圧力 | イプロスものづくり

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空気圧駆動圧力制御弁　AS260【サーボミニコンポ】

PR空気圧駆動　アンプ・圧力センサ内蔵型圧力制御弁

当社の『アンプ・圧力センサ内蔵型圧力制御弁AS260シリーズ』のご紹介です。ある程度大きな流量を比較的ゆっくりとした応答で圧力制御を行うことに適したとても使い勝手の良いお勧めの新製品です。精密な遠隔操作が可能な他、ブースタと組み合わせて精密大流量弁とすることもできます。 ■特徴・ノズルフラッパ型空気圧サーボ弁、圧力センサ、アンプ（制御基板）を一体化した圧力制御弁・電気信号に比例してパ...

メーカー・取り扱い企業：ピー・エス・シー株式会社
高性能・高圧多用途ポンプ【プラステコ】 L.TEXシリーズ

PR小流量から大流量、水状から高粘度まで、様々な流体の定量送液ならプラステ…

用途によって選べるタイプ！！ ●ポンプ単体（装置組込式）　●制御部一体型標準で最大40MPaまでの高圧送液に対応するプランジャ－ポンプです。当社の主力製品である『超臨界不活性ガス定量供給装置』においても多数実績があります。最大流量は 10mL/min ～ 1000mL/min と幅広く豊富な機種をご用意しておりますので、研究・実験用途に適した小流量から量産向けの大流量まで、ご使用目的に...
メーカー・取り扱い企業：株式会社プラステコ本社
NEXGENグローブボックスシステム（新時代のガス精製装置付）

再生ガス・再生工程不要の新時代のガス精製装置付きグローブボックスシステ…

・再生ガス、再生工程不要の新時代のガス精製装置付グローブボックス。・酸素濃度、水分濃度１ppm以下を保持、NEXGENシステムによるオートバキ　ューム・オートパージ・全自動圧力コントロール。・全世界に２万台以上の導入実績、63年の歴史を誇る世界基準のグローブボ　ックスメーカーVAC社製 ...

メーカー・取り扱い企業：山八物産株式会社 YAMAHACHI&CO.,LTD
真空計『コンビネーションゲージ　CC-10（NW25）』

大気圧から高真空までの広帯域の計測をこの1台で！センサー・回路部・ディ…

化を読み取ることにより、真空計測を行っています。　精度・再現性に優れており、信頼性の高い計測が可能です。 ■高真空領域のコールドカソードゲージ部は、マグネトロン放電により残留ガスをイオン化し、圧力を測定します。コールドカソードゲージはホットカソードゲージと異なり、フィラメントを持たず、丈夫で信頼性の高い計測が行えます。 ※CC-10はRoHS指令に準拠した環境に優しい製品です。...
メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社
多機能型・真空蒸着装置「SEC-22C」

リフトオフ・厚膜・低温成膜対応昭和真空の技術を結集させた最上位モデ…

【仕様】 ○到達圧力 6.7×-5Pa以下 ○排気速度大気圧より4.0×10-4Pa迄20分以内 ○蒸発源電子銃270°偏向、電源16kW ○基板加熱 MAX150℃　常用100℃ ○膜厚分布 ±1%以内 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社昭和真空
TMPタイプ　真空蒸着装置

簡単操作のTMP排気システム採用！拡張性に優れたテーブルトップ型真空蒸…

【仕様】 [排気装置：SVC-700TMSG] ○排気操作：全自動 ○到達圧力：2×10⁻⁴Pa以下 ○蒸着用電極：2組 ○ガラスベルジャー：内径φ160mm×215mmH ○寸法(W/D/H)：340/460/544mm [蒸着電源：SVC-7PS80] ○ヒータ...

メーカー・取り扱い企業：サンユー電子株式会社
BS-80011BPG 高密度プラズマ発生用内蔵形プラズマ銃

学薄膜や保護膜、機能膜などの膜特性を向上させることができます

【仕様】最大放電出力：6kW (160V, 38A) 動作圧力：1×10-2～1×10-1 Pa (Ar、O2、N2雰囲気中) ※詳細はPDFをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：アズサイエンス株式会社松本本社
コールドカソードゲージコントローラ　CG-20

堅牢な冷陰極型電離真空計

帯域（4.0×10-7Pa）?（3.0×10-2Pa）の圧力を１レンジで測定できる、コールドカソードゲージコントローラです。...

メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社
BS-60610BDS ボンバード蒸着源

ハイレート対応、厚膜成膜、大型装置対応

【仕様】 BS-60610BDS:ボンバード蒸着源　本体 6点ライナータイプ出力：最大 4.8 kW 冷却水：4～5 L / min, 水温 10 ～ 25°C 動作圧力：5×10-5 ～ 1×10-2 Pa ...

メーカー・取り扱い企業：アズサイエンス株式会社松本本社
スパッタ・蒸着ソース複合型成膜装置【nanoPVD-ST15A】

スパッタカソード・蒸着ソース混在型薄膜実験装置コンパクトフレームに…

h ◉ スパッタリング：2"カソード x 最大3源 ◉ 真空蒸着：抵抗加熱蒸着（最大2）、有機材料蒸着（最大4） ◉ 7"タッチパネル簡単操作 PLC自動プロセスコントロール ◉ APC自動圧力コントロール ◉ MFC搭載高精度プロセス制御 ◉ Arガス1系統（標準） + N2, O2 最大3系統まで増設 ◉ USB端子付 Windows PCに接続し、最大1000layer, 50...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
有機EL用成膜装置

有機EL用の実験装置です。搬送系の操作は、PCより制御可能です。全自動…

基板とマスク間ギャップは最少。・基板回転機構により面内の膜厚分布平坦性±5％以内。・有機蒸着セルは指向性に優れており蒸着室内の材料汚染が少ない。・各処理室は特殊表面処理を施し使用真空環境圧力までの到達が速い。・グローブボックスと接続可能である。・前処理室にてプラズマ基板洗浄が可能。・導入室内には基板及びマスクホルダーが標準12枚ストック可能。・PLC制御にて自動搬送・自...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社
小型・大流量PTFEガスフィルター「メガフロー」

最大1,000lpmまでの流量を確保

濾過精度 0.003μm 常用圧力 1MPa未満最大許容正差圧 0.7MPa(20℃) 最大許容逆差圧 0.3MPa(20℃) 最高許容温度 120℃(不活性ガス) 外部漏量 2×10-11Pa・m3/sec以下構成部...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
スパッタ・蒸着源複合型薄膜装置【nanoPVD-ST15A】

真空蒸着（金属・有機蒸着源）、スパッタリングカソードの混在設置が可能な…

ただけます。顕微鏡用試料作成用コーターではありません、電子回路基板、電池、MEMS、新素材開発などの研究開発用途で求められる高品質な薄膜を作成することができます。ガス系統最大3系統（プロセス圧力APC自動制御）、連続自動製膜（最大20層）、2源同時成膜など豊富な機能を備え、更に基板加熱ヒーター（500℃）、ドライスクロールポンプなど豊富なオプションも用意。真空引き・成膜制御・ベント、レ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
イオンアシスト蒸着用TELEMARKイオンソースシリーズ

イオンアシスト蒸着に最適なイオンソースを提供します

.高効率の水冷構造により動作温度が非常に低く（70～80℃）基板への熱ダメージが少なく、また熱により消耗する部品が皆無でメンテナンスフリーです 5.極微量のガスでイオンビームが得られますので、低い圧力での動作が可能 6.特殊コーティングのイオン源は高濃度酸素中でも酸化によるチャージアップが無く安定な運転が可能 7.スタート後わずか3秒で安定なビームが得られます 8.パルスモード/連続モード...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社
高真空蒸着装置『RD-1230』

サイリスタ制御により蒸着電圧及び、電流値の調整が可能！排気操作は全自動…

【仕様】 ■到達圧力：×10^-5Pa台 ※常温・無負荷・脱ガス時 ■排気速度：大気圧から30分で2.0×10^-4Pa ※常温・無負荷・脱ガス時 ■真空室径：φ230mm×240mmH 硬質ガラス ■蒸着機構：...

メーカー・取り扱い企業：株式会社サンバック本社
1軸/2軸トランスファーロッド

UHVチャンバー間でサンプルを輸送することを目的とした1軸サンプルトラ…

動軸径（内側軸/外側軸）　・φ8g6 (先端部：M4ネジ) 　・φ12h6 ■直進力：70N ■回転トルク：5Nm ■取付フランジサイズ：ICF70 ■べークアウト温度：200℃ ■圧力範囲：1-11mbar-1,000mbar ■構造材料：フルUHV適合 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：有限会社テク
卓上型蒸着装置『Mebius』

卓上で簡単に使えるコンパクトな蒸着装置

【概要】 ■蒸発源はタングステンボート2個搭載 ■排気系はターボ分子ポンプ、電磁フォアバルブ、油回転ポンプの組合せ ■操作不要のマルチ真空ゲージ採用により、大気圧から高真空まで連続した　圧力表示が可能 ■マグネット駆動式基板シャッタ装備 ■停電時は装置動作自動中断、非常停止スイッチも装備 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：テクノウェーブ株式会社
2次元抵抗加熱蒸着装置

蒸着源はボートタイプ！基板は支柱上のプレートに取付けられており高さは任…

【仕様】 ■SUSチャンバー ■到達圧力　7×10^-2Pa ■基板ホルダー　φ1インチ ■抵抗加熱蒸着源　Wボートタイプ　2基 ■DP1500L/s ■RP220L/m ■ピラニー真空計　電離真空計　標準装備 ■シャッター機...

メーカー・取り扱い企業：株式会社和泉テック
高真空蒸着装置『KW-030D』

水晶振動式膜厚モニター搭載！コンパクト設計でクリーンな成膜が可能

【仕様(抜粋)】 ■到達圧力：4×10^-5Pa ■排気時間：5×10^-4Paまで10分以内 ■ベルジャー：SUS304　Φ507×H422 ■蒸発源：抵抗加熱蒸発源3対、2kW 3連EBガン(オプション) ■排気系...

メーカー・取り扱い企業：株式会社片桐エンジニアリング
化合物半導体ウエハ用非接触搬送装置「ＳＡＧ（ＩｎＰ）型」

化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）を気体供給操作を行い、ウ…

の位置に脱着を行います。ベルヌーイチャック「フロートチャックＳＡＧ（ＩｎＰ）型」は、気体を噴出させることによりウエハとの距離に応じてその内部をエゼクタ効果およびベルヌーイ効果により負圧にし、また圧力室型エアクッション効果および気体流のクッション効果により正圧にすることにより、ＩｎＰウエハを非接触状態にて懸垂保持する機能を有しております。 ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所
卓上型蒸着装置『Meius Light』

学生向けの実験や教材作りに！卓上で簡単に使えるコンパクトな蒸着装置

板サイズ：50mm 1枚（多種サイズの設計対応可能） ■蒸発源：抵抗加熱方式・切り替え式・AC10V 100A ■重量：約18kg（卓上チャンバのみ制御BOXは除く） ■チャンバベント：導入圧力0.02Mpa以下（大気解放） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業：テクノウェーブ株式会社
真空計『コンビネーションゲージ　CC-10（ICF70）』

大気圧から高真空までの広帯域の計測をこの1台で！センサー・回路部・ディ…

化を読み取ることにより、真空計測を行っています。　精度・再現性に優れており、信頼性の高い計測が可能です。 ■高真空領域のコールドカソードゲージ部は、マグネトロン放電により残留ガスをイオン化し、圧力を測定します。コールドカソードゲージはホットカソードゲージと異なり、フィラメントを持たず、丈夫で信頼性の高い計測が行えます。 ○CC-10はRoHS指令に準拠した環境に優しい製品です。...

メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社
有機EL用成膜装置

有機EL用のインライン型の自動制御機能を盛り込んだ研究開発用装置です。

基板とマスク間ギャップは最少。・基板回転機構により面内の膜厚分布平坦性±5％以内。・有機蒸着セルは指向性に優れており蒸着室内の材料汚染が少ない。・各処理室は特殊表面処理を施し使用真空環境圧力までの到達が速い。・グローブボックスと接続可能。・導入室内には基板及びマスクホルダーが標準12枚ストック可能。・PLC制御にて自動搬送・自動排気が可能。 ...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社
有機EL用成膜装置

有機材料と金属材料が同部屋にて成膜可能なハイブリット型成膜装置です。有…

基板とマスク間ギャップは最少。・基板回転機構により面内の膜厚分布平坦性±5％以内。・有機蒸着セルは指向性に優れており蒸着室内の材料汚染が少ない。・各処理室は特殊表面処理を施し使用真空環境圧力までの到達が速い。・グローブボックスと接続可能である。・PLC制御にて自動搬送・自動排気が可能。・導入室内には基板及びマスクホルダーが標準5枚ストック可能。・前処理用に基板加熱室を装...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社