アニール炉『ANNEALウエハーアニール装置』

Max1000℃、MFC最大3系統、APC圧力制御、4"、又は6"基板…

高真空水冷式SUSチャンバー内に設置した加熱ステージにより最高1000℃までの高温処理が可能です。チャンバー内にはヒートシールドが設置されインターロックにて安全を確保。マスフローコントローラは最大3系統まで増設が可能、精密に調整されたプロセスガス圧力での焼成作業が可能です（APC自動プロセス制御システムオプション）。 又、フロントビューポート、ドライスクロールポンプ、特殊基板ホルダー、熱電対増設...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

300mmウエハー対応クリーンオーブン『SO2-12-F』

300mm(12インチ)ウェーハ対応の半導体製造向けクリーンオーブン

『SO2-12-F』は、FPD製造装置のベストセラー、枚葉式クリーンオーブンの 技術を取り入れた半導体製造向けのクリーンオーブンです。 300mm(12インチ)FOUP対応で全自動での運用が可能。50枚/1チャンバーの 処理が可能で、2チャンバーまでの増設ができます。 ポリイミドキュアなどの低温処理で高スループット、短タクトタイムを実現します。 【特長】 ■FOUP対応全自...

メーカー・取り扱い企業： 光洋サーモシステム株式会社 営業管理部

エレクトレット加工装置

ウエッジ製の高圧電源とオリジナル加工処理技術を組み合わす事により、加工…

【エレクトレットとは？】 ・永久に電気分極を保持する物質をエレクトレットと言います。 ・等装置は電気絶縁性の高い高分子素材を本装置に通過させるだけで簡単にエレクトレットかさせる事ができます。 【使用例】 ・高分子材料、シリコンウエハー、開発用新素材 、特殊フイルム、不織布等 【エレクトレット化された代表的な商品や基材が使用されている製品】 ・エレクトレットフィルター、エレクトレットコン...

メーカー・取り扱い企業： ウエッジ株式会社 営業本部及び本社工場