【総合カタログプレゼント】工場の環境問題を解決！改善事例をご紹介

PR吸引（入口）～排気（出口）までトータルにご提案！デュコルの環境改善設備

デュコルでは、発生する汚染物質の種類や発生状況に応じた設備をご提案します。粉じんやガスの発生源から吸引と適切な処理をして屋外換気まで、低コストでトータル設計させていただくとともに、アフターサービスまでを一貫して行います。 【こんなお困り事ありませんか】 ■吸い込み口の吸引力が弱くなっている ■メンテナンスをしたことがない ■作業環境が悪く改善したい ★デュコルの『環境改善設備 総...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社デュコル　　　

蓄熱燃焼式脱臭装置『Deopo（デオポ）』

PR装置全体をコンパクト化し組立た状態で運搬する為設置工事を簡略化 ！生…

『Deopo（デオポ）』は、従来の蓄熱燃焼式脱臭装置「RTO」の3塔式と回転式の 優れている要素を併せ持ち、ワンユニットにパッケージ化した装置です。 VOCの処理効率は98%以上、温度効率は95%以上の性能を持ち、従来品に比べ、 パージ部分の体積を最小にすることによりコンパクト化することが出来ました。 また、工場で組立した状態で運搬可能なサイズなので、標準装置の場合は 現地の荷降...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サーマルプラント

排ガス処理装置（スクラバー）

排ガス・風量に応じた室内型スクラバーを装着することにより、排ガス処理設…

・エッチング、洗浄装置などの装置に合せて設置が可能です。 ・酸・アルカリなどのガスを適切に処理します。 ・スクラバーで適切に処理することで後工程のダクト、装置への影響がありません。また、室外へ排気された場合でも周辺環境や人体への心配もありません。 ※詳しくはPDF（カタログ）をダウン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

銅表面処理剤　アデカテックCA-1、テックCL-8

銅の表面処理を施し、様々な機能を付与することで各種レジスト材料との密着…

＜アデカテックCA-1＞ 過酸化水素が主成分である銅箔化研処理剤です。硫酸との混合比を変えることで削り量と粗さを変えることができるため、複数の工程用途に対し柔軟に対応することができます。また、低化研量域においてもドライフィルムレジスト(DFR)との高い密着性を...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ADEKA

OLED用処理装置

処理速度は0.6～5.0m/min（可変）！有機EL製造ラインの洗浄装…

当社が取り扱う、『OLED用処理装置』のご紹介です。 有機EL製造ラインの洗浄装置を提供。 基板サイズは370×470×1.1を処理致します。 装置としては、受入洗浄・純水洗浄・現像装置・ハクリ装置・ Crエッチン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダン科学

多目的処理装置（スピンプロセッサー）

洗浄、現像、エッチング等カスタマイズ可能な、低価格多目的処理装置

研究・開発に最適なコンパクトサイズの卓上型多目的処理装置です。 【特長】 ・エッチング、洗浄、現像、剥離、乾燥など用途に合わせてカスタマイズ可能。 ・ＰＶＣボディー素材で酸、溶剤に対応。 ・卓上型なので場所を取らず、低価格にてご提供可能。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トービ

【基礎知識】表面処理コーティングとは？

表面処理とは、基材表面に加工を施し、基材そのものにはない様々な特性を付…

表面処理とは、基材表面に加工を施し、基材そのものにはない様々な特性を付与することにより性質を高める処理方法です。 硬さや耐摩耗性、潤滑性、耐食性、耐熱性、絶縁性などをこれらの性質のいくつかを向上させること...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社YMM コーティング事業部

銅表面粗化処理装置　マイクロエッチング装置

板厚５０μｍのワークを安定して搬送可能、FPC搬送対応も可能です。

銅表面粗化処理装置　マイクロエッチング装置は、板厚５０μｍのワークを安定して搬送可能な表面処理装置です。ファイン化仕様ノズルパターンとオシレーション機構により均一な面精度が出せます。上エッチングは個別圧調でさらに...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社二宮システム

槽内の泡を液化する装置『泡処理装置』

現像機等で発生する泡の液化処理に！基板品質の向上を実現する泡処理装置

東京化工機の『泡処理装置』は、槽内に発生した泡をブロワーにより吸引し 独自のセパレートシステムの採用により液化する装置です。 消泡剤の残渣による製造基板への影響懸念の解消及び、基板品質の 向上を実現します。 ...

メーカー・取り扱い企業： 東京化工機株式会社 本社・長野工場

枚葉式プラズマエッチング処理装置（枚葉式プラズマエッチャー）

枚葉式プラズマエッチング処理装置（枚葉式プラズマエッチャー）

本装置は、平行平板型高周波プラズマにより、ポリイミド系樹脂・窒化膜等のエッチングやフォトレジストのアッシング（灰化除去）等の処理を行う枚葉式プラズマエッチング処理装置です。 オペレーションパネルにより、DPモードとRIEモードを切り替える事が出来ます。 ウエハサイズ6インチ、8インチに対応しています。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リバティー

ガラス表面処理剤ーガラスエッチング剤

フロステックのガラス表面処理剤は、自然環境と作業環境にやさしいゼロエミ…

（有）フロステックのガラスエッチング剤は全て自社開発です。 ●フッ酸は使用していません。また、フッ化物の使用量も低減しています。 ●様々なガラス種、ソーダガラス、再生ガラス、クリスタルガラス、セミクリスタルガラス、強化ガラス、無アルカリガラス、アルミノシリケートガラス、石英ガラス、ホウ珪酸ガラスに対応するエッチング剤があります。 ●ガラスエッチング剤には、ガラス表面に微細な凹凸を付与する...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社フロステック

高精度処理タイプ　高精度エッチングライン

高精度処理タイプ　高精度エッチングライン

ファイン化仕様、薄板搬送対応...【特長】 ○ファイン用ノズル配列とオシレーションシステムにより均一な面精度が出せます ○上エッチングは個別圧調でさらに高精度 ○板厚50μmのワークが安定して流せる ●その他機能や詳細については、カタログをダウンロードもしくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社二宮システム

プラズマ処理装置（多目的プラズマエッチャー）

プラズマ処理装置（多目的プラズマエッチャー）

本装置は、平行平板型高周波プラズマにより、ポリイミド系樹脂・窒化膜等のエッチングやフォトレジストのアッシング（灰化除去）、表面改質等に有効な多目的枚葉式プラズマユニットです。 ウエハサイズ50〜200mm（2〜8インチ）、BGA・CSP等に対応しており、プラズマモードは、オペレーションパネルでDPモードとRIEモードを切り替える事が出来ます。また、搬送ユニットの後付けが可能な為、実験・研究施設等...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リバティー

バッチ式プラズマアッシング処理装置（バッチ式プラズマアッシャー）

ウエハ50枚一括のバッチ式プラズマアッシング装置

本装置は、同軸バレル構造をチャンバーに持つ、ウエハ50枚一括のバッチ式プラズマアッシング装置です。 ウエハサイズは、5インチ以下、6インチ、8インチに対応しています。 また、オプションにて4インチと6インチ、5インチと6インチウエハ兼用も可能です。 シリコンウエハ上に形成されたフォトレジスト薄膜を高周波プラズマ励起により、低ダメージアッシング（灰化除去）や表面改質等、多様なプロセス用途に利用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リバティー

排ガス処理セット　ES-F1

エッチング中に発生するガスや蒸気を除去

塩化第2鉄エッチング液用活性炭が異臭や酸を吸着する、排ガス処理セット...

メーカー・取り扱い企業： サンハヤト株式会社

エッチング装置　スプレー式ウエハーエッチング装置

【デモ機貸し出し可能！】一連の洗浄・エッチング処理を行い、純水処理・乾…

スプレー式ウエハーエッチング装置は、一連の洗浄・エッチング処理を行い、その後、純水処理・乾燥までを処理する装置です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

コンベア処理ライン

化学研磨ライン、ハンダ剥離ライン、乾燥機・水洗機など！さまざまなコンベ…

設計・製作・改造等の業務、及び 周辺消耗品の販売、ロボットSier事業を行っている企業です。 当社では、「化学研磨ライン」をはじめ、「ハンダ剥離ライン」、 「乾燥機・水洗機」、「レベラー前処理・後処理ライン」などの さまざまなコンベア処理ラインを保有。 各々の工程に対応いたします。ご用命の際はお気軽にご相談ください。 【保有設備】 ■化学研磨ライン ■ハンダ剥離ライン ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社加美機工

高精度処理タイプ　ソフトエッチング・小径穴洗浄ライン

高精度処理タイプ　ソフトエッチング・小径穴洗浄ライン

抜群の面精度で、小径孔も確実に洗浄...【特長】○直進性の高いスリットで小径孔を洗浄 ○高精度エアーナイフにより孔内の乾燥も実施 ○板厚50μmのワークも搬送可能 ●その他機能や詳細については、カタログをダウンロードもしくはお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社二宮システム

量産用プラズマクリーニング装置（大型プラズマクリーナー）

自動化量産ラインに対応。インラインタイプ、枚葉タイプ、柔軟なハード構成…

で実績豊富なチャンバ構成をクリーニング用途に展開。 高いクリーニング効果を各種基板で実現。 基板と生産量に合わせて柔軟なハード構成と高いプロセス能力 クリーニング・ディスカム・アッシング・親水処理、撥水膜処理、各種用途に対応。 基板実装から素材表面処理まで実績豊富な大型プラズマ装置...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

半導体関連装置 「ウェット式エッチング装置」

ドラフト構造でクリーンルーム仕様！エッチング処理やレジスト除去する装置

「ウェット式エッチング装置」は、半導体関連で使用される各ウェハーをバスケットに入れ、X-Y-Zロボットにて、エッチング処理やレジスト除去の作業を行います。 発生ガス、及び空気は、薬品系、有機溶剤系に出来るだけ分けた状況での排気が可能。 使用不可となった薬液（フッ酸、 塩化鉄）と、有機溶剤（アセトン）は付設の専用タン...

メーカー・取り扱い企業： オーエヌ総合電機株式会社

ＤＬＣ除膜装置（精密金型用プラズマクリーナー）

非球面レンズのＤＬＣ膜の除去に実績豊富なプラズマクリーニング装置。高付…

実績豊富なプラズマクリーニング装置「ＰＯＥＭ」をＤＬＣ除膜用にグレードアップ＆カスタマイズ。 従来型より処理時のイオンのエネルギーを向上させ緻密なＤＬＣ膜の除去に対応。通常のＯ２クリーニングプロセスだけでなくマルチガスプロセスでＳｉ含有ＤＬＣなどカスタマイズされた各種ＤＬＣ膜の除去に実績。 当然ＤＬＣ除...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

マイコン制御式 プリント基板用エッチングマシーン　ES-800M

マイコン制御により、短時間で高品質のエッチングを実現

両面をスピード処理できる、シャワー式小形半自動式のエッチングマシーン...

メーカー・取り扱い企業： サンハヤト株式会社

枚葉式プラズマエッチング装置「ＥＸＡＭ－Σ」

ニッチプな要求に細やかに対応。ライトエッチング・アッシングを薄ウェハや…

３～８インチウェハ対応の大気搬送型ＣｔｏＣシステム。 平行平板型ＲＩＥ装置を基本とし、電極切替によるマルチモードプラズマによりソフトモードプラズマ処理を実現 ＣＦ系、Ｏ２、Ａｒ、Ｈ２などのガス系とプラズマモードの組み合わせにより差的なプロセスを選択可能。 オプションで両面処理機能・３００ｍｍウェハや矩形基板の処理に対応 プロセス室を追加した...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

【エッチング装置/アッシング装置部品の保護膜に】Y5O4 F7膜

Y5O4 F7膜は表面フッ素量変化が小さいのでエッチング装置のエージン…

半導体製造工程の一つであるドライエッチングプロセスにおいてウェハ処理を行うと、プロセスガス自体からの生成物やエッチング時の副生成物がチャンバ内壁やチャンバ内のパーツ表面に付着するといった現象が発生すします。これら堆積物の付着によってプロセスの初期と処理後のチャンバ内...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー

各種熱処理装置

半導体や太陽電池の生産・研究開発設備！独自の高温処理技術による高温熱処…

大村技研では、独自の高温処理技術による高温熱処理炉を生産設備および 研究開発向けに提供します。 主要製作装置としては、拡散炉、エピタキシャル装置、CVD装置、 エッチング装置、半導体製造設置用コントローラーなどがあり...

メーカー・取り扱い企業： 大村技研株式会社

大型プラズマエッチング装置

ウェハやガラス・大型基板のエッチング・アッシングに実績豊富なバッチタイ…

改質・クリーニングなど幅広いプロセスに対応 「従来機種ＥＸＡＭ」同様にウェハ・ガラス・セラミック基板のエッチングを行なうと共に大型実装基板・カット済みのフィルム基板のエッチング・クリーニング・表面処理にも実績豊富。 電子デバイスだけでな半導体製造装置部品や材料などくクリーンネスと繊細な表面処理が求められる大型製品の処理にも最適な新型ドライプロセスツール...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

エッチング銘板【特殊メッキによる超耐候性を実現！】

ステンレス銘鈑に特殊メッキを施すことにより、超耐候性を実現！最大150…

ステンレス・アルミニウム・真鍮・銅などの金属板の表面を薬品処理することによって腐食（エッチング）させ、そこにできた凹部に塗料を入れて、文字や線・図柄を表現する方法です。当社のエッチング銘板の特徴は、腐食しやすいステンレス銘鈑に特殊メッキを施すことにより超耐候性...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トーホー 本社

ドライエッチング装置

RIEモードとDPモードの切り替えが可能！特殊表面処理によるメタルコン…

『ドライエッチング装置』は、最大φ12インチ基板を全自動で 連続処理することができる量産装置です。 2周波独立印加方式で、特殊表面処理によるメタルコンタミ低減。 マルチチャンバ仕様や各種オーダーメイドも製作いたします。 ガス種およびプラズマモードの切り...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

剥離装置　剥離・アルカリエッチングライン

高精度なアルカリエッチングが可能な、高精度処理タイプです。

ルカリエッチングが可能な、剥離装置です。ファイン用ノズル配列とオシレーションシステムにより均一な面精度が出せます。上エッチングは個別圧調でさらに高精度です。スプレー除去中に発生するレジストの微細片を処理するカス取り機構が付いています。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社二宮システム

SUS303への細穴放電加工

最短半日見積り／細穴放電加工、ワイヤー放電加工などの精密微細加工はお任…

械加工、ワイヤー/ 細穴放電、樹脂/ ゴム加工、大物/ 長尺、焼入れ/ 研磨加工 【対応材質】 ステンレス、アルミニウム、鉄、銅、真鍮、チタン、銅板、断熱材、ゴム、プラスチック樹脂等 【対応表面処理】 四酸化鉄被膜（黒染め）、硬質クロームメッキ、アルマイト（白色/黒色/硬質/青/赤）、パーカーライジング、レイデント、リューブライト、タフトライド（窒化処理）、クロメートユニクロ（白色）三価クロメ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社 エージェンシーアシスト 京都本社　営業所(仙台・東京・埼玉・神奈川・浜松・愛知・岐阜・新潟・福井・奈良・兵庫・岡山・福岡)

ICPメタルエッチング装置

Al系やCrなどの金属膜の微細パターンのエッチングに対応！デモ機常設！…

『ICPメタルエッチング装置』は、先端薄膜プロセスに対応した 金属膜対応の高密度プラズマエッチング装置です。 半導体、MEMSなどの汎用デバイスだけでなく露光用マスクや金属基板の 表面処理などの特殊プロセスにも積極対応いたします。 独自のチャンバ内構造により抵パーティクルのメタルエッチング (nmレベル)を実現しており、高い歩留りと稼働率が特長です。 【特長】 ■nm...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

【特殊形状】半導体関連部品／SKD11を使用した特殊形状加工品

最短半日見積り／特殊形状、複雑形状にも対応！半導体、電子機器、工作機械…

械加工、ワイヤー/ 細穴放電、樹脂/ ゴム加工、大物/ 長尺、焼入れ/ 研磨加工 【対応材質】 ステンレス、アルミニウム、鉄、銅、真鍮、チタン、銅板、断熱材、ゴム、プラスチック樹脂等 【対応表面処理】 四酸化鉄被膜（黒染め）、硬質クロームメッキ、アルマイト（白色/黒色/硬質/青/赤）、パーカーライジング、レイデント、リューブライト、タフトライド（窒化処理）、クロメートユニクロ（白色）三価クロメ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社 エージェンシーアシスト 京都本社　営業所(仙台・東京・埼玉・神奈川・浜松・愛知・岐阜・新潟・福井・奈良・兵庫・岡山・福岡)

Ion Beam Delayering装置/半導体物理解析

半導体故障解析 歩留まり解析 リバースエンジニアリング マイクロ…

内の構造をコンパクトにしています。しかし、このようなチップに従来の加工技術を適用することは手間とコストがかかる上に、エラーが発生しやすくなります。 機械的な試料作成が困難なため、デバイスの遅延処理アプリケーションにはビームベースの技術が出現しています。Ion Beam Delayering（イオンビームディレイヤイング）では、大面積の試料作製が可能であり、正確かつ制御された物理解析の処理プロ...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

フォトリソ工程洗浄剤　NDシリーズ

フォトリソ工程装置内（ノズル、 搬送ローラー、 槽壁等）に固着したレジ…

ドライフィルムレジスト(DFR)現像槽、剥離装置、ソルダーレジスト(SR)現像装置に付着したスカムをスプレイ処理により擦らず、簡単に除去可能なフォトリソ工程洗浄剤です。消泡剤不要であり、溶解許容量まで繰り返し使用する事が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ADEKA

エッチング装置　ウエハ洗浄装置

【デモ機貸し出し可能！】処理槽からリンス槽へ円弧搬送しウエハーを処理す…

本機は手動でカセットの入ったバスケットをハンガーに取付、処理槽からリンス槽へ円弧搬送しウエハーを処理する半自動装置になります。 詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

化合物半導体プロセス用　ICPエッチング装置

化合物半導体プロセス用　ICPエッチング装置

RIE-330iPCは、放電形式に誘導結合方式（Inductively Coupled Plasma）を 採用した化合物半導体プロセス用多数枚処理エッチング装置 【特徴】 ○Φ330mmの大型トレーに対応 　Φ2インチウェハーなら27枚、Φ2.5インチウェハーなら17枚、 　Φ3 インチウェハーなら12枚、Φ4インチウェハーなら7...

メーカー・取り扱い企業： サムコ株式会社

エッチング銘板

最大1500ミリX3000ミリの大型エッチングが可能！ 独自の特殊メ…

ステンレス・アルミニウム・真鍮・銅などの金属板の表面を薬品処理することによって腐食（エッチング）させ、そこにできた凹部に塗料を入れて、文字や線・図柄を表現する方法です。立体的で重厚な風合いと風格を出す事が出来るので、デザイン性の高い商業施設の銘板や各種サインな...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トーホー 本社

エッチング装置　急速エッチング装置

【デモ機貸し出し可能！】ウエハーは専用のバレルに装填され処理されます

本機はハイスピードでウエハーのエッチング処理を行う装置です。 ウエハーは専用のバレルに装填され処理されます。 詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

【半導体関連】装置の安全カバーフレームの製造

最短半日見積り／半導体製造関連／実装機械 等、装置の部分的な製作、装置…

械加工、ワイヤー/ 細穴放電、樹脂/ ゴム加工、大物/ 長尺、焼入れ/ 研磨加工 【対応材質】 ステンレス、アルミニウム、鉄、銅、真鍮、チタン、銅板、断熱材、ゴム、プラスチック樹脂等 【対応表面処理】 四酸化鉄被膜（黒染め）、硬質クロームメッキ、アルマイト（白色/黒色/硬質/青/赤）、パーカーライジング、レイデント、リューブライト、タフトライド（窒化処理）、クロメートユニクロ（白色）三価クロメ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社 エージェンシーアシスト 京都本社　営業所(仙台・東京・埼玉・神奈川・浜松・愛知・岐阜・新潟・福井・奈良・兵庫・岡山・福岡)

優れた耐蝕性を発揮し、色鮮やかな表現が可能なアルマイト染色銘板

色鮮やかな表現が可能で安価なアルミ銘板！陽極酸化被膜（アルマイト処理）…

アルミニウムの平板の表面にアルマイト（陽極酸化被膜）処理を施し、写真焼付法で文字や線・図柄を表現する方法です。これにより、アルマイト層の中に染料が密封されるので、シンナーなどの溶剤にも侵されることなく、優れた耐蝕性を発揮します。 工作機械のＰＬ銘板、操...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トーホー 本社

アルマイトエッチング銘板 [レジストエッチング]

装飾性と耐久性を兼ね備えた銘板！！ シャープな表現が可能！！

アルマイトエッチング銘板とは、ネーミングの通りアルマイトとエッチングの技法を合わせた銘板です。エッチング部分（凹部）や素地部分（凸部）にアルマイト処理を施し、文字や図柄を表現する製品です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードして下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トーホー 本社

【金属エッチング事例】エンコーダ用スリット板

ご指定の形状、仕様に応じて製作することが可能！反射防止の黒染め処理を施…

ロータリーエンコーダ用スリット板の加工事例をご紹介します。 ステンレス板をエッチング加工した後、反射防止の黒染め処理を施して あります。 画像は一般的な形状を模したサンプルですが、ご指定の形状、仕様に応じて 製作することが可能です。 【製品仕様】 ■材料：SUS304 ■外形サイズ：φ30mm...

メーカー・取り扱い企業： 東洋精密工業株式会社

アルミニウムの電解研磨

アルミニウムの電解研磨

アルミ製真空装置部品に、アルマイト等の表面処理を行うと、皮膜がポ−ラスなため放出ガス量が上昇してしまいます。アルミの電解研磨処理は比較的緻密な皮膜が形成されるため、放出ガスの上昇を抑えることができます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エムテック

HCD型高密度プラズマエッチング装置

シンプルな機構で高密度プラズマを実現。ウェハから１ｍ□基板まで対応。Ｓ…

シンプルな構造の高密度プラズマエッチング装置。大口径化が容易で２００ｍｍ以上のウェハやＡ４サイズの矩形基板の処理に適しています。 基板サイズは１ｍ□程度を想定しており、中小型ディスプレイパネル、大型フォトマスクのエッチング、アッシングおよび高密度プリント基板のクリーニング、ディスカム、親水化処理などの各種工...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

ガラスエッチング装置【液晶ガラス基板】| NSCEng

液晶ガラス基板の薄肉加工ケミカル研磨の自動装置として、G6世代までの薄…

能 ■液再生システムにより低コスト実現 ■最新技術により厚さ30μmの搬送が可能 ■耐薬品性重視の設計だから装置が長持ち ■安全インターロック完備 ◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆ 処理一例 【ガラス種】ノンアルカリガラス、ソーダガラス、アルミノシリケート系ガラス 【製品サイズ】300×400～1500×1850mm 【加工精度】70％減肉後の面内板厚精度R10μm 【主薬...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社NSC エンジニアリング本部

【国産】真空プラズマ装置(49万)大気圧プラズマ装置(34万)

表面改質・洗浄に優れた低温電荷ダメージ無し！真空・大気圧プラズマを安価…

ログをダウンロード下さい。 『樹脂』『金属』『ガラス』の『基板』『チューブ』『繊維』『粉体』など様々な材質の『濡れ性向上』『接着強化』『洗浄』などプラズマの持つ高い反応性を利用し、多岐にわたる表面処理用途にご活用頂けます！ 【実用例】 ・異材料の接着力を強化　　有機薄膜の除去　　ガラスの洗浄 ・フィルムの接着強化　　　電子部品の洗浄　　薄膜の密着強化 ・各種塗工の濡れ性UP　 など・...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

リフトオフ装置　※テスト可能機種あり

枚葉式・バッチ式のラインナップから、各工程及び仕様を選択し装置をカスタ…

有し、用途やウエハーの性質に合わせて使用をご選定頂けます。 【ラインナップ】 ・HU型（量産向け）…バッチ、枚葉の併用仕様。より早く、確実な仕上がり ・HM型（研究開発・量産向け）…Jet処理のみで剥離が可能なウエハーに好適。 ・CHU型（研究開発向け）…HU型の特長を受け継ぎながら、コンパクト化を実現 ・MJ型（研究開発向け）…Jetチャンバーのみを有し、ウエハー投入・排出は手動操...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン