シリーズ | イプロスものづくり

絞り込み条件

製品分類

メーカー・取扱い企業

『粉体搬送ポンプ』

PR手作業による労力・飛散の問題を解消！マイカ、アクリル樹脂などの粉末に対…

当社では、乾燥粉体を迅速かつクリーンに搬送処理できる『粉体搬送ポンプ』を取り扱っています。「PPシリーズ」は乾燥重量721kg毎立方メートルまでの粉体に対応し、カーボンブラック、シリコン、アクリル樹脂などの搬送に使用可能。手作業に要する労力や粉塵飛散といった問題の解決に役立ちます。また、「SPシリーズ」は流体接続部がクランプ留めの構造のため分解しやすく、洗浄メンテナ...

メーカー・取り扱い企業：インガソール・ランド・アイティーエス株式会社
SEW ギヤモータ・モータ製品カタログ

PR選定表、寸法表等を掲載！45kWクラスのブレーキ付ギヤモータでも2週間…

当カタログでは、SEW-オイロドライブ・ジャパン株式会社の『ギヤモータ』についてご紹介しております。「ギヤモータR/F/K/Sシリーズ」や「ギヤユニットR・Kタイプ」、「モータ DR. シリーズ」をラインアップ。 SEW 会社概要をはじめ、製品の特長、選定要領、ご確認事項等を掲載しております。製品の選定にぜひお役立てください。【掲載製品（一部）】 ■ギヤモータR...

メーカー・取り扱い企業：株式会社椿本マシナリー
乾式除害装置(MAKシリーズ)

大気放出できない装置から排出される有害排気ガスを安全に除害処理します。…

乾式除害装置「ＭＡＫシリーズ」は、排気ガス中の有害成分を化学処理剤トムクリーンと反応させ、安全な化合物に変えて処理剤内に固定し、弊社にて産業廃棄物として処理されます。トムクリーンを処理対象成分に合わせて選択することにより...
メーカー・取り扱い企業：株式会社巴商会管理部署：企画営業部
真空センサ『730シリーズ』

コンパクトサイズでローコスト。半導体製造ラインなどで活躍。静電容量型

『730シリーズ』は、コンパクトサイズ・ローコスト・高精度を実現したセトラシステムズ社の真空センサです。静電容量の変化を検知して、リニアな直流電圧信号に変換し出力します。温度補償範囲が広く耐圧性能...

メーカー・取り扱い企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部
緊急除害装置(S-CDシリーズ)

毒性ガス漏洩の緊急時に無害化します。（高圧ガス保安法一般則第55条第1…

緊急除害装置「S-CDシリーズ」は、高圧ガス保安法に対応した緊急用乾式除害設備です。（高圧ガス保安法一般則第55条第１項） ● 特殊高圧ガス（７種）の他、アンモニア、塩素など、各種ガスの仕様に合わせた安全設計 ●排気ブ...
メーカー・取り扱い企業：株式会社巴商会管理部署：企画営業部
アルミフレーム(TFシリーズ)・アクセサリー

機能性アルミフレームと豊富なアクセサリーのコストダウン【単品はもちろん…

外問わず数多くのお客様の生産設備に幅広く活用されております。また最近では、飛沫感染防止用のパーテーションのニーズが高まり、弊社製品をご愛顧頂いております。【アルミフレーム（TFシリーズ）・アクセサリー】 ■定尺サイズからご要望サイズへのカット ■端面の角度付・カットやタップ・ザグリ加工等にもお客様のニーズに合わせて柔軟に対応いたします。 ■アクセサリーの豊富なラインナ...
メーカー・取り扱い企業：株式会社タイトウトレーディング草津本社工場
CVD、PECVD横型炉装置『EVADシリーズ』

フロー管理システムが搭載！粉体へも高温でのCVD/PECVDによる処理…

『EVADシリーズ』は、ガス、蒸気、液体や固体原料から合成・成膜可能な、 CVD、PECVD横型炉装置です。シングルゾーン、マルチゾーンによる温度分布を制御し、回転機構付き高品質ステンレス製チャンバー...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハイテック・システムズ
CVD、IBDの成膜装置

ヨーロッパ発の技術！Leuven instruments装置の日本国…

・Shale Cシリーズ：ICP CVD（誘導結合プラズマCVD）低温条件（<120℃）で緻密な成膜を実現可能プラズマによる損傷を低減でき、漏れ電流を抑える高アスペクト比の穴埋めに適用・Shaleシリ...
メーカー・取り扱い企業：日星産業株式会社
セトラ社　ウルトラクリーン圧力センサ　モデル２２５シリーズ

特殊ガス用途に開発された静電容量方式の圧力センサ

セトラ社のモデル２２５は特殊ガス用途に開発された静電容量方式の圧力センサです。配管時のトルクストレス、低温ガスのフローによる温度変化、外部からの高周波ノイズなどの影響が受けにくい構造になっています。...デッドスペースが１．８ｍＬと小さくパージが容易に行えます。接ガス部はＳＵＳ３１６ＬのＶＡＲ材を０．１８Ｒａの電解研磨処理しており、全品ヘリウムリークテストを行っています。スライド式カバーに...

メーカー・取り扱い企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部
セトラ社　ウルトラクリーン圧力センサ　モデル２２４シリーズ

特殊ガスのモニターと制御用に開発されたウルトラクリーンセンサ

セトラ社のモデル２２４は特殊ガスのモニターと制御用に開発されたウルトラクリーンセンサです。　モデル２２４はパージ効果の高い流線型のセンサチャンバを持ち、ガスの流れによる瞬時の温度変化の条件下でも優れた安定性を実現するように設計されています。...センサチャンバは３１６Ｌ（ＶＡＲ材）を０．１８Ｒａに電解研磨されおり独自の静電容量センシング技術で高精度で安定した出力信号を供給します。オプション...

メーカー・取り扱い企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部
Aera FC-R7700シリーズ　マスフローコントローラ

経済性に優れた高精度ラバーシール

ン注入、スパッタリング、熱酸化膜、光学ガラスコーティング、光ファイバー、表面処理、その他のコーティングプロセスを含め、非腐食性ガスを使用したアプリケーションが展開されています。 FC-R7700シリーズは、高い信頼性と優れた性能でプロセスおよび装置エンジニアの業務の円滑化に対応いたします。...

メーカー・取り扱い企業：日立Astemo＆ナガノ株式会社
実験用ドライエッチング、成膜装置

ヨーロッパ発の技術から生まれた汎用性の高い装置！実験～量産に幅広く対応…

当社は汎用性の高いエッチング装置や、低温低圧条件でも緻密に成膜できる堆積式の成膜装置を取り揃えております。【ドライエッチング機種（一例）】 Pishowシリーズ： ■シリコン、金属、化合物半導体など、様々な材料に対応可能 ■幅広い温度の工程に対応可能 ■エッチングの速度と均一性を精密制御 ■BOSOH工程に対応可能【成膜機種（一例）】 ...

メーカー・取り扱い企業：日星産業株式会社
熱触媒式除害装置(TCSシリーズ)

排気ガス中の有害成分を専用触媒により除去します。

● 反応副生成ガスにも対応　カーボンナノチューブCVDプロセスで使用される　NH3（アンモニア）の他　副生成される可能性が　ある毒性の強いHCN（シアン化水素）にも対応。※1 ● 視認性に優れたデザイン　集合表示灯及びタッチパネル（オプション）、シグナルタワーによりスピーディーに警報を識別可能。 ● 希釈対応が必要なH2、C2H2も処理可能　乾式除害では処理できない可燃性ガス（...

メーカー・取り扱い企業：株式会社巴商会管理部署：企画営業部
VP型ドライルーツ式　真空ポンプ　VPシリーズ

独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプ

【特徴】 ○ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で　運転を実現し、使い易さを追求 ○ステンレス(SCS13.14.16)製真空ポンプの製作が可能　その他の特殊材質についても対応可能 ○擬縮性ガスの吸引でも連続運転が出来ます。 ○真空ポンプケーシング内部の洗浄が容易に行える ○高温ガス130℃を直接吸引することができる(標準材・FC) ○吸引と同時に圧送ができる（特殊仕様...

メーカー・取り扱い企業：株式会社四葉機械製作所
製品多様な真空配管部品-フィッティングシリーズ

配管部品は各種の真空装置や半導体製造装置に応用された部材です。

日揚科技(Htc Vacuum)の「フィッティングシリーズ」は製品多様に揃えています。真空フィッティングはエルボ、ティー、クロス、レジューサ、センターリング、金属のベローズを含めています。規格品を提供可能以外に客先のニーズを応じて特製品を提供できます。...

メーカー・取り扱い企業：日揚科技股份有限公司
半導体式マイクロ波電源　5.8GHｚ帯

半導体式マイクロ波電源　5.8GHｚ帯

波電源 5.8GHz帯　130W 電源が商用電源AC100V・デスクトップサイズ等、使い易さを考えて新開発したマグネトロンを使用しない、半導体式マイクロ波電源及び加熱試験装置です。 GNUシリーズとして、周波数2.45GHz帯・5.8GH帯・10GHz帯、出力：〜500W、をラインアップいたしました。各種電池材料の開発・化学合成・反応・低温焼成・乾燥・プラズマ処理等の実験に最適な装置で...

メーカー・取り扱い企業：富士電波工機株式会社第1機器部
【HTシリーズ基板加熱ヒーターMax1900℃】Φ1〜8inch

プレート最高温度Max1900℃。HV, UHVほか過酷なプロセス環境…

*旧製品名「セラミック・トップ・ヒーター」窒化アルミプレート表面温度Max 1600℃ 対応可能サイズ Φ1〜8inch用、及び最大150mm角まで超高温・超高真空対応フルカスタムメイド基板加熱ステージ ◉ヒーターエレメント：・C/Cコンポジット Max1700℃ ・SiC3（炭化珪素）コーティンググラファイト Max1300℃ ・TiC3（チタン・カーバイド）コーティング...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
CVD・MOCVDカスタマイズ装置

多彩なプラズマソースが搭載可能！CVD、MOCVDやALD装置をカスタ…

チ量産向け装置である、「CVD・MOCVDカスタマイズ装置」を取り扱っております。 CVD、MOCVDやALD装置をカスタマイズ設計で、 PLUM、FLARION及びMIRENIQUEシリーズの多彩なプラズマソースが搭載可能。また、FLOCONシリーズのフロー管理システムを搭載しております。【特長】 ■研究開発や小規模バッチ量産向け装置 ■CVD、MOCVDやALD...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハイテック・システムズ
三菱電線工業のメタルシール「サンリーメス」シリーズ

高機能メタルシール！！各種真空機器、半導体製造装置などに最適！

●機器仕様の多様化に伴い、従来のゴム材料や樹脂材料を用いたシールでは、その材料特性から使用に耐えられない場合が増えてきています。 ●このような場合、メタルＯリングに代表されるメタルシールが選択されていますが、締付力が大きい、復元量が小さいという弱点から、ゴム材料や樹脂材料を用いたシールからの置き換えは容易にはできません。 ●これらの問題を解決するため、メタルシールとしての長所を持ちなが...

メーカー・取り扱い企業：三菱電線工業株式会社
MOCVD装置　VEECO K465i G2用排気フィルター

MOCVD装置　VEECO　K465i G2

VEECOフィルターシリーズ製品はＶＥＥＣＯ　ＭＯＣＶＤ装置の専用の排気ろ過のために設計し、アメリカＲＡＮＤ社の高級耐高温不織布と中国産ＳＵＳ３０４を構成した製品、不織布材料はアメリカから直接輸入、耐高温、耐高圧、高精度、ろ...

メーカー・取り扱い企業：愛鋭精密科技（大連）有限公司（AIRY TECHNOLOGY CO., LTD.) 中国大連本社
ローコスト高精度圧力センサー

コンパクトな構造・高精度にして低価格

半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製圧力センサーです。 PC-920シリーズはコンパクトな構造・高精度にして低価格を実現しました。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
微少流量超小型セラミックガスフィルター

SPCシリーズは超小型（φ21×84mm）、軽量（90g）に設計されて…

取り付けスペースの狭いシリンダーキャビネットや装置などに最適です。...【特徴】 ○濾過精度は0.003μmです。 ○推奨流量は10L/minです。 ○設計圧力は17MPa（2,465PSIG）at20℃です。 ○最高連続使用温度は120℃です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
研究・試作に最適な小型プラズマCVD装置『VC-R400G』

独自のLIA方式プラズマ源を採用し、ガラス、金属などの平板基材に超高速…

『VC-R400G』は、独自のLIA(低インダクタンスアンテナ)方式プラズマ源を採用し、ガラス、金属などの平板基材に超高速、高品質な真空成膜を実現するプラズマCVD装置です。実験・研究・評価・試作に好適。LIA方式の誘導結合型プラズマ(LIA-ICP)使用により、高速/高精度/低ダメージ真空成膜を実現。多点制御により、より細かな均一性を確保。手動、自動、オプションも多彩です。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社SCREENファインテックソリューションズ
Aera PI-980　プレッシャーインセンシティブＭＦＣ

明日のプロセスニーズに応える次世代PI技術

性、計測精度を向上させるとともに、リアルタイムプロセス制御において優れた性能を発揮します。その優れた流量安定性により、チャンバ間のプロセス再現性が向上し、生産歩留まりを改善します。 PI-980シリーズは、従来型のサーマル式の構造に、圧力センサ、温度センサならびに当社独自のNeuralStep制御技術を一体化することによって、従来型の製品に使われていたハイコストなガスパネル部品の必要性を減少しま...

メーカー・取り扱い企業：日立Astemo＆ナガノ株式会社
高生産性連続式常圧CVD(APCVD)装置 (AMAX800V)

量産向け　NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用　高生産性　連続…

「AMAX」シリーズは、層間絶縁膜・パッシベーション膜(保護膜)・エピタキシャル(Epitaxial)ウェハ用バックシール等のシリコン酸化膜(SiO2膜)の成膜を目的とした、連続式常圧CVD装置(APCVD装置)です...

メーカー・取り扱い企業：株式会社渡辺商行
小規模生産・開発用常圧CVD(APCVD)装置 (D501)

試作・開発・小ロット生産向け　NSG(SiO2)/BSG/PSG/BP…

D501は、少量生産/テストや不定形基板へのシリコン酸化膜(SiO2膜)の成膜を目的とした、バッチ式(複数枚同時処理)の常圧CVD装置(APCVD装置)です。【特徴】　・異形状・サイズ基板の同時処理　・高い成膜速度　・シンプルメンテナンス　・省フットプリント　・低CoO(低ランニングコスト) 【用途】　・層間絶縁膜(NSG/PSG/BPSG) 　・拡散/インプラ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社渡辺商行
高生産性連続式常圧CVD(APCVD)装置 (AMAX1200)

量産向け　NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用　高生産性　連続…

「AMAX」シリーズは、層間絶縁膜・パッシベーション膜(保護膜)・エピタキシャル(Epitaxial)ウェハ用バックシール等のシリコン酸化膜(SiO2膜)の成膜を目的とした、連続式常圧CVD装置(APCVD装置)です...

メーカー・取り扱い企業：株式会社渡辺商行
Agnitron社研究開発(R&D)～量産用 MOCVD装置

Agnitron社にて独自開発された、高性能、高スループット先端化合物…

Agnitron社のAgilisシリーズは、先端化合物半導体エピ成長を可能にする構成オプションを備えた柔軟なプラットフォームです。研究開発用(R&D用)の小型チャンバではシングル又はデュアルチャンバ構成選択可能、量産機用の大型チャンバで...

メーカー・取り扱い企業：伯東株式会社本社
太陽電池セル量産用連続式常圧CVD装置 (AMAX1000S)

結晶Si太陽電池セル量産用　NSG(SiO2)/PSG/BSG膜成膜用…

AMAX1000Sは、「AMAX」シリーズの実績をもとに、太陽電池(セル)製造用に開発された連続式常圧CVD装置(APCVD装置)です。【特徴】　・156mm角/125mm角ウェハ対応　・1500枚/hの高生産性　・太...

メーカー・取り扱い企業：株式会社渡辺商行
ハイブリッドフィルター

ガス配管コンポーネント保護用ガスケット付きメタルフィルター

■配管の面シール継手部のガスケットとして単体で装着出来ます。 ■既存の配管にも改造無しで取り付けることが出来ます。...半導体製造ガスラインなどに用いられる(株)ピュアロンジャパン製ハイブリッドフィルターです。ガスケット型ガスフィルターを精密濾過精度のガスフィルターの入口/出口の継手部に装着することでハイブリットとし、０.３μｍ以上又は１μｍ以上の配管中の大きなパーティクルを粗取りすることで、精...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
インラインセラミックガスフィルター

常に安定した状態で0.003μmの高濾過精度を有するガスフィルターを開…

半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製インラインセラミックガスフィルターです。水や酸素などの不純物の除去を確実に行うための、200℃の高温ベーキングが可能です。...製品特徴・パーティクル０．００３μm以上の高濾過精度・推奨流量１０〜２００L/min ・エッチングや薄幕形成等に最適な流量・高濾過精度をラインナップ・メンテナンス・フリーによるコストダウン・...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
超高純度ガス小型精製器

腐蝕によるパーティクルの発生や化学反応を起こしません。

(株)ピュアロンジャパン製ガス精製器です。ユースポイントにおいて、不活性ガスや特殊ガス中に含まれる水分・酸素・ハイドロカーボンなどの不純物を、条件により最大１ＰＰＢ以下まで除去します。内蔵の粗取り用フィルターメディアには全てＳＵＳ３１６Ｌを標準として使用しております。面間８４ｍｍ、１２０ｇの小型・軽量タイプもございます。ガス種により３５０℃から４００℃のベーキングによって再活性処理をすれば、完...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
比抵抗率計

取付時間の短縮によるコスト低減につながります。

(株)ピュアロンジャパン製比抵抗率計です。セル本体はケーブルとコネクタ接続方式になっており配管などへの取付作業時にケーブルが邪魔になりません。セル部の構造はボディと外極部とが一体構造になっており内部への液侵入などの心配もございません。トランスミッター部は従来品と比較し小型・軽量化を実現しており、セル部とはコネクタ中継による接続方式になっておりますので任意の場所に容易に取付が可能です。...【...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
高濾過精度オールメタルガスフィルター

コンパクトサイズでより高流量のガスを処理

(株)ピュアロンジャパン製ガスフィルターです。全ての材質にＳＵＳ３１６Ｌを使用。高流量・高差圧下においても０.００３μｍ以上の粒子を高い効率で除去致します。従来品と比較し圧力損失が極めて低く、コンパクトサイズでより高流量のガスを処理できます。１０Ｌ/ｍｉｎ程度の少流量から２５０Ｌ/ｍｉｎ程度の中流量までの幅広いラインナップをご用意しております。...【特徴】 ○濾過精度は０.００３μｍです...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
低圧力損失メタルガスフィルター

歩留まりを大幅に向上

(株)ピュアロンジャパン製ガスフィルターです。フィルター構成部材全てにＳＵＳ３１６Ｌを使用し、腐食や二次生成物の恐れがなく高耐熱性を発揮致します。窒素ガス（Ｎ２）をフィルターＩＮ側圧力０．２ＭＰａで流したときのＯＵＴ側圧力損失は△０．０５ＭＰａで９０ＳＬＭの流量を実現しました。また、定常流・脈動下において濾過精度０．００３μｍをＣＮＣで確認、サブミクロンＵＬＳＩ製造で歩留まりを大幅に向上致し...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
粗取り用オールメタルガスフィルター

幅広い濾過精度に対応

(株)ピュアロンジャパン製　ガスフィルターです。定常流・脈動下において濾過精度０.１〜１０μｍまでの幅広い濾過精度に対応。フィルター構成部材で腐蝕性材料は使用しておりませんので腐蝕や二次生成物の恐れはありません。専用のベーキングヒーターの併用によりＡＰＩＭＳの測定で脱ガス(水分量)１.２ｐｐｂを達成しました。継続使用により０.１ｐｐｂレベルまで可能です。...【特徴】 ○濾過精度は０.１、０...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
ガスフィルター用ジャケットヒーター

２００℃の高温でガスフィルターをベーキングする画期的なベーキングヒータ…

(株)ピュアロンジャパン製ジャケットヒーターです。コントローラーユニットには、加熱防止インターロック機能と断線検出機能がついているため安全です。フィルターから簡単に着脱できます。温度・時間などの設定は遠隔操作できるデジタル式コントローラーにより操作が簡単です。ヒーターユニットは薄型・軽量でスペースを取りません。...【特徴】 ○最高使用温度は２００℃です。 ○電源はＡＣ１００Ｖです。 ○...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
活性炭ガス精製器

高清浄度活性炭を内蔵

(株)ピュアロンジャパン製ガス精製器です。超精密なガスフィルターエレメントと高清浄度活性炭を内蔵しており、ユースポイントにおいてドライエアー及び不活性ガス中の微粒子、ガス状有機物、酸系不純物を高効率で除去します。...【特徴】 ○設計圧力は０.９８ＭＰａです。（１４２ＰＳＩＧ） ○最高使用差圧は０.６８ＭＰａです。（９８.６ＰＳＩＧ） ○内蔵フィルターエレメント濾過精度は０.００３μｍ以...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
低圧力損失ＰＴＦＥガスフィルター

濾過膜はＰＴＦＥ製２層構造

(株)ピュアロンジャパン製ガスフィルターです。濾過膜はＰＴＦＥ製２層構造で経年や振動などでの伸びが殆どなく、安定した濾過性能を有します。全数疑縮核式パーティクルカウンターによって０.０１μｍのパーティクル捕捉試験を実施しております。...【特徴】 ○濾過精度は０.０１μｍです。 ○推奨流量は４０〜３００Ｌ/ｍｉｎ各種です。 ○最高使用圧力は０.９８ＭＰａ（１４２ＰＳＩＧ）ａｔ２０℃です。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
集積化ガスシステム対応ガスフィルター

高濾過精度

半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製集積化ガスシステム対応ガスフィルターです。...【特徴】 ○高濾過精度で定評のあるセラミックスエレメントタイプ（0.003μm）と、メタルエレメントタイプ（0.003μm）があります。 ○Cシール/H1Gシール/Wシールに対応しています。（Cシール/Wシールは1.125インチタイプも対応しています） ○数LPMの少流量から120L...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
高耐圧用ＰＴＦＥガスフィルター

濾過膜はＰＴＦＥ製２層構造で経年や振動などでの伸びが殆どなく、安定した…

全数疑縮核式パーティクルカウンターによって０.００３μｍのパーティクル捕捉試験を実施しております。...【特徴】 ○濾過精度は０.００３μｍです。 ○推奨流量は４０Ｌ/ｍｉｎ、１５０Ｌ/ｍｉｎ各種です。 ○ハウジング設計圧力は２０.６８ＭＰａ(３,０００ＰＳＩＧ、２１０ｋｇｆ/ｃｍ２)ａｔ２０℃です。 ○最高使用圧力は０.９８ＭＰａ（１４２ＰＳＩＧ）ａｔ２０℃です。 ○最高使用温度は１２...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
低圧力損失インラインセラミックガスフィルター

濾過精度

半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製インラインセラミックガスフィルターです。...【特徴】 ○濾過精度は０.０１μｍです。 ○推奨流量は１０〜１６０L/minです。 ○設計圧力は１７MPa（2,465PSIG）at20℃です。 ○パーティクル０.０１μｍ除粒子性能９９.９９９９９９９９９９％です。 ○低圧力損失です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
常圧CVD装置

省スペース設計で、バキュームポンプ・モジュールはプロセス・モジュールか…

本装置は、4/5/6 及び 8 インチ・ウェハーに対応しており、プラズマ CVD 法によってウェハーに酸化シリコン膜及び窒化シリコン膜を形成するものです。基本構成は、プロセス・モジュール及び RF ジェネレータ・モジュール（高周波,低周波各 1Set ）、バキュームポンプ・モジュールの 3 モジュールで構成されます。...※詳しくは外部リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社インターテック販売東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）
集積化ガスシステム対応圧力センサー

各種集積化ガスシステム用圧力センサー

半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製高精度・高耐蝕性を特徴とする各種集積化ガスシステム用圧力センサーです。...【特徴】 ○ゲージ圧は幅広いレンジで測定可能です。 ○絶対圧は幅広いレンジで測定可能です。 ○出力形態：0〜100mV、0〜50mV 、4〜20mA、0〜5Vです。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
小型ガス精製器用ジャケットヒーター

ピュアロン製小型ガス精製器を効率良くヒーティングするために専用で開発致…

(株)ピュアロンジャパン製ジャケットヒーターです。...【特徴】 ○４００℃までの高温に対応可能です。 ○各サイズに合わせて設計されていますのでジャストフィットします。 ○外装はポリエステルクロス製です。 ○発塵の心配がありません。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
MOCVD排気濾過用フィルター　（AIXTRON装置用）中国産

MOCVD、フィルター、AIXTRON、LED、中国産、高温真空粉塵濾…

ドイツのAIXTRON社のMOCVD装置用の排気フィルターシリーズ製品はアメリカ産の高級耐高温ガラス繊維制濾過材（濾過布）と中国産ＳＵＳ３０４を構成した製品。ガラス繊維制の濾過材（濾過布）はアメリカから直接輸入、耐高温、耐高圧、高精度、ろ過効果がいい、完成品...

メーカー・取り扱い企業：愛鋭精密科技（大連）有限公司（AIRY TECHNOLOGY CO., LTD.) 中国大連本社
プラズマCVD装置

プラズマCVD装置

PD-220NLは、納入実績の豊富なプラズマCVD装置『PD-220シリーズ』での経験をもとに開発したロードロック式装置です。本装置は、コンパクトな設計でありながら基板有効径がφ220mmあります。各種シリコン系薄膜（Si3N4、SiO2等）の形成を目的としており、最先端...

メーカー・取り扱い企業：サムコ株式会社