歩留まり | イプロスものづくり

PR独自メンテで空気品質を長期保証！コンタミ対策やクリーンルーム相当の環境…

きれいな空気は健康、生産効率、品質に大きな影響を与える大事なものです。当社の工業用空気清浄機（エアクリーナー）は自動車工場、フォークリフトが動く物流倉庫、清潔な環境が求められる食品工場など室内空気の品質管理が必要なエリアに向けて開発されました。【このようなお悩みはありませんか？】 ◆研磨やブラストなどで発生する粉じんによる製品の歩留まりを改善したい ◆粉じんが流入しやすい環境近くの詰所、...

メーカー・取り扱い企業：クリーンエア・スカンジナビア株式会社

光学部材用金型洗浄機『クリピカエースOPT』

PR輝度回復と歩留まり改善。光学部材用金型洗浄機『クリピカエースOPT』な…

＼非接触で洗浄！／光学部材用金型洗浄機『クリピカエースOPT』は、デリケートな光学部材用の金型に付着した汚れをノーダメージで完璧に除去します。ガス焼け、樹脂汚れに対応。ナノ、ミクロレベルの汚れも逃さず除去します。【従来の光学部材の金型メンテナンス】 ●綿棒やスワブなどを使って手作業で行う ●キズがつきやすいため細心の注意が必要 ●充分に汚れが取れないことも ●有機溶剤を使用する...

メーカー・取り扱い企業：ソマックス株式会社

水なし、風だけでパーティクルを徹底除去『エアースクリューノズル』

【もはや革命】水洗浄不要！エアーブローだけでパーティクルを除去します

率化とコストカットの実現上述の通り一連の工程が不要になるため、当該工程に割いていた人員や諸々の設備、それら設備のランニングコストや電気料等の諸経費を大幅にコストカットできます。 ■メリット３：歩留まりの向上他のエアーノズルとは比較にならない洗浄力で、歩留まり向上に貢献。生産効率の引き上げに貢献します。...

メーカー・取り扱い企業：ピュアトラスト株式会社

曲面研磨装置『MH-200L』

手では安定しない精度を得られ、確実に歩留まり向上！卓上型で簡単に移動可…

度治具のセットを行うと誰でも容易に作業が出来ます。【特長】 ■卓上型で簡単に移動可能 ■一度治具のセットを行うと誰でも容易に作業が出来る ■手では安定しない精度を得られる ■確実に歩留まり向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社サンシン

前工程の歩留まり改善が期待できる真空・耐熱用グリース

LOGENEST LAMBDA AEP-4は真空かつ150℃以上の高温…

「LOGENEST LAMBDA AEP-4」は下記のような特徴があり、コンタミ改善に取り組まれている方や大切な機械をメンテナンスしている方へ推奨しております ■ 特殊フィルム製造の前工程（成膜、エッチング等）の搬送部（ベアリング等）やシール部（Oリング等）に最適なグリースです ■ 特徴は、従来のフッ素グリースより劣化を抑え、ロングライフが期待されます【用途】各種下記前...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ニッペコ本社

Crガラスマスクの『静電破壊』にお困りではありませんか？

［技術資料を無料公開中！］導電層が静電破壊を抑制！高い歩留まり率で、安…

当社の『静電破壊対策用Crガラスマスク』は、帯電物が接近してもパターン破壊が起こりにくいフォトマスクです。大量の露光回数に対しても、破損することなく1枚で対応可能です。マスクの取り替えにかかっていたコストを削減できるほか、安定した生産スピードを維持できるため、生産効率アップにも貢献します。また、豊富な静電破壊対策仕様品の量産の経験を活かし、一般仕様品と同等の工期で、高い除電...

メーカー・取り扱い企業：竹田東京プロセスサービス株式会社

卓上型マニュアルワイヤーボンディング装置『IBOND5000』

ウェッジ/ボール設定を簡単に切り替え可能！銅ボンディングにも対応 ※世…

めるための調整可能なワークホルダーの高さが特長。オプトエレクトロニクスモジュール、ハイブリッド/ MCM、マイクロ波製品、チップオンボードなどを含むすべてのボンディングアプリケーションで高い歩留まりと優れた再現性を有しています。【ラインナップ】・デュアルワイヤボンディング装置（ウェッジ/ボール設定を簡単に切り替え可能）・ボールワイヤボンディング装置・ウェッジワイヤーボンディング装置...

メーカー・取り扱い企業： Micro Point Pro ltd株式会社本社

チップ持ち帰りエラーゼロを実現するご提案

半導体チップの持ち帰りをゼロにし、歩留まりを向上！

薄膜デバイスが安定的に移送できない、また破損が発生し困っている ■0.1 ミリ以下の吸引孔のコレットを探している ■最適なコレットのサイズや材質で悩んでいる ■デバイス損傷による不良が多く、歩留まりが悪い ■半田ボールやバンプチップのピックアップで悩んでいる ■装置の動作速度を上げ、生産効率をアップする方法を知りたい ■特殊形状のコレットを作ってくれるところが見つからない ※詳細...

メーカー・取り扱い企業：有限会社オルテコーポレーション本社

光学用真空蒸着装置用潤滑材・ミラクルピロー

光学用真空蒸着装置の回転系に滑らかな回転をもたらし、歩留まりの向上と回…

つあります。掲載写真のように、V溝付きリング状レールの鋼球２個の間に１個のミラクルピローを挿入するだけで滑らかな回転が行われ、振動と騒音が収まります。その結果、レンズの脱落や白抜けが無くなり、歩留まりの向上と静音化が達成されます。さらに鋼球やレールの溝をミラクルピローから転移した潤滑膜が保護しますので、サビや変形を防止して寿命を延ばします。同じ鋼球を約１年使用した例も有ります。 ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社アベニューマテリアル

自動ダイシング装置『7900 Duo』

対面する2基のスピンドルで同時ダイシング！生産性を倍増させる高性能な装…

を備え、同時にウェーハをダイシングして生産性を倍増するダイシングソーです。ダイシングソーは前面搭載のスピンドルに固定されており、熱による影響を除去しカット位置ズレを防ぎ、結果として歩留まりを増大させます。また、小さな設置面積と高い生産性と自動化を組合せ、費用の低減から所有コストの引き下げとなり、結果として製品当りのコストの低減が計れます。【特長】 ■2基の対面...

メーカー・取り扱い企業：日本技術産業株式会社

チャンバーなどの半導体製造装置部材のコーティングに！シリカコート

金属に高純度シリカガラスをコーティング！酸化が抑えられ耐食性が向上！金…

また、高温での金属の酸化も防ぐことが可能。金属表面が合成石英並みのSiO2になることにより、メタルコンタミの問題を解決できます。先進の半導体製造プロセスでは、微量の金属汚染が製品品質や歩留まりに大きく影響するため、チャンバー、チャンバー回りパーツ、フランジ類などへコーティングすることでメンテナンスサイクルが大きく改善します。【概要】 ■組成：SiO2 ■膜厚：0.1～3μｍ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コンタミネーション・コントロール・サービス

低圧力損失メタルガスフィルター

歩留まりを大幅に向上

ＩＮ側圧力０．２ＭＰａで流したときのＯＵＴ側圧力損失は△０．０５ＭＰａで９０ＳＬＭの流量を実現しました。また、定常流・脈動下において濾過精度０．００３μｍをＣＮＣで確認、サブミクロンＵＬＳＩ製造で歩留まりを大幅に向上致します。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ

PVAテプラ社マイクロ波プラズマ処理装置(前工程向け)

ユニークなウエハー移載機搭載のバッチ処理装置から枚葉処理装置まで、世界…

sma Solutions (PVA MPS / ドイツ) のプラズマ装置は、半導体、MEMS、光デバイス等、多くのアプリケーションにおいて、世界中で広く使用されており、最大限のプロセス再現性, 歩留まり向上を提供致します。マイクロ波(2.45GHz) プラズマ装置は非常に高い電子密度で、且つイオンの運動エネルギー抑制に寄与する事で、様々な用途において、理想的なダメージレスのプロセス結果が得ら...

メーカー・取り扱い企業：伯東株式会社本社

PVAテプラ社マイクロ波プラズマ処理装置(後工程向け)

世界中のOSATのお客様向けに多くの実績があり、信頼性のあるパフォーマ…

sma Solutions (PVA MPS / ドイツ) のプラズマ装置は、半導体、MEMS、光デバイス等、多くのアプリケーションにおいて、世界中で広く使用されており、最大限のプロセス再現性, 歩留まり向上を提供致します。マイクロ波(2.45GHz) プラズマ装置は非常に高い電子密度で、且つイオンの運動エネルギー抑制に寄与する事で、様々な用途において、理想的なダメージレスのプロセス結果が得ら...

メーカー・取り扱い企業：伯東株式会社本社

昇華精製装置『DSUシリーズ』

0.1kgの少量精製から10kgまでの量産精製に対応。省スペースで設置…

れます。【特長】 ■開発から量産まで幅広いニーズに対応 ■オートプロセスコントロールによる温度・圧力制御 ■実験や開発に適した0.1kgから量産用の10kg/runを精製 ■純度99.99％・歩留まり98％(2回目の精製後) ■縦型のため省スペースで設置可能 ※「PDFダウンロード」より製品資料(英語)をご覧いただけます。　お問い合わせもお気軽にどうぞ。 ※ 本画面下部にて関連製品動画もご...

メーカー・取り扱い企業：ティー・ケイ・エス株式会社

書籍『レジスト材料の基礎とプロセス最適化』

半導体、ディスプレイ、プリント基板等で欠かせないフォトレジスト材料に…

フォトレジスト技術に関する幅広い分野をカバーし、実用書としても有意義な内容を構成しています。具体的には、フォトレジスト材料、プロセス、評価・解析、処理装置までを幅広く網羅し、パターン欠陥などの歩留まり改善やトラブル対策に必須な技術も含まれており、フォトレジスト材料を扱う技術者の一助となるように構成されております。【本書の特徴】 ➢ 半導体、ディスプレイ、プリント基板等で欠かせないレジ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社シーエムシー・リサーチ

精密ディスペンサー装置 GP2【基板実装/LED後工程】

高精度維持しながらの安価ディスペンサー決定版！高速ディスペンスによ…

繰返し精度：±30μm）　　→高速ディスペンス化による設備投資台数の削減　　　（ジェットポンプ or スクリューポンプ搭載）　　→常温吐出による塗布量安定性UP! 　　→歩留まりの大幅削減、生産効率大幅UP 【アプリケーション】 ◆LED蛍光体全般（SMD/サイドビュー/Dam&Fill他） ◆クリーム半田 ◆Agペースト ◆UV硬化樹脂　...

メーカー・取り扱い企業：株式会社進和メカトロシステムセンター

スクリューディスペンサー【LED後工程/基板実装】

スクリュー回転による超精密吐出を実現！LED/ライン塗布/3D塗布への…

　　　（高粘度材料への対応可能）　　→高速ディスペンス化による設備投資台数の削減　　　（エアー式ディスペンサー比較：2～5倍の処理能力）　　→常温吐出による塗布量安定性UP! 　　→歩留まりの大幅削減、生産効率UP！【アプリケーション】 ◆2次アンダーフィル ◆LED蛍光体全般（SMD/サイドビュー/Dam&Fill他） ◆クリーム半田（φ250~φ300μm） ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社進和メカトロシステムセンター

ドライアウト全自動ポリッシュ装置『6EZ』

Revasum社の枚葉処理装置！SiC基板とデバイスの歩留まり向上を提…

『6EZ』はSiC基板とデバイスの歩留まり向上を提供できるドライアウト全自動ポリッシュ装置です。 Revasum社の7AF-HMGグラインダー装置と6ZEポリッシュ装置を同時に使用することでプロセスの簡素化を提供。当...

メーカー・取り扱い企業：ファーストゲート株式会社本社、大阪オフィス、笹目倉庫

セントロサーム　超高温バルクアニール炉

超高温熱処理と優れた温度均一性の実現により、ブール・インゴット、ウエハ…

ワイドバンドギャップ半導体デバイスの歩留まりを向上するためには、応力に起因する欠陥や転位を最小限に抑える必要があります。その手法の一つとして、半導体結晶の超高温熱処理があります。c.CRYSCOO HTA高温アニール炉は、ワイドバンドギャッ...

メーカー・取り扱い企業：伯東株式会社本社

プラズマダイシング装置『MDS-100/MDS-300』

複数サイズのウェハに対応！誘導結合プラズマを使用したBosch法による…

高速ガス切り替えシステムを用いたBosch法によって、優れた側壁形状および自由な形状での加工を実現し、既存の手法と比較して優れたダイ強度を提供いたします。【特長】 ■ダイの品質/歩留まり/ダイ形状の自由度向上に優れた処理能力で貢献 ■複数サイズのウェハに対応(MDS-100：φ4"～8",MDS-300：φ8"～12") ■誘導結合プラズマを使用した、Bosch法によるダイシ...

メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

パワーモジュール用ベアチップ外観検査装置『CIシリーズ』

実装前にチップの全数外観検査を行うことで後工程のロス低減＆歩留まり向上…

『CIシリーズ』は、チップトレイに収納された個片ベアチップの外観品質検査を行い、良品/不良品に分類する装置です。検出事例・・・エッジクラック、欠け、傷、異物付着、変色等標準搭載されたマルチアングル照明を使い、製品に現れる様々な欠陥モードを捉える照明条件が設定可能。半導体ベアチップ製造メーカ様・受託メーカ様の出荷前検査に最適な装置です。対象製品例）パワーデバイス、IC、イ...

メーカー・取り扱い企業：日精株式会社本社

Ion Beam Delayering装置/半導体物理解析

半導体故障解析 歩留まり解析リバースエンジニアリングマイクロ…

半導体故障解析における材料層の層剥離や除去に対して、迅速な結果を提供する費用対効果の高いソリューションです。広い面積にわたって、優れた均一性と最小限のダメージを実現します。複数のイオンビームエッチング技術を使用することにより、単一層の異なる材料のエッチングレートを一致させることができ、化学組成に関係なく層全体を均一に除去することが可能です。 ...マイクロエレクトロニクス市場では、より高性能で高密...

メーカー・取り扱い企業：伯東株式会社本社

TAB・COF製造装置

有効パターンエリアを大きくとる事が可能であり、材料の有効活用ができます

法で行い、微細品対応として、位置決めはカメラによるオートアライメント方式を多く取入れてきています。【特長】 ■一定の速度により数百m単位で製品を流し、同一条件で連続加工ができる ■歩留まり等の製品品質が向上 ■連続で製品を流せる為、無駄な搬送冶具のエリア等が不要 ■有効パターンエリアを大きくとる事が可能 ■材料の有効活用が可能になり、特にコスト面でも有利 ※詳しくはPD...

メーカー・取り扱い企業：株式会社SETO ENGINEERING 守谷事業所

量産用プラズマクリーニング装置（大型プラズマクリーナー）

自動化量産ラインに対応。インラインタイプ、枚葉タイプ、柔軟なハード構成…

搬送機構・クリーニング前後機構をを独自設計、プリント基板・ヒートシンク等のインライン搬送・フレキシブルプリント基板の枚葉搬送など基板や生産量最適に合わせ最適なハード構成を実現。スループット＆高い歩留まりを実現。 ...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

高精度フルオートフリップチップボンダー：femto2

FINEPLACER femto2 は最先端用途向けに設計された高精度…

igmaの全自動高精度ダイボンダーです。装置エンクロージャにより、完全に制御された環境下で、要求の厳しいアプリケーションに対応致します。システムは完全に外部の影響を遮断し、最高クラスの歩留まりで、安定したアセンブリプロセスを実現します。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。...

メーカー・取り扱い企業：ファインテック日本株式会社

【高精度】『基板のエッジ／表面研磨の受託開発・加工サービス』

基板の形状・面精度、強度がアップ！後工程での破損・荒れも防ぎ、歩留まり…

研磨プロセスにより高精度な形状・面精度が得られるほか、エッジ部を鏡面処理することで基板強度も向上！後工程での破損防止や成膜時に生じやすい外周部の荒れ抑制など多くのメリットが得られ、歩留まりや品質改善を実現できます。【特長】 ■φ8mm～φ450mmまでエッジ加工可能 ■研磨加工後のスクラブ洗浄可能 ■評価設備も充実！加工前後の品質確認や評価も対応 ■チタンやSiCな...

メーカー・取り扱い企業： Mipox株式会社

半導体チップの不良に頭を抱えている担当者様へ

チップ持ち帰り不良の多さの原因がわからない方などにオススメ！

お困りごとを解決】 ■コレットのアイデアはあるが製作する業者がいない ■MEMS用のコレットはないだろうか ■0.1ミリ以下の吸引孔のコレットを探している ■デバイス損傷による不良が多く、歩留まりが悪い ■半田ボールやバンプチップのピックアップで悩んでいる ■特殊形状のコレットを作ってくれるところが見つからない ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：有限会社オルテコーポレーション本社

【半導体チップの持ち帰り不良で悩んでいる方へ】※改善事例

パワー半導体製造会社様での改善事例をご紹介します。

薄膜デバイスが安定的に移送できない、また破損が発生し困っている ■0.1 ミリ以下の吸引孔のコレットを探している ■最適なコレットのサイズや材質で悩んでいる ■デバイス損傷による不良が多く、歩留まりが悪い ■半田ボールやバンプチップのピックアップで悩んでいる ■装置の動作速度を上げ、生産効率をアップする方法を知りたい ■特殊形状のコレットを作ってくれるところが見つからない ※詳細...

メーカー・取り扱い企業：有限会社オルテコーポレーション本社

ゴムコレット特注サイズのご提案

1 辺最小150μm から対応！金型を新たに作ることなく希望サイズのゴ…

薄膜デバイスが安定的に移送できない、また破損が発生し困っている ■0.1 ミリ以下の吸引孔のコレットを探している ■最適なコレットのサイズや材質で悩んでいる ■デバイス損傷による不良が多く、歩留まりが悪い ■半田ボールやバンプチップのピックアップで悩んでいる ■装置の動作速度を上げ、生産効率をアップする方法を知りたい ■特殊形状のコレットを作ってくれるところが見つからない ※詳細...

メーカー・取り扱い企業：有限会社オルテコーポレーション本社

オルテコーポレーション　会社案内

持ち帰りをゼロにし歩留まりを向上！半導体製造装置ごとに最適化されたピッ…

オルテコーポレーションは、半導体製造装置の消耗パーツを取り扱っている会社です。「エポキシディスペンシングルノズル」や「交換式ゴムコレット（交換式ラバーチップ）」といった後工程で使われる様々なパーツを取り扱っており、数十年に及ぶ豊富なケーススタディから、最適なコレットをご提案いたします。半導体でお困りのことがあれば、是非当社までご相談ください。【取扱製品】一部抜粋 ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社オルテコーポレーション本社

静止空気より優れた断熱性能！高性能断熱材のメリットを解説

なぜ断熱材『シルサーム』を導入するのか？そのメリットを解説します。

℃用途で使用可能 ■ 従来の断熱材より5~10倍の断熱性能『シルサーム』を導入するメリット ■ 断熱改善によりCO2削減 ■ 省エネ性向上による燃料費削減 ■ 熱効率の最適化による歩留まり改善 ■ 軽量化による設備費削減 ■ コンパクト化による表面放散熱量の削減 ■ 断熱材肉薄化による容積拡大 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：シルサーム・ジャパン株式会社

LCD用圧力分布測定システム

歩留まりアップを圧力管理からサポート！

歩留まりアップを圧力管理からサポート！...

メーカー・取り扱い企業：蒲田工業株式会社

マスク洗浄機｜全自動マスク洗浄装置「TWC-200A」

マスクに付着した1μm以上のパーティクルとレジスト残渣を一挙に完全除去

、除去効果を大幅に向上させるとともに安全性や地球環境にも配慮しました。オペレーターはマスクを装填したカセットを乗せるだけ。危険な薬品に曝される事も無く安全性を高め、露光プロセスの品質向上と歩留まり向上に大きく貢献いたします。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノビジョン本社

ミニマルマイクロバンプ接合装置　MB700

ミニマルファブで3D-LSIのものづくりを変革する接合装置

【特徴】 ○少量生産3次元半導体の開発と生産に最適 ○ミニマルファブによる3D-LSI製造のメリット →歩留まり向上 →超多ピン接合（小型圧着ユニットで多ピン接合が可能） ○赤外線光学系など高精度位置合わせ機能を搭載 →上下同時視野光学系：アライメント精度5μm →IR光学系：アライメント精度1μm...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アドウェルズ

プラズマCVD装置

パワーデバイス、LED、MEMS等の量産で多数の実績がある装置です。

膜質の制御範囲が非常に広く、様々なお客様の求める膜質に対応します。また、化合物ウエハや特殊ウエハなど、従来の装置では問題があった安定した自動搬送を実現し、歩留まり向上に貢献します。当社では、お客様のご要望を出来るだけ装置に反映するため、装置毎のカスタマイズを積極的に行います。社内にデモ機を常設していますので、お気軽にご相談ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社日本生産技術研究所

可動真空チャンバー＜ボディフレーム＞

ご使用の開放プレス機に装着、低コストで真空プレス機に転用します。

取り付けるだけで、真空プレス機に転用できます。 ■気密性　確実な気密性で133〜1.33Pa（1.0〜0.01Torr）の真空度を実現します。　製品の酸化不良を防止、高品質化を実現し歩留まりも向上します。 ■耐熱性　BFS（角形）では最高260℃まで使用可能です。BFC（丸形）なら最高400℃まで使用可能です。　高温下においても長時間にわたって性能を維持します。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社タンケンシールセーコウ

【用途事例】光通信デバイス実装とパッケージング

試作開発から量産対応まで！製造技術で高歩留りを確保

マニュアル機、セミオート機、フルオート機の各装置に、柔軟にボンディングプロセスを付加することが出来ます。多目的用途ダイボンディング装置は、試作研究開発レベルでの少量生産から、高い歩留まりでの生産フェーズに対応したフルオート機種までの構成を提供しています。【特長】 ■実装精度0.5μm ■「FINEPLACERシリーズ」の技術がベース ■プロセス移管が容易に行えま...

メーカー・取り扱い企業：ファインテック日本株式会社

セラミックス製ウエハー搬送ハンド PeriZac（ペリザック）

パーティクル発生リスクを極限に抑えた、大気用セラミックス製搬送ハンドの…

れたセラミックス吸着搬送ハンドは業界標準となっています。PeriZacはウエハの接触面積、接触位置を工夫し、回路の作り込まれない外周部分をやさしく保持することで更にパーティクルの低減を図りました。歩留まりの向上を目指す半導体デバイスメーカー様向けに好評をいただいております。...

メーカー・取り扱い企業：アスザック株式会社ファインセラミックス事業部

300mmバッチクラスタ装置「Sprinter」

枚葉プロセスレベルの成膜品質をバッチ装置で！クラスタシステムにより生産…

は、システムが業界の厳しい規格と互換性があることを保証します。完全に分離されたプリカーサ供給配管と注入口を備えた特許取得済みのデュアルチャンバ、ホットウォールリアクタ設計により、優れた歩留まり、低パーティクルレベル、優れた電気特性・光学特性を備えた高品質のALD膜を作成します。コンパクトで人間工学に基づいた設計により、メンテナンスを簡単かつ迅速に行えるため、システムのダウンタイ...

メーカー・取り扱い企業： PICOSUN JAPAN株式会社

脱気システム Livalley

気泡の原因を元から除去！既存プロセスに後付けするだけで溶存酸素を10p…

気の成分である窒素、酸素のガス成分を減圧や気液分離方式で取り除き、コントロールすることにより減少させた脱気水を用いて、既存プロセスの歩留りを改善します。 ■特徴１：生産・検査・試験プロセスの歩留まり改善液体に溶け込んでいるガス成分（窒素、酸素等）を高効率で除去、または供給することで液中の溶存ガスをコントロールすることにより、お客様の抱える生産プロセスを改善できるシステムです。 ■特...

メーカー・取り扱い企業：株式会社東設本社ヘッドオフィス

ＩＣ.プログラマー　LP-456

『台湾・リープ社』製、世界の主要半導体メーカーから認定を受けたICプロ…

。オペレータが終了したデバイスを入れ替えれば、チップの挿入直後にプログラミングを開始することができます。量産指向のソフトウェアが付属しており、プロジェクトによる作業効率の向上、作業量管理や歩留まりの統計情報を知ることができます。 LP-456では汎用アダプタを使用することができ経済的です。 ...

メーカー・取り扱い企業：三友電子工業株式会社

スーパーバブラーWAC

先進の電気抵抗率制御技術で超純水の静電気を抑制！！

【特徴】・半導体製造やFPD製造、ダイシング工程での洗浄水の電気抵抗率を最適　化。・静電破壊や微粒子の再付着を防ぎ、歩留まり向上。・全機種電気抵抗率センサーが内蔵されているので据付・配管が容易で　す。・最大通水量：3,000L/h、圧力損失：0.06MPa at 3,000L/h ・運転スイッチを押して電...

メーカー・取り扱い企業：日東機器ファインテック株式会社

【高耐食性Y2O3/YOF膜事例】エッチング装置部品の保護膜に

溶射やエアロゾルデポジションによる保護膜より遥かに耐食性・耐プラズマ性…

シスト蒸着法による耐プラズマ性の高耐食性Y2O3膜（酸化イットリウム膜）, YOF膜（酸フッ化イットリウム膜）を使用した事例をご紹介します。半導体の微細化は急速に進んでいます。半導体製造競争は歩留まりと装置の稼働時間が大きなカギを握っています。エッチング装置部品の保護膜は、溶射やエアロゾルデポジションによる酸化イットリウム膜が使われていましたが、エッチング装置は、シリコンウエーハにエッチングし...

メーカー・取り扱い企業：つばさ真空理研株式会社横浜ラボラトリー

ダイシングブレード『レジンボンドブレード』

自己研磨でダイヤモンドを常時露出！優れたカット性で硬くて壊れやすい材料…

中に埋め込んだ研磨剤で構成されたダイシングブレードです。ブレードの刃は常時ダイアモンドが新しく露出されて、刃先がシャープになるように速度が制御されるため、切り口が高度に正確で顕著な歩留まりとブレードの長寿命を達成します。アルミナやガラス、水晶といった硬くて壊れやすい材料に好適です。【特長】 ■自己研磨でダイヤモンドを露出する基盤 ■優れたカット性 ■硬く頑...

メーカー・取り扱い企業：日本技術産業株式会社

シングルスピンドルダイシング装置『7900 Uno』

ダイシング時間を最適化！歩留まり向上とコスト削減に貢献する単一スピンド…

『7900 Uno』は、オートマチック、単一スピンドルのダイシング装置です。「model 7910」は、スピンドル2"、サイズ8"で構成されています。使い易い、知覚的、GUIベースタッチスクリーンを採用。設置面積が小さくコンパクトなうえ、維持が容易です。切断面検査と品質分析や工程データ収集と統計分析などが行えるほか、 7900二重スピンドル装置との互換技術を有しています。...

メーカー・取り扱い企業：日本技術産業株式会社

Aera Transformer　デジタルマスフローコントローラ

コスト削減に寄与する汎用性に優れたMFC

ンに適したAera Transformerデジタルマスフローコントローラ（MFC）とデジタルマスフローメーター（MFM）は、お客様のプロセス改良に寄与し、優れた柔軟性と効率を実現することによって、歩留まりの改善、生産性の向上、ならびにコストの削減に寄与貢献します。新センサー・バルブ技術、フィールドで実績のある基幹部品、ならびに高速デジタル回路を搭載して、精密なガスフロー制御を実現します。優れた...

メーカー・取り扱い企業：日立Astemo＆ナガノ株式会社