フッ素膜【フッ素薄膜処理における真空蒸着法とスプレー法の違い】

PR各処理方法のメリット・デメリットを分かりやすく紹介した資料進呈。受託加…

本資料では、ガラスや金属に撥水性・撥油性・防汚性・離型性などを付与できる フッ素薄膜処理について、真空蒸着法とスプレー法の違いを説明しています。 フッ素薄膜処理は、基材の形状やコストなどの条件に応じた 処理方法の選定が求められます。 フッ素薄膜処理をご検討中の方は、ぜひ本資料をご覧ください。 【掲載内容】 ・フッ素薄膜処理とは ・真空蒸着法、スプレー法とは ・真空蒸着法...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カツラヤマテクノロジー T&K事業部

フッ素膜【フッ素薄膜処理における真空蒸着法とスプレー法の違い】

PR各処理方法のメリット・デメリットを分かりやすく紹介した資料進呈。受託加…

本資料では、ガラスや金属に撥水性・撥油性・防汚性・離型性などを付与できる フッ素薄膜処理について、真空蒸着法とスプレー法の違いを説明しています。 フッ素薄膜処理は、基材の形状やコストなどの条件に応じた 処理方法の選定が求められます。 フッ素薄膜処理をご検討中の方は、ぜひ本資料をご覧ください。 【掲載内容】 ・フッ素薄膜処理とは ・真空蒸着法、スプレー法とは ・真空蒸着法...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カツラヤマテクノロジー T&K事業部

真空ポンプ対応ユニット　SCPM-EV/SCTM-EV

外部からの真空エア供給に対応し真空切替バルブとして使用可能なユニット！…

小型・軽量の真空ポンプ対応ユニットです。真空ポンプやマルチステージエジェクタなど、外部真空発生器から供給された真空エアを切替える真空切替バルブとして使用できます。 エアの切替や真空破壊機能によるサイクルタイムの短...

メーカー・取り扱い企業： シュマルツ株式会社

真空搬送ロボット

クリーンで信頼性の高い真空搬送ロボットおよび搬送用プラットフォームです…

真空機器メーカーとして培ってきたアルバックの技術を投入した、クリーンで信頼性の高い真空搬送ロボットおよび搬送用プラットフォームです。 各種真空機器に対応する幅広い製品をラインアップしています。 【ラインナップ】 ○高真空対応ロボットELEC-RZ（φ200mm/300mm ウェーハ対応） ○高真空対応ロボットCOVOT（φ200mm/300mm ウェーハ対応） ○高真空対応ロボットCOVO...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

OnRobot 電動真空グリッパー『VGP20』

生産をパワーアップ！空気グリッパーに比べ最大90%のコスト削減が可能！

『VGP20』は、業界最高クラスの強力電動真空グリッパーです。 ダンボール箱のパレタイジングおよび不規則な形状・多孔質な表面の 取り扱いに好適。無限にカスタマイズ可能な汎用性の高いグリッパーで 様々なアプリケーションに対応できます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 大喜産業株式会社

342mmサセプタ対応真空アライナ　SVAL30D1シリーズ

真空環境下におけるサセプタをグリップ方式で高速、高精度に位置決めが可能

342mmサセプタ対応真空アライナ　SVAL30D1シリーズは、真空環境下におけるサセプタ（化合物半導体、シリコンウエハ等）をグリップ方式で高速、高精度に位置決めを可能にしました。位置決め用センサを真空環境下に配置することで...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

大型重量物 真空搬送モジュール【可搬重量200kg対応！】

真空中での重量物搬送に特化した真空搬送モジュール！真空ロボット方式やロ…

当社は、真空中での重量物搬送に特化した独自コンセプトのソリューションで、従来方式(真空ロボット方式やローラー方式)における課題を解決します。独自採用のメカニズムにより、僅かな搬送力で重量搬送が可能となり、シンプ...

メーカー・取り扱い企業： コミヤマエレクトロン株式会社

真空ピンセット　導電性Cシリーズ/耐薬品性Fシリーズ

ウエハ－プロセスの作業効率の向上を実現する真空ピンセットです。

真空ピンセット　導電性Cシリーズ/耐薬品性Fシリーズは、ピンセット弁内部を鏡面仕上げ加工にすることで、優れた機密性、耐久性を発揮します。 また、ボタン開閉時の発塵を最低限に抑えました。 精密加工された独自のバルブ構造が、ウエハーの吸着、瞬間離脱の繰り返し作業を長期間にわたり安定した性能を約束します。 金属部分の露出を最小限に抑えていますので、安全なハンドリングができます。 【特徴】 ○吸着...

メーカー・取り扱い企業： 大日商事株式会社

電動真空グリッパー『VGP20』

到着後すぐに使える！さまざまな主要ロボットに迅速かつ簡単に導入可能

『VGP20』は、最大90%のコスト削減が可能な、業界最高クラスの強力な 電動真空グリッパーです。 内蔵型インテリジェンスとマルチチャンネル機能が柔軟で フェールセーフな操作を実現。 無制限にカスタマイズ可能な汎用性の高いグリッパーで、さまざまな アプリケーション...

メーカー・取り扱い企業： 常盤電機株式会社

SCHMALZ（シュマルツ）真空グリッパ『ECBPi/M』

協働ロボットに最適な真空ポンプ内蔵の吸着グリッパー

電気式の真空ポンプを内蔵しており、コンプレッサやエア供給用のホースが不要 【ECBPi】 ・質量775g ・吸込量12L/min ・手動設定が可能なボタンが一体化 ・IO-Link通信に対応してお...

メーカー・取り扱い企業： 因幡電機産業株式会社 産機カンパニー

重量物搬送の強い味方！真空バランサー【※ケース別事例資料を進呈】

搬送時間の短縮で生産性UP！体力に恵まれない作業者でも重量物を楽に運搬

真空バランサー『ジャンボ』は直感的な操作で使用できる手動搬送システムです。物流工程でのパレタイズや加工機械への材料投入・取り出し作業、自動車部品等の組立・搬送に適しており、負荷を感じることなく重量物を運ぶ事が可能です。 【特長】 ◆搬送、積載時間の短縮による生産性向上！ ◆真空で吸着するため荷を傷めない！ ◆作業者のケガを予防しダウンタイムを短縮！ ※ケース別事例を掲載したカタログを進...

メーカー・取り扱い企業： シュマルツ株式会社

piSOFT GRIP 2本指仕様

柔らかいものを傷つけずに把持可能！ 真空駆動のソフトグリッパー！！

食品接触可 piSOFTGRIP真空グリッパーは、FDA21 CFRおよびEU1935/2004規制に準拠し、食品との直接接触が承認されたシリコン（金属検知可能）で作られています。これにより、幅広い食品を真空グリッパーで取り扱えるため...

メーカー・取り扱い企業： ピアブ・ジャパン株式会社

真空グリッパー『VGC10』

さまざまなニーズに対応！アームの交換・カスタマイズが可能でコンパクト

当社が取り扱う『VGC10』をご紹介します。 カスタマイズ無限の柔軟性を誇り、さまざまなアプリケーションのニーズに 対応する電動真空グリッパーです。 外部からの給気不要で、メンテナンスコストの削減・素早い配備を実現。 狭いスペースでの使用に適しており、最大15kgまで対応可能です。 【技術仕様(抜粋)】 ■真...

メーカー・取り扱い企業： 常盤電機株式会社

【課題解決事例】真空環境・クリーンルーム内の長尺搬送

精密機器の搬送やクリーンルーム内での使用に適したニーズに対応可能！

当社の『TCGランナー』を導入した事例をご紹介いたします。 真空環境やクリーンルームでの搬送でステンレス製のボールねじを 使用していたが、たわみによる振動が懸念される為、1mを超える 長尺の搬送ができず、ボールねじに代わる直動部品を探していました。 導...

メーカー・取り扱い企業： 加茂精工株式会社 本社

SCHMALZ（シュマルツ）　真空エジェクタ『 RECB』

協働ロボット向け、吸着ハンド専用のコンパクトな真空エジェクタ

ので、広い用途に使える。 ※シュマルツ製吸着ハンド：画像２～３枚目参照 ■コンパクト 全高を抑えた設計で、ロボットの動きを妨げない。 ■高い吸入量 59L/minと高い吸入量を持つ真空発生器。 通気性の高いワークやたわみやすいワークにも対応可能。 ■安全性 丸みを帯びたデザインで、人との協働作業に適している。 ■IO-Link対応 離れた場所から稼働状況の監視が...

メーカー・取り扱い企業： 因幡電機産業株式会社 産機カンパニー

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VDX3000NSシリーズ』

【～300mmウエハ用】ダイレクトドライブモータを搭載！ 振動の大幅…

■ダイレクトドライブモータ搭載並びにアーム内スチールベルト採用により、 超高精度な搬送とアーム動作時の大幅な振動低減を実現。 ■隔壁型真空シールの採用により、超高真空環境下にも対応可能 ■旋回軸エンドレス仕様により、装置スループットの改善を実現 ■コントローラ内蔵により、装置の小型化を実現 ■ウエハセンター位置ずれ補...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

コミヤマエレクトロン株式会社　真空装置製作

ご要望に合わせた、設計から製造までのワンストップ体制で対応いたします！

FPD・有機EL・半導体・クリーンエネルギー分野など 多くの産業で活躍する「真空装置」。 当社は、設計から製造までのワンストップ体制で ご要望に合わせて対応します。 また、納入後のトラブルにも迅速に対応。 定期メンテナンス、装置改造にも対応可能です。 【特...

メーカー・取り扱い企業： コミヤマエレクトロン株式会社

ユニバーサルロボット用 エジェクタ式真空グリッパーpiCOBOT

4種類の吸着パッドを用意し、様々なワーク吸着の選定対応が可能！真空グリ…

磁弁を保護。 ヒステレシス調整可能な省エネ機能により、エネルギー消費量を 最大90-95％削減します。 【特長】 ■自動状態監視機能により、電磁弁を保護 ■自動レベル設定機能により真空レベルを最適化 ■様々なワーク吸着の選定対応が可能 ■UR＋認証 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 高島ロボットマーケティング株式会社

協働ロボット用ハンド『piCOBOT』

小型でパワフルな 協働ロボット用グリッパー

協働ロボット用ハンドのpiCOBOTがリリースされました。小型で大真空流量を発生の高効率エジェクターを搭載しているのみではなく、真空状態が一目で判別可能なLEDの点灯・点滅の機構を備えております。また、真空破壊機構も陽圧を検知した時点で終了する省エネ仕様です。 ...

メーカー・取り扱い企業： ピアブ・ジャパン株式会社

OnRobot パレタイジング用電動グリッパー『2FGP20』

パレタイジングとシートパレット用の多様性のある電動グリッパー

幅の広いストロークとカスタマイズ可能なアームを持った多様性の高いパレタイジンググリッパーは、真空パッドでは掴めない重たい箱、開放箱、棚置き準備のできた製品や他の容器を扱います。 統合された真空グリッパーは、グリッパーの交換無しで、あるいは他の取り扱い方法を必要とせずに、シートパレットを扱いま...

メーカー・取り扱い企業： 大喜産業株式会社

ユニバーサルロボット用真空ソフトグリッパーpiSOFT GRIP

傷つきやすく繊細なワークの取り扱いが可能！内部が空洞になっている真空ソ…

『piSOFT GRIP』は、食品業界のオートメーション向けに開発された 真空駆動ソフトグリッパーです。 FDA21 CFRおよびEU1935/2004規制に準拠しており、食品との 直接接触が承認されたシリコン製。 2本指・3本指のバリエーションがあり、多様な形...

メーカー・取り扱い企業： 高島ロボットマーケティング株式会社

真空対応シングルアームクリーンロボット『SV1240』

従来のアルミ構造の部品点数削減によりさらに製造コストの削減を実現！

『SV1240』は、真空シールに磁性流体シールと金属ベローズ方式を採用した シングルアームクリーンロボットです。 従来のアルミ構造の部品点数削減によりさらに製造コストの削減を実現。 アーム駆動にタイミングベルトを...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UTVW-R2800H』

【～300mmウエハ用】旋回軸にダイレクトドライブモータを採用！ 高…

■Z軸が標準搭載されているダブルアームタイプの真空用ウエハ搬送ロボット ■θ軸にダイレクトドライブモータを採用し、ウエハを低振動で搬送することで スループット向上に貢献 ■CVD装置、アニール装置など、高温プロセス装置に対応 ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

ディスプレイガラス向けグリッパー『STGG』

薄く繊細なワークへの吸着跡や負荷を低減。よりダイナミックな搬送を実現す…

ディスプレイガラス向けグリッパー『STGG』は、低真空圧かつ面での吸着を行うことで、薄く繊細なワークへの負荷を低減し、よりダイナミックな搬送を実現するグリッパーです。 クリーンルーム規格に準拠したタイプやESD(静電気放電)対策にご使用いただける...

メーカー・取り扱い企業： シュマルツ株式会社

世界のロボット用真空エンドエフェクター市場レポート：成長、動向

ロボット用真空エンドエフェクターの世界市場規模、売上、価格、収益、動向…

2023年6月27日に、YHResearchaは「グローバルロボット用真空エンドエフェクターのトップ会社の市場シェアおよびランキング 2023」の調査資料を発表しました。本レポートでは、ロボット用真空エンドエフェクターの世界市場について、製品別、アプリケーション別、会社別...

メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社

世界の真空ウェーハ搬送ロボット市場レポート：成長、動向、予測

真空ウェーハ搬送ロボットの世界市場規模、売上、価格、収益、動向分析レポ…

2023年6月27日に、YHResearchaは「グローバル真空ウェーハ搬送ロボットのトップ会社の市場シェアおよびランキング 2023」の調査資料を発表しました。本レポートでは、真空ウェーハ搬送ロボットの世界市場について、製品別、アプリケーション別、会社別、地域...

メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社

真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットSTVCR4000シリーズ

STVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます

真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットSTVCR4000シリーズは、真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。STVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます。更にSTVHRと取付互換がありますので、乗せ替えに際してもスムーズに行えます。ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮を実現しました。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VFX3000NMシリーズ』

【～300mmウエハ用】 アーム長、Z軸の有無の選択が可能なシングル…

■2種類のアーム長に標準対応。 Z軸の有無も選択可能のため、さまざまな装置レイアウトに対応。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...【仕様】 ■動作範囲 ・X-axis：720mm ・θ-axis：340° ・Z-axis：20mm ■最大動作速度 ・X-axis：250°/sec ・θ-axis：220°/sec ・Z-axis：...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

5軸真空水平多関節型クリーンロボットGTVHR5000シリーズ

チャンバ加工のシンプル形状化による加工コスト削減が可能

5軸真空水平多関節型クリーンロボットGTVHR5000シリーズは、多彩な装置レイアウトへの対応が可能です。フットプリントの縮小化、真空引容積の縮小化に寄与しており、チャンバ加工のシンプル形状化による加工コス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VDW3000HSシリーズ』

【～300mmウエハ用】世界最速級の真空内高速搬送！ 装置スループッ…

■世界最速級(650WPH)の真空内高速搬送を実現 ■ダイレクトドライブモータ搭載により、アーム動作時の振動を大幅に低減 ■アーム部にスチールベルトを採用し、軌跡精度と位置決め精度を向上 ■ハンド部に高摩擦パッドを...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

バルーンハンド『SGBシリーズ』

多品種、不定形状の真空吸着に好適！供給ポートに圧縮空気を入れるだけ！

『SGBシリーズ』は、これまで掴めなかったワークを吸着搬送できる 新構造のハンドです。 コンバム(真空エジェクタ)内蔵のため、供給ポートに圧縮空気を 入れるだけで簡単動作。 コンバムの真空発生時の排気を無駄なく利用することができます。 【特長】 ■これまで掴めなかったワークを吸着搬送...

メーカー・取り扱い企業： コンバム株式会社 旧社名：妙徳

【ユニバーサルロボット用】電気真空グリッパー『EPick』

ロボットからの電源供給により、配管・配線が不要！取り扱いが簡単な電気真…

『EPick』は、コンプレッサーもエア用ホースも必要なく、ロボットからの 電気供給のみで使用することができる電気真空グリッパーです。 小型ワークのピッキングなどに適しており、非多孔質材に好適。 吸着パッド1個入り、2個入り、4個入りKITの中から選択でき、 自由にカスタマイズが可能です。 【特...

メーカー・取り扱い企業： 高島ロボットマーケティング株式会社

コミヤマエレクトロン株式会社　会社案内

好適な真空装置をコーディネートし、ご提案いたします！

コミヤマエレクトロンは、まじめにモノづくりをしている企業です。 近年、注目されている液晶テレビなどのフラットパネルディスプレー 製造用の真空装置や、真空部品などの製造を手がけています。 真空装置は日常生活では目に触れる機会の少ない部品ですが、 その装置をつくり出している技術は、私たちの生活を豊かにし、 社会を発展させていく...

メーカー・取り扱い企業： コミヤマエレクトロン株式会社

真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットDTVHR4000シリーズ

長寿命と信頼性の高い搬送を維持でき、低アウトガス環境での使用が可能

4軸円筒座標型リンク式高真空対応クリーンロボットDTVHR4000シリーズは、リンク構造は金属ベルト、ギア等を使用せず転動体により連結された構成のため、長寿命と信頼性の高い搬送を維持でき、低アウトガスと20℃～50℃の環境での...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VFX4000NM』

【～300mmウエハ用】高可搬型シングルアーム真空ロボット！

■マスク、サセプタ、トレイ等の重量物を搬送可能な高可搬型シングルアーム真空ロボット ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

PISCO『ロボットハンドパーツ』

大小様々なワークを効率よく正確に移動するハンドリングロボットの周辺機器…

ドパーツ』に ついてご紹介しております。 可搬質量を考慮した「アルミバータイプ」をはじめ、高強度な 「プレートタイプ」や、チャックも取付可能な「フランジタイプ」を掲載。 また、大流量真空発生器を内蔵した「真空グリッパ」をご提案しております。 製品の選定に、是非ご活用ください。 【掲載内容（抜粋）】 ■アルミバータイプ ■プレートタイプ ■フランジタイプ ■ロボットフ...

メーカー・取り扱い企業： 大喜産業株式会社

ロボットハンド　2FGP20

パレタイジングとシートパレット用の多様性のある電動グリッパー

幅の広いストロークとカスタマイズ可能なアームを持った多様性の高いパレタイジンググリッパーは、真空パッドでは掴めない重たい箱、開放箱、棚置き準備のできた製品や他の容器を扱います。 統合された真空グリッパーは、グリッパーの交換無しで、あるいは他の取り扱い方法を必要とせずに、シートパレットを扱いま...

メーカー・取り扱い企業： OnRobot Japan　株式会社

ジェーイーエル　製品総合カタログ

半導体搬送ロボットやアライナ等製品を多数掲載した総合カタログです。

ジェーイーエルの製品総合カタログでは、円筒座標型クリーンロボットをはじめ、水平多関節型クリーンロボット、円筒座標型真空対応クリーンロボット等の各種搬送ロボット製品を多数掲載しております。 ３軸円筒座標型クリーンロボット「SCR3000CS」は、スーパークリーンルーム用の製品です。半導体製造装置内、検査装置内のウエ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

パレッチャー『SGPシリーズ』

多品種のワークを一つのハンドで搬送！凸凹のあるワークや重量ワークに。

『SGPシリーズ』は、多品種のワークを一つのハンドで搬送できる パレッチャーです。 オリフィス内蔵で多少の真空漏れでも吸着可能。 低真空～高真空領域をカバー(供給圧力：0.45、0.55MPa)することができます。 また、様々な標準パッドから選択可能でスポンジタイプもクロロプレン、 エプトシーラー...

メーカー・取り扱い企業： コンバム株式会社 旧社名：妙徳

【テックマンロボット用】電気真空グリッパー『FQE』

ロボットへの負荷を削減、搬送速度の向上に寄与！多数量ワークの一括搬送に…

『FQE』は、多品種・多数量ワークの搬送に適した真空グリッパーです。 段替え作業なしで、様々なワークに対応することが可能。 さらに、SO/TS 15066に準拠した丸みを帯びたデザインで、 約65dbの低いノイズレベルで作業者の負荷を軽...

メーカー・取り扱い企業： 高島ロボットマーケティング株式会社

【テックマンロボット用】電気真空グリッパー『ECBPMi』

ロボットフランジ、電気接続ケーブルが一体化！専用工具なしで容易に取付…

『ECBPMi』は、コンプレッサーもエア用ホースも必要なく、ロボットからの 電気供給のみで使用することができる電気真空グリッパーです。 きわめて軽量・小型なボディで、ロボットの可搬域を最大限活用した 作業が可能。 本体重量が225gと非常に小型なため、可搬の小さな協働ロボットでも ご使用頂けるほか、...

メーカー・取り扱い企業： 高島ロボットマーケティング株式会社

【デモ機貸出可】ポリイミド静電チャック

クリーン度の維持に貢献！半導体製造装置やディスプレイ製造装置等に採用さ…

献します。 薄い製品や変形しやすい製品に、ストレスを与えずに把持することができ、 ウェハやガラスなどの搬送用に使用する場合、1W以下の電力で使用可能。 また、把持力は大気中だけでなく、真空中でも発現します。 大気と真空プロセスを併用する設備でもご採用頂いております。 【特長】 ■クリーンデバイス ■低ダメージ ■真空下でも使用可能 ■低消費電力 ※詳しくはPDF...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリエイティブテクノロジー

バキュームグリッパー『VG10』

金属や光沢包装材、ガラスなどの材質に対応！生産性と投資収益率が短期間で…

【技術仕様】 ■真空率 　・最小値5%　最大値80% 　・最小値-0.05バール　最大値-0.810バール 　・最小値1.5inHg　最大値24inHg ■真空カップ 　・最小値1個　最大値16個 ■真空ポ...

メーカー・取り扱い企業： 常盤電機株式会社

炭素繊維強化プラスチック(CFRP)用途例【産業用ロポット】

炭素繊維強化プラスチック(CFRP)の特性を活かした産業用ロボット分野…

■液晶ガラス基板搬送アーム 　・各処理工程装置間においてガラス基板を高速、高精度で搬送可能 　・10世代の大型ガラス基板用、250℃の高温環境にも対応可能 　・低アウトガス仕様により、真空環境下でも使用可能 ■シリコンウエハ搬送アーム 　・たわみが軽減され、カセットへの干渉を防止 　・搬送動作中の振動収束までの時間が短縮、タクトタイムの短縮につながります 　・300～45...

メーカー・取り扱い企業： TIPcomposite株式会社

食品工場　協働ロボット【導入事例集】全７例の事例を進呈中！

人協働パレタイザCoboPalや真空包装品ケーサなど！協働ロボット導入…

当事例集は、当社が提供する「人協働パレタイザCoboPal」や 「真空包装品ケーサ」などの製品の導入事例をご紹介しております。 当社製品の導入により、省人化や身体的不安・心理的不安の軽減などを実現。 導入目的と課題、課題解決策と導入効果をそれぞれ掲載しております。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社FAMS

リンク式ダブルアームクリーンロボット『SR2160-310』

下側の反転軸には濡れたウェハの真空吸着が可能！ダブルアームクリーンロボ…

『SR2160-310』は、反転ユニット、マッピングユニットが付属した リンク式ダブルアームクリーンロボットです。 濡れウェハ対策として下側の反転軸には濡れたウェハの真空吸着が可能。 ロボット駆動部への水の浸入防止のためアーム駆動部と本体駆動部に 水受けを設置しました。 【特長】 ■反転ユニット、マッピングユニット付属 ■アーム駆動部と本体駆動部に...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

4軸水平多関節型クリーンロボット　GCR4280-AMシリーズ

300mm、450mm対応の半導体製造装置内等のウエハなどの搬送に最適

バリエーション:280mm ○ロボットのみで3FOUP対応可(300mmウェーハ) ○Z軸バリエーション:300mm、420mm ○可搬重量:アーム第3関節換算4kgf以下 ○クリーン対応:真空ラインには、0.1μmメッシュフィルタ装備 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○ダブルチャックの仕様も選択可 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル