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41件 - メーカー・取り扱い企業
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ギ酸還元対応 卓上型真空リフロー装置『VSS-450-300』
PR課題解決事例を進呈中!ギ酸還元でボイドレス・フラックス残渣ゼロの高信頼…
『VSS-450-300』は、はんだリフローや酸化還元処理の他、ペーストの 焼結など、様々なアプリケーションにも柔軟に対応した 卓上型真空はんだリフロー装置です。 有効加熱エリアは300×300×50mmですので、高さのある部品実装にも 余裕で対応することができます。 【特長】 ■フラックスレスはんだ(還元方式)・フラックス入りはんだ両対応 ■卓上型サイズながら、最大到達温度...
メーカー・取り扱い企業: ユニテンプジャパン株式会社
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PR新しいTAKAMAZの提案力にご期待ください!
2024年5月16日(木)~18日(土)に開催される"MEX金沢2024"への出展予定製品を ご紹介します。 MEX金沢2024にて初お披露目となる 新製品8インチ・シャフト加工CNC精密旋盤「XTL-8」と「XTL-8MY(コンセプトマシン)」 「XTL-8」はシャフトワークに特化したストロークと剛性を保持したマシン。 「XTL-8MY」はXTL-8をベースにM(回転工具)、Y(Y軸)を搭載し...
メーカー・取り扱い企業: 高松機械工業株式会社
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配膳ロボット『Solibo』※関東・関西エリアにてモニター募集中
無料遠隔サポート付き!かんたん操作の配膳ロボットを1か月間無料で貸出。…
管理システム搭載 ※無料遠隔サポート付 ■自動充電機能 ■AI搭載で多彩な機能 ■使いやすいUI ■「配膳」「下げ膳」「循環」「イベント」の4つのモードを搭載 【関東・関西エリアにてモニター企業募集】 正式販売前の配膳ロボット「Solibo」のモニター導入先を募集しております。 当社スタッフが現地対応及び遠隔サポートで徹底フォロー、1か月間無料でお試しいただけます。 ※詳しい対...
メーカー・取り扱い企業: ソリッド株式会社
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親しみやすさと臨場感を表現する「丸型表示モニター」。場面に合ったインタ…
四角い画面表示から枠を超えた表現の世界へ。 従来のモニターでは創造できなかった映像を映し出します。 【特徴】 ◆サークル形状により、やわらかい空間演出を実現。 ◆店舗看板、商業施設サイネージ、エンターテイメント、展示会会場など、多彩な用途に応用...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ガウディ 三島事業所
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段取り時間短縮など、生産性向上に貢献!サーボモータ駆動取出ロボットをご…
信(HAL-NET) ・ハーモ「Fシリーズ周辺機器」との連動が可能 ・周辺機器を取り出しロボットの操作画面で一括管理 ■対応コントローラ:HRS-1400b ・連動している周辺機器のモニターをコントローラ画面に一覧表示 ・周辺機器のON/OFF、温度などの稼働状況を1画面で確認できる ・各種データの監視・蓄積・出力も対応可能 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 東洋興業株式会社
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ルネサスSH4小型コンピュータ
ーディオコーデック、シリアル、イーサネット■グラフィック(1.2MBビデオメモリー搭載VGAグラフィックコントロール、 LCD/CRT)■拡張バス(ISAバス、PC104)■その他(タッチパネル・モニター、CompactFlash■サポートOS/BSP(Linux, QNX, VxWorks, Windows CE) ...
メーカー・取り扱い企業: ポジティブワン株式会社
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世界初!カメラ内蔵型協働ロボット『TM Robot』安全柵が不要で誰で…
ィーチングで簡単操作 ロボット本体に設置されたボタンを使用しロボットを動かしながら ティーチングします。またロボットの操作変更も簡単にできます。 ◎フローチャート方式プログラミング モニターを見ながらロボットの作業の流れをプログラミング作成可能! ◎カメラ内蔵ロボット 照明も内蔵しているので配線尾必要がありません。 ◎TM Vision内蔵 TM Visionとは、TMロ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社タツタ
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人員の最小化・来客顧客対応に必要な機能を搭載!! 「最先端自律走行型…
【サイズ】高さ:133.5cm、幅:54.5cm、奥行き:54.5cm 【重量】31kg 【モニターサイズ】10.1インチ 【解像度】1,200px × 1920px 【マイク】6個 *360°音源を識別、有効範囲5メートル 【その他搭載機能】 ・1,200万画素カメラ ・広角カメ...
メーカー・取り扱い企業: キングソフト株式会社
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ティーチング時間を大幅削減を実現!多関節ロボットの生産性を最大化します
ートドライブ(SSD)または、 250GB ハードディスクドライブ(HDD)(空き容量20GB) ■ビデオ:NVIDIA Quadro グラフィックカード4GB 専用メモリ ■モニター:解像度 1920×1080 以上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ゼネテック
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4軸水平多関節型クリーンロボット GCR4280-AMシリーズ
300mm、450mm対応の半導体製造装置内等のウエハなどの搬送に最適
関節換算4kgf以下 ○クリーン対応:真空ラインには、0.1μmメッシュフィルタ装備 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○ダブルチャックの仕様も選択可 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウエハ搬送に最適
gf以下 ○アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保 ○アーム関節部防水構造にVシール使用 ○部品の接合部はバイトンパッキンによりシール ○Z軸部防水構造にジャバラ使用 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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小型ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。
【特徴】 ○SSCR2090S-PMとはユニット互換があり、 リンクアーム仕様、Zレス仕様にも変更可能 ○可搬重量:アーム第3関節換算0.2kgf以下(ワークのみ) ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相ステッピングモータ使用 ○S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ○ウエハ保持:真空吸着 ○チャックの材質はCF...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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多機能液晶ディスプレイを搭載した全自動延反機!
語対応により、日本語・英語・中国語・ベトナム語のオペレーションが可能 ■延反設定を最大100種類まで登録可能なメモリー機能付き ■トラブルの素早い解決に役立つ各種センサー、リレー等の入出信号のモニター機能搭載 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハシマ 本社管理センター
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【デモ機貸出OK!】医療機器・特殊機器支援用フリーストップアーム
「いい加減」に動いて、好きなところにピタリと止まる!アームの取り付けは…
に、長寿命・高品質を保証します。 標準品からカスタム品まで1台より製作します。 【特長】 ■片手で簡単操作、決めた位置にピタリと止まる ■ストレスのないスムーズな動き ■カメラ・モニター・パソコン・機器類など様々なものを 取り付けて操作ができる ■組み替えにより様々な機能や動き、長さなどを替えることができる ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてくだ...
メーカー・取り扱い企業: サイウィンド株式会社
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独自のAIにて異物・形状を検出しクレームリスク“0“を目指します
AIシステムを活用し、食品・医薬・化粧品業界に特化した設備を製作いたします。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 【特長】 ■多種多様な品種にもアプローチ可能 ■充実した検査モニターを搭載 ■食品・医薬品・化粧品の業界に特化したAIロボットシステム ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社リベット
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真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットSTVCR4000シリーズ
STVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます
部には、磁性流体シール装備 ○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○クリーン対応:アーム内排気用に5μmメッシュフィルタ装備 ○ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○2相パルスモータ仕様も選択可能 ○チャック材質は...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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ロボティックモビリティ『PiiMo AP-3050Aシリーズ』
自動停止・追従走行・簡単操作!安全でスムーズな移動を支える3つの機能を…
の障害物を監視し、自車両の状態情報をもとに衝突予測しながら 必要に応じて減速し衝突回避 ■衝突が予測される場合は、モータ出力の停止、ブレーキングにより自車両を急停止させる ■内部状態を常にモニターし、異常を検知した場合は、走行を停止させる ■安全関連制御システムが国際規格適合証明を取得 ■レーザセンサは追従機能と安全機能の役目を兼任 ■車々間は無線通信で、停止情報などを全車両で共有 ...
メーカー・取り扱い企業: パナソニック プロダクションエンジニアリング株式会社
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5軸真空水平多関節型クリーンロボットGTVHR5000シリーズ
チャンバ加工のシンプル形状化による加工コスト削減が可能
部には磁性流体シール使用 ○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○クリーン対応:アーム内排気用に5μmメッシュフィルタ装備 ○ツインチャック採用によりウェーハ交換時間の短縮 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:落し込み、エッジグリップチャック ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットDTVHR4000シリーズ
長寿命と信頼性の高い搬送を維持でき、低アウトガス環境での使用が可能
性、低パーティクルを実現 ○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮 ○使用環境:不活性ガス雰囲気・温度:摂氏50度以下で使用可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットSCR3100S…
mm ○可搬重量:アーム第3関節換算0.5kgf以下 ○クリーン対応:真空ラインには0.1μmメッシュフィルター装備 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ○ウエハ保持:真空吸着、落とし込み、エッジグリップチャ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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PICMG2.0 R2.1 ATX電源対応バックプレーン
標準仕様のATX電源がそのまま使用できる、8スロットのCompactPCIバックプレーンです。 ATX電源の標準ハーネス用ヘッダーコネクターとFAL、DEG、PRST、PON、POWERモニター用の各信号入力用コネクターが実装されています。 VI/O電源は、ジャンパープレートにより+5Vまたは+3.3Vに任意に設定可能です。 ...
メーカー・取り扱い企業: エブレン株式会社 八王子事業所
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2・3プレート対応!対応コントローラ"HRS-1400b"は各種データ…
トータルリンク(オプション)により、ロボットの金型データで周辺機器を 一括自動設定。段取り時間の短縮に貢献します。 また、対応コントローラ「HRS-1400b」は、連動している周辺機器のモニターを コントローラ画面に一覧表示し、周辺機器のON/OFF、温度などの稼働状況を 1画面で確認できます。 【特長】 ■小型・中型 ■対象成形機:15~70ton ■可搬重量:3kg(...
メーカー・取り扱い企業: 東洋興業株式会社
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2・3プレート対応!2種類の成形品の組み立てをロボットと二次加工機を連…
信(HAL-NET) ・ハーモ「Fシリーズ周辺機器」との連動が可能 ・周辺機器を取り出しロボットの操作画面で一括管理 ■対応コントローラ:HRS-1400b ・連動している周辺機器のモニターをコントローラ画面に一覧表示 ・周辺機器のON/OFF、温度などの稼働状況を1画面で確認できる ・各種データの監視・蓄積・出力も対応可能 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 東洋興業株式会社
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サーボモータ駆動取出ロボット『HRXIII-80SWb・GWb』
対象成形機は40~70ton!人の目で行っていた検査を自動化することに…
信(HAL-NET) ・ハーモ「Fシリーズ周辺機器」との連動が可能 ・周辺機器を取り出しロボットの操作画面で一括管理 ■対応コントローラ:HRS-1400b ・連動している周辺機器のモニターをコントローラ画面に一覧表示 ・周辺機器のON/OFF、温度などの稼働状況を1画面で確認できる ・各種データの監視・蓄積・出力も対応可能 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 東洋興業株式会社
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取出ロボット『HRXIII-100/150/250/Sb・Gb』
姿勢2軸サーボ機構に対応!周辺機器のON/OFFなどの稼働状況を1画面…
信(HAL-NET) ・ハーモ「Fシリーズ周辺機器」との連動が可能 ・周辺機器を取り出しロボットの操作画面で一括管理 ■対応コントローラ:HRS-1400b ・連動している周辺機器のモニターをコントローラ画面に一覧表示 ・周辺機器のON/OFF、温度などの稼働状況を1画面で確認できる ・各種データの監視・蓄積・出力も対応可能 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 東洋興業株式会社
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HRXIII-100/150/250SWb・GWb(Ry/Rz)
検査やインサート動作など、成形現場の課題を解決!サーボモータ駆動取出ロ…
信(HAL-NET) ・ハーモ「Fシリーズ周辺機器」との連動が可能 ・周辺機器を取り出しロボットの操作画面で一括管理 ■対応コントローラ:HRS-1400b ・連動している周辺機器のモニターをコントローラ画面に一覧表示 ・周辺機器のON/OFF、温度などの稼働状況を1画面で確認できる ・各種データの監視・蓄積・出力も対応可能 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 東洋興業株式会社
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ストーブリロボット導入事例【高精密動作による薬の供給システム】
【病院内での自動化】サイトケアの安全な薬のハンドリング!ストーブリロボ…
クリーンルームタイプ)」が 使用されています。 6軸ロボットが、がん治療薬の投与量を高い精度で計測し、アンプルやシリンジ、 バッグに充填します。 システムに組込まれたQAシステムでモニターしながら、ロボットが正確に 投与量を計測するため、患者の安心を確保するともに、調整工程で作業者が 危険物質に触れる心配もなくなります。 【事例】 ■病院内での自動化 ■製品:TX40...
メーカー・取り扱い企業: ストーブリ株式会社
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真空対応3軸円筒座標型クリーンロボット SVCR3000シリーズ
真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。
3kgf以下(アーム長190mm) ○アーム関節部には、磁性流体シール装備 ○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○クリーン対応:アーム内排気用に5μmメッシュフィルタ装備 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○モータ仕様としてサーボモータ仕様も選択可能 ○チ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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2本のアームにより短時間でウェーハの交換が可能です。
以下 ○クリーン対応:真空ラインには0.1μmメッシュフィルター装備 ○ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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ウェーハ搬送に適しており、短時間でのウェーハの交換が可能です。
下 ○クリーン対応:真空ラインには、0.01μmメッシュフィルタ装備 ○ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能
00mm) ○第3関節にて40kgf以下(700mm) ○クリーン対応:真空ラインには0.1μmメッシュフィルタ装備 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送 ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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従来型MHRに比べコストパフォーマンスに優れています。
00mm ○可搬重量:アーム第3関節換算4kgf以下 ○クリーン対応:真空ラインには、0.1μmメッシュフィルタ装備 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています
mm) ○クリーン対応:真空ラインには0.1μmメッシュフィルタ装備 ○ツインアーム採用により、基板入替え時間の短縮 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送 ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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液晶製造装置内、検査装置等のマスク・ガラス基板の搬送に最適
mm、750mm、820mm) →第3関節にて40kgf以下(800mm) ○リンク式採用による、優れた直進性、低パーティクルを実現 ○ツインアーム採用による、基板入替え時間の短縮 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送 ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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4軸水平多関節型クリーンロボット GCR4000-AMシリーズ
ACサーボモータ仕様及び、動作軌跡最適化による高速搬送化
○ロボットのみで2FOUP対応可能 ○Z軸バリエーション:300mm ○可搬重量:アーム第3関節換算4kgf以下 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ACサーボモータ仕様及び、動作軌跡最適化による高速...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。
00mm ○可搬重量:アーム第3関節換算3kgf以下 ○クリーン対応:真空ラインには0.1μmメッシュフィルター装備 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:真空吸着、落とし込み、エッジグリップ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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ウエハ搬送に適しており、全軸ACサーボによる高速搬送が可能です。
バリエーション:300mm ○可搬重量:アーム第3関節換算4kgf以下 ○ツインアーム採用によりウエハ交換時間の短縮 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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4軸水平多関節型クリーンロボット GCR4000-PMシリーズ
300mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に最適
○ロボットのみで2FOUP対応可能 ○Z軸バリエーション:300mm ○可搬重量:アーム第3関節換算3kgf以下 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸アブソリュートエンコーダ付2相ステッピングモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:真空...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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3軸円筒座標型クリーンロボット SCR3100S-PMシリーズ
省フットプリント化により、装置レイアウトを小型化できます。
mm ○可搬重量:アーム第3関節換算0.5kgf以下 ○クリーン対応:真空ラインには0.1μmメッシュフィルター装備 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:真空吸着、落とし込み、エッジグリップ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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全軸ステッピングモータを使用した省エネ設計となっています。
【特徴】 ○SSCR3115S-150-PMとはユニット互換があり、 リンクアーム仕様、Z軸付仕様にも変更可能 ○可搬重量:アーム第3関節換算0.1kgf以下(ワークのみ) ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相ステッピングモータ使用 ○S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ○ウエハ保持:真空吸着、落とし込み ○チャック...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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5軸水平多関節型クリーンロボットGTCR5000-AMシリーズ
シングルアームでありながらツインアームの機能を確保しております。
量:アーム第3関節換算4kgf以下 ○ツインチャック採用によりウエハ交換時間の短縮 ○シングルチャック仕様も選択可能 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御及び、動作軌跡最適化によりウエハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:真空吸着、落し込み...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズ
真空チャンバ内で4kgf以下のトレイの搬送にご使用頂けます。
搬重量:第3関節にて10kgf以下 ○アーム関節部には、磁性流体シール装備 ○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○クリーン対応:アーム内排気用に5μmメッシュフィルタ装備 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相ステッピングモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○モータ仕様としてサーボモータ仕様も選択可能 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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3軸円筒座標型真空対応クリーンロボットLVHR3000シリーズ
S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。
可搬重量:第3関節にて10kgf以下 ○アーム関節部には磁性流体シール装備 ○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○クリーン対応:アーム内排気用に5μmメッシュフィルタ装備 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送 ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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