基板加熱 | イプロスものづくり

PR大きな熱量の出力も可能なため幅広い基板に"1台"で…

『S-WAVE301H』は、大きな熱量を要するプリント基板をスポット加熱する製品です。バスパー、パワー半導体、4層基板、高多層基板、厚銅基板、セラミック基板、金属ベース基板といった特長的な基板にも対応可能。低消費電力、高い加熱効率などの特長はそのままです。ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。【特長】 ■低消費電力、高い加熱効率 ■大きな熱量を要...

メーカー・取り扱い企業：株式会社富山技販

小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハイブリッジ東京営業所

スタック式加熱炉　硬化炉・乾燥炉

加熱乾燥工程の自動化に最適！放熱、炉体周辺温度の上昇を抑え、省エネに貢…

当製品は、全自動生産ラインに組み込み可能な、インライン対応加熱炉です。熱風を使用しない、炉自体を熱源とする加熱炉で、放熱ロス・周辺環境の温度上昇を抑えた省エネな加熱炉です。均熱性能に優れオーバーシュートの無い、長時間の加熱が可能。基板・トレイをローダーから取り込み、枚葉処理にて個別炉室へ搬送し昇温します。タクトタイムと昇温時間・加熱保持時間から炉室数を設定するため、 ...

メーカー・取り扱い企業：日精株式会社本社

加熱工程ウエハホットチャック　PH050

最高温度300℃対応！小型ウエハ・ガラス基板用ホットプレート。

加熱工程ウエハホットチャック　PH050は小型ウエハ・ガラス基板用ホットプレートです。ウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱します。ワークは真空吸着により固定いたしますのでワークに固定によるストレスを与えません。プレートはアルミ合金、黒アルマイト処理、レザーマーキングによるガイド表示、MSAデジタル温度コントローラーにて精密温度制御が可能です。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧...

メーカー・取り扱い企業：株式会社MSAファクトリー

基板反り直しシステム『STシリーズ』

処理能力が高い、反りの直りが良いなど、高い評価を頂いております！

『STシリーズ』は、当社のノウハウを盛り込んだ加熱機、反り直し機、そして徐冷装置の組み合わせで実現する基板反り直しシステムです。遠赤外線ヒータを使用したコンベアー炉で基板を素早く加熱します。ファンにより室温で基板を徐々に冷やし、反りの戻りを押さえます。処理能力が高い、反りの直りが良い、反りの戻りが少ないなど、高い評価を頂いております。【特長】 ■処理能力が高い...

メーカー・取り扱い企業：株式会社FTMテクニカルサービス

電気ヒータ式加熱装置(加熱・炭化)

ブチルゴムの溶解や高水分汚泥の濃縮、炭化が可能！電気ヒータ式加熱装置

『電気ヒータ式加熱装置(加熱・炭化) 』は、病死動物や高水分の汚泥の濃縮、炭化が可能なほか、廃プラ、廃タイヤ等高カロリーの炭化が可能です。撹拌機付きなので原料を効率よく撹拌出来、熱効率が高くなります。燃料や、乾留ガスの燃焼量が少ないので排ガスは大幅に削減できます。また、無駄な熱がないのでランニングコストの低減が可能です。自動運転なので操作が簡単。使用部品が少ないので殆ど...

メーカー・取り扱い企業：日本ベネーブ株式会社

巻取式プラズマ処理装置（RtoRプラズマ装置　評価テスト受付中）

繊維の搬送・処理に実績を持っており電子関連や先端材料まで幅広い用途に対…

【カスタマイズ】 ■基板加熱機構：ランプ加熱機構、メインロール加熱、メインロール冷却 ■冷却機構：メインロール水冷・冷媒使用 ■プロセスガス：Ar、O2、N2その他選択可能 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

IR乾燥炉

処理速度は75mm/s！ガラス基板をクリーン遠赤外線ヒーターで加熱乾燥…

『IR乾燥炉』は、ローラー搬送によるタクト搬送で処理を行う製品です。洗浄、エアブロー後の基板を加熱することにより、基板上の微水分を蒸発させ、乾燥を実施。ガラス基板をクリーン遠赤外線ヒーター（クラス100）で加熱乾燥します。【主な仕様】 ■被加熱物：TFT用ガラスパネル（2880×3130×0.6t） ■処理方法：ローラー搬送によるタクト搬送（6°傾斜） ■処理速度...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ダン科学

ウォーキングビーム搬送式　加熱炉・硬化炉

加熱工程の自動化に貢献！昇温時間が短く、プロファイル作成可能な加熱法で…

当製品は、全自動生産ラインに組み込み可能な、インライン対応加熱炉です。基板・トレイをローダーから取り込み、枚葉処理にて加熱ステージへ搬送し昇温いたします。　熱効率の良い熱伝導を利用した昇温工法を採用し、省エネ・省スペース性に優れた加熱炉です。【特長】 ■全自動生産ラインに組み込み可能 ■インライン対応 ■熱効率の良い熱伝導を利用した昇温工法を採用 ■優れた省...

メーカー・取り扱い企業：日精株式会社本社

簡易実験用スパッタリング装置（ＳＲＶ３１００型）

小径基板専用のコンパクトタイプスパッタリング装置　全手動操作で低コスト…

成膜系：φ３インチカソード　１元装備　　　：高周波電源　　　　　１源装備　　　　：基板加熱機構標準装備　　　：排気系　拡散ポンプ＆油回転ポンプ操作系：全手動オプション機構磁性材用カソード　コンベンショナルカソード　ＤＣバイアス逆スパッタ機構　バイアススパッタ機構　基...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

多段乾燥機

加熱された基板を冷却します

『多段乾燥機』は、LCD基板上に印刷された塗膜を基板裏面(反塗布面側) により加熱することで、ガラス基板を加熱乾燥させる製品です。冷却バッファー基盤供給と搬出を行うローダー・アンローダー移載用ロボットにより構成されています。ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。【仕様】 ■温度性能：室温～150度(ガラス表面温度) ■温度精度：表面温度±5度以内 ■方式：マ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社IPC

光焼成装置『PulseForge』【瞬間的に加熱、乾燥、焼成】

耐熱性が低い基板でもダメージなく、表面部だけを乾燥、焼成する光焼成装置…

『PulseForge』は、独自開発の高出力キセノンランプの照射光を精密制御することで、材料の表面のみを瞬間的に加熱し、乾燥、焼成させる装置です。材料の速乾、伝導性・密着性の改善にも効果があり、高出力・短パルス照射にて、耐熱性が低い基板でもダメージなく、表面部だけを乾燥・焼成できます。【特長】 ■自由なパルスシーケンス形成 ■独自ビーム形成技術によりダメージなく乾燥、焼成可能 ■独自...

メーカー・取り扱い企業：株式会社日立ハイテク

簡易実験用蒸着装置（ＥＭ－６４５型）

シンプル　コンパクト　高機能　実験、基礎研究に最適　ユーザーニーズに応…

基礎研究に求められる性能・コスト・技術サポートを全てカバー　個別要求に応じてカスタマイズに対応。...標準２元の抵抗加熱蒸発源を装備した全手動型蒸着装置。 Φ２～３インチウェハから特殊基板まで柔軟に対応。蒸発源追加、同時蒸着、基板冷却・高温加熱機構等豊富なオプション社内デモ機にてサンプルテスト対応...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

G6乾燥機

9分割制御方式のため、基板上の温度管理を均一にできます

『G6乾燥機』は、LCD基板上に印刷された塗膜を基板裏面(反塗布面側) により加熱することで、ガラス基板を加熱乾燥させる製品です。乾燥時に起きる、ピンムラ対策として、Φ1mmのワイヤーで基板受け渡しを行います。また、ワイヤー位置は、ステッピングモータを使用(8ユニット)パターン外の位置に設定を行うことで、パターン内の乾燥ムラを防止します。【仕様】 ■温度性能：室...

メーカー・取り扱い企業：株式会社IPC

陽極接合装置

各種センサー・マイクロマシンに！研究、開発に適したコンパクト＆エコノミ…

『陽極接合装置』は、加熱したシリコン基板等とガラス基板に高電圧を印加して容易に接合できます。研究、開発に適したコンパクト＆エコノミータイプで、アライメント部は小型設計の卓上型。試料サイズは標準で4インチ、オプションで最大6インチまで可能です。各種センサー・マイクロマシン・生体材料・各種光学用途にお使いいただけます。【特長】 ■加熱したシリコン基板等とガラス基板...

メーカー・取り扱い企業：アトーテック　株式会社

Roll to Roll塗工乾燥装置

フィルム上面＆下面からの熱風加熱＋IR加熱効果！

日立ハイテクでは『Roll to Roll塗工乾燥装置』を取り扱っております。大掛かりなストラクチャーは不要。装置＋据付コスト低減に貢献し、下面加熱による効果で基材と塗布膜の密着強度をアップ。メンテナンス性向上、通箔作業や箔切復旧時間を短縮します。【特長】 ■アーチレス乾燥炉タイプ ■イニシャルコスト低減 ■乾燥効率のUP ■密着強度のUP ■ダウンタイム低減...

メーカー・取り扱い企業：株式会社日立ハイテク

機械の小型化・乾燥の高速化を実現！ホットプレート乾燥炉

1/3～1/4の小型化で乾燥時間が1/3～1/4に短縮になった事例あり…

『WD-100シリーズ』は、省スペースと段取り替えの良さを追求した乾燥炉です。対象基板サイズは50mm□～125mm□・厚みは0.2mmt~2mmt ホットプレートの高速加熱を最大限生かす、搬送システムの追求により、高速搬送とダイレクト加熱を達成しました。マルチサイズ、高速搬送、高速加熱、低フットプリントに対応しています。【特長】 ■IR雰囲気炉と比べ、乾燥が最大1...

メーカー・取り扱い企業：株式会社メック

アニール装置『可変雰囲気熱処理装置』

ウェハやガラス等の多種基板の処理可能　幅広い用途対応した可変雰囲気熱処…

当社では、真空・酸素雰囲気(常圧)・還元雰囲気(常圧)の雰囲気での処理が選択できる急昇降温型の「横型アニール装置」を取り扱っています。 6インチまでの各種基板(ウェハ、セラミック、ガラス、実装基板)の処理に対応しており、薄膜やウェハのアニール、ナノ金属ペーストの焼成、有機材のキュアなど多くの用途に実績を持っています。御評価をご希望の方はサンプルテストをお受けしております。...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

イオンアシスト蒸着用TELEMARKイオンソースシリーズ

イオンアシスト蒸着に最適なイオンソースを提供します

TELEMARK製のイオンアシスト蒸着に最適なイオンソースを提供いたします。イオンアシスト蒸着（IAD）技術は余分な基板加熱なしに高密度で安定な成膜可能なプロセスです。TELEMARKのグリッドレスイオンソースシステムは独自のデザインのイオン源により、ガラス、プラスチック、金属の様々な基板で安定なイオンアシスト蒸着を可...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社

立体物対応実験用プラズマCVD装置

対応可能膜種はDLC、アモルファスSiC等！基板加熱機構付き（最高設定…

せて装置を設計、製造いたします。ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。【特長】 ■立体物に成膜可能な実験用プラズマCVD装置 ■対応可能膜種：DLC、アモルファスSiC等 ■基板加熱機構付き（最高設定温度：500℃） ■PC操作（シーケンサー制御）で、全自動、データロギング ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社DINOVAC

除湿庫・加湿庫の特注品製作事例集を無料プレゼント！

DRY-CABI【事例集プレゼント】「欲しい」に応える特注品！特注品事…

トーリ・ハンでは、貴社のご要望にマッチした特別仕様のドライ・キャビ、ウエット・キャビをご提供。長期保管用や、除湿と加湿を両立させるタイプなど、様々なご要望及びサイズや設置環境にに応じてご提供いたします。「こんなものが欲しい」「こんなデシケーターはできないか」など、是非お気軽にご相談ください。【掲載内容（抜粋）】 ■長期保管用（50年）の強固なタイプ　用途：ハイビジョンテー...

メーカー・取り扱い企業：トーリ・ハン株式会社

【測定事例】<電子回路の絶縁基板材料>　ポリイミドシート【TA】

熱伝導性分布測定と各部の熱拡散率異方性が評価できます。

薄いポリイミドシートの評価例をご紹介します。ポリイミドシートは、主に電子回路の絶縁基板や電子回路の絶縁層として使用される樹脂材料です。今回は、サーモウエーブアナライザーＴＡで厚み7.5μmの、厚み方向の熱拡散率を測定してみました。同じポリイミドシートでも、厚みによって熱的には大きな違いがあります。 25μmと7.5μmの例で、熱拡散時間という尺度で比較すると、10倍近い差がありま...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ベテル　ハドソン研究所

熱風乾燥機『キャリアドライヤー』

PCB（ポリ塩化ビフェニル）の大量搬送の他、冶具換装により様々な乾燥用…

『キャリアドライヤー』は、当社のこれまで蓄積してきた経験と技術を集積した新機軸の乾燥炉です。プリント基板の端面をチャッキング、吊り下げ状態で搬送し、乾燥を行い、プリント基板のワークエリアに触れる事無く大容量のプリント基板を連続搬送。駆動部を下に設け、発塵等の問題を最小限に留めました。【特長】 ■ワークの取り外しにはロボットも選定可能 ■ワークの工程や乾燥炉の移動...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マックステック

4段乾燥炉チャンバータイプ

チャンバー引き出しタイプにつきメンテナンスが容易

『4段乾燥炉チャンバータイプ』は、FPD基板上に印刷された塗膜を基盤表面に(反塗布面側)より、加熱することでガラス基板を加熱乾燥させる製品です。基盤受渡しはピン昇降を使用、サーボモーター制御で3段階の高さ調整が可能です。ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。【仕様】 ■温度性能：室温〜150度(ガラス表面温度) ■温度精度：表面温度±3度以内 ■方式...

メーカー・取り扱い企業：株式会社IPC

特注乾燥保管庫／加湿庫　ドライ･キャビ／ウェット･キャビ

お客様のご要望の仕様で製作可能！ご希望の湿度環境を実現します。

トーリ・ハン株式会社は、主に防湿庫を製造・販売している会社です。カメラやレンズはもちろん、半導体、電子部品、精密部品などの保管に欠かすことのできない防湿庫。お客様のご希望サイズや設置環境に合わせたの仕様で製作可能です。様々なご要望にお応えし、ご希望の湿度環境を実現する「ドライ･キャビ／ウェット･キャビ」を紹介します。【特注例】 ○文化財保管庫除湿・加湿 ○WET&DRY 上下...

メーカー・取り扱い企業：トーリ・ハン株式会社

超低露点保管庫(デシケーター) 【スーパードライ】

リチウムイオン電池（LIB）用材料保管の決定版！!　メンテフリーで驚異…

他社のドライキャビネット、デシケーターにはない-65℃という超低露点で保管が可能なため、リチウムイオン電池(LIB)、全固体電池、キャパシタ(EDLC)等の材料（活物質/バインダー/電解液等）や外装材の保管に最適です。 ■技術情報乾燥剤低湿度での吸着能力に優れたゼオライトを乾燥剤として使用しています。また乾燥剤が吸着した水分は加熱し庫外に排出することで繰り返し使用できます(乾燥剤の定...

メーカー・取り扱い企業：宝泉株式会社

【コンベア型】ウィケット式熱風循環コンベア炉

ウィケット導入でライン完全の自動化を目指します

プリント基板やシート状印刷物等を、専用治具に立てて搬送し乾燥することができます印刷機からストッカーまで、ラインの完全自動化が可能となります...[コンベア型乾燥装置] ○ワークをベルト・チェーン等で搬送しながら一定時間加熱処理する装置 ○搬送方式、加熱方式などの違いにより各種タイプをご用意 →ウィケットバー式・チェーンバー式・メッシュベルト式など...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ゴダイエンジニアリング

スペシャルメンブレンチューブ連続脱気システム『SM Tube』

優れた耐薬品性で高純度薬品にも対応！工場等で活躍する連続熱交換脱気シス…

『SM Tube』は脱気および熱交換機能をもった連続熱交換脱気システムです。脱気・熱交換モジュール部は、耐薬品性、耐熱性に優れたふっ素樹脂製。プリント基板製造における表面処理の薬液・洗浄液などの脱気や加熱・冷却で役立ちます。また、化学工場・製薬工場における脱気・熱交換プロセスや工程中の薬液分析の前処理などでの活躍も期待できます。【特長】 ■モジュール部非多...

メーカー・取り扱い企業：メンブレンエンジニアリング株式会社

【技術資料】ポリビニルアルコール薄膜の表面改質

真空紫外エキシマランプを使用！ポリビニルアルコールの化学構造がどう変化…

真空紫外（VUV）光は、短波長で光子エネルギーが高いため、非熱過程で分子の結合を切断することができ、洗浄や微細加工、表面改質などへの応用が進められています。当資料では、金蒸着した基板にPVA水溶液をスピンコート後、加熱処理を行い、膜を作製し窒素あるいは乾燥空気雰囲気下でキセノンエキシマランプ（172nm）を照射。赤外分光器ならびにX線光電子分光分析装置を用い、VUV...

メーカー・取り扱い企業：株式会社クォークテクノロジー

加熱工程ウエハホットチャック　PH070

最高温度300℃対応！小型ウエハ・ガラス基板用ホットプレート。

加熱工程ウエハホットチャック　PH070は小型ウエハ・ガラス基板用ホットプレートです。ウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱します。ワークは真空吸着により固定いたしますのでワークに固定によるストレスを与えません。プレートはアルミ合金、黒アルマイト処理、レザーマーキングによるガイド表示、MSAデジタル温度コントローラーにて精密温度制御が可能です。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧...

メーカー・取り扱い企業：株式会社MSAファクトリー

【遠赤の話】遠赤外線の歴史

塗装焼き付けから始まった遠赤外線の歴史をご紹介！

赤外加熱を最初に工業的に使用したのはアメリカフォード社であったといわれています。【歴史】 ■1938年　　赤外線電球（近赤外線）による塗装焼き付け ■1960年代　石英管ヒーター（中赤外線）が実用化され現在も使用 ■1970年代　いろいろな業界で使用され始める ■1980年代　加熱技術の開発が活発に行われ加熱源メーカーも多く見られるその後、塗装関係や、自動車関連、家...

メーカー・取り扱い企業：有限会社AMK

【真空洗浄乾燥機】トスクリーン『PCS-3420』

溶剤の排出量を軽減！ポンプを完全増防爆使用に！抜群の洗浄性溶剤加温！一…

『PCS-3420』は、炭化水素系溶剤を使った、経済的な一槽式真空洗浄乾燥機です。溶剤加温(80℃程度)方式により、洗浄液の溶解力をより高め、真空＋加温の効果により抜群の洗浄力を実現しました。さらに、加熱、冷却機構を改善。圧力差を利用した溶剤供給、排出、コントロールなどの省エネルギー設計を採用しています。【特長】 ■抜群の洗浄性溶剤加温 ■省エネ・低ランニングコ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社キョウデンプレシジョン