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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【SHシリーズ基板加熱ヒーター】真空成膜用 Max1100℃
CVD, PVD（蒸着, スパッタ, PLD, ALD等）均熱性・再現…
ヒータープレートにインコネルもしくはBNプレートを採用した、熱放射効率が良く、均熱性に優れた成膜装置・真空薄膜実験用高真空対応ホットプレートです。 【ラインナップ】 ◎ SH-IN（インコネルプレート）：φ1.0〜φ6.1inch 真空・O2・活性ガス用 ◎ SH-BN（BNプレート, Moカバー）：φ2.1〜φ6.1inch 真空・不活性ガス用 【特徴】 ◎ 最高温度1100℃...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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【デモ機貸し出し可能！】上部にクリーンフィルターを設け、チャンバー内の…
SPD型は、2又は4キャリーヤーを同時乾燥するもので、上部にクリーンフィルターを設け、本体内を常にクリーンな風を通し、チャンバー内のクリーン化を計っています。 クレドールの交換により4～12インチ、ウエハーの乾燥が出来ます。 詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○蓋にULPA又はHEPAフィルターを内蔵 →クリーンエアーを導入することにより、チャンバー内のクリーン度が飛躍的に向上 ...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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ブラシ洗浄、超音波洗浄、リンス洗浄、N2ブロー乾燥の処理を行う装置です…
省スペースで、両面洗浄可能なメカグリップ機構の枚葉式スピン洗浄装置です。 メンテナンスが容易で高速、スピン乾燥、Ｎ２乾燥、によりウオーターマークを軽減します。（特許第3558543)...【特徴】 省スペース、メンテナンス容易 高速、スピン乾燥、Ｎ２乾燥、によりウオーターマークを軽減 両面洗浄可能なメカグリップ機構（特許第3558543) 対応試料サイズ: Ф225以下 ウエ...
メーカー・取り扱い企業： マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
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コンパクトで高い剛性を実現 高精度位置決め、低速度リップルに対応
"THKの電動アクチュエータ リニアモータシリーズ KLM（コア付フラットタイプ）は、コンパクトで高剛性を実現し、スムーズな動きにより高精度位置決め、リニアモータによる高速・高加減速が可能です。タクトが厳しくコンパクトにしたいものの、推力が必要なウエハー検査装置の上部に採用されています。 なお関連リンク先では、より、詳細な製品説明をはじめ、製品カタログ、取扱説明書、２D CAD、選定資料、...
メーカー・取り扱い企業： ＴＨＫ株式会社
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洗浄装置・UV/O3洗浄装置・ドライ洗浄装置・クリーナー(クリーニング装置)・ストリッパー(ストリッピング装置)
洗浄装置・UV/O3洗浄装置・ドライ洗浄装置・クリーナー(クリーニング…
● 大気圧作動であるため真空システムが不要 ● コンパクト設計 ● 操作が簡単、メンテナンスが容易 ● 低コスト...UV-1は、フォトレジストアッシング、シリコンウエハークリーニング、クロムマスククリーニングなど各種半導体プロセスの完全ドライ処理を高濃度オゾンと紫外線照射の相互作用で効率よく行うことを目的として開発された研究開発用の洗浄装置です。...
メーカー・取り扱い企業： サムコ株式会社
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キャリア＆キャリア収納BOX洗浄装置
ウエハー処理用キャリア、搬送用キャリア、キャリア収納BOXの洗浄に対応。 キャリアサイズ、収納個数等、仕様に応じ製作致します。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ワイ・エムテクノロジー 京都本社
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立体構造デバイス用インライン式スプレーコーター
MEMS、SAWデバイス、バワーデバイス、カーエレクトロニクスセンサーなどの電子デバイスのために、インライン式スプレーコータを開発しました。試作から量産で培ったコーティング技術やノウハウを盛込んだ装置は、お客様のニーズに沿った最適なフォトレジストや保護膜、その他の機能膜処理を可能にします。 ※下記、弊社HomePage内のお問合せページから、ご連絡・お尋ね・ご相談いただけます。...【特長】...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エーシングテクノロジーズ 湘南藤沢研究所
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高田工業所社製量産用枚葉式ウェット処理装置『TWPシリーズ』
リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う量産用枚葉…
量産用『TWPシリーズ』は以下の特長を備えた装置になります。 ■特長 ・ 高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ・多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、 フレキシビリテイの向上とランニングコストの削減 ・枚葉化による品質・歩留り向上 （クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上 ） ・1チャンバー完結 完全枚葉処理 ・パドル処理、低速回...
メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
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Max1000℃、MFC最大3系統、APC圧力制御、4"、又は6"基板…
高真空水冷式SUSチャンバー内に設置した加熱ステージにより最高1000℃までの高温処理が可能です。チャンバー内にはヒートシールドが設置されインターロックにて安全を確保。マスフローコントローラは最大3系統まで増設が可能、精密に調整されたプロセスガス圧力での焼成作業が可能です（APC自動プロセス制御システムオプション）。 又、フロントビューポート、ドライスクロールポンプ、特殊基板ホルダー、熱電対増設...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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4inchウエハー対応用ナノインコーター(離型剤塗布装置)
本装置は、最大4inchウエハー基板を離型剤塗布、リンス洗浄、定着乾燥という工程で処理することで、ワーク表面に離型剤を定着させる装置です。 処理は1ワークずつ行います。 SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター型装置です。...【主仕様】 1.ストローク 140mm 2.対象サイズ 4inch 3.対象材質 ウエハー 4.ディップ速度 0....
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＤＩ
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【デモ機貸し出し可能！】カセットで前処理を行った後、専用バレルで自動エ…
本機はウエハーの洗浄、エッチング処理を行う装置です。 カセットで前処理を行った後、専用バレルで自動エッチングを行います。 詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○ウエハーの洗浄、エッチング処理を実行 ○カセットで前処理を行った後、専用バレルで自動エッチング ○製造からアフターフォロー、カスタマイズもお任せ下さい ●詳しくはお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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生産規模に応じて複数チャンバーに対応。ウエハーの均一なエッチングを実現…
自動酸・アルカリ洗浄装置。 対応ワークサイズ φ2～12インチ。角型基板などの特殊サイズもご相談ください。 2流体混合ノズルにより直接2種類の原液を使用した洗浄処理を実現。混合比率を調整することにより反応熱で狙いの温度に昇温することが可能。 【その他特長】 ■ブラシ洗浄機能付き装置の製作が可能。 ■フォトマスク洗浄装置の製作が可能。 ■薬液供給、回収ユニットの装置本体組込みが可能。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン
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【デモ機貸し出し可能！】高品質を実現した1キャリア（25枚又は13枚）…
SRD型は、従来のすぐれた乾燥性、操作性に加えて高品質を実現した1キャリア（25枚又は13枚）処理タイプの乾燥装置です。 蓋にULPA又は、HEPAフィルターを内蔵し、クリーンエアーを導入することにより、チャンバー内のクリーン度を飛躍的に向上させます。 クレドールの交換により2～3種類の、ウエハーの乾燥が出来ます。 詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○蓋にULPA又はHEPAフィ...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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簡単な接続・取付の小型ウエハーIDリーダー。RGB特別照明対応
HTT社製（ドイツ）WID1１0ウェーハ IDカメラは半導体工場の環境下のいかなるプロセスでも最高のスループットでIDナンバーを読み取ることが可能です。最強のRGB照明システムにより汚れた文字や読みにくい文字も対応できます。ウェーハソーター、ウェーハプローバー、光学検査装置、クラスタ装置または他の処理装置等に利用可能です。 詳しくはお問い合わせください。（WID120）新型販売中...【特徴】 ...
メーカー・取り扱い企業： ディスク・テック株式会社 本社
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