【EBSDによる解析例】シリコンウエハ

測定したシリコンウエハは単結晶！IPFマップ、極点図、逆極点図は比較的…

EBSDで解析したシリコンウエハの事例をご紹介いたします。 ウエハから小片を切り出し、中央50×50μmの領域にてIPFマップを取得。 測定範囲内は、{001}面を表す赤色を示し、また、粒界が見られないこと から単...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

シリコンウエハー専用　酸素分析装置『O836Si』

非分散型赤外線検出法を採用！高精度の酸素分析装置をご紹介

『O836Si』は、シリコン業界における低濃度・高精度酸素分析の需要に 応えるために開発された、シリコンウエハー専用酸素分析装置です。 高い精度を誇る非分散型赤外線検出器、最新のサンプルローディングシステムとプログラム可能なインパルス炉の組み合わせで正確・高精度な酸素分析を可能にします。 ...

メーカー・取り扱い企業： LECOジャパン合同会社

Lumetrics 非接触多層膜厚測定器『OPTIGAUGE』

お手持ちのPCに接続可能！12μm～16mmの厚さをインラインで簡単測…

ム、粘着テープからレンズまで、あらゆる測定ができ、各層の厚さを順番どおりに表示するため、結果も見やすく便利です。 【使用例】 ●FPD用部材 ●光学レンズ厚、コーティング厚測定 ●シリコンウエハ厚測定 ●各種チューブの肉厚、内径、外径測定 ●各種フィルム・シートの多層膜厚測定 ●医療用バルーンの膜厚、コーティング厚測定 ●ガラス膜厚測定 　※カタログでは、 　　「多層...

メーカー・取り扱い企業： 伊藤忠マシンテクノス株式会社

平板型赤外線加熱炉　IR-FP Series

赤外線集光加熱により秒速・高温・均一加熱が可能です。お客様のニーズに合…

は、Max1100℃まで加熱可能な平板型の赤外線加熱炉です。 各ゾーンごとの出力調整が可能なため、色々な温度環境での加熱が可能です。 クリーンな加熱で真空対応やガスフロー、観察も可能です。シリコンウエハ、化合物半導体及び薄版鋼板加工の加熱に最適です。 樹脂やフィルム、接着剤の耐熱・変形・観察の用途に使用できます。 試料サイズにより炉サイズの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、ま...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社米倉製作所

マイクロツール『ハードメタルツール』

切削・マーキングに最適

対象物を突付く・押し退ける・擦る・切削する・こそぐ・切る等、大変多用途に使用可能なハードメタル製のプローブです。 5μmのプローブは、金属・シリコンウエハ・硝子の様な硬質材料の微小エリア切削や、FIB加工前のターゲット用マーキングが実現できます。 マイクロピーラーは、先端が彫刻ノミ形状になっておりますので、高分子材料表面の平面切削や、微小埋没...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マイクロサポート 本社営業部・開発部

超微量分析サービス

クリーンルームの環境評価分析も承ります！

を用いた『超微量分析サービス』を 提供しております。 試料に含まれるきわめて微量の元素やイオンの種類・濃度を調べ、 純度評価や超微量不純物の分析を実施します。 【分析例】 ■シリコンウエハ表面の微量金属および陰イオンの分析 ■高純度試薬中の微量金属の分析 ■セラミックスの中の微量特定有害金属の分析 ■RoHS指令関連分析 ■クリーンルーム中の金属元素および陰イオンの分析...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社UBE科学分析センター 名古屋営業所