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自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、スピン乾燥を行います!
SD-8004型は、4"~8"ウエハーのスピン式スプレー現像装置です。自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、スピン乾燥を行います。条件設定は操作パネル上のタッチパネルで行います。各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示されます。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○4"~8"ウエハーのスピン式スプレー現像装置 ○自動および手動運転により、現像...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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立体構造デバイス用インライン式スプレーコーター
MEMS、SAWデバイス、バワーデバイス、カーエレクトロニクスセンサーなどの電子デバイスのために、インライン式スプレーコータを開発しました。試作から量産で培ったコーティング技術やノウハウを盛込んだ装置は、お客様のニーズに沿った最適なフォトレジストや保護膜、その他の機能膜処理を可能にします。 ※下記、弊社HomePage内のお問合せページから、ご連絡・お尋ね・ご相談いただけます。...【特長】...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エーシングテクノロジーズ 湘南藤沢研究所
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4inchウエハー対応用ナノインコーター(離型剤塗布装置)
本装置は、最大4inchウエハー基板を離型剤塗布、リンス洗浄、定着乾燥という工程で処理することで、ワーク表面に離型剤を定着させる装置です。 処理は1ワークずつ行います。 SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター型装置です。...【主仕様】 1.ストローク 140mm 2.対象サイズ 4inch 3.対象材質 ウエハー 4.ディップ速度 0....
メーカー・取り扱い企業: 株式会社SDI
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