昇降 | イプロスものづくり

PR オールステンレス製なので防水性能が高く洗浄も簡単！防爆対応も可能です…

「TS-LSシリーズ」は、計量物を台車に積載したまま計量する場合や、ドラムポーターなどでドラム缶やタンクなどを計量する場合などに使用されている低床式のフロアスケールです。載台高さが45mmと低くスロープも付いているため、はかり面への昇降が容易。台部はステンレス製で水洗いも可能です。台車等が引き返すことなく通過できる「両側スロープ」やキャスター移動が可能な「リフトアッ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社宝計機製作所本社・工場

【資料】レールシステム+自動位置決め+パワーアシスト装置の提案

PR人が行っているピッキング及び組付けを重筋作業軽減及び工数低減を実現！

当資料では、「レールシステム+自動位置決め+パワーアシスト装置」の構造をご紹介しております。走行(X)方向駆動装置、横行(Y)方向駆動装置、昇降(Z)方向駆動装置の詳細や、位置検出機構の詳細などを図を用いて解説。その他、使用事例もいくつかの写真とともにご紹介しておりますので、導入検討の際に参考にしやすい内容となっております。【掲載内容(一部)】 ■Knight...

メーカー・取り扱い企業：シンテック株式会社

住宅設備『昇降グリル』

ケーブル長さ調整機構付き！天井に設置してあるエアコンのグリル／フィルタ…

一般的に、グリル／フィルターは脚立等を使用し、手動清掃しており不便となっていました。当製品は、電動モータとプーリーにてインナーを出し入れする事で、昇降が可能。また、清掃作業を簡素化する事で、エアコン本来の機能を損ねる事が無く節電にもつながりました。【特長】 ■コンパクト ■ケーブル長さ調整機構付き ■脚立なしで清掃できる...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハイレックスコーポレーション本社

下面式ワイドベルトサンダー『SUシリーズ』＜定盤固定式＞

連結時の自動昇降も可能！サンディングベルトの着脱、張りが簡単な特殊エア…

ムで表示・加工中でも材料寸法を直読できる・希望設定値を入力すればワンタッチで位置決めが可能 ■エアー圧力の低下、サンディングベルトの破損時に自動的に作動し、数秒で走行を停止させる ■自動昇降装置（連結時の自動昇降も可能） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：アミテック株式会社

スパッタリング装置『nanoPVD-S10A』

高機能コストパフォーマンスに優れた研究開発用RF/DCマグネトロン式…

ピ管理などの全てを7"タッチパネルで一元管理。 ◉ ユーザの登録したフィルムレシピ、プロセス制御（真空引/ベント、成膜時間、出力/時間、MFC流量圧力自動制御、カソード切替、シャッター開閉、加熱・昇降回転調整など）を全自動運転（手動も可能）〜Windows PCでデータロギングができます。【主な仕様】・RF/DCマグネトロン方式・2inchマグネトロンカソードx3源（標準1源） ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

【ホットステージ】超高温基板加熱ステージ Max1800℃

超高温基板加熱ステージに、基板昇降・回転、RF/DC基板バイアスの全て…

◉ 超高真空・不活性ガス雰囲気中・その他各種プロセスガス雰囲気に対応 ◉ ステージ上下昇降（基板又はヒーター昇降、基板&ヒータ二段昇降式） ◉ 基板回転 ◉ RF(1KW)/DC(800V)バイアス印加（逆スパッタ） ◉ 使用環境に応じたエレメントの選択：グラファイト, CCコ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

薄板加工用ワイドベルトサンダー『TS65D』

最小加工厚0.2mm！突板等の研磨に好適、定盤昇降タイプ

『TS65D』は、突板等の研磨に適した薄板加工用ワイドベルトサンダーです。最小加工厚0.2mm、定番昇降タイプで薄物のサンディング加工が可能。この他に、2ヘッドタイプにより仕上げ研磨まで可能な「TS40DVDV」、パスラインが一定でライン化に適している「NTS130D」などのご用意もご...

メーカー・取り扱い企業：アミテック株式会社

多機能スパッタリング装置【MiniLab-S060】

コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの…

チングステージRF300W（メインチャンバー） + <30Wソフトエッチング（LLチャンバー）基板加熱：Max500℃, 800℃, 又は1000℃（C/C、又はSiCコート）基板回転・上下昇降（ステッピングモーター自動制御） APC自動制御：アップストリーム（MFC流量調整）又はダウンストリーム（排気側バルブ自動開度調整）寸法：1,120(W) x 800(D) ●プラズマエッチ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

多元スパッタリング装置

基板温度900℃を実現！基板ステージに3軸機構を搭載し、均一な膜厚分布…

置』は、最大4台のスパッタカソードを搭載し、金属膜、酸化膜等の積層成膜が可能です。 CVD室、蒸着室、プラズマクリーニング室等の組み合わせも対応可能。また、基板ステージに3軸機構（昇降、公転、自転）を搭載し、均一な膜厚分布を実現します。【特長】 ■当社独自のスパッタカソードを搭載 ■当社独自の急速昇降温基板加熱機構を搭載し、基板温度900℃を実現 ■最大4台のス...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

◆◇◆ R&D用小型縦型実験炉 TVF-110 ◆◇◆

ローコスト必要最小構成（手動制御）管状炉・拡散炉・熱CVDとして応用…

小片試料〜3inch waferまでの小基板用サセプタ手動昇降式縦型実験炉大学・企業研究室での基礎実験用に最適な基礎実験用ローコスト版縦型炉【用途】 ◉ 半導体・太陽電池・燃料電池・電子基板等の熱処理 ◉ 基礎実験：縦型管状炉・酸化拡散炉・LP...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

バーチカルサンダー『V-SERA65CV』

各ヘッドは単独での昇降が可能！厚み規正から仕上げまで効率良く高精度な加…

なほか、定盤固定式のためライン化に適しています。【特長】 ■カッター切削とサンダー研磨の2機能を備えたハイブリットタイプ ■サンダー2台分の仕事を1台でこなす ■各ヘッドは単独での昇降が可能 ■定盤固定式のためライン化に好適 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：アミテック株式会社

位置決めサポート！センタリングユニット「PVXM series」

製造現場での各工程におけるワーク等の微妙な位置決めを短時間かつシンプル…

タイプ：マグネット式天板復帰タイプ　PVXM 天板ロック：エアーによる天板ロックの有無昇降ユニット：エアーによるユニットの昇降推奨使用荷重：98N(10kgf)~29,400N(3,000kgf)実績あり水平ストローク：最大±50mm 使用方向：上向き使用圧力範囲：0.2～...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイテック

ラッピング/ポリッシングマシーン『LJ-24-PD3』

お客様毎のカスタマイズに対応！装置を収めた後でも、拡張機能が追加ができ…

事により、荒仕上げ～中仕上げ～超鏡面仕上げが行える製品です。回転可変用ボリューム摘みにてラップ加工中でもそれぞれの回転数を可変することが可能。被加工物への荷重にはデッドウェイトを自動昇降させる昇降ユニットが備えられており、オペレーターへの負荷を軽減させています。制御にはPLCシーケンサーを使用して、お客様毎のカスタマイズに対応しております。【特長】 ■オペレーター...

メーカー・取り扱い企業：ラップジャパン株式会社

真空ガス置換電気炉

真空・不活性ガス雰囲気下で研究・実験できる卓上型電気炉です。サンプル…

特長 ●温度制御範囲は室温～1100℃（常用1000℃） ●炉内真空に対応 ●不活性ガスの封入が可能 ●サンプルステージは操作性に優れた昇降式 ●プログラム運転による温度制御...

メーカー・取り扱い企業：ハイソル株式会社

ロードロック式スパッタリング装置

CVD室、蒸着室、プラズマクリーニング室等の組み合わせも対応可能です！

『ロードロック式スパッタリング装置』は、ムービングマグネットにも対応し全面エロージョンが可能です。当社独自のスパッタカソードや急速昇降温基板加熱機構を搭載し基板温度900℃を実現。発光分析システムによるプラズマ分析とフィードバック制御により、高速かつ安定したリアクティブスパッタ成膜ができます。【特長】 ■...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

ＦＡ用防振台

なりました。素早いエアー供給、エアー排気機構を開発。エアーＯＮで1.5秒、ＯＦＦで1秒以下の高タクトタイムを実現！電磁弁でスムーズな除振構造へ立ち上げられます。(エアーＯＮ：3ｍｍ浮上：昇降機能併用可) 独自開発機構により位置再現性±0.5ｍｍ：0.1ｍｍ以下(ＯＮ：ＯＦＦ時)ＸＹＺ方向の高精度を実現！...

メーカー・取り扱い企業：ワイヤード株式会社

金属ナノペースト焼結接合対応真空半田付装置

神港精機の真空半田付装置に新型登場　優れた均熱性・昇降温特性と雰囲気制…

パワーデバイスモジュールの生産を支える神港精機の真空半田付装置がアップグレード。昇降温特性と均熱性能を向上させ処理寸法も拡大。従来通りの雰囲気制御性能と処理温度の高温化によって金属ペーストの焼結接合に対応。低酸素濃度の実現と１００％水素雰囲気による還元力によっての濡ペーストの酸...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

電動アクチュエータ GL-N　（ユニバーサル） [THK公式］

重量物の搬送に最適！

タリニアモータシリーズ GL-N（ボールねじタイプ・ベルト駆動タイプ）は、アルミベースを使用した用途に応じてバリエーション豊富なアクチュエータです。アルミベースで軽量・高剛性であることからシート昇降車に採用され、台車の軽量化が出来、昇降の際の作業員の負担を軽減いたしました。なお関連リンク先では、より、詳細な製品説明をはじめ、製品カタログ、取扱説明書、２D・３D CAD、選定資料、技術計...

メーカー・取り扱い企業：ＴＨＫ株式会社

【SHシリーズ基板加熱ヒーター】真空成膜用 Max1100℃

CVD, PVD（蒸着, スパッタ, PLD, ALD等）均熱性・再現…

r）, 不活性ガス, H2, He, CH4, C（*O2不可） ◎ 基板固定用サンプルクリップ付属 ◆オプション仕様◆ ◎ 真空フランジ（JIS, ICF, ISO） ◎ 基板回転, 上下昇降機構 ◎ ヒーターコントローラ Model. BWS-PS/HC-Mini...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

スパッタリング装置『MiniLab-026』

小型、省スペース! 研究開発に最適蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…

最大3源） ◉ ドライエッチング ◉ グローブボックス搭載可能（オプション要仕様協議） ◉ その他オプション： 2源同時成膜、HiPIMS、自動薄膜コントローラ、特注基板ホルダ、基板回転/昇降、基板加熱などオプション豊富。 ※ まずはご要求の仕様をご連絡下さい、ご要望に合わせシステム構成致します。...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

バッチタイププラズマリフロー装置（フラックスリフロー）

微細ウェハバンプのフラックスレスリフロー装置サンプルテスト対応　省…

φ３００ｍｍウェハ対応のバッチタイプ表面波プラズマ（SWP）による高密度ダメージフリーラジカル処理急速昇降温型ホットプレート装備真空プロセスによるボイドレスバンプを実現オプションでレジストアッシングに対応サンプルテスト対応中...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

ワイドベルトサンダー『WSAII65A』

家具部材から建具などの木地研磨に好適！カラーグラフィック操作パネルで簡…

ン）：3～20m/sec（インバータ変速） ■送材速度：4～14m/min（インバータ変速） ■サンディングモータ：11kW4P ■送材モータ：0.75kW4P（増馬力不可） ■テーブル自動昇降モータ：0.1kW4P ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：アミテック株式会社

スパッタリング装置『MiniLab-060』

蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールをご要望の構成で組み…

はSQC-310） 2ch/4ch薄膜コントローラ・ユーティリティ：電源200V ３相 15A, 水冷3ℓ/min, N2ベント0.1Mkpa ・その他オプション：基板加熱, 冷却, 基板昇降・回転, プラズマエッチング, ドライポンプ , ロードロック機構...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

真空蒸着装置『MiniLab-090』（グローブボックス用）

グローブボックス収納可能 PVDフレキシブル薄膜実験装置高さ570m…

M-160（又はSQC-310） 2ch/4ch薄膜コントローラ・ユーティリティ：電源200V ３相 15A, 水冷3ℓ/min, N2ベント0.1Mkpa ・その他オプション：基板回転/昇降, プラズマエッチング, ドライポンプ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

◆nanoPVD-T15A◆ 高性能有機膜・金属膜蒸着装置

限られたラボスペースを有効活用できる小型ベンチトップサイズ装置に、最新…

TEと混在の場合、2基まで） ◉7"タッチパネル ◉連続成膜・成膜プログラム自動制御・30種類のレシピ登録・高精度ワイドレンジ真空ゲージ ◉豊富なオプション・基板回転・上下昇降 300mmストローク・基板シャッター・ドライポンプ（RP標準）・USBでWindows PCに接続、ログの保存管理...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

量産用真空半田付装置（蟻酸対応タイプ）

ボイドレス半田付のスタンダード装置。車載用パワーデバイスモジュールを支…

急速昇降温機構と厳密な雰囲気制御機構を装備、半導体ウェハプロセスで実績のガス供給機構で安定した蟻酸野供給と管理を実現。半田付室の前後に基板搬送機構を追加。ハイスループットと高いレベルのボイドレス半田付を...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

バーチカルサンダー『V-SERA』

定盤固定式のためライン化に好適！サンダー2台分の仕事を1台でこなします

樹、　樹脂等、用途にあわせてカッターの形状を変えることにより可能 ■タッチパネル採用で簡単操作 ■トラブル箇所が一目で確認できる便利な機能付き ■バーチカルヘッドとサンディングヘッドは各々昇降できるため、バーチカルヘッドのみでの使用も可能 ■サンディングヘッドは前下研削ロールとパッドのコンビネーションヘッドで3種類の加工ができる　・前下研削ロールによる研削加工　・パッドによる研...

メーカー・取り扱い企業：アミテック株式会社

超高精度6軸アライメントステージ「RSTZシリーズ」

X-Y-Z-θx-θy-θzの全方向において、高精度アライメント(ター…

従来の「RSTアライナー」の駆動ユニットにダブルクサビ方式を使用したパラレルリンク機構を採用したことで、昇降、チルト駆動も1台で実現。【特長】 ■6軸駆動でも低床を維持。 ■駆動ユニットを、バランスのとれた正三角形に配置することで高い追従性を実現。 ■高剛性クロスローラガイド搭載により、高耐荷重...

メーカー・取り扱い企業：神津精機株式会社

スパッタ・蒸着ソース複合型成膜装置【nanoPVD-ST15A】

スパッタカソード・蒸着ソース混在型薄膜実験装置コンパクトフレームに…

+ 有機蒸着源x1（*DCスパッタのみ）・蒸着範囲：Φ4inch/Φ100mm ・真空排気系：ターボ分子ポンプ + 補助ポンプ（ロータリー、又はドライスクロールポンプ）・基板回転、上下昇降ステージ・Max500℃基板加熱ヒーター・水晶振動子膜厚センサー・7”タッチパネルHMI操作（’IntelliLink’ WindowsPCリモート監視ソフト付属）...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

化合物半導体用電極膜アニール装置（可変雰囲気熱処理装置）

化合物半導体の電極膜の合金化・低抵抗化に多用されている石英管タイプのア…

ｉプロセスに実績豊富なアニール装置を化合物半導体プロセス用にカスタマイズ。ＧａＡｓ用のホットプレートタイプに比べ高温（９００～１０００℃）まで対応。窒化膜半導体の電極の合金化に実績。急速昇降温型の加熱炉を装備し、均一な加熱と最適な温度プロファイルで電極膜のアニールを制御。生産量・プロセスにあわせて最適な装置構成を提案可能な実績豊富なウェハプロセス用熱処理装置。 ...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

試料研磨機『OSK 97XJ 2/2S』

冷却装置および注水ノズル付属！ABS樹脂一体成型の筐体なので錆びず、低…

取り付けることができます。【特長】 ■安定した回転軸と高い平坦度の研磨用ホイールで高精度の試料研磨が可能 ■研磨用ホイール、自動研磨装置の速度、圧力、時間設定を無段階で設定可能 ■昇降時には自動ロッキング設計により、手動ロック不要 ■EUの安全規格に準拠 ■LEDブルーライト搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：オガワ精機株式会社

真空熱処理装置（ホットプレートタイプ）

急速昇降温が特徴の小型熱処理装置。有機基板の乾燥・脱ガス・ベーキングな…

実績豊富な真空半田付装置の基本構成を応用。半田付用の熱板加熱で高速熱処理。高密度実装基板・プリント板の成膜前の脱ガス・乾燥。セラミックス材料の乾燥など多用途に最適。太陽電池セルの低温べ―クや薄膜のアニールにも有効でインライン化にも対応。...急速加熱用熱板で３００ｍｍ□の基板の処理に対応。基板冷却機構により短時間・短タクト処理を実現。長時間の加熱によるダメージが問題となる基板に安定した...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

立体物用スパッタリング装置

立体物成膜での高いカバレッジを実現！最大3台のスパッタカソードを搭…

『立体物用スパッタリング装置』は、当社独自のスパッタカソードを搭載しています。ワークステージに4軸機構（昇降、公転、自転、チルト）を搭載し、立体物成膜での高いカバレッジを実現。加熱機構、バイアス電源を搭載し、逆スパッタ、高温スパッタ、膜応力制御が可能です。最大3台のスパッタカソードを搭載し、金...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

High-Rate Depo. 圧電膜形成スパッタリング装置

半導体、MEMS、電子部品等に！単結晶エピタキシャルバッファ層から圧電…

ルバッファ層から圧電膜まで連続成膜することができます。また発光分析システムによるプラズマ分析とフィードバック制御により、高速かつ安定したリアクティブスパッタ成膜が可能。当社独自の急速昇降温基板加熱機構を搭載しており、基板温度900℃を実現します。【特長】 ■圧電に寄与する軸長を最大限に長くするDeposition構造 ■当社独自のスパッタカソードを搭載 ■ムービングマ...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

生産設備　設計・製作サービス

ラインすべての自動化を一貫体制でご提案します

当社は、材料投入、加工、組立、検査、梱包までのラインすべての全自動化に対応し、適した生産設備を設計・製作まで一環体制でご提案いたします。昇降装置(シザーリフト他)・搬送・移載装置(コンベアシステム)などのマテリアルハンドシステム(マテハン)による、工程管理の最適化により、ムダの最小化、コストの削減に貢献。また、液晶ガラ...

メーカー・取り扱い企業：レック株式会社

グローブボックス付　多源RFスパッタ装置

酸素や水分を排除したい研究製膜環境！多層膜、化合物製膜、反応製膜に対応…

パッタカソード　・超高真空対応　・低ダメージ成膜　・最大4源搭載可能 ■基板ホルダー　・基板加熱機構（常用800℃、酸化雰囲気対応）　・基板回転機構（モーター回転）　・基板昇降機構（ストローク50mm）　・基板バイアス印加機構　※オプション ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：ケニックス株式会社

大量生産用連続式常圧CVD装置『A6300S』

SiCトレーを採用！搬送システムで、大量生産を可能にするとともにコスト…

『A6300S』は、毎時120枚のスループットを擁する小口径ウェハ対応大量生産用連続式常圧CVD装置です。自動トレー交換装置、ヘッド昇降機構を備え、メンテナンス時間を短縮し生産可能時間を延伸するとともに、お客様の大量生産のニーズとオペレータの安全にも配慮しました。【特長】 ■高い生産性：毎時120枚の処理が可能 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社天谷製作所

抵抗率／シート抵抗測定器【RT-3000/RS-1300】

ッキングより全自動システムになります）】 ◆FPD分野における世界標準機 ◆セルフテスト機能、測定位置補正、広範囲測定レンジ ◆0.1mm分解能で、測定パターンを任意に設定可能 ◆ガラス昇降機能、センタリング機能 ◆CIM（ホスト）通信、2-D/3-Dマッピングソフトウェア ●対象ガラス基板サイズ：680mm×880mm 〜 2,200mm×2,500mm (2,880mm×3...

メーカー・取り扱い企業：ナプソン株式会社

高出力円筒形ヒーターモジュール　スパータルSMU

発熱体最高使用温度：1550℃！モジュールヒーター

℃ ■炉内　最高使用温度：　1500℃ ■急速加熱と正確な温度制御が必要な実験炉や生産炉で使用 ■形状は、シリンダータイプで径、長さはカスタマイズ可能 ■SMUが提供できる機能・急速な昇降温　・正確な温度プロファイル・長寿命・高出力での局部加熱・設置、交換の容易性・特殊用途向けユニット ■詳細は、お問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：アレイマジャパン株式会社カンタルカンパニー

縦型減圧CVD装置

10種類以上の半導体ガスを自在にコントロール可能！カスタマイズ可能

減圧CVD装置です。標準仕様を基にカスタマイズを施し、より安価に製造することも可能です。【特長】 ■スモールフットプリントながらウエハーサイズ3" 6" 8"/inchに対応 ■ヒーター昇降機能によりナチュラル酸化を低減 ■常温～900℃まで安定した温度コントロールを実現 ※詳しくはお問い合わせいただくかPDFをダウンロードしてご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ハイテクノサービス

半導体用発熱体

■ミディアムゲージヒーター（中細線）／ライトゲージヒーター（細線）ローマスヒーターで　中・低温度域にて優れた温度の均一性を確保し、急速昇温できるような電力密度が高い ■急速昇降温システム(FastCool) 弊社所有の強制空冷システムを採用したヒーターシステムです。循環時間の短縮とQSS問題解決に最適の解決策を提供いたします。 ■少量からでも対応致します。詳細...

メーカー・取り扱い企業：アレイマジャパン株式会社カンタルカンパニー

『PCB 研磨・水洗・水切装置』

完全オーダーメイドの研磨・水洗・水切装置！当社が設計・製造した産業機械…

【仕様（抜粋）】＜研磨部＞ ■搬送ピンチロール：φ65mm ■搬送ピンチロール材質：NBR ■ピンチ昇降：エアシリンダ ■搬送動力：0.75kw ■研磨ロール：φ150フラップタイプ研磨布×4軸（上下各2軸） ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：日本技研株式会社

『High-Rate Depo. 圧電膜形成スパッタリング装置』

半導体、MEMS、電子部品等に！単結晶エピタキシャルバッファ層から圧電…

製品です。プラズマエミッションモニターによるプラズマ分析とフィードバック制御により、高速かつ安定したリアクティブスパッタ成膜、圧電特性低下に寄与する元素検知も可能です。当社独自の急速昇降温基板加熱機構を搭載しており、基板温度900℃を実現します。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

IPA蒸気乾燥装置VD-200CBT　ＩＰＡベーパー

CO2ガスによる自動消火システムを装備

基板が収納されたカセットをエレベータにて自動昇降させるIPA蒸気乾燥装置です。凝結したIPAは回収タンクへ回収します。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社カナメックス厚木工場

ガラス基板加熱・冷却装置

ガラス基板の温度プロファイルを取ることにより、最適な加熱または冷却条件を見いだし、プロセス設計の迅速化を実現します。基板温度の昇降試験に最適な装置です。お問い合わせの際は会社HPからお気軽にご連絡ください。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社八光電機

SSY-11000

450mmウェーハ搬送システム

より、カセットのポート数に応じたストロークでご提案します。 ACサーボモータを採用し、動作軌跡最適化により高速、高精度に搬送します。ベルヌーイチャックの搭載可能（オプション）。 Z軸 (昇降軸) 500mmまで対応可能。走行軸を採用し、高速で4FOUP（450mmウェーハ）へアクセス可能可搬重量：アーム第3関節換算5kgf(チャック、ワーク含む）ツインアーム採用により、ウェ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

【nanoPVD-S10A】マグネトロンスパッタリング装置

高機能コストパフォーマンスに優れた研究開発用RF/DCマグネトロン式…

置 ● 到達圧力5 x 10-5Pa（*1x10-4Paまで最速30分！） ● スパッタカソード x 3：自動連続多層膜, 2源同時成膜 ● 膜均一性±3% ● 多彩なオプション：基板回転・昇降、基板加熱（Max500℃）、磁性材用カソード、他 ◉ nanoPVDは、最大スパッタ3源+3系統（MFC制御）、RF/DC PSUの増設（最大2電源まで）連続多層膜・2源同時成膜（RF/DC...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社